JP5137747B2 - ワーク保持機構 - Google Patents
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Description
上記案内部は、支持プレートに形成された放射方向に延びる長孔で構成されており、保持部材は、ワークの外周縁に係合する係合凹部を備えた係合部と、該係合部に設けられ、長孔に挿通される被案内支持部とを備えている。
[1]半導体ウェーハ
まずはじめに、図1に示す一実施形態に係る半導体ウェーハを説明する。この半導体ウェーハ1(以下、ウェーハ1)はシリコンウェーハ等であって、加工前の厚さは例えば700μm程度のものである。ウェーハ1の表面(図1ではウェーハ1の裏面側を上にしている)には格子状の分割予定ライン2によって複数の矩形状のチップ3が区画されている。これらチップ3の表面には、ICやLSI等の図示せぬ電子回路が形成されている。また、ウェーハ1の周面の所定箇所には、半導体の結晶方位を示すV字状の切欠き(ノッチ)4が形成されている。
図2に示すウェーハ研削加工装置10は、上記ワーク9を真空吸着式のチャックテーブル30に吸着して保持し、2台の研削ユニット(粗研削用と仕上げ研削用)40A,40Bによってウェーハ1の裏面に対し粗研削と仕上げ研削を順次行うものである。以下、この装置10の構成ならびに動作を説明する。
上記回収手段70は本発明に係るワーク保持機構80を備えており、以下、この回収手段70を詳述する。
図2に示すように、回収手段70は上記供給手段20のX方向奥側に隣接して配設されており、供給手段20と同様の、上下動可能とされた回転軸71と、この回転軸71に固定された水平なアーム72を備えている。アーム72の先端は下方に直角に屈曲しており、その先端にはフランジ73が設けられている。そしてこのフランジ73に、ワーク保持機構80が装着されている。
以上の構成からなる回収手段70により、裏面研削されたウェーハ1を備えたワーク9はチャックテーブル30からスピンナ式洗浄装置60に移送される。以下、その動作を図7〜図13(これら図は構成要素を一部省略した概要図としている)を参照して説明する。
上記本実施形態のワーク保持機構80は、ワーク9の外周縁を保持してウェーハ1の被研削面である裏面が上方に露出した状態を保ちつつ、そのウェーハ1の裏面にチューブ130から水を供給しながら、ワーク9をチャックテーブル30からスピンナ式洗浄装置60まで移送する。ウェーハ1は裏面が常に水で濡れた状態でスピンナ式洗浄装置60まで搬送されるので、乾燥が防止される。すなわち、ウェーハ1の裏面は水洗によって汚れが落ちやすい状態が維持され、このため、スピンナ式洗浄装置60においてウェーハ1は十分に洗浄される。
9…ワーク
10…ウェーハ研削加工装置
30…チャックテーブル
32a…チャックテーブルの上面(載置面)
80…ワーク保持機構
81…保持部材
82…係合凹部
82a…上側テーパ面(ワーク受け面)
83…係合部
84…軸部(被案内支持部)
91…支持プレート
92…長孔(案内部)
93…段付きナット(回動軸)
95…スペーサピン
100…移動手段
101…回動プレート
110…リンク
120…エアシリンダ(回動駆動手段)
130…チューブ(水供給手段)
W…水
Claims (5)
- 円板状のワークを保持して搬送するためのワーク保持機構であって、
前記ワークの外周縁を保持する3個以上の保持部材と、
該保持部材で外周縁が保持される前記ワークに対向して位置付けられ、該保持部材を放射方向に案内する案内部を有し、該案内部に沿って前記保持部材を移動可能に支持する支持プレートと、
前記保持部材を前記案内部に沿って移動させる移動手段と、
前記支持プレートの中心を貫通して設けられ、前記保持部材に保持された前記ワークの前記支持プレートへの対向面に水を供給する水供給手段とを少なくとも備え、
ワーク搬送時においては、前記水供給手段から前記保持部材に保持した前記ワークに水を供給しながら該ワークを搬送することを特徴とするワーク保持機構。 - 前記案内部は、前記支持プレートに形成された前記放射方向に延びる長孔で構成されており、
前記保持部材は、前記ワークの外周縁に係合する係合凹部を備えた係合部と、
該係合部に設けられ、前記長孔に挿通される被案内支持部とを備えることを特徴とする請求項1に記載のワーク保持機構。 - 前記保持部材は、前記係合凹部に連続し、かつ、該係合凹部に外周縁が係合する前記ワークと前記支持プレートとの間に形成され、該ワークの外周縁を前記係合凹部に案内するテーパ状のワーク受け面を有していることを特徴とする請求項2に記載のワーク保持機構。
- 前記移動手段は、
前記支持プレートの略中心に回動軸を介して回動自在に取り付けられた回動プレートと、
前記各保持部材ごとに設けられ、一端部が該保持部材に、他端部が前記回動プレートに、それぞれ回動自在に連結されたリンクと、
前記回動プレートを回動させる回動駆動手段とを備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のワーク保持機構。 - 前記ワークは所定の載置面に載置されており、
前記支持プレートの、前記保持部材に保持された前記ワークへの対向面に、該対向面と前記載置面との間に一定の間隔を確保する複数のスペーサピンが突設されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のワーク保持機構。
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