JP2019147203A - パッケージ基板用フレーム及びパッケージ基板の研削方法 - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
4 フレーム本体
4a 表面
4b 裏面
4c 凹部
4d 開口部
4e 目印部
4f 開口部
6 庇部
6a 表面
6b 裏面
6c 開口部
10 空間
12 粘着テープ
20 研削装置
22 基台
22a 開口
24 搬送ユニット
26a,26b カセット
28 位置調整機構
30 搬送ユニット
32 基台
34 吸着パッド
36 ターンテーブル
38 チャックテーブル
38a 保持面
38b 凸部
40 支持構造
42 Z軸移動機構
44 Z軸移動プレート
46 Z軸ガイドレール
48 Z軸ボールネジ
50 Z軸パルスモータ
52 研削ユニット
54 スピンドルハウジング
56 研削ホイール
58 搬送ユニット
60 洗浄機構
62 吸引部
62a 吸引面
64 吸引路
66 スピンドル
68 マウント
70 ホイール基台
72 研削砥石
11 パッケージ基板
13 基板
13a 表面
13b 裏面
15 モールド樹脂
17 端材領域
19 フレームユニット
21 フレキシブル基板
23a,23b モールド樹脂
Claims (3)
- 外周部に端材領域を備える基板の表面の該端材領域を除く領域がモールド樹脂で覆われてなるパッケージ基板をチャックテーブルによって吸引保持して該モールド樹脂を研削する際に用いるパッケージ基板用フレームであって、
被加工物を吸引する円形の吸引面を備える該チャックテーブルの該吸引面の径以上の径を有する円板状のフレーム本体と、
該フレーム本体に形成され該パッケージ基板の該モールド樹脂を露出させる開口部と、
該開口部の外周に沿って設けられ、該端材領域を覆う庇部と、を備えることを特徴とするパッケージ基板用フレーム。 - 該フレーム本体に形成され、該フレーム本体の方向を示す目印部を備えることを特徴とする請求項1記載のパッケージ基板用フレーム。
- 請求項1又は2記載のパッケージ基板用フレームを用いたパッケージ基板の研削方法であって、
該モールド樹脂が該開口部から該フレーム本体の表面側に露出し、該端材領域が該庇部に覆われるように該パッケージ基板を位置付け、該フレーム本体の裏面側に粘着テープを貼付することにより該パッケージ基板を該フレーム本体に固定してフレームユニットを形成するフレームユニット形成ステップと、
該チャックテーブルによって該フレームユニットを保持し、該開口部から該フレーム本体の表面側に露出した該モールド樹脂を研削ユニットで研削する研削ステップと、を備えることを特徴とするパッケージ基板の研削方法。
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