JP6281639B2 - 弾性波装置 - Google Patents

Description

本発明は、圧電基板上にＩＤＴ電極が形成されている弾性波装置に関し、特に、ピストンモードを利用した弾性波装置に関する。

従来、いわゆるピストンモードを利用した弾性表面波装置が知られている。例えば下記の特許文献１や特許文献２では、ＩＤＴ電極の電極指が延びる電極指方向中央の両側に、低音速部が設けられており、低音速部の電極指方向両側に高音速部が設けられている。低音速部は、電極指の幅を広げたり、あるいは電極指に加速を低下させる質量付加膜を積層したりすることにより形成されている。高音速部は、一方のバスバーに接続される電極指のみが弾性波伝搬方向に沿って配置されている部分である。すなわち、交差幅領域の電極指方向外側に高音速部が設けられている。特許文献１では、高音速部の幅、すなわち電極指方向寸法は、少なくとも１λ以上、好ましくは３λ以上とされている。

特開２０１１−１０１３５０号公報 特表２０１３−５１８４５５号公報

弾性表面波共振子における交差幅は、少なくとも１０λ以上とされている。なお、λは弾性表面波の波長である。前述したように、特許文献１では、高音速部の幅は、片側で少なくとも１λ以上とされている。従って、交差幅領域の電極指方向両側に、このような幅の高音速部を設けなければならない。従って、ＩＤＴ電極において、バスバーより内側の面積が、大きくなりがちであった。従って、小型化を進めることが困難となる。

本発明の目的は、ピストンモードを利用しており、小型化を進めることができる弾性波装置を提供することにある。

本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、該圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極とを備え、上記ＩＤＴ電極が複数本の第１の電極指と、上記複数本の第１の電極指と間挿し合っている複数本の第２の電極指とを有し、上記複数本の第１，第２の電極指の延びる電極指方向における中央領域の上記電極指方向両側に、該中央領域よりも伝搬する弾性波の音速が低い低音速部が設けられており、上記低音速部の上記電極指方向外側に、該中央領域よりも伝搬する弾性波の音速が高い高音速部が設けられており、上記高音速部の上記電極指方向寸法を高音速部の幅としたときに、上記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向端部における上記高音速部の幅が、上記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央における上記高音速部の幅よりも相対的に狭くされている。

本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、上記ＩＤＴ電極の上記弾性波伝搬方向中央において、上記高音速部の幅が一定の部分が存在する。

本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、上記ＩＤＴ電極の上記弾性波伝搬方向中央から、上記弾性波伝搬方向端部に向かって上記高音速部の幅が次第に小さくなっている。

本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、上記ＩＤＴ電極の上記弾性波伝搬方向端部における上記高音速部の幅が、上記ＩＤＴ電極の前記弾性波伝搬方向中央における上記高音速部の幅の、少なくとも０．３倍である。

本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、上記低音速部が、上記中央領域に比べ、電極指の幅が太い太幅部により形成されている。

本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、上記低音速部が、上記第１，第２の電極指上に、質量付加膜を設けることにより形成されている。

本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、上記ＩＤＴ電極において、上記複数本の第１の電極指に第１のバスバーが電気的に接続されており、上記複数本の第２の電極指に第２のバスバーが電気的に接続されており、上記第１，第２の電極指が弾性波伝搬方向において重なりあっている交差領域と上記第１のバスバーとの間の領域及び上記交差領域と上記第２のバスバーとの間の領域が、それぞれ、上記高音速部である。

本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、上記高音速部がバスバーに開口部を設けることにより形成されている。

本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、上記バスバーが、上記開口が設けられている部分よりも交差幅方向中央側に位置している内側バスバー部を有し、上記低音速部として、該内側バスバー部が含まれる。

本発明に係る弾性波装置によれば、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向端部における高音速部の幅がＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央における高音速部の幅よりも狭くされているため、その分だけ、ＩＤＴ電極の面積を小さくすることができる。従って、弾性波装置の小型化を進めることができる。

図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態における弾性波装置におけるＩＤＴ電極を示す模式的平面図であり、図１（ｂ）は本発明の第１の実施形態の弾性波装置の略図的平面図である。 図２は、本発明の第1の実施形態のＩＤＴ電極の各音速部分の配置を示す略図的平面図である。 図３は、従来のピストンモードを利用した弾性波装置のＩＤＴ電極の要部を示す模式的平面図である。 図４は、従来の弾性波装置における弾性波伝搬方向に沿う部分と振幅との関係を示す図である。 図５は、従来の弾性波装置におけるＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央及びＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向一端近傍における、電極指方向の各部分に沿う振幅の変化を示す図である。 図６は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置のＩＤＴ電極を示す模式的平面図である。 図７は、本発明の第1の実施形態の変形例を説明するためのＩＤＴ電極の各音速部分の配置を示す略図的平面図である。 図８は、本発明の第1の実施形態の他の変形例を説明するためのＩＤＴ電極の各音速部分の配置を示す略図的平面図である。 図９は、第１の実施形態のさらに他の変形例を説明するためのＩＤＴ電極の模式的部分切欠き平面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置のＩＤＴ電極を示す模式的平面図であり、図１（ｂ）は第１の実施形態の弾性波装置の略図的平面図である。

図１（ｂ）に示すように、弾性波装置１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、ＬｉＴａＯ_３またはＬｉＮｂＯ_３などの圧電単結晶からなる。圧電基板２は、圧電セラミックスからなるものであってもよい。

圧電基板２上に、略図的にその位置を示す、ＩＤＴ電極３が設けられている。ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向両側に反射器４Ａ，４Ｂが設けられている。図１（ｂ）では、反射器４Ａ，４Ｂについても、その設けられている位置のみを略図的に示すこととする。

図１（ａ）は、ＩＤＴ電極３を拡大して示す模式的平面図である。ＩＤＴ電極３は、第１のバスバー５と、第２のバスバー６とを有する。第１のバスバー５と第２のバスバー６とは、弾性波伝搬方向と直交する電極指方向において対向している。

第１のバスバー５に、複数本の第１の電極指７が接続されている。第１の電極指７は、第２のバスバー６側に向かって延ばされている。他方、第２のバスバー６には、複数本の第２の電極指８が接続されている。第２の電極指８は、第１のバスバー５側に向かって延ばされている。複数本の第１の電極指７と、複数本の第２の電極指８とは平行に延ばされている。この第１の電極指７及び第２の電極指８が延びる方向を電極指方向とする。弾性波伝搬方向は、電極指方向と直交する方向となる。

複数本の第１の電極指７と複数本の第２の電極指８とが弾性波伝搬方向から見たときに重なり合っている部分が交差領域である。この交差領域の電極指方向寸法が交差幅となる。

交差領域において、隣り合う電極指に電圧が印加されると、圧電効果により弾性波が励振される。ところで、ＩＤＴ電極３では、第１の電極指７の先端に太幅部７ａが設けられている。第２の電極指８の先端にも太幅部８ａが設けられている。また、弾性波伝搬方向において、太幅部８ａと重なる領域において、第１の電極指７に太幅部７ｂが設けられている。同様に、第２の電極指８にも太幅部７ａと弾性波伝搬方向において重なり合う位置に太幅部８ｂが設けられている。太幅部７ａ，７ｂは、第１の電極指７の残りの部分に比べて、幅、すなわち弾性波伝搬方向に沿う寸法が大きくされている。太幅部８ａ，８ｂも、第２の電極指８の残りの部分に比べて幅が大きくされている。太幅部７ａ，７ｂの電極指方向寸法と、太幅部８ａ，８ｂの電極指方向寸法とは、特に限定されないが、好ましくは等しくされている。太幅部７ａ，７ｂの幅及び太幅部８ａ，８ｂの幅も、特に限定されるわけではないが、好ましくは等しくされている。

太幅部７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂが設けられている領域では、弾性波の伝搬速度が遅くなる。すなわち、交差領域において、中央領域としての、図１（ａ）で示すＩＤＴ中央部３Ａが設けられており、ＩＤＴ中央部３Ａの電極指方向両側に、低音速部３Ｂ１，３Ｂ２が設けられることになる。この交差領域において、ＩＤＴ中央部３Ａを伝搬する弾性波の速度に比べ、低音速部３Ｂ１，３Ｂ２を伝搬する弾性波の速度は低くなる。

そして、低音速部３Ｂ１，３Ｂ２の電極指方向外側には、高音速部３Ｃ１，３Ｃ２が設けられることになる。高音速部３Ｃ１では、複数本の第１の電極指７のみが弾性波伝搬方向において存在する。高音速部３Ｃ２においては、複数本の第２の電極指８のみが弾性波伝搬方向において存在することとなる。

よって、図２に略図的に示すように、ＩＤＴ電極３では、上記ＩＤＴ中央部３Ａの電極指方向両側に低音速部３Ｂ１，３Ｂ２が設けられており、さらにその外側に高音速部３Ｃ１，３Ｃ２が設けられている。よって、特許文献１や特許文献２に記載の弾性波装置と同様に、ピストンモードを利用して、横モードによるスプリアスを小さくすることが可能となる。

加えて、本実施形態では、ＩＤＴ電極３の高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の幅、すなわち電極指方向寸法が、ＩＤＴ電極３における弾性波伝搬方向において均一ではない。より具体的には、ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向中央からＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向両端に行くにつれて、高音速部３Ｃ１の幅が次第に小さくなっている。高音速部３Ｃ１を例にとると、第１のバスバー５の内側側縁５ａが、ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向中央から弾性波伝搬方向端部に行くにつれて、第２のバスバー６側に近付くように傾斜されている。そのため、高音速部３Ｃ１の幅が、ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向中央から外側に行くにつれて、次第に狭くされている。高音速部３Ｃ２も同様である。第２のバスバー６の内側側縁６ａが、弾性波伝搬方向中央から弾性波伝搬方向端部に向かうにつれて、第１のバスバー５側に近付くように傾斜している。従って、高音速部３Ｃ２もまた、その幅が、弾性波伝搬方向中央から端部に向かうにつれて狭くなっている。

従って、第１，第２のバスバー５，６の外側側縁５ｂ，６ｂを第１，第２のバスバー５，６の内側側縁５ａ，６ａと平行に配置することにより、ＩＤＴ電極３の電極指方向寸法を小さくすることが可能とされている。より詳細には、ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向中央に比べ、弾性波伝搬方向両端側において、ＩＤＴ電極３の電極指方向寸法を小さくすることができる。従って、ＩＤＴ電極３の小型化、または圧電基板２上における電極形成スペースの低減を図ることができ、ひいては弾性波装置１の小型化を図ることができる。

なお、図１（ｂ）に示した反射器４Ａ，４Ｂは、周知のグレーティング反射器により形成される。この反射器４Ａ，４ＢのＩＤＴ電極３側端部の電極指方向寸法もまた、ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向端部の電極指方向寸法に応じて短くすることができる。従って、弾性波装置１の小型化を図ることができる。

なお、上記ＩＤＴ電極３、反射器４Ａ，４Ｂは、適宜の金属もしくは合金により形成することができる。また、複数の金属膜を積層した積層金属膜によりＩＤＴ電極３や反射器４Ａ，４Ｂが設けられてもよい。

本実施形態の弾性波装置１では上記のように、ピストンモードを利用しており、しかも弾性波装置の小型化を図ることができる。加えて、上記のように、高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の幅をＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向端部において狭くしたとしても、損失は劣化しない。これを、以下においてより詳細に説明する。

図３は、従来のピストンモードを利用した弾性波装置のＩＤＴ電極の要部を示す模式的平面図である。従来のピストンモードを利用したＩＤＴ電極１０１では、第１，第２のバスバー１０２，１０３が備えられている。第１のバスバー１０２の内側側縁１０２ａに複数本の第１の電極指１０４が接続されている。第２のバスバー１０３の内側側縁１０３ａに複数本の第２の電極指１０５が接続されている。第１の電極指１０４の先端には太幅部１０４ａが設けられている。第２の電極指１０５の先端には太幅部１０５ａが設けられている。ここでは、第１，第２のバスバー１０２，１０３の内側側縁１０２ａ，１０３ａは、弾性波伝搬方向に平行に延ばされている。よって、図３に示すように、ＩＤＴ中央部１０１Ａの電極指方向両側に低音速部１０１Ｂ１，１０１Ｂ２が設けられている。さらに、低音速部１０１Ｂ１の外側に高音速部１０１Ｃ１が、低音速部１０１Ｂ２の電極指方向外側に高音速部１０１Ｃ２が設けられている。よって、上記実施形態と同様にピストンモードを利用することが可能とされている。ここでは、第１，第２のバスバー１０２，１０３の内側側縁１０２ａ，１０３ａが弾性波伝搬方向と平行とされている。よって、高音速部１０１Ｃ１及び高音速部１０１Ｃ２の電極指方向寸法である幅が、弾性波伝搬方向において一定とされている。

図４は、ＩＤＴ電極１０１の両側に反射器が設けられている従来の弾性波装置における弾性波伝搬方向に沿う部分と振幅との関係を示す図である。図４から明らかなように、ＩＤＴ電極１０１の中央においてもっとも振幅が大きく、反射器に向かうにつれて振幅が小さくなっていくことがわかる。すなわち、ＩＤＴ電極１０１の弾性波伝搬方向端部では振幅が十分に小さいことがわかる。

他方、図３に示したＩＤＴ電極１０１の両側に反射器が配置されている、従来の弾性波装置における電極指方向の各部分に沿う振幅の変化を図５に示す。図５の実線は図３の一点鎖線Ｘ１−Ｘ１、すなわちＩＤＴ電極１０１の弾性波伝搬方向における中心を通る部分における振幅の変化を示す。また破線は、図３の一点鎖線Ｘ２−Ｘ２に沿う部分における振幅の変化を示す。すなわち、ＩＤＴ電極１０１の弾性波伝搬方向端部における振幅の変化を示す。

図５から明らかなように、弾性波伝搬方向中央及び弾性波伝搬方向端部のいずれにおいても、ＩＤＴ中央部１０１Ａにおいて振幅が大きく、低音速部１０１Ｂ１，１０１Ｂ２において外側に行くにつれて減衰し、高音速部１０１Ｃ１，１０１Ｃ２の電極指方向外側において振幅がほぼ０となるように減衰していくことがわかる。また、図５の実線と破線を比較すれば明らかなように、ＩＤＴ電極１０１の弾性波伝搬方向中央に比べ、弾性波伝搬方向端部では、振幅が小さいことがわかる。

従って、ＩＤＴ電極１０１の弾性波伝搬方向端部では、振幅が十分に小さいため、高音速部１０１Ｃ１，１０１Ｃ２の幅を小さくしたとしても、損失が劣化し難いことがわかる。言い換えれば、図５の実線で示すＩＤＴ電極１０１の弾性波伝搬方向中央では、高音速部の幅を幅Ｂとすることにより高音速部において振幅をほぼ０とすることができる。これに対して、破線で示すＩＤＴ電極１０１の弾性波伝搬方向端部では、高音速部１０１Ｃ１，１０１Ｃ２の幅を、幅Ａと小さくしたとしても、振幅を高音速部１０１Ｃ１，１０１Ｃ２の外側端でほぼ０とすることができる。

よって、上記のように、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向端部においては、振幅が相対的に小さくなるため、高音速部の幅を小さくしたとしても損失を大きくすることなく、面積を小さくし得ることがわかる。

すなわち、図１（ａ）に示した本実施形態で用いられているＩＤＴ電極３では、弾性波伝搬方向中央に比べ、弾性波伝搬方向端部における高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の幅が小さくされているが、上記の理由により、損失を大きくすることなく、小型化を図ることができる。

加えて、高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の幅を小さくする部分では、複数本の第１の電極指７や複数本の第２の電極指８の高音速部３Ｃ１，３Ｃ２における寸法が短くなる。従って、それによって電極指の抵抗が小さくなるため、それによっても損失を小さくすることができる。なお、高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の電極指方向寸法はＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向端部において小さいことが好ましい。もっとも、高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の最少幅は、最大幅の少なくとも０．３倍であることが望ましい。高音速部の幅が０．３倍未満であれば、高音速部外側端での弾性波の振幅を十分に小さくすることができず、弾性波がバスバー方向に染み出してデバイスのロスが劣化することがある。以下、具体的な事例により説明する。

前述のように、図３に示したＩＤＴ電極１０１の両側に反射器が配置されている構造において、図４のように、弾性波伝搬方向に沿う部分と振幅との関係を求めた。その結果、図５に示すように、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向端部における、ＩＤＴ電極の交差幅方向中央部の振幅は、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央における、ＩＤＴ電極の交差幅方向中央部の振幅の約０．２倍であることがわかった。なお、ＩＤＴ電極の電極指の対数は１５０対、反射器の電極指の本数は２０本、圧電基板は１２８°Ｙ−ＸＬｉＮｂＯ_３、ＩＤＴ電極は上からＴｉ（０．００５λ）／ＡｌＣｕ（０．０７λ）／Ｔｉ（０．００５λ）／Ｐｔ（０．０１７λ）／ＮｉＣｒ（０．００５λ）、の構成とした。なお、（）内は厚みを示し、λはＩＤＴ電極の電極指のピッチで定まる波長である。また、ＩＤＴ電極を覆うようにＳｉＯ_２膜を設け、厚みは０．３λ、とした。

ここで、高音速部内における弾性波の振幅は、交差幅方向外側に向かって指数関数的に減衰する。高音速部の外側での振幅が、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央部における高音速部内側の端での振幅の１／１０以下になっていれば、デバイスのロスに影響がないと考えられるため、高音速部の幅は少なくとも、この値となる幅が必要である。ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央部において、高音速部外側での振幅が、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央部における高音速部内側の端での振幅の１／１０になるための高音速部幅Ｂと、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向端部において、高音速部外側での振幅が、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央部における高音速部内側の端での振幅の１／１０になるための高音速部幅Ａの比Ａ／Ｂは、約０．３と求められる。

よって、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向端部における高音速部の幅は、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央における高音速部の幅の、０．３倍以上であればよいことがわかる。

図６は、本発明の第２の実施形態に係る弾性波装置で用いられるＩＤＴ電極の模式的平面図である。ＩＤＴ電極１３では、高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の幅が、弾性波伝搬方向において一定となる部分が存在する。より具体的には、第１のバスバー１５の内側側縁１５ａは、弾性波伝搬方向中央において、弾性波伝搬方向と平行に延びる部分を有し、この平行に延びる部分の両側に、第２のバスバー１６側に向かって次第に近づく傾斜部分とを有する。第２のバスバー１６の内側側縁１６ａも同様である。従って、高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の幅は、ＩＤＴ電極１３の弾性波伝搬方向中央において、ある長さに渡り、一定であり、その弾性波伝搬方向両側において、弾性波伝搬方向端部に向かうにつれて狭くなっている。

なお、バスバー１５，１６の外側側縁１５ｂ，１６ｂもまた、同様に、弾性波伝搬方向中央において弾性波伝搬方向に平行な部分を有する。この平行な部分の両側が、弾性波伝搬方向端部に向かうにつれて、第２のバスバー１６または第１のバスバー１５側に近付くように傾斜している。

第２の実施形態は、上記のように高音速部３Ｃ１，３Ｃ２の幅が、弾性波伝搬方向において一定の部分を有することを除いては、第１の実施形態と同様である。従って、第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様に、損失を大きくすることなく、小型化を図ることができる。また、電極指抵抗を小さくすることにより、損失を低くすることも可能とされている。

第２の実施形態から明らかなように、本発明においては、高音速部の幅は、弾性波伝搬方向において一定の部分が存在してもよい。また、高音速部の幅は、連続的に変化せずともよく、階段状に変化してもよい。

さらに第１の実施形態では、ＩＤＴ電極３の両側に反射器４Ａ，４Ｂが設けられている弾性波共振子について説明したが、弾性波フィルタなどの他の弾性波装置であってもよい。すなわち、ＩＤＴ電極を１以上含む適宜の弾性波装置に本発明を適用することができる。

また、第１の実施形態では、第１，第２の電極指７，８の先端に太幅部７ａ，８ａを設けることにより、低音速部３Ｂ１，３Ｂ２を形成していた。これに代えて、第１，第２の電極指の先端部分に質量付加膜として誘電体膜を積層すること等により低音速部を形成してもよい。あるいは、低音速部間のＩＤＴ中央部３Ａにおいて、音速を高めるように作用する誘電体膜等を積層することにより、あるいは該音速を高める膜上にＩＤＴ中央部を構成している電極指部分を形成することにより、ＩＤＴ中央部３Ａを高速化してもよい。その場合には、低音速部３Ｂ１，３Ｂ２は、相対的に低音速となり、低音速部３Ｂ１，３Ｂ２を構成することになる。

上記のように、ＩＤＴ中央部３Ａの両側に低音速部を設ける構成は、従来より知られている様々なピストンモードを利用した弾性波装置と同様に変形することができる。

また、高音速部の幅は、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向全域に渡って弾性波の振幅が十分に減衰するだけの幅が確保されていれば、必ずしもＩＤＴ電極において交差幅方向一方側と交差幅方向反対側とが対称でなくてもよい。例えば図７に示す変形例のように、一方の高音速部３Ｃ１と他方の高音速部３Ｃ３とが非対称であってもよい。また、図８に示す変形例のように、一方の高音速部３Ｃ１において重み付けを施し、他方の高音速部３Ｃ４では重み付けを施さなくともよい。

さらに、図９は、第１の実施形態のさらに他の変形例におけるＩＤＴ電極の模式的部分切欠き平面図である。本変形例のＩＤＴ電極２１では、バスバー２３は、開口部２３ａを有する。開口部２３ａの外側が、外側バスバー部２３ｂであり、内側が内側バスバー部２３ｃとされている。高音速部が、バスバー２３に設けられた開口部２３ａにより形成されている。また、低音速部は、開口部よりも交差幅方向内側に位置している内側バスバー部２３ｃを含むように形成されている。このように、本発明においては、高音速部及び低音速部は様々な形態で形成することができる。

本発明に係る弾性波装置において、使用される弾性波は、弾性表面波や弾性境界波、板波などの適宜の弾性波を用いることができる。

１…弾性波装置
２…圧電基板
３…ＩＤＴ電極
３Ａ…ＩＤＴ中央部
３Ｂ１，３Ｂ２…低音速部
３Ｃ１，３Ｃ２，３Ｃ３，３Ｃ４…高音速部
４Ａ，４Ｂ…反射器
５…第１のバスバー
５ａ，６ａ…内側側縁
５ｂ，６ｂ…外側側縁
６…第２のバスバー
７，８…第１、第２の電極指
７ａ，７ｂ，８ａ，８ｂ…太幅部
１３…ＩＤＴ電極
１５…第１のバスバー
１５ａ，１６ａ…内側側縁
１５ｂ，１６ｂ…外側側縁
１６…第２のバスバー
２１…ＩＤＴ電極
２３…バスバー
２３ａ…開口部
２３ｂ…外側バスバー部
２３ｃ…内側バスバー部
１０１…ＩＤＴ電極
１０１Ａ…ＩＤＴ中央部
１０１Ｂ…低音速部
１０１Ｃ…高音速部
１０２，１０３…第１，第２のバスバー
１０２ａ，１０３ａ…内側側縁
１０４，１０５…第１，第２の電極指
１０４ａ，１０５ａ…太幅部

Claims (9)

1. 圧電基板と、該圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極とを備え、
   前記ＩＤＴ電極が複数本の第１の電極指と、前記複数本の第１の電極指と間挿し合っている複数本の第２の電極指とを有し、
   前記複数本の第１，第２の電極指の延びる電極指方向における中央領域の前記電極指方向両側に、該中央領域よりも伝搬する弾性波の音速が低い低音速部が設けられており、前記低音速部の前記電極指方向外側に、該中央領域よりも伝搬する弾性波の音速が高い高音速部が設けられており、
   前記高音速部の前記電極指方向寸法を高音速部の幅としたときに、前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向端部における前記高音速部の幅が、前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向中央における前記高音速部の幅よりも相対的に狭くされている、弾性波装置。
2. 前記ＩＤＴ電極の前記弾性波伝搬方向中央において、前記高音速部の幅が一定の部分が存在する、請求項１に記載の弾性波装置。
3. 前記ＩＤＴ電極の前記弾性波伝搬方向中央から、前記弾性波伝搬方向端部に向かって前記高音速部の幅が次第に小さくなっている、請求項１に記載の弾性波装置。
4. 前記ＩＤＴ電極の前記弾性波伝搬方向端部における前記高音速部の幅が、前記ＩＤＴ電極の前記弾性波伝搬方向中央における前記高音速部の幅の、少なくとも０．３倍である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
5. 前記低音速部が、前記中央領域に比べ、電極指の幅が太い太幅部により形成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
6. 前記低音速部が、前記第１，第２の電極指上に、質量付加膜を設けることにより形成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
7. 前記ＩＤＴ電極において、前記複数本の第１の電極指に第１のバスバーが電気的に接続されており、前記複数本の第２の電極指に第２のバスバーが電気的に接続されており、前記第１，第２の電極指が弾性波伝搬方向において重なりあっている交差領域と前記第１のバスバーとの間の領域及び前記交差領域と前記第２のバスバーとの間の領域が、それぞれ、前記高音速部である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
8. 前記高音速部がバスバーに開口部を設けることにより形成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
9. 前記バスバーが、前記開口部が設けられている部分よりも交差幅方向中央側に位置している内側バスバー部を有し、前記低音速部として、該内側バスバー部が含まれる、請求項８に記載の弾性波装置。

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