JP6179594B2 - 弾性波装置 - Google Patents
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Description
図5は、上記太幅部13a,13b,14a,14bにおける弾性表面波伝播方向に沿う寸法Xと、中央領域の音速V1と太幅部の音速V2との音速差ΔV’との関係を示す図である。図5から明らかなように、上記太幅部13a,13b,14a,14bの弾性表面波伝播方向に沿う寸法が大きくなるほどΔV’は大きくすることができる。
2…圧電基板
3…IDT電極
4,5…反射器
11…バスバー
11A…内側バスバー部
11B…中央バスバー部
11C…外側バスバー部
12…バスバー
12A…内側バスバー部
12B…中央バスバー部
12C…外側バスバー部
13,14…電極指
13a〜13d…太幅部
14a〜14d…太幅部
13e,14e…突出部
15…開口部
16…連結部
16a…電極ストリップ
V1〜V6…領域
V11〜V14…領域
1011…第1のバスバー
Claims (11)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられたIDT電極とを備え、
前記IDT電極が、第1のバスバーと、前記第1のバスバーと隔てられて配置された第2のバスバーと、前記第1のバスバーに基端が電気的に接続されており、先端が前記第2のバスバーに向かって延ばされている複数本の第1の電極指と、前記第2のバスバーに基端が接続されており、先端が前記第1のバスバーに向かって延ばされている複数本の第2の電極指とを有し、
前記第1及び第2の電極指の延びる方向と直交する方向を幅方向としたときに、前記第1及び第2の電極指の少なくとも一方において、前記第1及び第2の電極指の長さ方向中央に比べて幅方向寸法が大きくされている太幅部が、前記第1の電極指と前記第2の電極指とが弾性波伝搬方向において対向している部分において、中央領域よりも前記基端側および前記先端側のうちの少なくとも一方の側に設けられており、
前記第1及び第2のバスバーの少なくとも一方が前記第1または第2のバスバーの長さ方向に沿って分離配置された複数の開口部を有し、
前記第1及び第2のバスバーが、前記開口部よりも前記第1又は第2の電極指側に位置しており、かつ前記第1及び第2のバスバーの長さ方向に延びる内側バスバー部と、前記開口部が設けられている中央バスバー部と、前記内側バスバー部と、前記中央バスバー部を挟んで反対側に位置している外側バスバー部とを有し、
前記内側バスバー部は、前記中央領域の音速よりも低音速である領域を構成している、弾性波装置。 - 前記太幅部が設けられた領域の音速と、前記第1の電極指の先端と前記第2のバスバーとの間の領域及び前記第2の電極指の先端と前記第1のバスバーとの間の領域の音速と、前記内側バスバー部が設けられた領域の音速との平均値は、前記中央領域の音速よりも低音速である、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記太幅部は、前記中央領域の音速よりも低音速である領域を構成している、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記内側バスバー部が、弾性波伝搬方向に延びる帯状の形状を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1の電極指及び第2の電極指の双方に前記太幅部が設けられており、
前記内側バスバー部は、前記太幅部の音速よりも低音速である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。 - 前記太幅部が、前記第1及び第2の電極指の少なくとも一方においてそれぞれ複数設けられている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極が交叉幅重み付けが施されていない正規型のIDT電極である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1及び第2の電極指の先端と、前記第1及び第2の電極指の先端と対向している前記第2,第1のバスバーとの間の距離が、弾性表面波の波長をλとしたときに、0.5λ以下とされている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第1の電極指が、電極指の延びる方向において隔てられた複数の前記太幅部を有し、前記第2の電極指が、電極指の延びる方向において隔てられた複数の前記太幅部を有し、前記第1の電極指の複数の太幅部と、前記第2の電極指の複数の太幅部とが、前記第1の電極指と第2の電極指とが対向している部分において、電極指の延びる方向において交互に配置されている、請求項1〜8のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記第2の電極指において、電極指の延びる方向において隣り合っている太幅部間に、前記第1の電極指に設けられている一つの前記太幅部が位置しており、前記第1の電極指の延びる方向において隣り合っている太幅部間に、前記第2の電極指の一つの太幅部が位置している、請求項9に記載の弾性波装置。
- 前記第1の電極指の複数の前記太幅部と、前記第2の電極指の複数の前記太幅部とが、
該第1の電極指と該第2の電極指とが弾性波伝搬方向において隣り合っている部分において互いに間挿し合うように配置されている、請求項9に記載の弾性波装置。
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