JP6954799B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
IDT電極6及び反射器7,8の電極材料:Al
IDT電極6の電極指の対数:100対
IDT電極6のデューティ:0.45
反射器7,8の電極指の本数:20対
IDT電極6及び反射器7,8の膜厚:0.05λ
λ=2μmとした。
2,2A…積層型基板
3…高音速支持基板
3A…支持基板
3B…高音速材料層
4…低音速材料層
5…圧電膜
6…IDT電極
7,8…反射器
11,12…第1,第2のバスバー
13,14…第1,第2の電極指
13a,13b,14a,14b…太幅部
26…IDT電極
31,35…開口
32,36…第1,第2の細バスバー部
33,37…第1,第2の外側バスバー部
34,38…連結部
41…IDT電極
42,43…第1,第2のバスバー
44,45…第1,第2の電極指
51,51A…IDT電極
52,53…第1,第2の電極指
54,54A…第1の誘電体膜
61…IDT電極
62…金属膜
71…弾性波装置
72…第2の誘電体膜
91…弾性波装置
Claims (11)
- 圧電膜と、
前記圧電膜を伝搬する弾性波の音速よりも低速のバルク波が伝搬する低音速材料層と、 前記圧電膜を伝搬する弾性波の音速よりも高速のバルク波が伝搬する高音速材料層とを有し、前記高音速材料層と前記圧電膜との間に前記低音速材料層が配置されており、逆速度面が凸である積層型基板と、
前記圧電膜上に設けられたIDT電極とを備え、
前記IDT電極が、対向し合っている第1及び第2のバスバーと、前記第1のバスバーから前記第2のバスバー側に延ばされた複数本の第1の電極指と、前記第2のバスバーから前記第1のバスバーに向かって延ばされた複数本の第2の電極指とを有し、
前記IDT電極の電極指ピッチで定まる波長をλとしたときに、
前記第1の電極指の先端と前記第2のバスバーとの間の第1のギャップ、及び前記第2の電極指の先端と前記第1のバスバーとの間の第2のギャップの前記第1及び前記第2の電極指が延びる方向に沿う寸法であるギャップ長が、0.22λ以下である、弾性波装置。 - 前記IDT電極において、前記第1の電極指と前記第2の電極指とが弾性波伝搬方向に重なり合っている交差領域が、前記第1及び前記第2の電極指の延びる方向中央における中央領域と、前記中央領域の前記第1及び前記第2の電極指の延びる方向両外側に配置された第1及び第2のエッジ領域とを有し、前記第1及び前記第2のエッジ領域の音速が、前記中央領域の音速よりも低くされている、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び前記第2のエッジ領域において、前記第1及び前記第2の電極指の弾性波伝搬方向に沿う寸法である幅が、前記中央領域における前記第1及び前記第2の電極指の幅よりも太くされている、請求項2に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び前記第2のバスバーが、弾性波伝搬方向に沿って延びる複数の開口を有し、前記第1及び前記第2のバスバーにおける、前記複数の開口の前記交差領域側の部分が、それぞれ第1及び第2の細バスバー部とされており、前記第1及び前記第2のバスバーにおける、前記複数の開口の前記交差領域とは反対側の部分がそれぞれ第1及び第2の外側バスバー部とされており、前記第1及び前記第2の細バスバー部と、前記第1及び前記第2の外側バスバー部とが、前記複数の開口間に配置された連結部により連結されている、請求項2または3に記載の弾性波装置。
- 前記圧電膜がLiTaO3からなり、厚みが3.5λ以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記高音速材料層が、高音速材料からなる支持基板である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記高音速材料層を支持している支持基板をさらに備える、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び前記第2のエッジ領域に質量付加膜として第1の誘電体膜が積層されている、請求項3または4に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び前記第2の電極指の前記第1及び前記第2のエッジ領域に位置している部分に質量付加膜として金属膜が積層されている、請求項3または4に記載の弾性波装置。
- 前記第1の誘電体膜が、前記第1及び前記第2のバスバー、及び前記第1及び前記第2のギャップにおいても積層されている、請求項8に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極上に周波数調整膜として第2の誘電体膜が積層されており、前記第2の誘電体膜を介して、前記第1の誘電体膜が積層されている、請求項10に記載の弾性波装置。
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