JP2000223992A - 圧電振動子及びその製造方法 - Google Patents
圧電振動子及びその製造方法Info
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- JP2000223992A JP2000223992A JP11023077A JP2307799A JP2000223992A JP 2000223992 A JP2000223992 A JP 2000223992A JP 11023077 A JP11023077 A JP 11023077A JP 2307799 A JP2307799 A JP 2307799A JP 2000223992 A JP2000223992 A JP 2000223992A
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- piezoelectric
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電振動子の振動特性を向上し、且つ効率よ
く振動させることのできる圧電振動子及びその製造方法
を提供する。 【解決手段】 圧電振動片１１の振動部の幅方向両端部
近傍には、当該圧電振動片１１の長手方向に亘って延び
る細溝１９を表裏両面にそれぞれ２本有し、励振電極膜
１６の何れかの極が細溝１９の内面上に形成され且つ内
面に対向する側面に励振電極膜１６の他極を形成する。
く振動させることのできる圧電振動子及びその製造方法
を提供する。 【解決手段】 圧電振動片１１の振動部の幅方向両端部
近傍には、当該圧電振動片１１の長手方向に亘って延び
る細溝１９を表裏両面にそれぞれ２本有し、励振電極膜
１６の何れかの極が細溝１９の内面上に形成され且つ内
面に対向する側面に励振電極膜１６の他極を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話及び情報
処理装置に用いる圧電振動子及びその製造方法に関す
る。
処理装置に用いる圧電振動子及びその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧電振動子では、一般的に、実際
の振動部となる圧電振動片５１は、図７に示すように、
音叉型を有しており、その上下面及び両側面にはそれぞ
れ独立して励振電極膜５２Ａ及び５２Ｂが形成されてい
る。そして、これら上下面の励振電極膜５２Ａと両側面
の励振電極膜５２Ｂとの間に電界を印加することによ
り、圧電振動片５１を振動させている。
の振動部となる圧電振動片５１は、図７に示すように、
音叉型を有しており、その上下面及び両側面にはそれぞ
れ独立して励振電極膜５２Ａ及び５２Ｂが形成されてい
る。そして、これら上下面の励振電極膜５２Ａと両側面
の励振電極膜５２Ｂとの間に電界を印加することによ
り、圧電振動片５１を振動させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来型の圧電振動子では、上下面の励振電極膜５
２Ａと側面の励振電極膜５２Ｂとの間の電気力線の方向
が結晶軸に対して平行ではないため、電界効率が悪いと
いう問題点があった。この問題を解決するために、例え
ば、図８に示すように、圧電振動片の上下面の略中央部
に溝部５３を設け、この溝部５３の内面上に上下面の励
振電極膜５２を形成した構造のものが知られているが、
この構造では、励振電極膜５２間の距離、すなわち溝部
と側面との距離が離れてしまうため、効率が悪いという
問題がある。また、振動部分に深い溝を有するので、縦
振動子を連結した状態となり、圧電振動子の振動特性を
失ってしまうという問題がある。さらに、溝部を別工程
でエッチングする必要があり、製造効率が悪いという問
題もある。
ような従来型の圧電振動子では、上下面の励振電極膜５
２Ａと側面の励振電極膜５２Ｂとの間の電気力線の方向
が結晶軸に対して平行ではないため、電界効率が悪いと
いう問題点があった。この問題を解決するために、例え
ば、図８に示すように、圧電振動片の上下面の略中央部
に溝部５３を設け、この溝部５３の内面上に上下面の励
振電極膜５２を形成した構造のものが知られているが、
この構造では、励振電極膜５２間の距離、すなわち溝部
と側面との距離が離れてしまうため、効率が悪いという
問題がある。また、振動部分に深い溝を有するので、縦
振動子を連結した状態となり、圧電振動子の振動特性を
失ってしまうという問題がある。さらに、溝部を別工程
でエッチングする必要があり、製造効率が悪いという問
題もある。
【０００４】本発明は、このような事情に鑑み、圧電振
動子の振動特性を向上し、且つ効率よく振動させること
のできる圧電振動子及びその製造方法を提供することを
課題とする。
動子の振動特性を向上し、且つ効率よく振動させること
のできる圧電振動子及びその製造方法を提供することを
課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、一端部が容器に固定されると共に当
該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動
片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると
共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを
具備する圧電振動子において、前記圧電振動片の振動部
の幅方向両端部近傍には、当該圧電振動片の長手方向に
亘って延びる細溝を表裏両面にそれぞれ２本有し、前記
励振電極膜の何れかの極が前記細溝の内面上に形成され
且つ前記内面に対向する側面に前記励振電極膜の他極が
形成されていることを特徴とする圧電振動子にある。
明の第１の態様は、一端部が容器に固定されると共に当
該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動
片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると
共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを
具備する圧電振動子において、前記圧電振動片の振動部
の幅方向両端部近傍には、当該圧電振動片の長手方向に
亘って延びる細溝を表裏両面にそれぞれ２本有し、前記
励振電極膜の何れかの極が前記細溝の内面上に形成され
且つ前記内面に対向する側面に前記励振電極膜の他極が
形成されていることを特徴とする圧電振動子にある。
【０００６】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記細溝の深さが、前記圧電振動片の厚さの２５％
以下であることを特徴とする圧電振動子にある。本発明
の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記細溝
が前記圧電振動片の全体パターニングのエッチングで同
時に形成されたものであることを特徴とする圧電振動子
にある。
て、前記細溝の深さが、前記圧電振動片の厚さの２５％
以下であることを特徴とする圧電振動子にある。本発明
の第３の態様は、第１又は２の態様において、前記細溝
が前記圧電振動片の全体パターニングのエッチングで同
時に形成されたものであることを特徴とする圧電振動子
にある。
【０００７】本発明の第４の態様は、圧電振動片とその
基端部に一体的に接続されて当該圧電振動片の周囲を囲
む枠状部とを有する圧電振動板と、該圧電振動板の両面
側に接合され前記圧電振動片の振動を妨げることなく該
圧電振動片を気密封止する一対の蓋体とを有する圧電振
動子の製造方法において、前記圧電振動板をマスクパタ
ーンを用いてパターニングして前記圧電振動片と該圧電
振動片の表裏両面の幅方向両側にそれぞれ前記圧電振動
片の長手方向に沿って延びる細溝とを同時に形成する工
程と、前記圧電振動片を振動させるための励振電極膜と
なる金属膜を前記細溝の形状に沿って前記圧電振動片の
全周に成膜する工程と、前記金属膜をパターニングして
前記圧電振動片の表裏両面及び両側面にそれぞれ独立し
て前記励振電極膜をパターニングする工程とを有するこ
とを特徴とする圧電振動子の製造方法にある。
基端部に一体的に接続されて当該圧電振動片の周囲を囲
む枠状部とを有する圧電振動板と、該圧電振動板の両面
側に接合され前記圧電振動片の振動を妨げることなく該
圧電振動片を気密封止する一対の蓋体とを有する圧電振
動子の製造方法において、前記圧電振動板をマスクパタ
ーンを用いてパターニングして前記圧電振動片と該圧電
振動片の表裏両面の幅方向両側にそれぞれ前記圧電振動
片の長手方向に沿って延びる細溝とを同時に形成する工
程と、前記圧電振動片を振動させるための励振電極膜と
なる金属膜を前記細溝の形状に沿って前記圧電振動片の
全周に成膜する工程と、前記金属膜をパターニングして
前記圧電振動片の表裏両面及び両側面にそれぞれ独立し
て前記励振電極膜をパターニングする工程とを有するこ
とを特徴とする圧電振動子の製造方法にある。
【０００８】かかる本発明では、電界効率の低下の原因
となる電気力線の方向と結晶軸とずれがなくなり、振動
効率が向上する。
となる電気力線の方向と結晶軸とずれがなくなり、振動
効率が向上する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明を詳
細に説明する。図１は、圧電振動子の一例を示す分解斜
視図であり、図２は、その断面図である。本実施形態の
圧電振動子は、例えば、水晶（ＳｉＯ2）からなる音叉
型の水晶振動片を有する水晶振動子であり、図１に示す
ように、水晶振動片１１を有する水晶振動板１２と、こ
の水晶振動板１２の両面に接合されて水晶振動片１１を
振動可能な状態で気密封止する一対の蓋体１４とを具備
する。
細に説明する。図１は、圧電振動子の一例を示す分解斜
視図であり、図２は、その断面図である。本実施形態の
圧電振動子は、例えば、水晶（ＳｉＯ2）からなる音叉
型の水晶振動片を有する水晶振動子であり、図１に示す
ように、水晶振動片１１を有する水晶振動板１２と、こ
の水晶振動板１２の両面に接合されて水晶振動片１１を
振動可能な状態で気密封止する一対の蓋体１４とを具備
する。
【００１０】また、本実施形態の水晶振動板１２は、音
叉型の水晶振動片１１と、その基端部と一体的に接続さ
れ水晶振動片１１の周囲を囲む枠状部１５とを有する。
一対の蓋体１４は、例えば、ソーダライムガラス等で形
成され、それぞれ、水晶振動片１１に対応する領域に水
晶振動片１１の振動を妨げない程度の空間を画成する凹
部１３を有する。
叉型の水晶振動片１１と、その基端部と一体的に接続さ
れ水晶振動片１１の周囲を囲む枠状部１５とを有する。
一対の蓋体１４は、例えば、ソーダライムガラス等で形
成され、それぞれ、水晶振動片１１に対応する領域に水
晶振動片１１の振動を妨げない程度の空間を画成する凹
部１３を有する。
【００１１】また、図２に示すように、水晶振動板１２
には、水晶振動片１１を振動させるためにその表裏両面
及び側面に励振電極膜１６が形成されると共に、枠状部
１２に対応する領域に励振電極膜１６と同一材料からな
り、蓋体１４との実際の接合部となる接合膜１７が設け
られている。この励振電極膜１６は、水晶振動板１２の
端部まで延設されて接合膜１７と接続されている。本実
施形態では、励振電極膜１６の一方の極である電極１６
ａは、端子接続用接合膜１７ａを介してリード電極１８
ａに接続され、また、他方の極となる電極１６ｂは、水
晶振動片１１の側面上に設けられた電極を介して端子接
続用接合膜１７ｂまで延設され、リード電極１８ｂに接
続される。なお、水晶振動板１２の両面の接合膜１７の
少なくとも一部は、両面においてそれぞれ凹部１３を取
り囲むように形成されており、接合後は凹部１３が気密
に封止されるようになっている。
には、水晶振動片１１を振動させるためにその表裏両面
及び側面に励振電極膜１６が形成されると共に、枠状部
１２に対応する領域に励振電極膜１６と同一材料からな
り、蓋体１４との実際の接合部となる接合膜１７が設け
られている。この励振電極膜１６は、水晶振動板１２の
端部まで延設されて接合膜１７と接続されている。本実
施形態では、励振電極膜１６の一方の極である電極１６
ａは、端子接続用接合膜１７ａを介してリード電極１８
ａに接続され、また、他方の極となる電極１６ｂは、水
晶振動片１１の側面上に設けられた電極を介して端子接
続用接合膜１７ｂまで延設され、リード電極１８ｂに接
続される。なお、水晶振動板１２の両面の接合膜１７の
少なくとも一部は、両面においてそれぞれ凹部１３を取
り囲むように形成されており、接合後は凹部１３が気密
に封止されるようになっている。
【００１２】また、本実施形態では、水晶振動片１１の
上下面の幅方向両端部近傍に、それぞれ、水晶振動片１
１の長手方向に亘って、例えば、数μｍの幅の細溝１９
が設けられている。また、この細溝１９の深さは、水晶
振動片の振動特性に悪影響を及ぼさない程度とすること
が好ましく、例えば、本実施形態では、水晶振動片１１
の厚さの２５％以下としている。
上下面の幅方向両端部近傍に、それぞれ、水晶振動片１
１の長手方向に亘って、例えば、数μｍの幅の細溝１９
が設けられている。また、この細溝１９の深さは、水晶
振動片の振動特性に悪影響を及ぼさない程度とすること
が好ましく、例えば、本実施形態では、水晶振動片１１
の厚さの２５％以下としている。
【００１３】このような水晶振動片１１の上下面及び両
側面には、例えば、本実施形態では、クロム（Ｃｒ）か
らなる励振電極膜１６が、それぞれ独立して形成されて
おり、上下面の励振電極膜１６は、細溝１９内にも設け
られている。このような水晶振動子１０では、外部電極
から励振電極膜１６に電圧が供給されると圧電振動片１
１の上下面の励振電極膜１６と側面の励振電極膜１６と
の間に電界が生じるが、その際、本実施形態では、水晶
振動片１１の上下面の励振電極１６の下部に設けられた
細溝１９内の励振電極膜１６ｃと側面の励振電極膜１６
との間に電気力線と平行に電界が生じ、効率よく水晶振
動片１１を駆動することができる。これにより、水晶振
動子１０を小型化しても抵抗が小さいため、振動特性を
向上することができる。また、励振電極膜１６の面積が
増大するため、容量が増加し、例えば、立ち上がり時間
が短縮される等、振動の安定化を図ることができる。さ
らには、駆動電圧が小さくなるため、消費電力が抑えら
れる。
側面には、例えば、本実施形態では、クロム（Ｃｒ）か
らなる励振電極膜１６が、それぞれ独立して形成されて
おり、上下面の励振電極膜１６は、細溝１９内にも設け
られている。このような水晶振動子１０では、外部電極
から励振電極膜１６に電圧が供給されると圧電振動片１
１の上下面の励振電極膜１６と側面の励振電極膜１６と
の間に電界が生じるが、その際、本実施形態では、水晶
振動片１１の上下面の励振電極１６の下部に設けられた
細溝１９内の励振電極膜１６ｃと側面の励振電極膜１６
との間に電気力線と平行に電界が生じ、効率よく水晶振
動片１１を駆動することができる。これにより、水晶振
動子１０を小型化しても抵抗が小さいため、振動特性を
向上することができる。また、励振電極膜１６の面積が
増大するため、容量が増加し、例えば、立ち上がり時間
が短縮される等、振動の安定化を図ることができる。さ
らには、駆動電圧が小さくなるため、消費電力が抑えら
れる。
【００１４】以下、このような水晶振動子の製造方法に
ついて説明する。なお、図３は、本発明の水晶振動子の
製造工程を示す断面図であり、図４は、概略図である。
まず、図３（ａ）に示すように、水晶振動板１２となる
水晶ウェハ上に所定のマスクパターン４０を用いてエッ
チングすることにより、実際の駆動部である水晶振動片
１１を形成すると共に、水晶振動片１１の上下両面にそ
れぞれ２本の細溝１９を形成する。
ついて説明する。なお、図３は、本発明の水晶振動子の
製造工程を示す断面図であり、図４は、概略図である。
まず、図３（ａ）に示すように、水晶振動板１２となる
水晶ウェハ上に所定のマスクパターン４０を用いてエッ
チングすることにより、実際の駆動部である水晶振動片
１１を形成すると共に、水晶振動片１１の上下両面にそ
れぞれ２本の細溝１９を形成する。
【００１５】ここで、図５に示すように、マスクパター
ン４０の水晶振動片１１を形成するための開口部４１の
幅Ｗ１は、例えば、約１００〜２００μｍ程度であるの
に対し、細溝１９を形成するための開口部４２の幅Ｗ２
は、例えば、４〜５μｍと非常に細い。そのため、この
マスクパターン４０でエッチングを行うと、図６に示す
ように、開口部４１では、エッチングレートの速いＺ面
４３と約３８ーの傾斜面であるＲ面４４とでエッチング
が進んでいくが、エッチングが進むにつれてＺ面の割合
が大きくなるため、エッチングレートは加速されてい
く。これに対し、開口部４２では、幅が狭いため、エッ
チングレートの遅い約３８ーの傾斜面であるＲ面４４の
みでエッチングが進んでいく。したがって、このエッチ
ングレートの差を考慮して、細溝１９の幅を決定するこ
とにより、水晶振動片１１のパターニングを通常通り行
うだけで、所望の深さの細溝１９を容易に形成すること
ができる。
ン４０の水晶振動片１１を形成するための開口部４１の
幅Ｗ１は、例えば、約１００〜２００μｍ程度であるの
に対し、細溝１９を形成するための開口部４２の幅Ｗ２
は、例えば、４〜５μｍと非常に細い。そのため、この
マスクパターン４０でエッチングを行うと、図６に示す
ように、開口部４１では、エッチングレートの速いＺ面
４３と約３８ーの傾斜面であるＲ面４４とでエッチング
が進んでいくが、エッチングが進むにつれてＺ面の割合
が大きくなるため、エッチングレートは加速されてい
く。これに対し、開口部４２では、幅が狭いため、エッ
チングレートの遅い約３８ーの傾斜面であるＲ面４４の
みでエッチングが進んでいく。したがって、このエッチ
ングレートの差を考慮して、細溝１９の幅を決定するこ
とにより、水晶振動片１１のパターニングを通常通り行
うだけで、所望の深さの細溝１９を容易に形成すること
ができる。
【００１６】次いで、図３（ｂ）に示すように、水晶振
動板１２の両側表面及び側面に、それぞれ略全面に亘っ
て金属膜２０をスパッタリング等によって成膜する。こ
のとき、水晶振動片１１の細溝１９内にも確実に金属膜
２０を形成する。この金属膜２０は、水晶振動片１１を
振動させるための励振電極膜１６及び蓋体１４との実際
の接合部となる接合膜１７を構成する膜であり、その材
質は特に限定されず、例えば、アルミニウム及びクロム
合金等を用いることが好ましく、本実施形態では、クロ
ム合金を用いている。
動板１２の両側表面及び側面に、それぞれ略全面に亘っ
て金属膜２０をスパッタリング等によって成膜する。こ
のとき、水晶振動片１１の細溝１９内にも確実に金属膜
２０を形成する。この金属膜２０は、水晶振動片１１を
振動させるための励振電極膜１６及び蓋体１４との実際
の接合部となる接合膜１７を構成する膜であり、その材
質は特に限定されず、例えば、アルミニウム及びクロム
合金等を用いることが好ましく、本実施形態では、クロ
ム合金を用いている。
【００１７】次に、図３（ｃ）に示すように、金属膜２
０をパターニングして、水晶振動片１１に対応する領域
に励振電極膜１６を形成すると共に、その周囲の枠状部
１５に対応する部分に全周に亘って接合膜１７を形成す
る。次いで、図４に示すように、水晶振動板１２の両面
側に蓋体１４を接合する。本実施形態では、不活性ガス
中、又は真空中で水晶振動板１２の両面側に、接合膜１
７を介してそれぞれ蓋体１４を陽極接合によって接合
し、一対の蓋体１４の凹部１３内に水晶振動片１１を気
密封止した。
０をパターニングして、水晶振動片１１に対応する領域
に励振電極膜１６を形成すると共に、その周囲の枠状部
１５に対応する部分に全周に亘って接合膜１７を形成す
る。次いで、図４に示すように、水晶振動板１２の両面
側に蓋体１４を接合する。本実施形態では、不活性ガス
中、又は真空中で水晶振動板１２の両面側に、接合膜１
７を介してそれぞれ蓋体１４を陽極接合によって接合
し、一対の蓋体１４の凹部１３内に水晶振動片１１を気
密封止した。
【００１８】このとき、各部材をガラスの軟化点よりも
低い、例えば、１００℃〜１５０℃に加熱すると共に、
水晶振動板１２の各面の接合膜１７と蓋体１４とに、接
合膜１７側が陽極となるように直流電源３０によってそ
れぞれ３〜５ｋＶの直流電圧を印加することが好まし
い。例えば、本実施形態では、各部材を約１２０℃に加
熱すると共に約３．５ｋＶの直流電圧を印加した。
低い、例えば、１００℃〜１５０℃に加熱すると共に、
水晶振動板１２の各面の接合膜１７と蓋体１４とに、接
合膜１７側が陽極となるように直流電源３０によってそ
れぞれ３〜５ｋＶの直流電圧を印加することが好まし
い。例えば、本実施形態では、各部材を約１２０℃に加
熱すると共に約３．５ｋＶの直流電圧を印加した。
【００１９】このように、上述のような条件で接合膜１
７を介して水晶振動板１２と蓋体１４とを陽極接合する
ことにより、接合膜１７と蓋体１４とが良好に接合され
る。すなわち、水晶振動板１２と蓋体１４とが、接合膜
１７を介して良好に接合され、割れ等が発生することが
ない。ここで、水晶振動板１２の材質である水晶の熱膨
張率は、１３．７ｐｐｍ／℃であり、蓋体１４として使
用したソーダライムガラスの熱膨張率は、８．５ｐｐｍ
／℃である。すなわち、これらの熱膨張率の差は、５．
２ｐｐｍ／℃と比較的大きいものであり、これらを従来
から知られている条件で陽極接合するのは難しい。しか
しながら、本実施形態のように、接合温度を約１００〜
１５０℃と低温として且つ約３〜５ｋＶと比較的高い直
流電圧を印加して陽極接合することにより、熱膨張率の
影響を極めて少なく抑えられ、熱膨張率の差が比較的大
きい部材同士であっても良好に接合することができる。
７を介して水晶振動板１２と蓋体１４とを陽極接合する
ことにより、接合膜１７と蓋体１４とが良好に接合され
る。すなわち、水晶振動板１２と蓋体１４とが、接合膜
１７を介して良好に接合され、割れ等が発生することが
ない。ここで、水晶振動板１２の材質である水晶の熱膨
張率は、１３．７ｐｐｍ／℃であり、蓋体１４として使
用したソーダライムガラスの熱膨張率は、８．５ｐｐｍ
／℃である。すなわち、これらの熱膨張率の差は、５．
２ｐｐｍ／℃と比較的大きいものであり、これらを従来
から知られている条件で陽極接合するのは難しい。しか
しながら、本実施形態のように、接合温度を約１００〜
１５０℃と低温として且つ約３〜５ｋＶと比較的高い直
流電圧を印加して陽極接合することにより、熱膨張率の
影響を極めて少なく抑えられ、熱膨張率の差が比較的大
きい部材同士であっても良好に接合することができる。
【００２０】なお、実際には、複数の水晶振動片１１等
が形成された水晶ウェハと、これらの水晶振動片１１に
対応して複数の凹部１３が形成されて複数の蓋体１４と
なる蓋体形成基板とを接合した後、所定の位置で切断す
ることにより個別の水晶振動子となる。
が形成された水晶ウェハと、これらの水晶振動片１１に
対応して複数の凹部１３が形成されて複数の蓋体１４と
なる蓋体形成基板とを接合した後、所定の位置で切断す
ることにより個別の水晶振動子となる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、水晶振
動片の上下面の励振電極膜の下部にそれぞれ溝を２本形
成するようにした。これにより、上下面の励振電極膜と
側面の励振電極膜との間の電気力線の方向を結晶軸に対
して平行にできるので、電界効率を高めることができ
る。したがって、水晶振動子を小型化しても抵抗が小さ
いため、振動特性を向上することができる。また、励振
電極膜１７の面積が増大するため、容量が増加し、例え
ば、立ち上がり時間が短縮される等、振動の安定化を図
ることができる。さらには、駆動電圧が小さくなるた
め、消費電力が抑えられる。
動片の上下面の励振電極膜の下部にそれぞれ溝を２本形
成するようにした。これにより、上下面の励振電極膜と
側面の励振電極膜との間の電気力線の方向を結晶軸に対
して平行にできるので、電界効率を高めることができ
る。したがって、水晶振動子を小型化しても抵抗が小さ
いため、振動特性を向上することができる。また、励振
電極膜１７の面積が増大するため、容量が増加し、例え
ば、立ち上がり時間が短縮される等、振動の安定化を図
ることができる。さらには、駆動電圧が小さくなるた
め、消費電力が抑えられる。
【００２２】また、このような溝の深さは、Ｒ面による
エッチングレートの差を利用し、溝の幅により容易に制
御することができる。
エッチングレートの差を利用し、溝の幅により容易に制
御することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る水晶振動子の分解斜
視図である。
視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る水晶振動子の断面図
である。
である。
【図３】本発明の一実施形態に係る水晶振動子の製造工
程を示す断面図である。
程を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る水晶振動子の製造工
程を示す概略図である。
程を示す概略図である。
【図５】水晶振動板をエッチングするためのマスクパタ
ーンを示す平面図である。
ーンを示す平面図である。
【図６】水晶振動板のエッチング状態を説明する模式図
である。
である。
【図７】従来技術に係る水晶振動子の要部を示す平面図
及び断面図である。
及び断面図である。
【図８】従来技術に係る水晶振動子の要部を示す断面図
である。
である。
１０ 水晶振動子 １１ 水晶振動片 １２ 水晶振動板 １３ 凹部 １４ 蓋体 １５ 枠状部 １６ 励振電極膜 １７ 接合膜 １８ リード電極 １９ 細溝 ４０ マスクパターン
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月１日（１９９９．３．１）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、水晶振
動片の上下面の励振電極膜の下部にそれぞれ溝を２本形
成するようにした。これにより、上下面の励振電極膜と
側面の励振電極膜との間の電気力線の方向を結晶軸に対
して平行にできるので、電界効率を高めることができ
る。したがって、水晶振動子を小型化しても抵抗が小さ
いため、振動特性を向上することができる。また、立ち
上がり時間が短縮される等、振動の安定化を図ることが
できる。さらには、駆動電圧が小さくなるため、消費電
力が押さえられる。
動片の上下面の励振電極膜の下部にそれぞれ溝を２本形
成するようにした。これにより、上下面の励振電極膜と
側面の励振電極膜との間の電気力線の方向を結晶軸に対
して平行にできるので、電界効率を高めることができ
る。したがって、水晶振動子を小型化しても抵抗が小さ
いため、振動特性を向上することができる。また、立ち
上がり時間が短縮される等、振動の安定化を図ることが
できる。さらには、駆動電圧が小さくなるため、消費電
力が押さえられる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5J108 BB02 CC06 CC09 CC11 EE03 EE04 EE07 FF02 GG03 GG13 GG17 GG20 GG21 KK01 MM11 MM14
Claims (4)
- 【請求項１】 一端部が容器に固定されると共に当該容
器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の
表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に
外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備
する圧電振動子において、 前記圧電振動片の振動部の幅方向両端部近傍には、当該
圧電振動片の長手方向に亘って延びる細溝を表裏両面に
それぞれ２本有し、前記励振電極膜の何れかの極が前記
細溝の内面上に形成され且つ前記内面に対向する側面に
前記励振電極膜の他極が形成されていることを特徴とす
る圧電振動子。 - 【請求項２】 請求項１において、前記細溝の深さが、
前記圧電振動片の厚さの２５％以下であることを特徴と
する圧電振動子。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、前記細溝が前
記圧電振動片の全体パターニングのエッチングで同時に
形成されたものであることを特徴とする圧電振動子。 - 【請求項４】 一端部が容器に固定されると共に当該容
器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の
表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に
外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備
する圧電振動子の製造方法において、 前記圧電振動板をマスクパターンを用いてパターニング
して前記圧電振動片と該圧電振動片の表裏両面の幅方向
両側にそれぞれ前記圧電振動片の長手方向に沿って延び
る細溝とを同時に形成する工程と、前記圧電振動片を振
動させるための励振電極膜となる金属膜を前記細溝の形
状に沿って前記圧電振動片の全周に成膜する工程と、前
記金属膜をパターニングして前記圧電振動片の表裏両面
及び両側面にそれぞれ独立して前記励振電極膜をパター
ニングする工程とを有することを特徴とする圧電振動子
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11023077A JP2000223992A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11023077A JP2000223992A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000223992A true JP2000223992A (ja) | 2000-08-11 |
Family
ID=12100359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11023077A Pending JP2000223992A (ja) | 1999-01-29 | 1999-01-29 | 圧電振動子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000223992A (ja) |
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-
1999
- 1999-01-29 JP JP11023077A patent/JP2000223992A/ja active Pending
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