JP2011113619A - Nand型フラッシュメモリ - Google Patents
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Abstract
【課題】1つのメモリセルアレイの2つの異なるブロックに対して並行して読み出しや書き込み等の制御動作をすることが可能なNAND型フラッシュメモリを提供する。
【解決手段】NAND型フラッシュメモリは、第1または第3のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフし、且つ、第2または第4のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフする。
【選択図】図2
【解決手段】NAND型フラッシュメモリは、第1または第3のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフし、且つ、第2または第4のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフする。
【選択図】図2
Description
本発明は、NAND型フラッシュメモリに関する。
従来、全てのビット線BLに対してセンスアンプが設けられ、同時に全てのビット線BLに対してセンスするABL(ALL Bit Line)センス方式のNAND型フラッシュメモリが知られている(例えば、特許文献1参照)。このようなNAND型フラッシュメモリにおいて、従来技術では、1つのウェルに形成された1つのメモリセルアレイの1つのブロック中の1つのワード線(すなわち、1つのページアドレス)に接続された複数のメモリセル対し、同時に読み出し・書き込みを行っていた。
ABL方式を用いることで、ビット線BL1本おきにセンスアンプを設けて偶数ビット線BLe、奇数ビット線BLoに対して交互にセンスする方式に比較して、同時にセンス可能なメモリセル数、即ち1ページ内の記憶容量(ページ長)を増加させることになり、単位あたりの読み出し速度を向上させることが可能となる。
一方、近年、ランダムなページアドレスに対する読み出し・書き込みの要求が増えている。ページ長の過度な増加はランダムアクセス性能の向上に対して不利であるため、単位あたりの読み出し速度向上とのトレードオフを考慮しつつ、ランダムなページアドレスに対する読み出し・書き込み速度を向上させる必要がある。
ここで、例えば、従来のNAND型フラッシュメモリには、2つのメモリセルアレイに対して、1つのロウデコーダが同一のアドレスのワード線を同時に選択して書き込みするものがある(例えば、特許文献2参照)。
なお、この従来のNAND型フラッシュメモリは、上記2つのメモリセルアレイに対しては、それぞれデータラッチ回路が設けられている。すなわち、これらのメモリセルアレイ同士は、ビット線が共通に接続されていない。また、この従来のNAND型フラッシュメモリは、1つのメモリセルアレイのランダムなページアドレスに対する動作を規定するものではない。
特開2009−158048号公報
特開平11−224492号公報
本発明は、1つのメモリセルアレイの2つの異なるブロックに対して並行して読み出しや書き込み等の制御動作をすることが可能なNAND型フラッシュメモリを提供する。
本発明の一態様に係る実施例に従ったNAND型フラッシュメモリは、
メモリセルトランジスタがマトリクス状に配置された複数のブロックで構成されるメモリセルアレイを有するNAND型フラッシュメモリであって、
第1のビット線と、
前記第1のビット線に接続され、前記第1のビット線の電位をセンスしまたは制御する第1のセンスアンプと、
第2のビット線と、
前記第2のビット線に接続され、前記第2のビット線の電位をセンスしまたは制御する第2のセンスアンプと、
第1のドレイン側選択ゲート線と、
第2のドレイン側選択ゲート線と、
第3のドレイン側選択ゲート線と、
第4のドレイン側選択ゲート線と、
第1のソース側選択ゲート線と、
第2のソース側選択ゲート線と、
前記第1のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第1のビット線にドレイン拡散層が接続された第1のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第1のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第1のソース側選択MOSトランジスタと、前記第1のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第1のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第1のメモリセルトランジスタと、前記第2のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第2のビット線にドレイン拡散層が接続された第2のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第1のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第2のソース側選択MOSトランジスタと、前記第2のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第2のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第2のメモリセルトランジスタと、を含む第1のブロックと、
前記第3のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され前記第1のビット線にドレイン拡散層が接続された第3のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第2のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第3のソース側選択MOSトランジスタと、前記第3のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第3のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第3のメモリセルトランジスタと、前記第4のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第2のビット線にドレイン拡散層が接続された第4のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第2のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第4のソース側選択MOSトランジスタと、前記第4のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第4のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第4のメモリセルトランジスタと、を含む第2のブロックと、
前記第1または第3のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフし、且つ、前記第2または第4のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフするデコーダと、を備えることを特徴とする。
メモリセルトランジスタがマトリクス状に配置された複数のブロックで構成されるメモリセルアレイを有するNAND型フラッシュメモリであって、
第1のビット線と、
前記第1のビット線に接続され、前記第1のビット線の電位をセンスしまたは制御する第1のセンスアンプと、
第2のビット線と、
前記第2のビット線に接続され、前記第2のビット線の電位をセンスしまたは制御する第2のセンスアンプと、
第1のドレイン側選択ゲート線と、
第2のドレイン側選択ゲート線と、
第3のドレイン側選択ゲート線と、
第4のドレイン側選択ゲート線と、
第1のソース側選択ゲート線と、
第2のソース側選択ゲート線と、
前記第1のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第1のビット線にドレイン拡散層が接続された第1のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第1のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第1のソース側選択MOSトランジスタと、前記第1のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第1のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第1のメモリセルトランジスタと、前記第2のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第2のビット線にドレイン拡散層が接続された第2のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第1のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第2のソース側選択MOSトランジスタと、前記第2のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第2のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第2のメモリセルトランジスタと、を含む第1のブロックと、
前記第3のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され前記第1のビット線にドレイン拡散層が接続された第3のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第2のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第3のソース側選択MOSトランジスタと、前記第3のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第3のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第3のメモリセルトランジスタと、前記第4のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第2のビット線にドレイン拡散層が接続された第4のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第2のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第4のソース側選択MOSトランジスタと、前記第4のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第4のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第4のメモリセルトランジスタと、を含む第2のブロックと、
前記第1または第3のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフし、且つ、前記第2または第4のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフするデコーダと、を備えることを特徴とする。
本発明に係るNAND型フラッシュメモリによれば、1つのメモリセルアレイの2つの異なるブロックに対して並行して読み出しや書き込み等の制御動作をすることができる。
以下、本発明に係る各実施例について図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の一態様である実施例1に係るNAND型フラッシュメモリ100の構成の一例を示すブロック図である。また、図2は、図1に示すメモリセルアレイ1、ビット線制御回路2、およびロウデコーダ6を含む実施例1に係る構成の一例を示す回路図である。
図1に示すように、NAND型フラッシュメモリ100は、メモリセルアレイ1と、ビット線制御回路2と、カラムデコーダ3と、データ入出力バッファ4と、データ入出力端子5と、ロウデコーダ6と、制御回路7と、制御信号入力端子8と、ソース線制御回路9と、ウェル制御回路10と、を備える。
メモリセルアレイ1は、複数のビット線と複数のワード線とソース線を含む。このメモリセルアレイ1は、例えば、EEPROMセルからなる電気的にデータを書き換え可能なメモリセルトランジスタがマトリクス状に配置された複数のブロック(図2)で構成されている。
このメモリセルアレイ1には、ビット線の電圧を制御するためのビット線制御回路2と、ワード線の電圧を制御するためのロウデコーダ6とが接続されている。データの消去動作時には、何れかのブロックがロウデコーダ6により選択され、残りのブロックが非選択とされる。
ビット線制御回路2は、メモリセルアレイ1内のビット線の電圧をセンス増幅するセンスアンプSA(図2)と、書き込みを行うためのデータをラッチするためのデータラッチ回路との両方の役割を持つデータ記憶回路(図示せず)とを含む。
このビット線制御回路2は、ビット線を介してメモリセルアレイ1中のメモリセルトランジスタのデータを読み出したり、ビット線を介して該メモリセルトランジスタの状態を検出したり、ビット線を介して該メモリセルトランジスタに書き込み制御電圧を印加して該メモリセルトランジスタに書き込みを行う。
また、ビット線制御回路2には、カラムデコーダ3、データ入出力バッファ4が接続されている。ビット線制御回路2内の該データ記憶回路は、カラムデコーダ3により選択され、このデータ記憶回路に読み出されたメモリセルトランジスタのデータは、データ入出力バッファ4を介してデータ入出力端子5から外部へ出力される。
また、外部からデータ入出力端子5に入力された書き込みデータは、データ入出力バッファ4を介して、カラムデコーダ3によって選択された該データ記憶回路に記憶される。データ入出力端子5からは、書き込みデータの他に、書き込み、読み出し、消去、およびステータスリード等の各種コマンド、アドレスも入力される。
ロウデコーダ6は、メモリセルアレイ1に接続されている。このロウデコーダ6は、メモリセルアレイ1のワード線に、読み出し或いは書き込み或いは消去に必要な電圧を、印加する。
ソース線制御回路9は、メモリセルアレイ1に接続されている。このソース線制御回路9は、ソース線の電圧を制御するようになっている。
ウェル制御回路10は、メモリセルアレイ1に接続されている。このウェル制御回路10は、メモリセルトランジスタが形成される半導体基板(ウェル)の電圧を制御するようになっている。
制御回路7は、メモリセルアレイ1、ビット線制御回路2、カラムデコーダ3、データ入出力バッファ4、ロウデコーダ6、ソース線制御回路9、および、ウェル制御回路10を、制御するようになっている。
ここでは、この制御回路7には、電源電圧を昇圧する昇圧回路(図示せず)が含まれているものとする。制御回路7は、該昇圧回路により電源電圧を必要に応じて昇圧し、ビット線制御回路2、カラムデコーダ3、データ入出力バッファ4、ロウデコーダ6、ソース線制御回路9、および、ウェル制御回路10に、供給するようになっている。
この制御回路7は、外部から制御信号入力端子8を介して入力される制御信号(コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、レディ/ビジー信号RY/BY等)およびデータ入出力端子5からデータ入出力バッファ4を介して入力されるコマンドに応じて制御動作する。すなわち、制御回路7は、該制御信号およびコマンドに応じて、データのプログラム、ベリファイ、読み出し、消去時に、所望の電圧を発生し、メモリセルアレイ1の各部に供給する。
ここで、図2に示すように、メモリセルアレイ1は、偶数列の複数のNANDセルユニット1aEおよび奇数列の複数のNANDセルユニット1aOが接続されて構成されるブロックBLKOn、BLKIn、BLKOn−1、BLKIn−1、BLKOn−2、BLKIn−2を有する。
偶数列のNANDセルユニット1aEは、直列接続されたx(例えば64)個のメモリセルトランジスタMと、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrと、ソース側選択MOSトランジスタSGSTrとにより、構成されている。偶数列のドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrは、偶数列のビット線BLEn、BLEn+1に接続されている。また、ソース側選択MOSトランジスタSGSTrは、ソース線SRCに接続されている。
同様に、奇数列のNANDセルユニット1aOは、直列接続されたx個のメモリセルトランジスタMと、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrと、ソース側選択MOSトランジスタSGSTrとにより、構成されている。奇数列のドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrは、偶数列のビット線BLOn、BLOn+1に接続されている。また、ソース側選択MOSトランジスタSGSTrは、ソース線SRCに接続されている。
各行に配置されたメモリセルトランジスタMの制御ゲートは、それぞれ、ワード線WL0〜WLxに接続されている。
ビット線BLEn、BLEn+1、BLOn、BLOn+1は、ワード線WL0〜WLxおよび共通ソース線SRCと直行するように配置されている。
なお、図2では、簡単のため、ワード線WL0、WLxのみを、表記しており、その間に配置されるワード線は省略している。
また、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrのゲートは、ドレイン側選択ゲート線SGDEに接続されている。ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrのゲートは、ドレイン側選択ゲート線SGDOに接続されている。ソース側選択MOSトランジスタSGSTrのゲートは、ソース側選択ゲート線SGSに接続されている。
また、ビット線制御回路2のセンスアンプSAEn、SAOn、SAEn+1、SAOn+1は、それぞれ、ビット線BLEn、BLOn、BLEn+1、BLOn+1に接続されている。さらに、センスアンプSAEn、SAOn、SAEn+1、SAOn+1は、 接続されたビット線BLEn、BLOn、BLEn+1、BLOn+1の電位をセンスしまたは制御するようになっている。
また、図2に示すように、ロウデコーダ6は、ドライバ回路6aO、6aIと、複数の(ブロック)デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2、6bIn、6bIn−1、6bIn−2と、コントロール線CGSGS、CGSGDE、CGSGDO、CGWLと、を有する。デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2、6bIn、6bIn−1、および6bIn−2は、例えば、メモリセルアレイ1をワード線方向WLに挟んで対向するように、メモリセルアレイ1の左右(Outer側/Inner側)に、2ブロックピッチで配置されている。
すなわち、偶数番目のブロックBLKOnを選択するためのデコーダ6bOnは、偶数番目のブロックBLKOnおよび奇数番目のブロックBLKInの左側のスペースに配置される。奇数番目のブロックBLKInを選択するためのデコーダ6bInは、偶数番目のブロックBLKOnおよび奇数番目のブロックBLKInの右側のスペースに配置される。
同様に、偶数番目のブロックBLKOn−1を選択するためのデコーダ6bOn−1は、偶数番目のブロックBLKOn−1および奇数番目のブロックBLKIn−1の左側のスペースに配置される。奇数番目のブロックBLKIn−1を選択するためのデコーダ6bIn−1は、偶数番目のブロックBLKOn−1および奇数番目のブロックBLKIn−1の右側のスペースに配置される。
同様に、偶数番目のブロックBLKOn−2を選択するためのデコーダ6bOn−2は、偶数番目のブロックBLKOn−2および奇数番目のブロックBLKIn−2の左側のスペースに配置される。奇数番目のブロックBLKIn−2を選択するためのデコーダ6bIn−2は、偶数番目のブロックBLKOn−2および奇数番目のブロックBLKIn−2の右側のスペースに配置される。
デコーダ6bOn〜6bOn−2、6bIn〜6bIn−2は、各ブロックBLKOn、BLKIn、BLKOn−1、BLKIn−1、BLKOn−2、BLKIn−2に対応して、n型MOSトランジスタである複数の転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE、TSGDO、TWL0〜TWLxを含む。
なお、図2では、簡単のため、デコーダ6bOn、6bInにおいて、ワード線に接続されるトランジスタとして、転送MOSトランジスタTWL0、TWLxのみを、表記しており、その間に配置される転送MOSトランジスタは省略している。
転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE、TSGDOのドレインは、ソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDOにそれぞれ接続されている。転送MOSトランジスタTWL0〜TWLxのドレインは、各メモリセルトランジスタMの制御ゲートに接続されたワード線WL0〜WLxにそれぞれ接続されている。
この転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE、TSGDO、TWL0〜TWLxのソースは、ドライバ回路6aO、6aIに接続されたコントロール線CGSGS、CGSGDE、CGSGDO、CGWLにそれぞれ接続されている。
すなわち、デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2に対し、コントロール線CGSGS、CGSGDE、CGSGDO、CGWLが共通になるように配置されている。さらに、デコーダ6bIn、6bIn−1、6bIn−2に対し、コントロール線CGSGS、CGSGDE、CGSGDO、CGWLが共通になるように配置されている。
また、ドライバ回路6aO、6aIは、制御回路7の出力に応じて、転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE、TSGDO、TWL0〜TWLxのゲート電圧およびソース電圧を制御するようになっている。例えば、転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE、TSGDO、TWL0〜TWLxのゲートには、図示せぬ内部アドレス線からドライバ回路6aO、6aIに入力されるアドレスに従ってブロック選択信号が入力される。
すなわち、ロウデコーダ6は、ドライバ回路6aOで該ゲート電圧および該ソース電圧を制御することにより、デコーダ6bOn〜6bOn−2の転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE、TSGDO、TWL0〜TWLxを制御する。これにより、メモリセルアレイ1の各ブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2を選択し、選択したブロックの書き込み・読み出し動作を制御する。
また、ロウデコーダ6は、ドライバ回路6aIで該ゲート電圧および該ソース電圧を制御することにより、デコーダ6bIn〜6bIn−2の転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE、TSGDO、TWL0〜TWLxを制御する。これにより、メモリセルアレイ1の各ブロックBLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2を選択し、選択したブロックの書き込み・読み出し動作を制御する。
このように、メモリセルアレイ1の左側(Outer側)に2ブロックピッチで配置された(ブロック)デコーダ6bOn〜6bOn−2は、ドライバ回路6aOから出力される第1の系統の制御信号に基づいてブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2の動作を制御する。なお、ドライバ回路6aOには、ブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2のうち1つを選択するために、図示せぬ第1の内部アドレス線が接続されている。ドライバ回路6aOは、第1の内部アドレス線から入力されるアドレスに従って、ブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2のうち1つを選択する。
また、メモリセルアレイ1の左側(Outer側)に2ブロックピッチで配置された(ブロック)デコーダ6bIn〜6bIn−2は、第1の系統の制御信号と異なる第2の系統の制御信号に基づいてブロックBLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2の動作を制御する。なお、ドライバ回路6aIには、ブロックBLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2のうち1つを選択するために、第1の内部アドレス線と異なる図示せぬ第2の内部アドレス線が接続されている。ドライバ回路6aIは、第2の内部アドレス線から入力されるアドレスに従って、ブロックBLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2のうち1つを選択する。
このように、デコーダ6bOn〜6bOn−2のうち1つと、デコーダ6bIn〜6bIn−2のうち1つとを駆動させ、かつ、偶数列のセンスアンプと奇数列のセンスアンプとを独立して制御することができる。これにより、同一のメモリセルアレイ1における異なる2ブロックに対し、並行して、読み出し、或いは書き込み動作が実現可能になる。
また、例えば、デコーダ6bOn〜6bOn−2のうち1つと、デコーダ6bIn〜6bIn−2のうち1つとを並行して駆動させることにより、ブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2のうち1つと、BLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2のうち1つに対して並行して消去動作することができる。
ここで、図3は、図2に示すメモリセルアレイ1の1つのメモリセルトランジスタMの断面を示す断面図である。
図3に示すように、メモリセルトランジスタMは、浮遊ゲートFGと、制御ゲートCG(WL)と、拡散層42と、を有する。なお、制御ゲートCGは、ワード線WLと電気的に接続され、複数のメモリセルトランジスタM間において共通となっている。
半導体基板に形成されたウェル(ここではpウェル)41には、メモリセルトランジスタMのソース・ドレイン拡散層(ここではn+拡散層)となる拡散層42が形成されている。また、ウェル41の上にはゲート絶縁膜(トンネル絶縁膜)43を介して浮遊ゲートFGが形成されている。この浮遊ゲートFG上には、ゲート絶縁膜45を介して制御ゲートCGが形成されている。
このメモリセルトランジスタMは、閾値電圧に応じてデータを記憶し且つ閾値電圧を制御することにより記憶されているデータを書き換え可能になっている。この閾値電圧は、浮遊ゲートFGに蓄えられる電荷量により決まる。浮遊ゲートFG中の電荷量は、ゲート絶縁膜43を通るトンネル電流で変化させることができる。
すなわち、ウェル41と拡散層(ソース拡散層/ドレイン拡散層)42とに対して、制御ゲートCGを十分高い電圧にすると、ゲート絶縁膜43を通して電子が浮遊ゲートFGに注入される。これにより、メモリセルトランジスタMの閾値電圧が高くなる(例えば、記憶されるデータが2値の場合、書き込み状態に相当する)。
一方、制御ゲートCGに対して、ウェル41と拡散層(ソース拡散層/ドレイン拡散層)42とを十分高い電圧にすると、ゲート絶縁膜43を通して電子が浮遊ゲートFGから放出される。これにより、メモリセルトランジスタMの閾値電圧が低くなる(例えば、記憶されるデータが2値の場合、消去状態に相当する)。
このように、メモリセルトランジスタMは、浮遊ゲートFGに蓄積する電荷量を制御することにより、記憶するデータを書き換え可能である。
また、図4は、図2に示すメモリセルアレイ1のドレイン側選択MOSトランジスタSGDETr、SGDOTr、ソース側選択MOSトランジスタSGSTrの断面を示す断面図である。
図4に示すように、ウェル41には、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETr、SGDOTr、ソース側選択MOSトランジスタSGSTrのソース拡散層/ドレイン拡散層となる拡散層47が形成されている。また、ウェル41の上にはゲート絶縁膜48を介して制御ゲート49(転送MOSトランジスタSGS、SGDE、SGDO)が形成されている。
なお、上述のメモリセルアレイ1のドレイン側選択MOSトランジスタSGDETr、SGDOTr、ソース側選択MOSトランジスタSGSTr、およびメモリセルトランジスタMが形成されたウェル(基板)と、転送MOSトランジスタTSG1、TSG2、TWL0〜TWL63(図2)が形成されたウェル(基板)とは、STI(Shallow Trench Isolation)等により素子分離されている。
したがって、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETr、SGDOTr、ソース側選択MOSトランジスタSGSTr、およびメモリセルトランジスタMの基板(ウェル)電圧と、転送MOSトランジスタTSGDE、TSGDE、TSGS、TWL0〜TWLxの基板(ウェル)電圧と、を別々に制御することができるようになっている。
ここで、図5は、図1に示すブロックBLKOnのビット線BLEnに接続されたNANDセルユニット1aE近傍のビット線BLEnに沿った断面図である。また、図6は、図1に示すブロックBLKOnのビット線BLOnに接続されたNANDセルユニット1aO近傍のビット線BLOnに沿った断面図である。また、図7は、図1に示すブロックBLKOnのビット線BLEn+1に接続されたNANDセルユニット1aE近傍のビット線BLEn+1に沿った断面図である。
なお、図5ないし図7においては、一例として、図2のブロックBLKOn近傍に注目しているが、他のブロックにおいても同様の構成になる。
図5に示すように、複数のメモリセルトランジスタMは、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrのソース拡散層47とソース側選択MOSトランジスタSGSTrのドレイン拡散層47との間に直列に接続されている。
ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrは、ドレイン側選択ゲート線SGDEにゲートが接続され(ドレイン側選択ゲート線SGDEとゲートが共通)、ビット線BLEnにドレイン拡散層47、50が接続されている。
ここで、ドレイン側選択ゲート線SGDOの一部は、絶縁膜48を介してドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrの拡張されたドレイン拡散層50上に位置している。
これにより、ビット線BLEnに沿った断面近傍においては、ドレイン側選択ゲート線SGDOはMOSトランジスタを構成しない。
また、図6に示すように、複数のメモリセルトランジスタMは、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrのソース拡散層47、51、とソース側選択MOSトランジスタSGSTrのドレイン拡散層47との間に直列に接続されている。
ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrは、ドレイン側選択ゲート線SGDOにゲートが接続され(ドレイン側選択ゲート線SGDOとゲートが共通)、ビット線BLOnにドレイン拡散層47が接続されている。
ここで、ドレイン側選択ゲート線SGDEの一部は、絶縁膜48を介してドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrの拡張されたドレイン拡散層51上に位置している。
これにより、ビット線BLOnに沿った断面近傍においては、ドレイン側選択ゲート線SGDEはMOSトランジスタを構成しない。
また、図7に示すように、複数のメモリセルトランジスタMは、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrのソース拡散層47とソース側選択MOSトランジスタSGSTrのドレイン拡散層47との間に直列に接続されている。
ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrは、ドレイン側選択ゲート線SGDEにゲートが接続され(ドレイン側選択ゲート線SGDEとゲートが共通)、ビット線BLEn+1にドレイン拡散層47、50が接続されている。
ここで、ドレイン側選択ゲート線SGDEの一部は、絶縁膜48を介してドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrの拡張されたドレイン拡散層50上に位置している。
これにより、ビット線BLEn+1に沿った断面近傍においては、ドレイン側選択ゲート線SGDOはMOSトランジスタを構成しない。
また、図8は、ブロックBLKOnのドレイン側選択MOSトランジスタSGDETr、SGDOTr近傍の平面図である。なお、図8において、簡単のため、ビット線BLEn、BLOn、BLEn+1、BLOn+1についてはコンタクト部分のみ表している。
図8に示すように、ウェル41の素子領域AAEn、AAEn+1、AAOn、AAOn+1は、ビット線方向に延びて形成されている。これらの素子領域AAEn、AAEn+1、AAOn、AAOn+1は、STI等により互いに素子分離されている。
素子領域AAEn、AAEn+1には、ビット線方向に対して垂直なワード線方向に延びるドレイン側選択ゲート線SGDOと交差する領域に、拡散層50が形成されている。同様に、素子領域AAOn、AAOn+1には、ビット線方向に対して垂直なワード線方向に延びるドレイン側選択ゲート線SGDEと交差する領域に、拡散層51が形成されている。
このように、拡散層50、51が千鳥状にウェル41に形成されている。なお、図5ないし図8に示すように、ブロックBLKOn、BLKInは、同じウェル41上に形成されている。
ここで、以上のような構成を有するNAND型フラッシュメモリ100の動作の一例について説明する。
図9は、図2に示すNAND型フラッシュメモリ100の書き込み動作または読み出し動作時におけるドレイン側選択MOSトランジスタのオンオフの状態のモデルの一例を示す図である。また、図10は、図2に示すNAND型フラッシュメモリ100の書き込み動作または読み出し動作時におけるドレイン側選択MOSトランジスタのオンオフの状態のモデルの他の例を示す図である。
なお、図9、10においては、簡単のため、図2に示す構成のうち、ブロックBLKOn、BLKIn、BLKOn+1、BLKIn+1に関係する構成を表している。また、黒丸は、ドレイン側選択MOSトランジスタがオン状態であることを示し、白丸は、ドレイン側選択MOSトランジスタがオフ状態であることを示す。
図9に示すように、デコーダ6bOnが、ブロックBLKOnのドレイン側選択ゲート線SGDO、SGDEの電位を制御し、且つ、デコーダ6bInが、ブロックBLKInのドレイン側選択ゲート線SGDO、SGDEの電位を制御する。
これにより、ブロックBLKOnにおいて、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrがオンし、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrがオフする。さらに、ブロックBLKInにおいて、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrがオフし、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrがオンする。
すなわち、ブロックBLKOnに対しては偶数列のセンスアンプSAEn、SAEn+1が選択された状態になり、ブロックBLKInに対しては奇数列のセンスアンプSAOn、SAOn+1が選択された状態になる。
したがって、該第1、第2の系統の制御信号に応じて、デコーダ6bOn、6bInがそれぞれソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDO、ワード線WL0〜WLxの電位を制御することにより、2つの異なるブロックBLKOn、BLKInに対して、並行して書き込み動作または読み出し動作を制御することができる。
また、該第1、第2の系統の制御信号に応じて、2つのデコーダ6bOn、6bInがそれぞれソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDO、ワード線WL0〜WLxの電位を制御することにより、選択された2つの異なるブロックBLKOn、BLKIn内の全てのメモリセルトランジスタに対して、並行して消去動作を制御することができる。
また、図10に示すように、デコーダ6bOnが、ブロックBLKOnのドレイン側選択ゲート線SGDO、SGDEの電位を制御し、且つ、デコーダ6bIn−1が、ブロックBLKIn−1のドレイン側選択ゲート線SGDO、SGDEの電位を制御する。
これにより、ブロックBLKOnにおいて、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrがオンし、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrがオフする。さらに、ブロックBLKIn−1において、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrがオフし、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrがオンする。
すなわち、ブロックBLKOnに対しては偶数列のセンスアンプSAEn、SAEn+1が選択された状態になり、ブロックBLKIn−1に対しては奇数列のセンスアンプSAOn、SAOn+1が選択された状態になる。
したがって、該第1、第2の系統の制御信号に応じて、デコーダ6bOn、6bIn−1がそれぞれソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDO、ワード線WL0〜WLxの電位を制御することにより、2つの異なるブロックBLKOn、BLKIn−1に対して、並行して書き込み動作または読み出し動作を制御することができる。
また、該第1、第2の系統の制御信号に応じて、2つのデコーダ6bOn、6bIn−1がそれぞれソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDO、ワード線WL0〜WLxの電位を制御することにより、選択された2つの異なるブロックBLKOn、BLKIn−1内の全てのメモリセルトランジスタに対して、並行して消去動作を制御することができる。
ここで、図11は、NAND型フラッシュメモリ100のコマンド入力と動作との関係の一例を示すフロー図である。
図11に示すように、先ず、制御回路7に、データ入出力端子5およびデータ入出力バッファ4を介して、コマンド60hが入力され、続けて、選択する1つめのブロックとワード線(ロウアドレス)とを指定するページアドレスaが入力される。このページアドレスaは、偶数列のセンスアンプをアドレス指定するようになっている。そして、制御回路7から出力された制御信号に応じて、ロウデコーダ6は、ブロック、ワード線、センスアンプを選択する。
次に、制御回路7に、データ入出力端子5およびデータ入出力バッファ4を介して、コマンド60hが再度入力され、続けて、選択する2つめのブロックとワード線(ロウアドレス)とを指定するページアドレスbが入力される。このページアドレスbは、奇数列のセンスアンプをアドレス指定するようになっている。そして、制御回路7から出力された制御信号に応じて、ロウデコーダ6は、ブロック、ワード線、センスアンプを選択する。
次に、制御回路7に、データ入出力端子5およびデータ入出力バッファ4を介して、コマンド30hが入力されると、レディ/ビジー信号RY/BYが“High”レベルから“Low”レベルに遷移する。レディ/ビジー信号RY/BYが“Low”レベルの期間tR、制御回路7は、内部読み出し動作を制御する。読み出し対象のメモリセルトランジスタMが保持するデータがビット線制御回路2のデータ記憶回路に読み出されると、レディ/ビジー信号RY/BYが“Low”レベルから“High”レベルに遷移する。
次に、制御回路7に、データ入出力端子5およびデータ入出力バッファ4を介して、コマンド00hが入力され、データを出力する1つめのブロックとワード線とを指定するページアドレスaと、シリアルデータ出力を開始する偶数列のセンスアンプを指定するカラムアドレスと、が入力される。
そして、制御回路7に、データ入出力端子5およびデータ入出力バッファ4を介して、コマンドE0hが入力されると、制御回路7から出力された制御信号に応じて、ページアドレスaに対応するデータの半分(偶数列のセンスアンプに対応する分)が、ビット線制御回路2、データ入出力バッファ4、データ入出力端子5を介して出力される。
次に、制御回路7に、データ入出力端子5およびデータ入出力バッファ4を介して、コマンド00hが再度入力され、データを出力する2つめのブロックとワード線とを指定するページアドレスbと、シリアルデータ出力を開始する奇数列のセンスアンプを指定するカラムアドレスと、が入力される。
そして、制御回路7に、データ入出力端子5およびデータ入出力バッファ4を介して、コマンドE0hが再度入力されると、制御回路7から出力された制御信号に応じて、ページアドレスbに対応するデータの半分(奇数列のセンスアンプに対応する分)が、ビット線制御回路2、データ入出力バッファ4、データ入出力端子5を介して出力される。
このようにして、同一メモリセルアレイ内の2つの異なるブロックから、互いに異なるページアドレスに属するデータが並行して読み出される。なお、本実施例では主に読み出し動作を並行して行う場合について説明したが、書き込み動作についても同様に、同一メモリセルアレイ内の2つの異なるブロックに対して、互いに異なるページアドレスに属するデータを並行して書き込むことが可能である。
以上のように、本実施例に係るNAND型フラッシュメモリによれば、1つのメモリセルアレイの2つの異なるブロックに対して並行して読み出しや書き込み等の制御動作をすることができる。従って、大容量に加えて、ランダムなページアドレスに対するアクセス性能を重視するユーザにとっても利便性の高いNAND型フラッシュメモリを提供することができる。
既述の実施例1においては、奇数番目のブロックと偶数番目のブロックとに対して、並行して制御動作するNAND型フラッシュメモリの構成の一例について説明した。すなわち、メモリセルアレイ1の左側(Outer側)に配置されたドライバ回路6aOによって偶数番目のブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2から1つを選択し、メモリセルアレイの右側(Inner側)に配置されたドライバ回路6aIによって奇数番目のブロックBLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2から1つを選択する場合について説明した。
本実施例2においては、奇数番目のブロックと偶数番目のブロックとの組に対してのみ並行した制御動作が可能であるという実施例1に係るブロック選択の制約を排除し、2つの奇数番目のブロックまたは2つの偶数番目のブロックに対しても、並行して制御動作することが可能なNAND型フラッシュメモリの構成の一例ついて説明する。
なお、本実施例2のNAND型フラッシュメモリの全体的な構成は、実施例1の図1に示す構成と同様である。
図12は、図1に示すメモリセルアレイ1、ビット線制御回路2、およびロウデコーダ6を含む実施例2に係る構成の一例を示す回路図である。なお、図12において実施例1の図2の符号と同じ符号は実施例1と同様の構成を示す。また、図12において、簡単のため、右側のロウデコーダ6のドライバ回路6aIに接続された配線およびデコーダ6bIn、6bIn−1、6bIn−2の回路構成は、省略されているが、左側のロウデコーダ6のドライバ回路6aOに接続された配線およびデコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2の回路構成と同様である。
図12に示すように、ロウデコーダ6の構成が図2に示す実施例1の構成と異なり、メモリセルアレイ1、センスアンプSAEn、SAEN+1、SAOn、SAOn+1の構成は、図2に示す実施例1の構成と同様である。
ここで、ロウデコーダ6は、ドライバ回路6aO、6aIと、複数の(ブロック)デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2、6bIn、6bIn−1、6bIn−2と、コントロール線CGSGS、CGSGDE、CGSGDO、CGWLと、を有する。また、各デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2、6bIn、6bIn−1、6bIn−2毎に、セレクト線SEL0、SEL1、SEL2が配置されている。
デコーダ6bOnは、ブロックBLKOnに対応して、n型MOSトランジスタである複数の転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2、TWL0〜TWLxを含む。同様に、デコーダ6bOn+1〜6bOn−2、6bIn〜6bIn−2は、それぞれ、ブロックBLKOn、BLKIn、BLKOn−1、BLKIn−1、BLKOn−2、BLKIn−2に対応して、n型MOSトランジスタである複数の転送MOSトランジスタを含む。
なお、図12では、簡単のため、デコーダ6bOnにおいて、ワード線に接続されるトランジスタとして、転送MOSトランジスタTWL0、TWLxのみを、表記しており、その間に配置される転送MOSトランジスタは省略している。
転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2のドレインは、ソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDOにそれぞれ接続されている。転送MOSトランジスタTWL0〜TWLxのドレインは、各メモリセルトランジスタMの制御ゲートに接続されたワード線WL0〜WLxにそれぞれ接続されている。
この転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2、TWL0〜TWLxのソースは、ドライバ回路6aOに接続されたコントロール線CGSGS、CGSGDE1、CGSGDE2、CGSGDO1、CGSGDO2、CGWLにそれぞれ接続されている。
すなわち、デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2に対し、コントロール線CGSGS、CGSGDE1、CGSGDE1、CGSGDO2、CGSGDO2、CGWLが共通になるように配置されている。同様に、デコーダ6bIn、6bIn−1、6bIn−2に対し、コントロール線が共通になるように配置されている。
また、ドライバ回路6aOは、制御回路7の出力に応じて、転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2、TWL0〜TWLxのゲート電圧およびソース電圧を制御するようになっている。
すなわち、ロウデコーダ6は、ドライバ回路6aOで該ゲート電圧および該ソース電圧を制御することにより、デコーダ6bOn〜6bOn−2の転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2、TWL0〜TWLxを制御する。
例えば、ドライバ回路6aOは、デコーダ6bOnのセレクト線SEL0、SEL1の電位を“High”レベルにし、デコーダ6bOnのセレクト線SEL2の電位を“Low”レベルにする。これにより、デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDO1、TWL0〜TWLxがオンし、デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTSGDE2、TSGDO2がオフする。ブロックBLKOnのドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrのゲートにはコントロール線CGSGDE1が電気的に接続され、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrのゲートにはコントロール線CGSGDO1が電気的に接続される。さらに、コントロール線CGSGDE1、CGSGDO1の電位を制御することにより、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTr、SGDETrのオン/オフを制御することができる。
以上により、偶数番目のブロックBLKOnが選択され、偶数列のセンスアンプSAEn、SAEn+1により読み出しおよび書き込みを行うこと可能となる。
同様に、ドライバ回路6aOは、並行して、デコーダ6bOn−1のセレクト線SEL0、SEL2の電位を“High”レベルにし、デコーダ6bOnのセレクト線SEL1の電位を“Low”レベルにする。これにより、デコーダ6bOn−1の転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE2、TSGDO2、TWL0〜TWLxがオンし、デコーダ6bOn−1の転送MOSトランジスタTSGDE1、TSGDO1がオフする。ブロックBLKOn−1のドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrのゲートにはコントロール線CGSGDE2が電気的に接続され、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrのゲートにはコントロール線CGSGDO2が電気的に接続される。さらに、コントロール線CGSGDE2、CGSGDO2の電位を制御することにより、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTr、SGDETrのオン/オフを制御することができる。
以上により、偶数番目のブロックBLKOnと並行して、偶数番目のブロックBLKOn−1が選択され、奇数列のセンスアンプSAOn、SAOn+1により読み出しおよび書き込みを行うこと可能となる。
すなわち、ドライバ回路6aOは、メモリセルアレイ1の偶数番目のブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2のうちから2を選択し、選択したブロックの書き込みおよび読み出し動作を制御することができる。本実施例2では、ドライバ回路6aOから出力される第1の系統の制御信号のうちコントロール線CGSGDEおよびCGSGDOを、更に、コントロール線CGSGDE1およびCGSGDE2、CGSGDO1およびCGSGDO2の2系統に分割し、デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2内に2重のスイッチ(転送MOSトランジスタTSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2)を設けて排他制御を行うことで、同一側のドライバ回路による多重選択を実現している。
このように、デコーダ6bOn〜6bOn−2のうち2つを駆動させ、かつ、偶数列のセンスアンプと奇数列のセンスアンプとを独立して制御することができる。これにより、メモリセルアレイ1の左側(Outer側)に配置されたドライバ回路6aOによって偶数番目のブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2から1つを選択し、メモリセルアレイの右側(Inner側)に配置されたドライバ回路6aIによって奇数番目のブロックBLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2から1つを選択するのみならず、左側のドライバ回路6aOによって偶数番目のブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2から選択した2つのブロックに対し、並行して、読み出し、或いは書き込み動作が実現可能になる。
また、例えば、デコーダ6bOn〜6bOn−2のうち2つを並行して駆動させることにより、ブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2のうち2つに対して並行して消去動作することができる。
なお、デコーダ6bIn〜6bIn−2の制御動作は、デコーダ6bOn〜6bOn−2の制御動作と同様である。すなわち、メモリセルアレイ1の左側(Outer側)に配置されたドライバ回路6aOによって偶数番目のブロックBLKOn、BLKOn−1、BLKOn−2から1つを選択し、メモリセルアレイの右側(Inner側)に配置されたドライバ回路6aIによって奇数番目のブロックBLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2から1つを選択するのみならず、右側のドライバ回路6aIによって奇数番目のブロックBLKIn、BLKIn−1、BLKIn−2から選択された2つのブロックに対し、並行して、読み出し、或いは書き込み動作が実現可能になる。
図13は、図12に示すドライバ回路の選択信号SEL0、SEL1、SEL2を生成するための論理回路600の構成の一例を示す図である。上述の多重選択動作を実現するためには、内部アドレス線についてもドライバ回路6aO、6aI毎に2系統に分割することが必要である。すなわち、実施例1で説明した図示せぬ第1の内部アドレス線をアドレス線ad1およびad2の2系統とし、第2の内部アドレス線も同様にアドレス線ad1およびad2の2系統とする。アドレス線ad1は図11で説明した選択する1つ目のブロックとワード線を指定するためのページアドレスaに従って活性化し、アドレス線ad2は図11で説明した選択する2つ目のブロックとワード線を指定するためのページアドレスbに従って活性化する。
図13に示すように、論理回路600は、アドレス線ad1に入力が接続され、セレクト線SEL1に出力が接続されたAND回路6a1と、アドレス線ad2に入力が接続され、セレクト線SEL2に出力が接続されたAND回路6a2と、セレクト線SEL1、SEL2に入力が接続され、セレクト線SEL0に出力が接続されたOR回路6a3と、を含む。この論理回路600は、各デコーダ6bOn〜6bOn−2、6bIn〜6bIn−2に対応して、それぞれドライバ回路6aO、6aIに設けられている。
例えば、デコーダ6bOnに対応する論理回路600の場合を考える。外部から入力されたページアドレスaがブロックBLKOnを指定している場合、アドレス線ad1が活性化され、セレクト線SEL1の電位が“High”レベルとなり、一方、アドレス線ad2は活性化されず、SEL2の電位が“Low”レベルとなる。従って、セレクト線SEL0の電位が“High”レベルになる。これによりブロックBLKOnが選択される。
このとき、ドライバ回路6aOにより、コントロール線CGSGDE1の電位を“High”レベルにし、コントロール線CGSGDO1の電位を“Low”レベルにする。デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDO1、TWL0〜TWLxがオンし、デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTSGDE2、TSGDO2がオフしているので、コントロール線CGSGS、CGWL、CGSGDE1、CGSGDO1の電位が転送され、偶数列のセンスアンプSAEn、SAEn+1により、読み出しおよび書き込み動作が実現可能となる。
また例えば、デコーダ6bOn−1に対応する論理回路600の場合を考える。外部から入力されたページアドレスbがブロックBLKOnを指定している場合、アドレス線ad2が活性化され、セレクト線SEL2の電位が“High”レベルとなり、一方、アドレス線ad1は活性化されず、SEL1の電位が“Low”レベルとなる。従って、セレクト線SEL0の電位が“High”レベルになる。これによりブロックBLKOn−1が選択される。
このとき、ドライバ回路6aOにより、コントロール線CGSGDE2の電位を“High”レベルにし、コントロール線CGSGDO2の電位を“Low”レベルにする。デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE2、TSGDO2、TWL0〜TWLxがオンし、デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTSGDE1、TSGDO1がオフしているので、コントロール線CGSGS、CGWL、CGSGDE2、CGSGDO2の電位が転送され、奇数列のセンスアンプSAOn、SAOn+1により、読み出しおよび書き込み動作が実現可能となる。
ここで、以上のような構成を有するNAND型フラッシュメモリ100の動作の一例について説明する。
図14は、図12に示すNAND型フラッシュメモリ100の書き込み動作または読み出し動作時におけるドレイン側選択MOSトランジスタのオンオフの状態のモデルの一例を示す図である。また、図15は、図12に示すNAND型フラッシュメモリ100の書き込み動作または読み出し動作時におけるドレイン側選択MOSトランジスタのオンオフの状態のモデルの他の例を示す図である。
なお、図14、15においては、簡単のため、図12に示す構成のうち、ブロックBLKOn、BLKIn、BLKOn+1、BLKIn+1に関係する構成を表している。また、黒丸は、ドレイン側選択MOSトランジスタがオン状態であることを示し、白丸は、ドレイン側選択MOSトランジスタがオフ状態であることを示す。
図14に示すように、デコーダ6bOnが、ブロックBLKOnのドレイン側選択ゲート線SGDO、SGDEの電位を制御し、且つ、デコーダ6bOn−1が、ブロックBLKOn−1のドレイン側選択ゲート線SGDO、SGDEの電位を制御する。
これにより、ブロックBLKOnにおいて、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrがオンし、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrがオフする。さらに、ブロックBLKOn−1において、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrがオフし、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrがオンする。
すなわち、ブロックBLKOnに対しては偶数列のセンスアンプSAEn、SAEn+1が選択された状態になり、ブロックBLKOn−1に対しては奇数列のセンスアンプSAOn、SAOn+1が選択された状態になる。
したがって、第1の系統の制御信号のうち、少なくともコントロール線CGSGDEおよびCGSGDOを更に異なる2つの系統に分割し、第1の内部アドレス線もアドレス線ad1およびad2の2系統に分割し、デコーダ6bOn、6bOn−1がそれぞれソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDO、ワード線WL0〜WLxの電位を制御することにより、2つの異なるブロックBLKOn、BLKOn−1に対して、並行して書き込み動作または読み出し動作を制御することができる。
また、第1の系統の制御信号のうち、少なくともコントロール線CGSGDEおよびCGSGDOを更に異なる2つの系統に分割し、第1の内部アドレス線もアドレス線ad1およびad2の2系統に分割し、2つのデコーダ6bOn、6bOn−1がそれぞれソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDO、ワード線WL0〜WLxの電位を制御することにより、選択された2つの異なるブロックBLKOn、BLKOn−1内の全てのメモリセルトランジスタに対して、並行して消去動作を制御することができる。
また、図15に示すように、デコーダ6bInが、ブロックBLKInのドレイン側選択ゲート線SGDO、SGDEの電位を制御し、且つ、デコーダ6bIn−1が、ブロックBLKIn−1のドレイン側選択ゲート線SGDO、SGDEの電位を制御する。
これにより、ブロックBLKInにおいて、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrがオンし、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrがオフする。さらに、ブロックBLKIn−1において、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDETrがオフし、ドレイン側選択MOSトランジスタSGDOTrがオンする。
すなわち、ブロックBLKInに対しては偶数列のセンスアンプSAEn、SAEn+1が選択された状態になり、ブロックBLKIn−1に対しては奇数列のセンスアンプSAOn、SAOn+1が選択された状態になる。
したがって、第2の系統の制御信号のうち、少なくともコントロール線CGSGDEおよびCGSGDOを更に異なる2つの系統に分割し、第2の内部アドレス線もアドレス線ad1およびad2の2系統に分割し、デコーダ6bIn、6bIn−1がそれぞれソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDO、ワード線WL0〜WLxの電位を制御することにより、2つの異なるブロックBLKIn、BLKIn−1に対して、並行して書き込み動作または読み出し動作を制御することができる。
また、第2の系統の制御信号のうち、少なくともコントロール線CGSGDEおよびCGSGDOを更に異なる2つの系統に分割し、第2の内部アドレス線もアドレス線ad1およびad2の2系統に分割し、2つのデコーダ6bIn、6bIn−1がそれぞれソース側選択ゲート線SGS、ドレイン側選択ゲート線SGDE、SGDO、ワード線WL0〜WLxの電位を制御することにより、選択された2つの異なるブロックBLKIn、BLKIn−1内の全てのメモリセルトランジスタに対して、並行して消去動作を制御することができる。
以上のように、本実施例に係るNAND型フラッシュメモリによれば、1つのメモリセルアレイの2つの異なるブロックに対して並行して読み出しや書き込み等の制御動作をすることができる。
また、本実施例に係るNAND型フラッシュメモリによれば、メモリセルアレイの両側にドライバ回路を配置し、一側のドライバ回路と他側のドライバ回路とが1つおきにブロック選択を行う場合において、一側のドライバ回路と他側のドライバ回路とでブロックの多重選択を行う場合に加え、一側のドライバ回路でブロックの多重選択を行う場合、他側のドライバ回路でブロックの多重選択を行う場合についても並行して制御動作をすることができる。
既述の実施例2においては、2つの奇数番目のブロックまたは2つの偶数番目のブロックに対して、並行して制御動作することが可能なNAND型フラッシュメモリの構成の一例ついて説明した。
本実施例3においては、実施例2の応用として、2つの奇数番目のブロックまたは2つの偶数番目のブロックに対して、それぞれワード線に印加する電位を個別に並行して制御動作することが可能なNAND型フラッシュメモリの構成の一例ついて説明する。
なお、本実施例3のNAND型フラッシュメモリの全体的な構成は、実施例1の図1に示す構成と同様である。
図16は、図1に示すメモリセルアレイ1、ビット線制御回路2、およびロウデコーダ6を含む実施例3に係る構成の一例を示す回路図である。なお、図16において実施例2の図12の符号と同じ符号は実施例2と同様の構成を示す。また、図16において、簡単のため、右側のロウデコーダ6のドライバ回路6aIに接続された配線およびデコーダ6bIn、6bIn−1、6bIn−2の回路構成は、省略されているが、左側のロウデコーダ6のドライバ回路6aOに接続された配線およびデコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2の回路構成と同様である。
図16に示すように、ロウデコーダ6の構成が図12に示す実施例2の構成と異なり、メモリセルアレイ1、センスアンプSAEn、SAEN+1、SAOn、SAOn+1の構成は、図2に示す実施例1の構成と同様である。
ここで、ロウデコーダ6は、ドライバ回路6aO、6aIと、複数の(ブロック)デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2、6bIn、6bIn−1、6bIn−2と、コントロール線CGSGS、CGSGDE、CGSGDO、CGWLと、を有する。なお、コントロール線CGWLは、コントロール線CGWL0a、CGWL0b、CGWLxa、CGWLxbを含む。また、各デコーダ6bOn、6bOn−1、6bOn−2、6bIn、6bIn−1、6bIn−2毎に、セレクト線SEL0、SEL1、SEL2が配置されている。
デコーダ6bOnは、ブロックBLKOnに対応して、n型MOSトランジスタである複数の転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2、TWL0a、TWL0b〜TWLxa、TWL0bを含む。
同様に、デコーダ6bOn+1〜6bOn−2、6bIn〜6bIn−2は、それぞれ、ブロックBLKOn、BLKIn、BLKOn−1、BLKIn−1、BLKOn−2、BLKIn−2に対応して、n型MOSトランジスタである複数の転送MOSトランジスタを含む。
すなわち、実施例3のデコーダ6bOn〜6bOn−2、6bIn〜6bIn−2は、実施例2と比較して、1つワード線に接続された転送MOSトランジスタの数が2つに成っている点が異なる。
なお、図16では、簡単のため、デコーダ6bOnにおいて、ワード線に接続されるトランジスタとして、転送MOSトランジスタTWL0a、TWL0b、TWLxaTWLxbのみを、表記しており、その間に配置される転送MOSトランジスタは省略している。
転送MOSトランジスタTWL0a、TWL0bのドレインは、メモリセルトランジスタMの制御ゲートに接続されたワード線WL0に接続されている。また、転送MOSトランジスタTWLxa、TWLxbのドレインは、メモリセルトランジスタMの制御ゲートに接続されたワード線WLxに接続されている。
この転送MOSトランジスタTWL0a、TWL0b、TWLxa、TWLxbのソースは、ドライバ回路6aOに接続されたコントロール線CGWL0a、CGWL0b、CGWLxa、CGWLxbにそれぞれ接続されている。
なお、実施例3のロウデコーダ6のその他の構成は、実施例2のロウデコーダ6の構成と同様である。
ここで、ドライバ回路6aOは、制御回路7の出力に応じて、転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2、TWL0a〜TWLxbのゲート電圧およびソース電圧を制御するようになっている。
すなわち、ロウデコーダ6は、ドライバ回路6aOで該ゲート電圧および該ソース電圧を制御することにより、デコーダ6bOn〜6bOn−2の転送MOSトランジスタTSGS、TSGDE1、TSGDE2、TSGDO1、TSGDO2、TWL0a〜TWLxbを制御する。
例えば、ドライバ回路6aOは、デコーダ6bOnのセレクト線SEL0、SEL1の電位を“High”レベルにし、デコーダ6bOnのセレクト線SEL2の電位を“Low”レベルにする。これにより、デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTWL0a、TWLxaがオンし、デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTWL0b、TWLxbがオフする。
これにより、ブロックBLKOnのワード線WL0はコントロール線CGWL0aと電気的に接続され、ワード線WLxはコントロール線CGWLaが電気的に接続される。さらに、コントロール線CGWL0a、CGWLxaの電位を制御することにより、ブロックBLKOnのワード線WL0、WLxの電位を制御することができる。
同様に、ドライバ回路6aOは、デコーダ6bOn−1のセレクト線SEL0、SEL2の電位を“High”レベルにし、デコーダ6bOn−1のセレクト線SEL1の電位を“Low”レベルにする。これにより、デコーダ6bOn−1の転送MOSトランジスタTWL0b、TWLxbがオンし、デコーダ6bOnの転送MOSトランジスタTWL0a、TWLxaがオフする。
これにより、ブロックBLKOn−1のワード線WL0はコントロール線CGWL0bと電気的に接続され、ワード線WLxはコントロール線CGWLbが電気的に接続される。さらに、コントロール線CGWL0b、CGWLxbの電位を制御することにより、ブロックBLKOn−1のワード線WL0、WLxの電位を制御することができる。
なお、ロウデコーダ6のその他の動作は、実施例2のロウデコーダ6の動作と同様である。
以上のように、本実施例に係るNAND型フラッシュメモリによれば、実施例2と同様に、1つのメモリセルアレイの2つの異なるブロックに対して並行して読み出しや書き込み等の制御動作をすることができる。さらに、1つのメモリセルアレイの2つの異なるブロックに対して、ワード線の電位を異なるように制御することができる。
1 メモリセルアレイ
2 ビット線制御回路
3 カラムデコーダ
4 データ入出力バッファ
5 データ入出力端子
6 ロウデコーダ
7 制御回路
8 制御信号入力端子
9 ソース線制御回路
10 ウェル制御回路
100 NAND型フラッシュメモリ
2 ビット線制御回路
3 カラムデコーダ
4 データ入出力バッファ
5 データ入出力端子
6 ロウデコーダ
7 制御回路
8 制御信号入力端子
9 ソース線制御回路
10 ウェル制御回路
100 NAND型フラッシュメモリ
Claims (10)
- メモリセルトランジスタがマトリクス状に配置された複数のブロックで構成されるメモリセルアレイを有するNAND型フラッシュメモリであって、
第1のビット線と、
前記第1のビット線に接続され、前記第1のビット線の電位をセンスしまたは制御する第1のセンスアンプと、
第2のビット線と、
前記第2のビット線に接続され、前記第2のビット線の電位をセンスしまたは制御する第2のセンスアンプと、
第1のドレイン側選択ゲート線と、
第2のドレイン側選択ゲート線と、
第3のドレイン側選択ゲート線と、
第4のドレイン側選択ゲート線と、
第1のソース側選択ゲート線と、
第2のソース側選択ゲート線と、
前記第1のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第1のビット線にドレイン拡散層が接続された第1のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第1のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第1のソース側選択MOSトランジスタと、前記第1のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第1のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第1のメモリセルトランジスタと、前記第2のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第2のビット線にドレイン拡散層が接続された第2のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第1のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第2のソース側選択MOSトランジスタと、前記第2のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第2のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第2のメモリセルトランジスタと、を含む第1のブロックと、
前記第3のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され前記第1のビット線にドレイン拡散層が接続された第3のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第2のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第3のソース側選択MOSトランジスタと、前記第3のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第3のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第3のメモリセルトランジスタと、前記第4のドレイン側選択ゲート線にゲートが接続され、前記第2のビット線にドレイン拡散層が接続された第4のドレイン側選択MOSトランジスタと、前記第2のソース側選択ゲート線にゲートが接続された第4のソース側選択MOSトランジスタと、前記第4のドレイン側選択MOSトランジスタのソース拡散層と前記第4のソース側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層との間に直列に接続された複数の第4のメモリセルトランジスタと、を含む第2のブロックと、
前記第1または第3のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフし、且つ、前記第2または第4のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフするデコーダと、
を備えることを特徴とするNAND型フラッシュメモリ。 - 前記デコーダは、前記第1および第2のブロックに対して並行して書き込み動作または読み出し動作する場合に、前記第1または第3のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフし、且つ、前記第2または第4のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフする
ことを特徴とする請求項1に記載のNAND型フラッシュメモリ。 - 前記デコーダは、前記第1および第4のドレイン側選択MOSトランジスタをオンし、且つ、前記第2および第3のドレイン側選択MOSトランジスタをオフする
ことを特徴とする請求項1または2に記載のNAND型フラッシュメモリ。 - 前記デコーダは、
第1の系統の制御信号に基づいて前記第1のブロックの動作を制御する第1のデコーダと、
前記第1の系統の制御信号と異なる第2の系統の制御信号に基づいて前記第2のブロックの動作を制御する第2のデコーダと、を含む
ことを特徴とする請求項1に記載のNAND型フラッシュメモリ。 - 前記第1のデコーダおよび前記第2のデコーダを用いて、前記第1および第2のブロックに対して並行して消去動作する
ことを特徴とする請求項4に記載のNAND型フラッシュメモリ。 - 前記第1のデコーダが、前記第1のドレイン側選択ゲート線および前記第2のドレイン側選択ゲート線の電位を制御し、且つ、前記第2のデコーダが、前記第3のドレイン側選択ゲート線および前記第4のドレイン側選択ゲート線の電位を制御することにより、前記第1または第3のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフし、且つ、前記第2または第4のドレイン側選択MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフする
ことを特徴とする請求項4に記載のNAND型フラッシュメモリ。 - 前記第1のドレイン側選択ゲート線の一部は絶縁膜を介して前記第2のドレイン側選択MOSトランジスタの前記ドレイン拡散層上に位置し、
前記第2のドレイン側選択ゲート線は前記第1のドレイン側選択ゲート線と平行に配置され、且つ、その一部は絶縁膜を介して前記第1のドレイン側選択MOSトランジスタの前記ドレイン拡散層上に位置し、
前記第3のドレイン側選択ゲート線は前記第1のドレイン側選択ゲート線と平行に配置され、且つ、その一部は絶縁膜を介して前記第4のドレイン側選択MOSトランジスタの前記ドレイン拡散層上に位置し、
前記第4のドレイン側選択ゲート線は前記第1のドレイン側選択ゲート線と平行に配置され、且つ、その一部は、絶縁膜を介して前記第3のドレイン側選択MOSトランジスタのドレイン拡散層上に位置する
ことを特徴とする請求項1に記載のNAND型フラッシュメモリ。 - 前記第1のブロックおよび前記第2のブロックは、同じウェル上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のNAND型フラッシュメモリ。
- 前記デコーダは、
第1のコントロール線と、
第2のコントロール線と、
第3のコントロール線と、
第4のコントロール線と、
前記第1のコントロール線に一端が接続され、前記第1のドレイン側選択ゲート線に他端が接続された第1の転送MOSトランジスタと、
前記第2のコントロール線に一端が接続され、前記第1のドレイン側選択ゲート線に他端が接続された第2の転送MOSトランジスタと、
前記第3のコントロール線に一端が接続され、前記第2のドレイン側選択ゲート線に他端が接続された第3の転送MOSトランジスタと、
前記第4のコントロール線に一端が接続され、前記第2のドレイン側選択ゲート線に他端が接続された第4の転送MOSトランジスタと、を含む
ことを特徴とする請求項1に記載のNAND型フラッシュメモリ。 - 前記デコーダは、
第1のコントロール線と、
第2のコントロール線と、
前記第1のコントロール線に一端が接続され、前記第1のメモリセルトランジスタの制御ゲートに接続されたワード線に他端が接続された第1の転送MOSトランジスタと、
前記第2のコントロール線に一端が接続され、前記ワード線に他端が接続された第2の転送MOSトランジスタと、を含み、
前記第1または前記第2の転送MOSトランジスタのうち一方をオンし他方をオフし、前記第1および前記第2のコントロール線の電位を制御することにより、前記ワード線の電位を制御する
ことを特徴とする請求項1に記載のNAND型フラッシュメモリ。
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JP2009270417A JP2011113619A (ja) | 2009-11-27 | 2009-11-27 | Nand型フラッシュメモリ |
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US9633742B2 (en) * | 2014-07-10 | 2017-04-25 | Sandisk Technologies Llc | Segmentation of blocks for faster bit line settling/recovery in non-volatile memory devices |
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-
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- 2010-09-20 US US12/886,275 patent/US8259502B2/en active Active
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