JP5515054B2 - 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の水晶ユニットの製造方法の第2の態様は、第1の態様において、第1溝の溝幅が0.04mmより小さくなるように、第1溝を形成する工程を含む水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第3の態様は、第1の態様または第2の態様において、前記2次高調波モード振動のフィガーオブメリットM 2 が30より小さくなる関係を備えた前記音叉型水晶振動子を形成する工程を含む水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第4の態様は、第1の態様から第3の態様のいずれか1つの態様において、前記音叉型水晶振動子は3次高調波モード振動を備え、前記基本波モード振動の等価直列抵抗R 1 が前記3次高調波モード振動の等価直列抵抗R 3 より小さくなる関係を備えた前記音叉型水晶振動子を形成する工程と、第2溝の溝幅が0.04mmより小さくなるように、第2溝を形成する工程と、を含む水晶ユニットの製造方法である。
(1)音叉腕または音叉腕と音叉基部に複数個の溝を設け、且つ、それらの側面に極性の異なる電極が配置されているので、電界が垂直に働く。その結果、電気機械変換効率が良くなるので、等価直列抵抗R1が小さく、品質係数Q値の高い音叉形状の屈曲水晶振動子を具えた水晶ユニットと水晶発振器が得られる。
(2)音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が高調波モード振動のフイガーオブメリットMnより大きい振動子を具えて水晶発振器は構成され、更に、増幅回路の基本波モード振動の増幅率α1と高調波モード振動の増幅率αnとの比が帰還回路の高調波モード振動の帰還率βnと基本波モード振動の帰還率β1との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α1と基本波モード振動の帰還率β1の積が1より大きくなるように水晶発振器は構成されているので、負荷容量が小さくても、水晶発振器の出力信号は、基本波モード振動の周波数が出力として得られると共に、消費電流の少ない水晶発振器が実現できる。
(3)音叉形状と溝をフォトリソグラフィ法と化学的エッチング法によって形成でき、量産性に優れ、更に1枚の水晶ウエハ上に多数個の振動子を一度にバッチ処理にて形成できるので、安価な水晶振動子が得られる。と同時に、それを具えた安価な水晶ユニットと水晶発振器が実現できる。
(4)基本波モード振動のフイガーオブメリットM1が高調波モード振動のフイガーオブメリットMnより大きい振動子を具えて水晶発振器は構成されるので、出力信号が基本波モード振動の周波数が得られると共に、高い周波数安定性を有する水晶発振器が実現できる。即ち、高い時間精度を有する水晶発振器を得る事ができる。
9 帰還回路
V1 入力電圧
V2 出力電圧
20,26,46,47 音叉腕
W2 溝幅
W 音叉腕の腕幅
W1,W3 音叉腕の部分幅
W4 音叉腕の間隔
W7 音叉腕の中立線を含む部分幅
l1 溝の長さ
l2 音叉基部の長さ
l 音叉形状の屈曲水晶振動子の全長
t 音叉腕又は音叉腕と音叉基部の厚み
t1 溝の厚み
Claims (5)
- 音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第1音叉腕と第2音叉腕とを備えて構成され、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の少なくとも一面の中立線の両側に第1溝と第2溝が形成された音叉型水晶振動子と、蓋と、ケースとを備えた水晶ユニットの製造方法で、
前記音叉型水晶振動子の基本波モード振動の等価直列抵抗R1が、前記音叉型水晶振動子の2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2より小さくなるように、前記音叉型水晶振動子の全長の寸法と前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の少なくとも一面の中立線の両側に形成された第1溝と第2溝の各々の長さの寸法とを決定する工程と、
第1溝と第2溝の幅方向の距離を部分幅W 7 とすると、前記部分幅W 7 が0.05mmより小さく、かつ、第1溝と第2溝の各々の厚みt 1 と音叉腕の厚みtとの比(t 1 /t)が0.79より小さくなるように、第1溝と第2溝を形成する工程と、
前記基本波モード振動のフィガーオブメリットM 1 が前記2次高調波モード振動のフィガーオブメリットM 2 より大きくなる関係を備えた前記音叉型水晶振動子を形成する工程と、を含むことを特徴とする水晶ユニットの製造方法。 - 請求項1において、第1溝の溝幅が0.04mmより小さくなるように、第1溝を形成する工程を含むことを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 請求項1または請求項2において、前記2次高調波モード振動のフィガーオブメリットM 2 が30より小さくなる関係を備えた前記音叉型水晶振動子を形成する工程を含むことを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 請求項1から請求項3のいずれか1項において、前記音叉型水晶振動子は3次高調波モード振動を備え、前記基本波モード振動の等価直列抵抗R 1 が前記3次高調波モード振動の等価直列抵抗R 3 より小さくなる関係を備えた前記音叉型水晶振動子を形成する工程と、第2溝の溝幅が0.04mmより小さくなるように、第2溝を形成する工程と、を含むことを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の水晶ユニットの製造方法を備えた水晶発振器の製造方法で、
前記部分幅W 7 が0.05mmより小さく、かつ、第1溝と第2溝の各々の厚みt 1 と音叉腕の厚みtとの比(t 1 /t)が0.79より小さくなるように、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各音叉腕に形成された第1溝と第2溝の各溝を化学的エッチング法により形成する工程と、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と前記音叉基部とを備えた音叉形状の面の上に金属膜を形成する工程と、その金属膜の上にレジストを形成する工程と、第1電極端子を形成するために、前記第1音叉腕の第1溝と第2溝の各溝の電極を前記第2音叉腕の側面の電極に接続し、かつ、第2電極端子を形成するために、前記第2音叉腕の第1溝と第2溝の各溝の電極を前記第1音叉腕の側面の電極に接続する工程と、前記音叉型水晶振 動子は32.768kHzの基準周波数を備え、前記音叉型水晶振動子の発振周波数が、前記基準周波数に対して周波数偏差が−9000ppmから+5000ppmの範囲内にあるように発振周波数を調整する工程と、前記音叉型水晶振動子をケースの固定部に固定する工程と、前記音叉型水晶振動子の発振周波数が、前記基準周波数に対して周波数偏差が−100ppmから+100ppmの範囲内にあるように発振周波数を調整する工程と、蓋を前記ケースに真空中で接続する工程と、前記音叉型水晶振動子の第1電極端子と第2電極端子の各電極端子を増幅器と抵抗とコンデンサーとに電気的に接続する工程とを、含み、前記工程の順になされることを特徴とする水晶発振器の製造方法。
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JPS55138916A (en) * | 1979-04-18 | 1980-10-30 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Composite crystal resonator |
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JPS5824884A (ja) * | 1982-07-28 | 1983-02-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 水晶時計 |
JP2756559B2 (ja) * | 1987-11-11 | 1998-05-25 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 圧電振動子の製造方法 |
JPH0382210A (ja) * | 1989-08-25 | 1991-04-08 | Seiko Electronic Components Ltd | 水晶振動子の重量物付加方法 |
JPH03252207A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-11 | Nec Corp | オーバトーン水晶発振回路 |
JP3542403B2 (ja) * | 1995-04-19 | 2004-07-14 | 東洋通信機株式会社 | 圧電振動子及び発振器 |
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JP3551907B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2004-08-11 | セイコーエプソン株式会社 | クロック信号供給装置およびその制御方法 |
JP2002261575A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-09-13 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
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