JP4798319B1 - 弾性波装置 - Google Patents

Abstract

圧電基板上においてＩＤＴ電極に直列に接続されており、くし歯状電極対を有する容量電極を備える弾性波装置において、高性能化と小型化との両立を図る。
弾性波装置１は、圧電基板３０と、圧電基板３０の上に形成されているＩＤＴ電極２９と、圧電基板３０の上に形成されており、ＩＤＴ電極２９に直列に接続されている容量電極２８とを備えている。容量電極２８は、それぞれ、間挿し合っている一対のくし歯状電極からなる複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅを有する。複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅは、互いに並列に接続されている。複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅは、容量電極部２８ａ〜２８ｅにおける交差幅方向Ｄ１と、ＩＤＴ電極２９における交差幅方向Ｄ２とが傾斜するように形成されている。複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅは、ＩＤＴ電極２９における弾性波伝搬方向Ｄ１に沿って配列されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、弾性波装置に関する。特に、本発明は、圧電基板上においてＩＤＴ電極に直列に接続されており、くし歯状電極対を有する容量電極を備える弾性波装置に関する。

従来、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波を利用する弾性波装置が種々用いられている。弾性波装置は、圧電基板と、圧電基板の上に形成されているＩＤＴ電極とを備えている。弾性波装置では、このＩＤＴ電極において励振された弾性波を利用して共振特性やフィルタ特性等が実現されている。

ところで、弾性波装置の特性を向上するために、付加容量が設けられることがある。具体的には、例えば下記の特許文献１に記載のように、ラダー型弾性表面波フィルタ装置を構成しているＩＤＴ電極に並列に容量を接続したり、ＩＤＴ電極に直列に容量を接続したりする場合がある。このように、弾性波装置に容量を設ける場合、特許文献１にも記載されているように、圧電基板上に形成されており、互いに間挿し合っているくし歯状電極対により容量を構成することが知られている。容量をくし歯状電極対により構成することにより、電極の対向面積を大きくすることができるため、大きな静電容量を得ることができる。

特開平８−６５０８９号公報

ところで、特許文献１に記載されているように、圧電基板上に形成されているくし歯状電極対（以下、「容量形成用くし歯状電極対」とする。）により容量を形成した場合、容量形成用くし歯状電極対において意図しない弾性波が励振されてしまう虞がある。このため、この意図しない弾性波が発生することによって弾性波装置の特性が劣化しないように、容量形成用くし歯状電極対の交差幅方向が、ＩＤＴ電極の交差幅方向に対して垂直となるように容量形成用くし歯状電極対を設けることが好ましい。

しかしながら、図１２に示すように、大きな静電容量を得るために容量形成用くし歯状電極対１０１の対数を増やすと、容量形成用くし歯状電極対１０１の交差幅方向に細長くなるため、圧電基板１０２上に大きなデッドスペース１０３が形成されてしまう。

一方、図１３に示すように、大きな静電容量を得るために容量形成用くし歯状電極対１０１の交差幅を大きくした場合は、図１２に示す場合とは異なり、容量形成用くし歯状電極対１０１が交差幅方向に細長くなるため、大きなデッドスペースが生じ難い。従って、弾性波装置を小型化し得る。しかしながら、容量形成用くし歯状電極対１０１の交差幅を大きくすると、容量形成用くし歯状電極対１０１における抵抗損が大きくなるため、弾性波装置の特性が劣化してしまう問題がある。具体的には、例えば弾性波装置が弾性波フィルタ装置である場合は、挿入損失が大きくなってしまうという問題がある。

本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電基板上においてＩＤＴ電極に直列に接続されており、くし歯状電極対を有する容量電極を備える弾性波装置において、高性能化と小型化との両立を図ることにある。

本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、ＩＤＴ電極と、容量電極とを備えている。ＩＤＴ電極は、圧電基板の上に形成されている。容量電極は、圧電基板の上に形成されている。容量電極は、ＩＤＴ電極に直列に接続されている。容量電極は、複数の容量電極部を有する。複数の容量電極部のそれぞれは、間挿し合っている一対のくし歯状電極からなる。複数の容量電極部は、互いに並列に接続されている。複数の容量電極部は、容量電極部における交差幅方向と、ＩＤＴ電極における交差幅方向とが傾斜するように形成されている。複数の容量電極部は、ＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向に沿って配列されている。

本発明に係る弾性波装置のある特定の局面では、容量電極の少なくとも一部とＩＤＴ電極とは、弾性波伝搬方向に垂直な方向に沿って配列されている。

本発明に係る弾性波装置の他の特定の局面では、複数の容量電極部のそれぞれは、複数の電極指と、バスバーとを有する。複数の電極指は、容量電極部における交差幅方向に延びている。バスバーには、複数の電極指が接続されている。バスバーは、容量電極部における交差幅方向に対して垂直な方向に延びている。複数の容量電極部を構成している複数のくし歯状電極のうちの少なくとも一つのバスバーは、複数のくし歯状電極のうちの他の一つのバスバーと一体に形成されている。この構成によれば、容量電極をより小型化することができるため、弾性波装置をより小型化することができる。

本発明に係る弾性波装置の別の特定の局面では、弾性波装置は、弾性表面波を利用する弾性表面波装置である。

本発明に係る弾性波装置のさらに他の特定の局面では、弾性波装置は、弾性境界波を利用する弾性境界波装置である。

本発明に係る弾性波装置のさらに別の特定の局面では、弾性波装置は、ＩＤＴ電極を有する直列腕共振子を備える、ラダー型弾性波フィルタ装置である。この場合、大きな容量を形成しつつ、容量を形成することによる挿入損失の悪化を抑制することができる。従って、良好なフィルタ特性を得ることができる。

本発明に係る弾性波装置のまたさらに他の特定の局面では、弾性波装置は、ＩＤＴ電極に直列であって、容量電極に並列に接続されているインダクタをさらに備えている。この構成によれば、容量電極とインダクタによって構成されるＬＣ並列共振回路を利用して、所望の周波数に減衰極を発生させることができる。

本発明に係る弾性波装置のまたさらに別の特定の局面では、複数の容量電極部は、容量電極部における交差幅方向と、ＩＤＴ電極における交差幅方向とが直交するように形成されている。

本発明では、容量電極が、間挿し合っている一対のくし歯状電極からなり、互いに並列に接続されている複数の容量電極部を有する。そして、複数の容量電極部は、容量電極部における交差幅方向と、ＩＤＴ電極における交差幅方向とが直交するように形成されている。かつ、複数の容量電極部は、ＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向に沿って配列されている。従って、例えば、容量電極が一対のくし歯状電極からなる場合と較べて、交差幅を小さくしつつ、大きな容量を得ることができる。従って、弾性波装置の高性能化と小型化との両立を図ることができる。

図１は、本発明を実施した一実施形態に係る弾性波装置の等価回路図である。 図２は、本発明を実施した一実施形態に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。 図３は、本発明を実施した一実施形態における弾性波フィルタ装置の一部分の略図的断面図である。 図４は、本発明を実施した一実施形態に係る弾性波装置の容量電極部分を拡大した模式的断面図である。 図５は、本発明を実施した一実施形態における弾性波装置の挿入損失を表すグラフの一例である。 図６は、実施例及び比較例における弾性波フィルタ装置のフィルタ特性を表すグラフである。 図７は、比較例に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。 図８は、第１の変形例に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。 図９は、第２の変形例に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。 図１０は、第３の変形例に係る弾性波フィルタ装置の略図的断面図である。 図１１は、第４の変形例に係る弾性波フィルタ装置の略図的断面図である。 図１２は、第１の参考例に係る弾性波装置におけるＩＤＴ電極と容量形成用くし歯状電極対との配置を説明するための模式的平面図である。 図１３は、第２の参考例に係る弾性波装置におけるＩＤＴ電極と容量形成用くし歯状電極対との配置を説明するための模式的平面図である。

以下、本発明を実施した好ましい形態について、図１に示す、弾性波フィルタ装置としての弾性波装置１を例に挙げて説明する。但し、弾性波装置１は、単なる例示である。本発明に係る弾性波装置は、弾性波装置１に何ら限定されない。本発明に係る弾性波装置は、弾性波フィルタ装置でなくてもよく、例えば、弾性波共振子であってもよい。

図１は、本実施形態に係る弾性波装置の等価回路図である。図２は、本実施形態に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。図３は、本実施形態における弾性波フィルタ装置の一部分の略図的断面図である。図４は、本実施形態に係る弾性波装置の容量電極部分を拡大した模式的断面図である。図５は、本実施形態における弾性波装置の挿入損失を表すグラフの一例である。

本実施形態に係る弾性波装置１は、弾性表面波を利用する弾性表面波装置である。詳細には、弾性波装置１は、ラダー型弾性表面波フィルタ部２０を有するラダー型弾性表面波フィルタ装置である。この本実施形態の弾性波装置１は、ＵＭＴＳ Ｂａｎｄ２のデュプレクサの送信側バンドパスフィルタ（送信周波数帯：１８５０ＭＨｚ〜１９１０ＭＨｚ）として利用されるものである。

弾性波装置１は、アンテナ１１に接続される信号出力端子２１と、送信側信号端子１２に接続される信号入力端子２２とを備えている。信号出力端子２１と信号入力端子２２との間には、ラダー型弾性表面波フィルタ部２０が接続されている。

図１及び図２に示すように、ラダー型弾性表面波フィルタ部２０は、信号入力端子２２と信号出力端子２１との間に接続されている直列腕２３を有する。直列腕２３においては、複数の直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２−１，Ｓ２−２，Ｓ３が、直列に接続されている。

直列腕２３とグラウンド電位との間には、複数の並列腕２４〜２６が接続されている。並列腕２４〜２６のそれぞれには、並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３が設けられている。並列腕共振子Ｐ１とグラウンド電位との間には、インダクタＬ２が接続されている。並列腕共振子Ｐ２及びＰ３の接続点と、グラウンド電位との間には、インダクタＬ３が接続されている。

ここで、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２−１，Ｓ２−２，Ｓ３と並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３とは、互いに間挿し合う１対のくし歯状電極からなるＩＤＴ電極と、ＩＤＴ電極の両側に設けられる２つの反射器から構成されている。

また、直列腕共振子Ｓ２−２には、容量Ｃ２が並列に接続されている。

さらに、直列腕共振子Ｓ１と信号入力端子２２との間には、ＬＣ共振回路２７が接続されている。ＬＣ共振回路２７は、互いに並列に接続されているインダクタＬ１及び容量Ｃ１を有する。このＬＣ共振回路２７が設けられていることにより、図５に示すように、４３００ＭＨｚ付近に、矢印で示す減衰極が形成されている。

なお、図５に示すグラフは、下記の設計パラメータの場合のグラフである。

（設計パラメータ）
直列腕共振子Ｓ３：
対数：１６８対、交差幅：３０．２９μｍ、波長：１．８９３１μｍ、デューティー比：０．４８６、段数：３

直列腕共振子Ｓ２−２：
対数：２３０対、交差幅：３７．３４μｍ、波長：１．９２３２μｍ、デューティー比：０．４７５、段数：２

直列腕共振子Ｓ２−１：
対数：２００対、交差幅：３０．４７μｍ、波長：１．９１４８μｍ、デューティー比：０．４４１、段数：１

直列腕共振子Ｓ１：
対数：１６８対、交差幅：３０．２６μｍ、波長：１．８９３８μｍ、デューティー比：０．４７６、段数：３

並列腕共振子Ｐ３：
対数：１２４対、交差幅：５８．２２μｍ、波長：１．９８１１μｍ、デューティー比：０．４７５、段数：２

並列腕共振子Ｐ２：
対数：１２０対、交差幅：４９．４７μｍ、波長：１．９７４４μｍ、デューティー比：０．４７５、段数：２

並列腕共振子Ｐ１：
対数：１０４対、交差幅：４２．７７μｍ、波長：１．９８２８μｍ、デューティー比：０．４７５、段数：２

容量Ｃ１：０．５７ｐＦ
容量Ｃ２：０．２１ｐＦ
インダクタＬ１：１．５ｎＨ
インダクタＬ２:０．１ｎＨ
インダクタＬ３:１．０ｎＨ
インダクタＬ４：３．６ｎＨ

図３に示すように、ラダー型弾性表面波フィルタ部２０は、圧電基板３０と、圧電基板３０の上に形成されている電極３１とを有する。この電極３１によって、上記の直列腕２３，並列腕２４〜２６、直列腕共振子Ｓ１，Ｓ２−１，Ｓ２−２，Ｓ３、並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３、ＬＣ共振回路２７等が構成されている。なお、インダクタＬ１〜Ｌ３は、圧電基板３０が実装される実装基板（図示せず）に形成されている電極により構成されている。

なお、圧電基板３０としては、適宜の圧電材料からなるものを用いることができる。圧電基板３０は、例えば、ＬｉＴａＯ_３、ＬｉＮｂＯ_３、水晶、圧電セラミックスなどにより形成されていてもよい。電極３１は、適宜の導電材料により形成することができる。電極３１は、例えば、Ａｌ，Ｐｔ，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｐｄなどの金属、または、これらの金属のうちの一種以上を含む合金により形成することができる。また、電極３１は、例えば、上記金属や合金からなる複数の導電膜の積層体により構成することもできる。

次に、容量Ｃ１について詳細に説明する。容量Ｃ１は、圧電基板３０の上に形成されており、直列腕共振子Ｓ１の一部を構成しているＩＤＴ電極２９に直列に接続されている容量電極２８（図２を参照）により構成されている。図４に示すように、容量電極２８と、ＩＤＴ電極２９とは、弾性波伝搬方向Ｄ３に垂直な交差幅方向Ｄ２に沿って配列されている。

容量電極２８は、互いに並列に接続されている複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅを有する。複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅのそれぞれは、互いに間挿し合っている一対のくし歯状電極２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ２，２８ｃ１，２８ｃ２，２８ｄ１，２８ｄ２，２８ｅ１，２８ｅ２により形成されている。くし歯状電極２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ２，２８ｃ１，２８ｃ２，２８ｄ１，２８ｄ２，２８ｅ１，２８ｅ２のそれぞれは、複数の電極指３２と、複数の電極指３２が接続されているバスバー３３とを備えている。本実施形態では、複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅを構成している複数のくし歯状電極２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ２，２８ｃ１，２８ｃ２，２８ｄ１，２８ｄ２，２８ｅ１，２８ｅ２のうちの少なくとも一つのバスバー３３は、複数のくし歯状電極２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ２，２８ｃ１，２８ｃ２，２８ｄ１，２８ｄ２，２８ｅ１，２８ｅ２のうちの他のバスバー３３と一体に形成されている。具体的には、本実施形態では、くし歯状電極２８ａ２のバスバー３３と、くし歯状電極２８ｂ１のバスバー３３とが一体に形成されている。くし歯状電極２８ｂ２のバスバー３３と、くし歯状電極２８ｃ１のバスバー３３とが一体に形成されている。くし歯状電極２８ｃ２のバスバー３３と、くし歯状電極２８ｄ１のバスバー３３とが一体に形成されている。くし歯状電極２８ｄ２のバスバー３３と、くし歯状電極２８ｅ１のバスバー３３とが一体に形成されている。このため、例えば、各バスバー３３を別個に設けた場合と比較して、容量電極２８を小型化することができる。従って、弾性波装置１を小型化することができる。

本実施形態では、複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅは、容量電極部２８ａ〜２８ｅにおける交差幅方向Ｄ１と、ＩＤＴ電極２９における交差幅方向Ｄ２とが直交するように形成されている。かつ、複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅは、交差幅方向Ｄ１と平行な、ＩＤＴ電極２９における弾性波伝搬方向Ｄ３に沿って配列されている。このため、複数の電極指３２は、交差幅方向Ｄ１（＝弾性波伝搬方向Ｄ３）に沿って延びるように形成されており、バスバー３３は、交差幅方向Ｄ２に沿って延びるように形成されている。

なお、本実施形態では、容量電極部２８ａ〜２８ｅにおける交差幅方向Ｄ１と、ＩＤＴ電極２９における交差幅方向Ｄ２とが直交している場合について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。容量電極部における交差幅方向と、ＩＤＴ電極における交差幅方向とは、傾斜していればよく、直交している必要は必ずしもない。

以上説明したように、本実施形態では、複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅが並列に接続されることにより容量電極２８が構成されている。このため、容量電極部２８ａ〜２８ｅのそれぞれの交差幅が小さい場合であっても、大きな静電容量を得ることができる。従って、大きな静電容量を得つつ、弾性波装置１の挿入損失の悪化を抑制することができる。

以下、この効果を具体例に基づいて詳細に説明する。

図６に、上記実施形態に係る弾性波装置と同様の構成を有する実施例に係る弾性波装置のフィルタ特性を示す。また、図７に示すように、容量電極２８を一対のくし歯状電極で形成したこと、及び容量Ｃ１の静電容量値が０．３０ｐＦとなるように容量電極２８を構成したこと以外は、上記実施例と同様の構成を有する比較例の弾性波装置のフィルタ特性を、図６に併記する。なお、実施例では、容量電極部２８ａ〜２８ｅの交差幅は、すべて３４μｍとした。比較例では、交差幅は、８９μｍとした。

図６に示すように、実施例に係る弾性波装置１は、容量Ｃ１の静電容量値が比較例に係る弾性波装置よりも２倍近くも大きいにも関わらず、実施例における通過帯域（１８５０ＭＨｚ〜１９１０ＭＨｚ）の挿入損失は、比較例における通過帯域の挿入損失と同等であった。このことから、容量電極２８を並列に接続された複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅにより構成し、容量電極部２８ａ〜２８ｅの交差幅を短くすることにより、大きな静電容量を得つつ、通過帯域における挿入損失の悪化を抑制できることが分かる。

また、本実施形態では、容量電極部２８ａ〜２８ｅの交差幅方向Ｄ１と、ＩＤＴ電極２９の交差幅方向Ｄ３とが垂直である。このため、仮に、容量電極部２８ａ〜２８ｅで弾性表面波が励振されたとしても、弾性波装置１の特性に実質的に影響を及ぼさない。従って、弾性波装置１の特性劣化を抑制することができる。

さらに、本実施形態では、複数の容量電極部２８ａ〜２８ｅは、ＩＤＴ電極２９の弾性波伝搬方向Ｄ３に沿って配列されている。このため、容量電極２８は、ＩＤＴ電極２９と同様に、弾性波伝搬方向Ｄ３に長手方向が向く細長形状となる。従って、圧電基板３０上にデッドスペースが生じ難い。さらに、容量Ｃ１の静電容量値を大きくできれば、インダクタＬ１に要求されるインダクタンス値が小さくなるため、インダクタＬ１を形成している実装基板を小型化することができる。従って、圧電基板３０及び実装基板を小型化でき、その結果、弾性波装置１を小型化することができる。

以下、上記実施形態の変形例について説明する。下記の説明において、上記実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。

（第１及び第２の変形例）
図８は、第１の変形例に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。図９は、第２の変形例に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。

上記実施形態では、容量電極部２８ａ〜２８ｅが、実質的に同様の形状を有する場合について説明した。但し、本発明において容量電極部２８ａ〜２８ｅは、相互に異なる形状を有していてもよい。すなわち、本発明において、複数の容量電極部のそれぞれは、一対のくし歯状電極により構成されている限りにおいて、対数、交差幅、電極指ピッチ等は一切限定されない。

例えば、図８に示すように、容量電極部２８ａ〜２８ｅで、対数が相互に異なっていてもよい。また、図９に示すように、容量電極部２８ａ〜２８ｅで、交差幅が相互に異なっていてもよい。

図８に示す第１の変形例では、交差幅重み付けされているＩＤＴ電極２９のバスバー２９ａが交差幅に応じて外周に凹凸形状を有しており、この凹凸形状に応じて容量電極部２８ａ〜２８ｅの対数が異ならされている。具体的には、容量電極部２８ａ〜２８ｅの対数は、ＩＤＴ電極２９のうち交差幅方向Ｄ２において隣接している部分の交差幅が小さくなるほど多くされている。より具体的には、ＩＤＴ電極２９のうちの交差幅が大きく、交差幅方向Ｄ２に沿った寸法が大きな部分に、交差幅方向Ｄ２において隣接している容量電極部２８ｃは、対数が少なくされており、交差幅方向Ｄ２に沿った寸法が小さくされている。ＩＤＴ電極２９のうちの交差幅が小さく、交差幅方向Ｄ２に沿った寸法が小さな部分に、交差幅方向Ｄ２において隣接している容量電極部２８ａ、２８ｅは、対数が多くされており、交差幅方向Ｄ２に沿った寸法が大きくされている。容量電極部２８ｂの対数は、容量電極部２８ａの対数と容量電極部２８ｃの対数との間とされている。容量電極部２８ｄの対数は、容量電極部２８ｃの対数と容量電極部２８ｅの対数との間とされている。

図９に示す第２の変形例では、上記第１の変形例と同様に、容量電極部２８ａ〜２８ｅの対数は、ＩＤＴ電極２９のうち交差幅方向Ｄ２において隣接している部分の交差幅が小さくなるほど多くされている。そして、容量電極部２８ａ〜２８ｅのうち、対数が少ないものほど、交差幅が長くされている。具体的には、本変形例では、容量電極部２８ｂの交差幅が、他の容量電極部２８ａ、２８ｃ〜２８ｅの交差幅よりも大きくされている。このようにすることにより、弾性波装置をより小型化し得る場合がある。

（第３及び第４の変形例）
図１０は、第３の変形例に係る弾性波フィルタ装置の略図的断面図である。図１１は、第４の変形例に係る弾性波フィルタ装置の略図的断面図である。

上記実施形態では、本発明の実施形態として、弾性表面波を利用する弾性表面波装置を例に挙げたが、本発明の弾性波装置は、弾性表面波装置に限定されない。本発明は、弾性表面波装置のみならず、弾性境界波装置にも好適に適用できる。すなわち、本発明の弾性波装置は、弾性境界波を利用する弾性境界波装置であってもよい。より具体的には、本発明の弾性波装置は、例えば図１０に示すように所謂２媒質型の弾性境界波装置であってもよいし、例えば図１１に示すように所謂３媒質型の弾性境界波装置であってもよい。

図１０に示すように、２媒質型の弾性境界波装置においては、圧電基板３０の上に誘電体層３４が形成されている。この誘電体層３４によって、ＩＤＴ電極が形成されている領域など、弾性境界波が伝搬する領域が覆われている。誘電体層３４の厚みは、ＩＤＴ電極により励振される弾性波が弾性境界波となるような厚みであれば特に限定されず、要求特性に応じて適宜設定することができる。誘電体層３４は、例えば、ＳｉＯ_２などの酸化ケイ素や、ＳｉＮなどの窒化ケイ素などにより形成することができる。

図１１に示すように、３媒質型の弾性境界波装置においては、誘電体層３４の上に、さらなる誘電体層３５が形成されている。誘電体層３５は、誘電体層３５の音速が誘電体層３４の音速よりも速くなるような材料により形成されている。具体的には、例えば、誘電体層３４がＳｉＯ_２などの酸化ケイ素からなる場合は、誘電体層３５はＳｉＮなどの窒化ケイ素などにより形成されている。このため、弾性境界波は、誘電体層３４に実質的に閉じ込められて伝搬する。

１…弾性波装置
１１…アンテナ
１２…送信側信号端子
２０…ラダー型弾性表面波フィルタ部
２１…信号出力端子
２２…信号入力端子
２３…直列腕
２４〜２６…並列腕
２７…ＬＣ共振回路
２８…容量電極
２８ａ〜２８ｅ…容量電極部
２８ａ１，２８ａ２，２８ｂ１，２８ｂ２，２８ｃ１，２８ｃ２，２８ｄ１，２８ｄ２，２８ｅ１，２８ｅ２…くし歯状電極
２９…ＩＤＴ電極
２９ａ…バスバー
３０…圧電基板
３１…電極
３２…電極指
３３…バスバー
３４…誘電体層
３５…誘電体層
Ｌ１〜Ｌ４…インダクタ
Ｓ１，Ｓ２−１，Ｓ２−２，Ｓ３…直列腕共振子
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…並列腕共振子
Ｃ１，Ｃ２…容量
Ｄ１…容量電極部の交差幅方向
Ｄ２…交差幅方向
Ｄ３…ＩＤＴ電極の交差幅方向

Claims (8)

1. 圧電基板と、
   前記圧電基板の上に形成されているＩＤＴ電極と、
   前記圧電基板の上に形成されており、前記ＩＤＴ電極に直列に接続されている容量電極とを備える弾性波装置であって、
   前記容量電極は、互いに並列に接続されており、それぞれ、間挿し合っている一対のくし歯状電極からなる複数の容量電極部を有し、
   前記複数の容量電極部は、前記容量電極部における交差幅方向と、前記ＩＤＴ電極における交差幅方向とが傾斜するように形成されており、
   前記複数の容量電極部は、前記ＩＤＴ電極における弾性波伝搬方向に沿って配列されている、弾性波装置。
2. 前記容量電極の少なくとも一部と前記ＩＤＴ電極とは、弾性波伝搬方向に垂直な方向に沿って配列されている、請求項１に記載の弾性波装置。
3. 前記複数の容量電極部のそれぞれは、前記容量電極部における交差幅方向に延びる複数の電極指と、前記複数の電極指が接続されており、前記容量電極部における交差幅方向に対して垂直な方向に延びるバスバーとを有し、
   前記複数の容量電極部を構成している複数のくし歯状電極のうちの少なくとも一つのバスバーは、前記複数のくし歯状電極のうちの他の一つのバスバーと一体に形成されている、請求項１または２に記載の弾性波装置。
4. 弾性表面波を利用する弾性表面波装置である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性波装置。
5. 弾性境界波を利用する弾性境界波装置である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の弾性波装置。
6. 前記ＩＤＴ電極を有する直列腕共振子を備える、ラダー型弾性波フィルタ装置である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の弾性波装置。
7. 前記ＩＤＴ電極に直列であって、前記容量電極に並列に接続されているインダクタをさらに備える、請求項６に記載の弾性波装置。
8. 前記複数の容量電極部は、前記容量電極部における交差幅方向と、前記ＩＤＴ電極における交差幅方向とが直交するように形成されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の弾性波装置。

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