JPWO2011142143A1 - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2011142143A1 JPWO2011142143A1 JP2011521789A JP2011521789A JPWO2011142143A1 JP WO2011142143 A1 JPWO2011142143 A1 JP WO2011142143A1 JP 2011521789 A JP2011521789 A JP 2011521789A JP 2011521789 A JP2011521789 A JP 2011521789A JP WO2011142143 A1 JPWO2011142143 A1 JP WO2011142143A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- wave device
- acoustic wave
- capacitive
- width direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14573—Arrow type transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/0222—Details of interface-acoustic, boundary, pseudo-acoustic or Stonely wave devices
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/70—Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
- H03H9/72—Networks using surface acoustic waves
- H03H9/725—Duplexers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
直列腕共振子S3:
対数:168対、交差幅:30.29μm、波長:1.8931μm、デューティー比:0.486、段数:3
対数:230対、交差幅:37.34μm、波長:1.9232μm、デューティー比:0.475、段数:2
対数:200対、交差幅:30.47μm、波長:1.9148μm、デューティー比:0.441、段数:1
対数:168対、交差幅:30.26μm、波長:1.8938μm、デューティー比:0.476、段数:3
対数:124対、交差幅:58.22μm、波長:1.9811μm、デューティー比:0.475、段数:2
対数:120対、交差幅:49.47μm、波長:1.9744μm、デューティー比:0.475、段数:2
対数:104対、交差幅:42.77μm、波長:1.9828μm、デューティー比:0.475、段数:2
容量C2:0.21pF
インダクタL1:1.5nH
インダクタL2:0.1nH
インダクタL3:1.0nH
インダクタL4:3.6nH
図8は、第1の変形例に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。図9は、第2の変形例に係る弾性波装置の一部分の模式的平面図である。
図10は、第3の変形例に係る弾性波フィルタ装置の略図的断面図である。図11は、第4の変形例に係る弾性波フィルタ装置の略図的断面図である。
11…アンテナ
12…送信側信号端子
20…ラダー型弾性表面波フィルタ部
21…信号出力端子
22…信号入力端子
23…直列腕
24〜26…並列腕
27…LC共振回路
28…容量電極
28a〜28e…容量電極部
28a1,28a2,28b1,28b2,28c1,28c2,28d1,28d2,28e1,28e2…くし歯状電極
29…IDT電極
29a…バスバー
30…圧電基板
31…電極
32…電極指
33…バスバー
34…誘電体層
35…誘電体層
L1〜L4…インダクタ
S1,S2−1,S2−2,S3…直列腕共振子
P1,P2,P3…並列腕共振子
C1,C2…容量
D1…容量電極部の交差幅方向
D2…交差幅方向
D3…IDT電極の交差幅方向
Claims (8)
- 圧電基板と、
前記圧電基板の上に形成されているIDT電極と、
前記圧電基板の上に形成されており、前記IDT電極に直列に接続されている容量電極とを備える弾性波装置であって、
前記容量電極は、互いに並列に接続されており、それぞれ、間挿し合っている一対のくし歯状電極からなる複数の容量電極部を有し、
前記複数の容量電極部は、前記容量電極部における交差幅方向と、前記IDT電極における交差幅方向とが傾斜するように形成されており、
前記複数の容量電極部は、前記IDT電極における弾性波伝搬方向に沿って配列されている、弾性波装置。 - 前記容量電極の少なくとも一部と前記IDT電極とは、弾性波伝搬方向に垂直な方向に沿って配列されている、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記複数の容量電極部のそれぞれは、前記容量電極部における交差幅方向に延びる複数の電極指と、前記複数の電極指が接続されており、前記容量電極部における交差幅方向に対して垂直な方向に延びるバスバーとを有し、
前記複数の容量電極部を構成している複数のくし歯状電極のうちの少なくとも一つのバスバーは、前記複数のくし歯状電極のうちの他の一つのバスバーと一体に形成されている、請求項1または2に記載の弾性波装置。 - 弾性表面波を利用する弾性表面波装置である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 弾性境界波を利用する弾性境界波装置である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極を有する直列腕共振子を備える、ラダー型弾性波フィルタ装置である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極に直列であって、前記容量電極に並列に接続されているインダクタをさらに備える、請求項6に記載の弾性波装置。
- 前記複数の容量電極部は、前記容量電極部における交差幅方向と、前記IDT電極における交差幅方向とが直交するように形成されている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の弾性波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011521789A JP4798319B1 (ja) | 2010-05-13 | 2011-01-11 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010110810 | 2010-05-13 | ||
JP2010110810 | 2010-05-13 | ||
JP2011521789A JP4798319B1 (ja) | 2010-05-13 | 2011-01-11 | 弾性波装置 |
PCT/JP2011/050267 WO2011142143A1 (ja) | 2010-05-13 | 2011-01-11 | 弾性波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4798319B1 JP4798319B1 (ja) | 2011-10-19 |
JPWO2011142143A1 true JPWO2011142143A1 (ja) | 2013-07-22 |
Family
ID=44914203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011521789A Active JP4798319B1 (ja) | 2010-05-13 | 2011-01-11 | 弾性波装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8710940B2 (ja) |
JP (1) | JP4798319B1 (ja) |
CN (1) | CN102823130B (ja) |
DE (1) | DE112011100580B4 (ja) |
WO (1) | WO2011142143A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107026633A (zh) * | 2015-12-25 | 2017-08-08 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5436729B1 (ja) * | 2012-04-25 | 2014-03-05 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子、分波器および通信モジュール |
WO2016208236A1 (ja) * | 2015-06-22 | 2016-12-29 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ装置 |
US9608595B1 (en) * | 2015-11-13 | 2017-03-28 | Resonant Inc. | Acoustic wave filter with enhanced rejection |
WO2017154387A1 (ja) * | 2016-03-08 | 2017-09-14 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP6465065B2 (ja) * | 2016-04-25 | 2019-02-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP6825822B2 (ja) * | 2016-05-11 | 2021-02-03 | 京セラ株式会社 | 容量素子、弾性波素子および弾性波モジュール |
CN110089029B (zh) * | 2016-12-22 | 2023-03-28 | 株式会社村田制作所 | 声表面波谐振器、声表面波滤波器以及双工器 |
JP6949552B2 (ja) | 2017-05-18 | 2021-10-13 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ |
JP7132944B2 (ja) * | 2017-12-01 | 2022-09-07 | 京セラ株式会社 | 弾性波フィルタ、分波器および通信装置 |
WO2019208626A1 (ja) | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 京セラ株式会社 | ヒータ及びその製造方法 |
WO2020121663A1 (ja) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP7215413B2 (ja) * | 2019-12-27 | 2023-01-31 | 株式会社村田製作所 | 弾性波フィルタ |
JP7072685B2 (ja) * | 2021-01-06 | 2022-05-20 | 京セラ株式会社 | 容量素子、弾性波素子および弾性波モジュール |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0392009A (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-17 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
JPH05327399A (ja) * | 1992-05-21 | 1993-12-10 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置及びそれを用いて構成したフィルタ装置 |
JP3155639B2 (ja) | 1993-01-29 | 2001-04-16 | 株式会社日立製作所 | 弾性表面波共振子およびその製造方法 |
EP0648015B1 (en) * | 1993-10-08 | 2000-05-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter |
JPH07273597A (ja) * | 1994-03-29 | 1995-10-20 | Oki Electric Ind Co Ltd | 共振器型弾性表面波フィルタ |
JP3390537B2 (ja) * | 1994-08-22 | 2003-03-24 | 富士通株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
JPH0998056A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
JPH09167937A (ja) | 1995-12-18 | 1997-06-24 | Oki Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
CA2199238C (en) * | 1997-03-05 | 2002-07-02 | Ji-Dong Dai | Surface wave device with capacitance |
JPH11330904A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-30 | Oki Electric Ind Co Ltd | 共振器型弾性表面波フィルタ |
JP3792409B2 (ja) | 1998-10-05 | 2006-07-05 | 京セラ株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
US6472959B1 (en) * | 1999-03-11 | 2002-10-29 | Nortel Networks Limited | Longitudinally coupled double mode resonator filters using shallow bulk acoustic waves |
JP2001044792A (ja) * | 1999-07-30 | 2001-02-16 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置及びその帯域周波数調整方法 |
JP2003283297A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Alps Electric Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
US7023297B2 (en) * | 2003-05-14 | 2006-04-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave branching filter |
JP2005033246A (ja) * | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Sawフィルタとそれを用いた電子デバイス |
JP2005260833A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
JP2007036856A (ja) | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Fujitsu Media Device Kk | 共振器、フィルタおよびアンテナ分波器 |
DE102005051852B4 (de) * | 2005-10-28 | 2021-05-20 | Snaptrack, Inc. | SAW Filter mit breitbandiger Bandsperre |
JP2007158755A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 複合フィルタ |
US9021669B2 (en) * | 2006-08-07 | 2015-05-05 | Kyocera Corporation | Method for manufacturing surface acoustic wave apparatus |
JP2008109413A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性波デバイスおよびフィルタ |
EP2099130A1 (en) * | 2006-12-07 | 2009-09-09 | Murata Manufacturing Co. Ltd. | Surface acoustic wave filter device |
JP2010062873A (ja) * | 2008-09-03 | 2010-03-18 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波フィルタ装置 |
JP5333403B2 (ja) * | 2010-10-12 | 2013-11-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ装置 |
-
2011
- 2011-01-11 WO PCT/JP2011/050267 patent/WO2011142143A1/ja active Application Filing
- 2011-01-11 DE DE112011100580.6T patent/DE112011100580B4/de active Active
- 2011-01-11 CN CN201180015107.8A patent/CN102823130B/zh active Active
- 2011-01-11 JP JP2011521789A patent/JP4798319B1/ja active Active
-
2012
- 2012-09-28 US US13/630,069 patent/US8710940B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107026633A (zh) * | 2015-12-25 | 2017-08-08 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
CN107026633B (zh) * | 2015-12-25 | 2021-08-10 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112011100580T5 (de) | 2013-01-10 |
US8710940B2 (en) | 2014-04-29 |
JP4798319B1 (ja) | 2011-10-19 |
DE112011100580B4 (de) | 2017-02-09 |
US20130021116A1 (en) | 2013-01-24 |
WO2011142143A1 (ja) | 2011-11-17 |
CN102823130B (zh) | 2014-12-10 |
CN102823130A (zh) | 2012-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4798319B1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP6133216B2 (ja) | ラダー型弾性波フィルタと、これを用いたアンテナ共用器 | |
JP5942740B2 (ja) | ラダー型フィルタ及び分波器 | |
JP5088412B2 (ja) | ラダー型弾性波フィルタ | |
JP6380558B2 (ja) | 弾性波装置 | |
US7915976B2 (en) | Surface acoustic wave resonator and ladder-type filter | |
WO2018097201A1 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
JP5093402B2 (ja) | 弾性境界波共振子及びラダー型フィルタ | |
JP6284800B2 (ja) | 弾性表面波デバイス及びフィルタ | |
KR101793055B1 (ko) | 래더형 필터 | |
JP2008109413A5 (ja) | ||
WO2021002321A1 (ja) | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ | |
JPWO2016103953A1 (ja) | 弾性波装置 | |
JP5146160B2 (ja) | 弾性波共振子及びラダー型フィルタ | |
WO2019131530A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
US20200052675A1 (en) | Acoustic wave device, filter, and composite filter device | |
JP2011087282A (ja) | 弾性境界波フィルタ及びそれを備える分波器 | |
JP2005260833A (ja) | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ | |
US8686809B2 (en) | Ladder-type filter including a dielectric film having a side surface with a heightwise inclination | |
CN114402530A (zh) | 弹性波滤波器 | |
JP5141776B2 (ja) | 弾性波共振子、ラダー型フィルタ及びデュプレクサ | |
JPWO2010125934A1 (ja) | 弾性波装置 | |
CN116508261A (zh) | 弹性波装置及梯型滤波器 | |
JP2010263296A (ja) | 弾性境界波装置 | |
JP7132841B2 (ja) | 弾性表面波素子、分波器および通信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110705 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110718 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140812 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4798319 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |