JPH02108331U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02108331U JPH02108331U JP1723489U JP1723489U JPH02108331U JP H02108331 U JPH02108331 U JP H02108331U JP 1723489 U JP1723489 U JP 1723489U JP 1723489 U JP1723489 U JP 1723489U JP H02108331 U JPH02108331 U JP H02108331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- recess
- holder body
- depth
- fixing means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例によるウエハーホ
ルダーを示す平面図および断面図、第２図は第２
実施例を示す平面図および断面図、第３図は従来
のウエハー着荷状態を示す模式図、第４図はカセ
ツトを示す斜視図である。 図において、１はウエハー、１１，２１はホル
ダー本体、１１ａ，２１ａはオリエンテーシヨン
フラツト、１１―１，２１―１は凹部、１１―１
ａは吸引溝、１１―１ｂは孔、１１―２は吸着溝
、２１―１ａは雌ねじ、２１―２は押しねじ、２
１―３は当て板、を示す。
ルダーを示す平面図および断面図、第２図は第２
実施例を示す平面図および断面図、第３図は従来
のウエハー着荷状態を示す模式図、第４図はカセ
ツトを示す斜視図である。 図において、１はウエハー、１１，２１はホル
ダー本体、１１ａ，２１ａはオリエンテーシヨン
フラツト、１１―１，２１―１は凹部、１１―１
ａは吸引溝、１１―１ｂは孔、１１―２は吸着溝
、２１―１ａは雌ねじ、２１―２は押しねじ、２
１―３は当て板、を示す。
Claims (1)
- 円板状に成形したホルダー本体１１の一方の面
に、ウエハー１の外形が遊合できるとともに該ホ
ルダー本体１１の表面に対して該ウエハー１の表
面が同一高さ以上となる深さの凹部１１―１を設
け、該ウエハー１の固着手段１１―１ａを該凹部
１１―１に形成してなることを特徴とするウエハ
ーホルダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1723489U JPH02108331U (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1723489U JPH02108331U (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02108331U true JPH02108331U (ja) | 1990-08-29 |
Family
ID=31230836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1723489U Pending JPH02108331U (ja) | 1989-02-15 | 1989-02-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02108331U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0373452U (ja) * | 1989-11-20 | 1991-07-24 | ||
| JP2009061568A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物加工用トレイおよび加工装置 |
-
1989
- 1989-02-15 JP JP1723489U patent/JPH02108331U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0373452U (ja) * | 1989-11-20 | 1991-07-24 | ||
| JP2009061568A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物加工用トレイおよび加工装置 |