JPH04122864A - 半導体試験装置のハンドラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術 ＩＣパッケージ 従来例の説明図 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段 本発明の原理説明図 作用 実施例 本発明の半導体試験装置の ハンドラー〇の一実施例の外観図 （第９図） （第１０図） （第１図） （第２図） 本発明の半導体試験装置のハンド ラーの一実施例の要部露呈図　　（第３図）本発明のハ
ンドラーの搬送部及び 加熱冷却部の詳細図　　　　　　（第４図）本発明のハ
ンドラーの搬送部の ホルダー詳細図　　　　　　　　（第５図）本発明のハ
ンドラーのローダ−・ アンローダー部の詳細図　　　　（第６図）本発明のハ
ンドラーの測定部と テスターの測定ヘッドを ドツキングした状態の詳細図　　（第７回）本発明のハ
ンドラーの位置決め部 及びハンドラー本体ベースの詳細図 （第８図） 発明の効果 ［概要］ 本発明は、ＩＣ等の半導体装置の試験に用いられるハン
ドリング装置（以下ハンドラーと呼称）の構造に関し。

ハンドラー内の被測定物とテスターの測定ヘッドとの位
置決め及びドツキングを容易にし、かつ。

汎用性を持たせることを目的とし。

■被測定物の搬送部とローダ−・アンローダ−部と位置
決め部と測定部とを有し、該搬送部は該被測定物の搬送
ベルトとホルダーとからなり、該搬送ベルトは長いアー
ム状をなし、かつ、外縁に複数個のホルダーを設けて、
逐次回転しながら。

該被測定物をローダー部、測定部、アンローダ−部と順
次移送するものであり、該ローダ−・アンローダー部は
トレー格納部と、該被測定物のピンクアップとからなり
、該トレー格納部にはその上に区画された領域に複数の
該被測定物を収めたトレーを収納するものであり、該ピ
ックアップは該トレー上の被測定物をピックアップして
該ホルダーに装填、或いは該ホルダー上の該被測定物を
ピンクアップして該トレーに戻すものであり、該測定部
は該ホルダーより該被測定物をピックアップして、該測
定ヘッドにセントし、該被測定物の電気的特性試験終了
後、ただちにピックアップして該ホルダーに戻すもので
あり、該位置決め部は一体化された該搬送部、該ローダ
−・アンローダ−部、該測定部からなるハンドラー部本
体を嵌挿して、該ハンドラー部本体を上下９前後左右或
いは回転方向に自在に移動して、該ハンドラー部先端の
該測定部をテスターの測定ヘッドに適合する位置に位置
決めし、ドツキングするように。

■マタ、アーム状の搬送ベルトの一部を覆って。

該被測定物の搬送中に、該被測定物の加熱冷却を行う加
熱冷却部を有するように。

■更に、＊送ベルトに設けたホルダーは多種の形状の該
被測定物の搭載が可能な構造を有するように構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、ＩＣ等の半導体装置の試験に用いられるハン
ドラーに関する。

半導体素子をリードフレームに搭載し、その後金線等で
配線され、樹脂又はセラミック等の容器で封止、リード
成形切断等の工程を経て半導体デバイス（以下、ＩＣと
呼称）が形成される。

その後、ＩＣは電気的特性をチエツクする為に。

試験器（以下、テスターと呼称）にて測定し、ＩＣの良
否の判別を行う。

この良否判別を行う際に、テスターの測定ヘッド端子ま
で、ＩＣを自動的に搬送、ハンドリングを行う装置とし
てハンドラーが用いられている。

このハンドラーとテスターの測定ヘッドとの位置関係は
、一定の位置に固定して置く必要があるために、大半の
システムはハンドラーの一部にテスターの測定ヘッド固
定用の台を付加しておくか。

または、ハンドラーとドツキングする機構を設けた専用
台を用意しておく必要があった。

〔従来の技術〕

第９図は現在使用されている主要なＩＣパッケージの形
状図、第１０図は半導体試験装置に用いられるハンドラ
ーの従来例の説明図である。

図において、８０はＩＣ，８１はローグ一部、８２は加
熱冷却部、８３は測定部、８４は仕分は部、８５はアン
ローダー部、８６はハンドラー本体、８７は測定ヘッド
、８８は測定ヘッド専用台、８９はテスター接続部、９
０はＩＣ，９１は収納トレー、９２はローダー部。

９３は加熱・冷却部、９４は測定部、９５は仕分は部。

９６はアンローダー部、９７はハンドラー本体、９８は
測定ヘッド、９９は測定ヘッドエレベータ−機構。

１００はテスター接続部である。

前述の様にハンドラー本体に測定ヘッドを収納し、固定
するスペースを必要とするため、ハンドラー装置本体の
大きさも大きくなり、被測定物であるＩＣの品種変更に
伴う、ハンドラーの機種を変更する際の切替え移動等が
困難で、且つ、取り外したハンドラーの仮置き場のスペ
ースも大きく取る必要があり、大変に不経済であった。

また、従来のハンドラーはＩＣのパンケージ別による専
用の装置であったため１品種変更を行う際にはハンドラ
ーの装置を交換する必要がある。

従来、第９図（ａ）に示すような、ＤＩＰ等のリード挿
入型のＩＣでは、第１０図（ａ）に示すように、ＩＣが
自重で落下する形のハンドラーが使用されていた。測定
ヘッド８９は横向きにして測定ヘッド専用台８８に設置
され、ハンドラーの測定部９４とトンキングする構造で
ある。しかし、測定ヘッド８７が大型であり、測定部８
３のソケットとのドツキング時の視認性は良くない。

検査前のＩＣはコンテナに収納され、ローグー８１部よ
り自然落下で加熱・冷却部８２に送られ、加熱・冷却さ
れた状態で測定部８３に供給され、測定へラド８７にド
ツキングして電気的特性試験を行ない、測定分類され、
その結果、仕分は部８４で水平方向に移動し、アンロー
ダー部８５に収納される。

また、第９図（ｂ）に示すようなＱＦＰのような表面実
装型のＩＣでは、第１０図（ｂ）に示すように、水平移
動型のハンドラーが使用されていた。

これは被測定物のＩＣ９０がＤＩＰ型ＩＣのような２方
向のビン挿入型と異なり、リードが水平状に４方向に出
ているため、ハンドリング時のリード曲がりを防止する
ために、水平搬送方式を採用しているものである。

測定ヘッド９８はハンドラー本体９７に収納された構造
で、測定ヘッドエレベータ−機構９９により上下、左右
１回転方向の調整がされる構造となっているが、測定部
９４のソケットへの接続は、ドツキング状態が良く見え
ないために１手探り状態であり、慎重に精度良くドツキ
ングすることは大変困難である。

収納トレー９１に収納されているＩＣは１〜数個づつ、
ハンドリングして水平搬送され、途中加熱冷却部９３で
加熱冷却され、測定部９４で測定ヘッドにセットされ、
テスターにより特性試験を行ない測定分類されて、仕分
は部９５で仕分けして、アンローダー部９６に収納され
る。

従って、前述のように、いずれのハンドラーにおいても
、ハンドラー本体に測定ヘッドを収納するスペースを必
要とするために、ハンドラー装置本体の大きさも大きく
なり、ハンドラーの機種を変更する際の切替え移動等が
困難で、且つ、取外したハンドラーの仮置き場のスペー
スも広く取る必要があり、大変不経済であった。

以上のように、従来のハンドラーは被測定物のＩＣと測
定ヘッドとの接続時には状態が良く判らず、操作が困難
であるとか、或いは９図のように測定ヘッドを立ててド
ツキングするような専用の台が必要となり、また、ハン
ドラーへの測定ヘッドの取付け・調整、取外しは大変面
倒で厄介なものであった。

また、テスターによる被測定物ＩＣの品種変更をする場
合には、ハンドラーの装置変更が必要であるが、その際
、テスターの測定ヘッドも移し替えることとなり、それ
ぞれのハンドラーに付属している測定ヘッドの専用台か
ら取り外して、新しい測定ヘッドを取り付けする作業が
行われる。

この交換作業には、５〜６時間も掛り、大変に面倒で厄
介なものであった。

特に、最近のテスターは高機能化されているため、測定
ヘッドも大型化９重量化されてきており。

ますますその取扱が困難に成ってきている。

〔発明が解決しようとする課題〕

前述のように、従来のハンドラーは測定ヘッドとのドツ
キングを精度良く行うための測定へ・ンド専用台や、ハ
ンドラーに収納された測定へ・ンド用のエレベータ機構
を必要とする為、ハンドラー本体及び測定ヘッド専用台
、測定ヘッドエレベータ−機構は大変に大掛かりなもの
となり、測定ヘッドの取付け、取外しも大変面倒であっ
た。

更に、最近のＩＣは飛躍的に高性能化され、それに伴い
テスターの大型化、延いては測定へ・ンドがより大型化
となり、大きさ２重さ共に増大して来ているため、ハン
ドラーとのドツキングは難しく、更に面倒になりつつあ
る。

このように、従来のハンドラーが専用タイプであったた
め、測定ヘッドはそのＡンドラーに付属している測定ヘ
ッド専用台、或いは測定ヘッドエレベータ−に取り付け
する必要があった。

このため、ハンドラーを交換する度に取り外し。

取り付は作業が必要で、この作業も大掛かりであった。

特に、最近のテスターは大型化されて来ているために測
定ヘッドは百数十ｋｇにもなり、上述の入替え作業は大
変困難に成ってきている。

本発明では、測定ヘッドの入替えを不要とするために発
明されたものであり、基本的には、測定ヘッドを独立し
て固定化し、それに接続するハンドラー自体を自在型ア
ーム構造にして、自由に且つ容易に移動して、測定ヘッ
ドにハンドラーの測定部が位置決め、ドツキング出来る
ようにしたものである。

の形状別による専用のハンドラーであったため。

品種交換の際に、別の専用ハンドラーと交換する必要が
あり、交換時の手間及びスペースの無駄。

さらには、設備コストが掛かる等の問題から、１台の装
置で多品種のＩＣがハンドリング出来る汎用性のあるハ
ンドラーが望まれている。

本発明は以上の問題点を解決し、測定ヘッドの交換、測
定ヘッドとハンドラー測定部の位置決めを容易にし、か
つ被測定物であるＩＣの品種変更にも汎用性を持たせる
ようにするために提供されたものである。

〔課題を解決するための手段〕

第１図は本発明の試験装置のハンドラーの原理説明図で
ある。

図において、１は被測定物、２は搬送部、３はローダ−
・アンローダー部、４は測定部、５は位置決め部、６は
加熱冷却部、１１は測定ヘッド、２１はアーム、２２は
搬送ベルト、２３はホルダー、３１はトレー、３２はピ
ックアップである。

本発明では、測定ヘッドの入替えを不要とするために発
明されたものであり、基本的には、測定ヘッドを独立し
て固定化し、それに接続するハンドラー自体を自在型ア
ーム構造にして、自由に且つ容易に移動して、測定ヘッ
ドにハンドラーの測定部が位置決め、ドツキング出来る
ようにしたものである。

即ち９本発明は、前述の問題点を解決するために、測定
へラド１１をフリーな状態に独立して設置し、アーム形
状をしたハンドラーの先端の測定部４が、測定へソド１
１に容易にドツキング出来るようにハンドラー自体を軽
量化し３前後、左右、上下及び傾き等の自由度を持つよ
うな機構にすることで解決できる。

また、従来のハンドラーは品種により、各々専用のハン
ドラーが必要であったが、ＩＣの搬送にはパッケージの
形状が異なっても、多品種のＩＣが搭載可能な構造のホ
ルダー２３を用いることにより汎用性を持たせて、容易
に品種の変更が可能となる様に工夫されたものである。

そのほか、ローダー・アンローダー部、コンタクトピッ
クアップユニット等も数点のパーツ部品を交換すること
により、多品種のＩＣの測定が可能となる。

以上のように２本発明の目的は、第１図に示すように、
測定ヘッド１１と搬送部２とローダ−・アンローダー部
３と測定部４と位置決め部５とを有し 該測定ヘッド１１は独立して移動並びに固定が自由にで
き、被測定物１を装填し、テスターに電気的に接続して
、該被測定物１の電気的特性を測定するものであり 該搬送部２は搬送ベルト２２とホルダー２３とからなり
、該搬送ベルト２２は外縁に複数個のホルダー２３を設
けて、逐次回転しながら、該被測定物ｌをローダー部、
測定部、アンローダー部と順次移送するものであり。

該ローダ−・アンローダー部３はトレー格納部と、該被
測定物１のピックアップ３２とからなり。

該トレー格納部にはその上に区画された領域に複数の該
被測定物１を収めたトレー３１を収納するものであり、
該ピックアップ３２は該トレー３１上の被測定物１をピ
ックアップして該ホルダー２３に装填。

或いは該ホルダー２３上の該被測定物１をピックアップ
して該トレー３１に戻すものであり。

該測定部４は該ホルダー２３より該被測定物１をピック
アップして、該測定ヘッド１１にセットし該被測定物１
の電気的特性終了後、ただちにピックアップして該ホル
ダー２３に戻すものであり。

該位置決め部５は一体化された該搬送部２．該測定部４
．該ローダ−・アンローダー部３からなるハンドラー部
本体を嵌挿して、該ハンドラー部本体を上下、左右或い
は回転方向に自由に移動して、該ハンドラー部先端の該
測定部４を該測定ヘッド１１に適合する位置に位置決め
することにより。

また、被測定物を加熱冷却して測定する温度試験が必要
な場合には、！送ベルト２２の一部を覆って、該被測定
物１の搬送中に、該被測定物１の加熱冷却を行う加熱冷
却部６を有することにより達成される。

［作用〕 上記のように２本発明、の装置のような機能を具備する
事により、テスターの測定ヘッドへの被測定物の取付け
は、ハンドラーの細長いアーム先端の測定部ソケットと
ドツキングするために視認性も良く、容易に、かつ、精
度良く行うことができる。

また、長いアームの内部をＩＣの加熱冷却のスペースと
して利用することが出来るため、ハンドラー全体のコン
パクト化に役立っており、トータル的に見た場合、非常
にシンプルで測定ヘッドに接続する際の自由度が高く、
操作の取扱易い装置構成ができる。

〔実施例］ 第２図は本発明の半導体試験装置のハンドラーの一実施
例の外観図、第３図は本発明の半導体試験装置のハンド
ラーの一実施例の要部露呈斜視図。

第４図は本発明のハンドラーの搬送部及び加熱冷却部の
詳細図、第５図は本発明のハンドラーの搬送部のホルダ
ー詳細図、第６図は本発明のハンドラーのローダニ・ア
ンローダー部の詳細図、第７図は本発明のハンドラーの
測定部とテスターの測定ヘッドをドツキングした状態の
詳細図、第８図は本発明のハンドラーの位置決め部及び
ハンドラー本体ベースの詳細図である。

図において、１は被測定物、２は搬送、部、３はローダ
ー・アンローダー部、４は測定部、５は位置決め部、６
は加熱冷却部、７はハンドラー本体ベース、１１は測定
ヘッド、１２は測定ヘッド専用台。

１３はソケット、２１はアーム、２２は搬送ベルト、２
３はホルダー、２４は溝、２５は枠、２６はリード挿入
型ＩＣ，２７は表面実装型ＩＣ，２８はモーター、３１
はトレー、３２はピンクアップ、３３はＸバー、３４は
Ｙバー、３５は操作ボタン、４１はコンタクトピックア
ップユニット、５１は上下エレベータ−１５２は上下用
丸ハンドル、５３はポールネジジヤツキ、５４は前後移
動用丸ハンドル、５５はラックピニオン、５６は左右移
動用丸ハンドル、５７はウオームギヤ、５８は回転調整
用丸ハンドル、５９はウオームギヤ、６１はプレート、
６２はシート状ヒーター、６３はガス冷却パイプである
。

以下、第２図〜第８図により１本発明の一実施例につい
て説明する。

第２図に外観図、第３図にテスターの測定ヘッドとのド
ツキング状態を示すように１本発明の一実施例のハンド
ラーは、被測定物１であるＩＣの搬送部２とローダ−・
アンローダー部３と測定部５、及び加熱冷却部６とから
構成されているハンドラー本体と１本体の搬送部を覆う
アーム２１の部分を嵌挿して、キャスター付のハンドラ
ー本体ベース７上の上下エレベータ−５１にＷｉ置され
た位置決め部４より構成されている。

そして、搬送部２は、第４図に詳細図で示すように、長
いアーム２１内に設置された搬送ベルト２２とホルダー
２３とからなり、この搬送ベルト２２は長いアーム状を
なし、かつ、外縁に複数個のホルダー７を設けて、ベル
ト駆動用のモーター２８により逐次回転しながら、ＩＣ
をローグ一部、測定部。

アンローダー部と順次移送するものである。

搬送ベルト２２は、実際上の機構としては、第６図〜第
７図に示すように、チェーン構造の搬送ベルト２２が測
定部４のコンタクトピックアップユニット４１からロー
ダ−アンローダー部３まで搬送ヘルド２２を駆動するモ
ーター２８により回転している。

また、このホルダー２３は、搬送ベルト２２の外側に等
間隔で取り付けられ、第５図に詳細図で示すように、各
種のリード挿入型ＩＣ２６の場合はリードを溝２４に挿
入し、また１表面実装型ＩＣ２７の場合には、水平リー
ドを枠２５で保持するなどの構造となっており、多品種
のものを共通して搭載が可能な構造となっており、汎用
性があり１品種の切替えも容易にできる。

次に、ローダ−・アンローダー部３は、第６図に詳細図
で示すように、トレー格納部と、ＩＣのピックアップ３
２とからなり、トレー格納部にはその上に区画された領
域に複数のＩＣを収めたトレー３１を多数個収納するも
のであり、ピックアップ３２は、χ及びＹ方向に移動す
るバー３３．３４上に設けられたＸＹ座標支持型ロボッ
トにより構成されている。

そして、未測定品収納トレー３１上の被測定物１である
ＩＣを真空吸着によりピックアップして搬送ベルト２２
に設けたホルダー２３に装填、或いはホルダー２３上の
ＩＣをピックアップして、良品、或いは不良品収容のト
レー３１に戻す構造となっている。

測定部５は第７図に詳細図で示すように、ホルダー２３
よりＩＣを９回転軸により２方向にＬ字型に往復運動す
るコンタクトピックアップユニット４１によりピックア
ップして、第２図に示すように。

独立して水平状態に設置固定されたテスターの測定ヘッ
ド１１上の測定用のソケット１３にセットし。

ＩＣの電気的特性試験終了後、ただちにピックアップし
てホルダー２３に戻すようになっている。

尚、測定中は、搬送ベルト２３は静止し、ピックアップ
毎にＩＣを順送りに回転して移送する。

ハンドラーの中央部に位置する位置決め部４は。

第２図に示すように、一体化された搬送部２．ローダ−
・アンローダー部３．測測定４．加熱冷却部６からなる
ハンドラー部本体のアーム状の搬送部２を嵌挿しており
、ハンドラー部本体を上下。

前後左右或いは回転方向に自在に移動して、ハンドラー
のアームの先端の測定部５をテスターの測定へラド１１
に適合する位置に位置決めし、ドツキングすることがで
きる。

この、アームを嵌挿して、ハンドラー部本体を前後左右
、上下３回転方向に動かす具体的なメカニズムは第８図
に詳細図で示すように、一つの例としては１前後方向は
丸ハンドル５４に付いているラックピニオン５５により
移動し１回転方向はアーム２１に付いているウオームギ
ア５９により回転し。

左右方向についても同様に、ウオームギア５７により移
動する。

また、上下方向については、上下エレベータ−５１に内
蔵しているポールネジジヤツキ５３により上下移動する
構造となっている。

このほか、丸ハンドルによるマニュアル方式ではなく、
パルスモータ−等を利用した電気式の自動ボタン操作を
採用することもできる。

従来のハンドラーにおいても、ＩＣ自体を加熱。

または冷却して測定分類する機能がついており。

本発明のハンドラーにおいても、温度試験が必要な場合
に対応できるように、同じような機能を付加した。従来
、ＩＣを加熱冷却する際に、−挙に加熱・冷却すること
は、ＩＣの機能上問題があるために９本発明では、この
点にも考慮を払い、徐々に加熱、または冷却して、測定
時に設定温度とするように、第４図に詳細図で示すよう
な１本発明の特徴である長いアーム型の搬送ベルト２２
の下部に加熱冷却部６を設けた。

ホルダー２３は熱伝導の良い金属でできており。

加熱の場合はシート状ヒーター６２をプレート６１の下
に貼り２通電により昇温しで、ＩＣを徐りに加熱する。

また、冷却の場合には、プレート６１下に冷却ガス、例
えば液体窒素、液体炭酸ガス等が通るガス冷却バイブロ
３を設置するか、アーム２１の内部自体に冷却ガスを通
して、徐々にＩＣを冷却する構造となっている。

〔発明の効果〕

以上説明した様に１本発明によれば、あらゆる自由度を
持ったハンドラー故に、さまざまな大きさ、或いは高さ
が違う測定ヘッドでも、自在にしかも簡単にかつ精度良
くドツキングが可能である。

また、多品種の半導体装置の搭載が可能なホルダーの形
状を採用することによって、汎用性があり、かつ、被測
定物の品種切替えが容易であるため、従来のハンドラー
の様な大型で、且つ専用化された装置の欠点を大幅に改
善することが出来る。

上述のように２本発明によるハンドラーは、非常にシン
プルで小型化され、かっ、汎用性を持っているために、
装置本体のコスト及び設置面積の効率化、取扱いの容易
さ、操作性等いずれの点においても従来のハンドラーに
比べて優れており。

稼働率等も含めてトータルコストの低減を図ることが出
来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図。 第２図は本発明の半導体試験装置のハンドラーの一実施
例の外観図。 第３図は本発明の半導体試験装置のハンドラーの一実施
例の要部露呈斜視図。 第４図は本発明のハンドラーの搬送部及び加熱〆冷却部
の詳細図。 第５図は本発明のハンドラーの搬送部のホルダー詳細図
。 第６図は本発明のハンドラーのローダー・アンローダー
部の詳細図。 第７図は本発明のハンドラーの測定部とテスターの測定
ヘッドをドツキングした状態の詳細図。 第８図は本発明のハンドラーの位置決め部及びハンドラ
ー本体ベースの詳細図。 第９図はＩＣパッケージ。 第１０図は従来例の説明図 である。 図において。 １は被測定物、　　　　２は搬送部。 ３はローダー・アンローダー部。 ４は測定部、　　　　　５は位置決め部。 ６は加熱冷却部 ７はハンドラー本体ベース。 １１は測定ヘッド、１２は測定ヘッド専用台。 １３はソケット、２１はアーム。 ２２は搬送ベルト、２３はホルダー ２４は溝、２５は枠。 ２６はリード挿入型ＩＣ。 ２７は表面実装型１ｃ、２８はモーター３１はトレー、
３２はピンクアンプ。 ３３はＸバー、３４はＹバ− ３５は操作ボタン。 ４１はコンタクトピックアップユニット。 ５１は上下エレベータ− ５２は上下用丸ハンドル。 ５３はポールネジジヤツキ。 ５４は前後移動用丸ハンドル。 ５５はラックピニオン。 ５６は左右移動用丸ハンドル。 ５７はウオームギヤ。 ５８は回転調整用丸ハンドル。 ５９はウオームギヤ、６１はプレート。 ６２はシート状ヒーター ６３はガス冷却パイプ 木亮明の原理説明図 ％１　凹 水解のハンドラーのローダ−・７シロ一ダ一部の詳ｌＢ
１１凶第　６　図 測定部 第 凹 一；＼１ ト ｌ Ｃパッケージ 第９図（での２） 従来例の説明図 第１０囚

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）被測定物（１）の搬送部（２）とローダー・アンロ
   ーダー部（３）と測定部（４）と位置決め部（５）とを
   有し、該搬送部（２）は該被測定物の搬送ベルト（２２
   ）とホルダー（２３）とからなり、該搬送ベルト（２２
   ）は長いアーム状をなし、かつ、外縁に複数個のホルダ
   ー（２３）を設けて、逐次回転しながら、該被測定物（
   １）をローダー部、測定部、アンローダー部と順次移送
   するものであり、 該ローダー・アンローダー部（３）はトレー格納部と、
   該被測定物（１）のピックアップ（３２）とからなり、
   該トレー格納部にはその上に区画された領域に複数の該
   被測定物（１）を収めたトレー（３１）を収納するもの
   であり、該ピックアップ（３２）は該トレー（３１）上
   の被測定物（１）をピックアップして該ホルダー（２３
   ）に装填、或いは該ホルダー（２３）上の該被測定物（
   １）をピックアップして該トレー（３１）に戻すもので
   あり、 該測定部（４）は該ホルダー（２３）より該被測定物（
   １）をピックアップして、該測定ヘッド（１１）にセッ
   トし、該被測定物（１）の電気的特性試験終了後、ただ
   ちにピックアップして該ホルダー（２３）に戻すもので
   あり、 該位置決め部（５）は一体化された該搬送部（２）、該
   ローダー・アンローダー部（３）、該測定部（５）から
   なるハンドラー部本体を嵌挿して、該ハンドラー部本体
   を上下、前後左右或いは回転方向に自在に移動して、該
   ハンドラー部先端の該測定部（４）をテスターの測定ヘ
   ッド（１１）に適合する位置に位置決めし、ドッキング
   することを特徴とする半導体試験装置のハンドラー。 ２）アーム状の搬送ベルト（２２）の一部を覆って、該
   被測定物（１）の搬送中に、該被測定物（１）の加熱冷
   却を行う加熱冷却部（６）を有することを特徴とする請
   求項１記載の半導体試験装置のハンドラー。 ３）搬送ベルト（２２）に設けたホルダー（２３）は多
   種の形状の該被測定物（１）の搭載が可能な構造を有す
   ることを特徴とする請求項１或いは２記載の半導体試験
   装置のハンドラー。