JPH0382210A - 水晶振動子の重量物付加方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マイクロコンピュータ、コードレステレフォ
ン等の情報ａ器及び通信機並びに時計などに使用される
水晶振動子の重量物付加法に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、水晶振動子において周波数調整用として付加
する重量物を範囲を限定し、均一に付着させることによ
って、周波数、周波数温度特性の調整の精度を向上させ
ることを目的とする。

〔従来の技術〕

第１図は、音叉型水晶振動子の形状を斜視図で示してい
る。第１図において１，２は振動部である。３，４は周
波数調整部であり、Ａｕなどの金属によって重量を付加
しである。従来このＡｕなどの金属を湿式メツキによっ
て付着させていた。

この為に、ネガ型レジストを用いて付着面３．４以外の
部分を保護していた。

また、第２図はＧＴカット水晶振動子の形状を斜視図で
示している。第２図において５．６は支持部であり、こ
の部分を台座に接着する。７は振動部である。また、８
．９は周波数調整部兼温度特性調整部であり、この部分
に重量を付加して上記の２つの特性を調節する。ＧＴカ
フト水晶振動子の場合、振動部７に対して調整部８．９
の位置は精度よく決定されなければならない。従来８９
の部分への重量の付加はＡｇの蒸着で行われ、それ以外
の部分は非抵触の金属マスクによって保護されていた。

以上の方法では、音叉型水晶振動子のような場合、１枚
又は１０ツト内での付加重量のバラツキによる周波数の
バラツキが、またＧＴカット水晶振動子の場合では、蒸
着位置の偏差による周波数及び温度特性の、変化量のバ
ラツキが課題であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、スパッタによる重量の付加を可能とし、付加
重量の均一化を行うことによって、周波数のバラツキを
抑え、さらに重量付加の位置精度をも向上させることを
目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、フォトリソグラフ
により形成される水晶振動子の周波数調整部に重量物を
付加する方法において、重量物の付加を、スパッタ、蒸
着などの乾式法によって行い、かつその付加の範囲をフ
ォトリソグラフによる耐プラズマ性を有するレジストパ
ターンによって限定することにより重量付加の位置精度
の向上を得るものである。

〔作用〕

重量付加の範囲を、フォトリソグラフによるフォトレジ
ストパターンによって限定する方法は、従来の湿式メツ
キ法による重量の付加でも行っていたが、本発明では耐
プラズマ性の高いフォトレジストを用いることによって
、スパッタによる金属の付着を行い、フォトレジストの
リフトオフによって、限定部分以外の金属膜を取り除く
方法を用いた。

〔実施例〕

まず、本発明に適用する重量付加について説明する。

第３図は、本発明における重量付加の第１の例である。

　１０は水晶ウェハー、１１は電極膜、１３フオトレジ
ストによる保護膜である。この状態で表面にスパッタリ
ングすれば、１５のように金属膜を形成できる。この後
、１３のフォトレジストとともに、１５の金属膜をリフ
トオフすれば図面中央の１５の部分のみ、金属膜を残す
ことができる。この残された１５の部分は、第１図の３
．４及び第２図の８゜９の部分に相当する。このように
して形成された付加重量としての、金属膜１５は非常に
均一で位置精度の良いものが得ることができた。

このような金属膜を音叉型水晶振動子に形成する方法は
２通りある。１つは、振動子外形を形成する前にウェハ
ー上に、重量付加をする第１の例の方法。もう１つは振
動子外形を水晶のエンチングによって形成した後、ウェ
ハー上にて周波数を測定し、第４図の断面図に示すよう
に、振動子全体にフォトレジスト１３をコーティングし
てパターンを形成した後、スパッタにより重量付加を行
う方法で第２の例として第４図に示す、１８は水晶の振
動部、１１は電極膜、１３はフォトレジスト、１５は付
加重量として膜付けされた金属膜である。この金属Ｗｊ
４１５の形成は必要に応じて蒸着法を用いることもでき
る。ここで、フォトレジストとともに金属膜をリフトオ
フすれば所定の金属膜部分のみ残される。水晶振動子の
性質上、付加重量が増加すると周波数は低下するため、
上記の方法で周波数既知のウェハー上の振動子の所定位
置に重量を付加し、全ての振動子の周波数を狙い値以下
とする。

その後、レーザートリミングにより周波数を高くして、
個々の振動子に対して周波数の調整を行うわけである。

この方法は長辺縦振動子等にも応用できる。

ＧＴカット水晶振動子においても、従来のような蒸着法
による周波数調整ではなく、レーザートリミングによる
周波数調整を行う。レーザートリミングによって本発明
にて付加した金属を蒸発させながら調整するのである。

この方法によって調整位置の精度は大幅に向上した。

〔発明の効果〕

この他、本発明は次のような効果をもたらす。

■周波数調整部のトリミング用の付加重量を均一とする
ことができる。

０周波数既知の振動子に対して、所望の重量の付加をす
ることができる。

■メツキ液等有害な薬液の使用を減少できる。

■付加重量の位置を精度良く決定することにより、トリ
くング精度が向上し、周波数及び温度特性の調整精度が
向上した。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用した音叉型水晶振動子の外形形状
と周波数調整部を示す斜視図、第２図は本発明を適用し
たＣＴカット水晶振動子の外形形状と周波数調整部を示
す斜視図、第３図は本発明のＩｉ量付加の第１の例を示
す断面図、第４図は本発明の重量付加筆２の例を示す断
面図である。 ・・振動部 ・・周波数調整部 ・・支持部 ・・振動部 ・・周波数及び温度特性調整部 ・・水晶ウェハー ・・電極膜 １３・ ・レジスト １５・・・・・金属膜 １８・・・・・振動部 以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　フォトリソグラフにより形成される水晶振動子の周波
   数調整部に重量物を付加する方法において、重量物の付
   加を、スパッタ、蒸着などの乾式法によって行い、かつ
   その付加の範囲をフォトリソグラフによる耐プラズマ性
   を有するレジストパターンによって、限定したことを特
   徴とする水晶振動子の重量物付加方法。