JP2009061568A - 板状物加工用トレイおよび加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の矩形状の被加工物Wをセットしたトレイ1を研削装置10のチャックテーブル20に吸着、保持し、研削ユニット30A,30Bによって被加工物Wを研削する。トレイ1は、被加工物Wに対応した形状の多孔質材料からなる吸引基底部3の周囲に半導体ウェーハの外形と同様の外形を有する枠体2が形成されたものとする。チャックテーブル20には、吸引基底部3に対応する第1の吸着エリア21と、枠体2に対応する第2の吸着エリア22とが形成されている。吸引基底部3を第1の吸着エリア21に、枠体2を第2の吸着エリア22に対応させたトレイ1を介して、チャックテーブル20に被加工物Wを保持する。
【選択図】図3
Description
10…研削装置(加工装置)、20…チャックテーブル(保持手段)、
20a…保持面、21…第1の吸着エリア、21L…第1の真空ライン
22…第2の吸着エリア、22L…第2の真空ライン、
30A,30B…研削ユニット(加工手段)、32…スピンドルシャフト(回転軸)、
35…砥石ホイール(加工工具)、W…被加工物
Claims (2)
- 板状の被加工物が載置され、その被加工物を真空吸着式の保持手段に保持するためのトレイであって、
被加工物の形状に対応する形状を有するとともに、真空吸引孔が全域にわたって形成されており、被加工物が片面を露出した状態で載置される吸引基底部と、該吸引基底部を囲繞し、前記保持手段の形状に対応する形状を有する枠体と、
前記吸引基底部と前記枠体との間の境界部分に着脱可能に装着され、装着された状態で被加工物の露出した片面の高さを超えない高さを有し、吸引基底部に載置された被加工物の位置ずれを防ぐ規制手段と
を備えることを特徴とする板状物加工用トレイ。 - トレイを保持する平坦な保持面を有する真空吸着式の保持手段と、
前記保持面に対向して配置され、該保持面に対して、回転式の加工工具が離接可能、かつその回転軸が略直交して設けられた加工手段とを備え、
前記トレイは請求項1に記載のトレイであり、
前記保持手段の前記保持面は、前記吸引基底部に対応した第1の吸着エリアと、前記枠体に対応した第2の吸着エリアとが同一平面をなして形成されており、
これら各吸着エリアに対して、保持面上方の空気を吸引するための真空ラインが個別に設けられていることを特徴とする加工装置。
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