JPWO2009090714A1 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(発明の効果)
2…LiNbO3基板
2a…上面
2b…溝
3…IDT
4…SiO2膜
5,6…反射器
図2及び図3は、IDT電極3及び反射器5,6を構成する金属材料として、Ptを用いた場合のLiNbO3基板のオイラー角のθと、反射係数及び電気機械結合係数k2との関係を示す図である。図2及び図3において、Ptからなる電極の表面波の波長λで規格してなる規格化膜厚は、0.04または0.08とした。また、図6〜図9の場合と同様に、上記実施形態に従って、SiO2膜4が形成されている場合の結果を実線で、SiO2膜4が形成されていない構造についての結果を破線で示した。
図4及び図5は、図2及び図3と同様にオイラー角のθと、反射係数及び電気機械結合係数k2との関係を示す図である。図4及び図5においては、IDT3及び反射器5,6を構成する金属材料としてのWの規格化膜厚は、0.02、0.04または0.08とした。さらに、図4及び図5においても、実線でSiO2膜4が形成されている場合の結果を実線で、SiO2膜4が形成されていない場合の結果を破線で示した。
上記表8では、SiO2膜が形成されていない場合に、電気機械結合係数k2が0.2以上となる電極膜厚と、オイラー角のθの範囲を、電極材料ごとに示した。
図10(a),(b)〜図17(a),(b)は、金属材料としてPtを用い、SiO2膜が種々の膜厚で形成されている場合のオイラー角のθと、反射係数及び電気機械結合係数k2との関係をそれぞれ示す図である。
図18(a),(b)〜図25(a),(b)は、金属材料としてWを用い、SiO2膜が種々の膜厚で形成されている場合のオイラー角のθと、反射係数及び電気機械結合係数k2との関係をそれぞれ示す図である。
上記のように、IDT電極を形成するにあたり、LiNbO3基板の上面に設けられた溝に金属材料を充填していた。この場合、上記金属材料は、上述した金属に限らず、これらの金属の少なくとも1種を主体とする合金であってもよい。
Claims (4)
- LiNbO3基板からなり、上面に複数本の溝が形成されている圧電基板と、
前記圧電基板の上面の複数本の溝に充填された金属材料からなる複数本の電極指を有するIDTとを備え、
前記金属材料がPtもしくはWまたはこれらの金属の少なくとも1種を主体とする合金からなることを特徴とする、弾性表面波装置。 - 前記IDT及び前記圧電基板を覆っている、SiO2あるいはSiO2を主成分とする無機材料からなる誘電体膜をさらに備える、請求項1に記載の弾性表面波装置。
- 前記弾性表面波の波長をλとした場合、前記IDTのλで規格化してなる規格化膜厚と、前記誘電体膜としてのSiO2膜のλで規格化してなる規格化膜厚と、前記LiNbO3基板のオイラー角(0°±10°,θ,0°±10°)のθとが、下記の表2〜表4または表5〜表7に示す組合せの1種である請求項3に記載の弾性表面波装置。
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