JP2006114225A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超小型で高感度かつ高分解能のSEMを得るために静電レンズを主たる収束手段とし、電子源と試料との間でカラム内部に電子線のドリフト管を設け、この中に二次電子検出器をおく構造とする。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は超小型で高感度かつ高分解能のSEMを実用とするに際して問題となる電子源の超高真空雰囲気維持機構と二次電子検出系をハウジングに内蔵または付帯させ、絶縁体を含む試料を高感度かつ高分解能で顕微鏡観察や三次元構造観察する装置を提供することにある。
電子源5は材料Zr/O/Wからなるショットキー電子源で1600から1800Kに加熱し、サプレッサ電極6と引き出し電極4により、電子線である電子線プローブ20を形成する電子銃部分を構成している。電子線プローブ20は、試料基板25に入射する際に、電子源側に配置された対物レンズ内側電極3と試料側に配置された対物レンズ試料側電極2からなる静電型の対物レンズにより収束し、直径が30nmから2nm程度の微細な電子線プローブとなる。これを偏向器24によりx、y方向にスキャンし、出てきた二次電子あるいは反射電子を電子検出器7で検出し、電気信号に変換してコントローラ8で信号処理し、ディスプレー9にSEM像を表示する。
ドリフト管1への印加電圧Vpは4kVから20kVであり、これはワーキングディスタンスWDにより変わる。WD=5mmの場合は5kV程度、WD=2mmの場合は10kV程度、WD<2mmの場合は10から20kVとして用いる。電子源5には、電子線を加速させるための加速電圧Vaが印加され、本実施例ではVaは−1kV程度である。なお、Vaの範囲は−500V程度から−3kV程度が好適である。ドリフト管内には、入射された電子が一定速度で動くドリフト領域が形成されており、ドリフト領域内では、電子は、ドリフト管への印加電圧Vpと電子源1に印加する加速電圧Vaの絶対値の和のエネルギーに保たれる。試料にはサンプルバイアスVsが印加される。Vsを調整することにより、二次電子の検出感度を調整することができ、本実施例では、Vsは0から−2kV程度であった。ドリフト管の下面には対物レンズ内側電極3が配置される。対物レンズ内側電極3は、ドリフト管下面部と一体化されている場合もある。対物レンズ内側電極3には、ドリフト管への印加電圧Vpと同一の電圧が印加される。対物レンズ内側電極3と対物レンズ試料側電極2の間の電界を調整することで、対物レンズのレンズ主面の位置を対物レンズ試料側電極2と試料との間に形成する。対物レンズよりも試料側にレンズ主面を形成することでWDを小さくしてもレンズ収差を小さくすることができる。
D2=(1+2 Ldet/Lobj)Dobj (式1)
が有効で、これより外には電子が来ない。また、B軌道をとる場合、
D2=(1+ Ldet/Lobj)Dobj (式2)
となる。実用的にはVsを考慮してこれらの値の±20%以内のサイズを選べばよい。
また、D2が定められている場合には上記(式1)と(式2)を基にLdetを定めても良い。
さらに、電子光学系の条件として、以下の式を満足するという条件に沿って各値を設定する。
50 < |Va| < 2000, (式4)
4 ≦ Vp/|Va| ≦ 20
Vp/|Va| が4を下回ると電子ビーム径は20から30 nmを超え、これは、従来の減速型静電レンズで十分達成可能である。
なお、この場合、二次電子が検出器7に到達するときの最外径はVsによって表1に示すようになっているので、D2は10mm程度のものがあれば良く、これは、図3の軌道Bに相当する。
また、本実施例においてはドリフト管内に電子検出器を備えた構造としたが、図3(b)のようにドリフト管内上壁と電子検出器を一体とさせても良い。ドリフト管と電子検出器を一体とすることで製造工程を短縮化できるという効果がある。
基板上にナノパターンを形成する手段の一つ、ナノインプリント用の金型100の検査装置に応用した例である。ナノインプリント法とは、対象とするSi、プラスチック、ガラス等の基板上に熱硬化性あるいは光硬化性などの硬化性を持った樹脂の薄膜を形成し、これに金型を押し付けて樹脂を整形したまま、熱あるいは紫外線などにより樹脂を硬化させ、その後金型を剥離してナノパターンを形成する工程である。紫外線を用いること、および熱膨張や塑性変形を嫌うために金型はガラスや石英で作られている。この工程では、剥離しやすさ、パターン精度等のために金型の三次元的な構造が重要である。この金型の検査には、光による方法、例えば共焦点顕微鏡では寸法が小さすぎるので測定は困難である。また、従来のSEMによる三次元検査装置では、加速電圧が高くチャージアップが防ぎきれないこと、および試料室が大きくなり、装置自体が大きく、コスト高になるといった問題がある。
S1、S2上での電子の検出強度はそれぞれa(ψ)、b(ψ)とすると、図中の曲線は式5となる。
この式6から、簡便にθとθxが次のように求められる。
ここで、a(ψ,0), b(ψ,0)は平らなθ=0の表面における実測値である。なお、S3,S4からのデータにより、このxとyを入れ替え、θとθyが得られる。
より精度を高める場合は、測定系毎に図11(c)の各センサS1,S2,S3,S4で検出する電子量とθの関係を計算あるいは実測してデータベース化しておき、これと比較して決めるとよい。
以上の方法により4個のセンサの信号から求めたθ、θx、θyと、電子線プローブを走査した距離情報により3次元構造が計算により求められる。
イオン源130で発生したイオンビームプローブ132は加速10kから30kVでイオンビームカラム131中の静電レンズで収束され試料基板25に照射され、所望の領域をイオンビームエッチングにより切り取っていく。これに対し、角度ωの位置に配置された本発明によるSEMカラム101は、移動手段14により、ワーキングディスタンスWDが可変となっている。ワーキングディスタンスWDが5mmから10mmとした場合には、分解能が低くともより広い領域が観察され、かつ試料元素の再付着による汚れを低減できるので、イオンビームを照射中のモニタ、および終点検出として用いられる。さらに試料の、大まかな領域の俯瞰のために使われる。一方、ワーキングディスタンスWDを1mmから5mmと短くするとより高分解能観察が可能となるので、イオンビームで形成した試料の詳細な断面観察が行なえるという利点がある。このとき、二次電子検出はSEMカラム101内部と、別に置いた二次電子検出器120により行なう。
図15には、直径300mmのウエハに対応した検査装置の概略を示す。第1の真空室150と、第2の真空室151があり両者の間を開閉する扉を通り試料基板25はローダーにより出入りすることができる。第2の部屋151は準備室として、大気中から試料基板25を挿入し真空に引いて待機する。第1の真空室150には、本発明によるSEMカラム101が8本結合しておかれ、各カラムの直径は38mmである。このカラムは図1と同じもので、WD5mmの条件で電子線プローブを30nAから100nAと大電流化したもので、分解能は20nmから40nmである。この8本の組をx方向とy方向の移動手段14を用い、例えば図15中の矢印のように移動させて、試料表面のパターン形状、帯電異常などの不良箇所の検査を行なうことができる。この場合、従来のカラム1本のSEM式の検査装置に比べて同じプローブ電流で用いた場合、最大で8倍の高速化が可能となるので、試料の全面を検査しても短時間ですむという利点がある。
それぞれのカラムを接続する際、それぞれの電子光学系で発生した電界あるいは磁界を同一光学系内で遮蔽する遮蔽シールド152をカラム内に配置してもよい。
また、本実施例において、第1の真空室150を準備室、第2の真空室151をプロセス室として用いても良い。プロセスとは、たとえば、エッチング、成膜、イオン注入などの工程で主に真空を使うもので、これらは、プロセス後の検査や確認に、一度大気中に取り出す必要があり、電子線で検査する場合には再度真空引きするという工程が必要となる。そのため、準備室もしくは試料を真空導入後の搬送室内にSEMカラムを多数配置して検査すると工程が短縮できるという利点がある。
Claims (20)
- 荷電粒子線源と、
当該荷電粒子線源より放射された荷電粒子線を加速させるための手段と、
ドリフト領域を構成するドリフト管と、
前記荷電粒子線が照射される試料を載置する試料ステージと、
前記試料に荷電粒子線を照射して発生する二次電子または反射電子を検出する検出器と、
前記荷電粒子線の通過する開口部を有する対物レンズとを備え、
該対物レンズは前記ドリフト管と試料ステージの間に配置され、
前記荷電粒子線源は前記ドリフト管の外部に配置され、
前記検出器が前記ドリフト管内に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線源と、
当該荷電粒子線源より放射された荷電粒子線を加速させるための手段と、
ドリフト領域を構成するドリフト管と、
前記荷電粒子線が照射される試料を載置する試料ステージと、
前記試料に荷電粒子線を照射して発生する二次電子または反射電子を検出する検出器と、
荷電粒子線の通過する開口部を備えた対向電極を有する静電型対物レンズと、
該対物レンズは前記試料側に配置された第一の電極と荷電粒子線源側に配置された第二の電極を備え、
前記ドリフト管と前記検出器とを同電位に保つための手段を備え、
前記対物レンズの主面は前記第一の電極と前記試料台との間に形成され、
前記荷電粒子線源は前記ドリフト管の外部に配置され、
前記第二の電極は前記ドリフト管の下面に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 少なくとも第一のカラムと第二のカラムを備えた荷電粒子線装置において、
前記第一のカラムと第二のカラムに共通した試料を載置するための試料ステージと、
前記第一のカラムと第二のカラムを移動させるカラム移動機構または前記試料を移動させるための試料移動機構と、
前記第一のカラムと第二のカラムは
荷電粒子線源と、荷電粒子線を加速するための手段と、ドリフト領域を構成するドリフト管と、前記荷電粒子線を前記試料に照射するための静電型対物レンズと、前記荷電粒子線を照射することで前記試料より発生した二次電子または反射電子を検出する検出器とを各々有し、
前記ドリフト管内に前記検出器を備え、
前記荷電粒子線源は各々前記ドリフト管の外部に配置され、
前記第一のカラムと第二のカラムは前記試料ステージ表面に垂直な軸に対して対称に配置され、
前記第一のカラムから前記荷電粒子線を試料に対し照射して発生する反射電子を、第二のカラムにおける検出器によって検出することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 真空室内に複数のカラムを配置した荷電粒子線装置において、
前記複数のカラムに共通した試料を載置する試料ステージと、
前記複数のカラムを移動するための移動機構または前記試料を移動させるための試料移動機構と、
前記複数のカラムは
荷電粒子線源と、荷電粒子線を加速するための手段と、ドリフト領域を構成するドリフト管と、前記荷電粒子線を前記試料に照射するための静電型対物レンズと、前記荷電粒子線を照射することで前記試料より発生した二次電子または反射電子を検出する検出器とを各々有し、
前記荷電粒子線源は各々前記ドリフト管の外部に配置され、
前記ドリフト管内に前記検出器を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記対物レンズは前記試料より発生する二次電子または反射電子を加速させる手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記対物レンズは試料側に配置された第一の電極と荷電粒子線源側に配置された第二の電極を備えた静電型対物レンズであって、
前記第二の電極は前記ドリフト管の下面と一体形成されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記対物レンズの主面は、前記対物レンズと前記試料ステージとの間に形成されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1または2に記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線源と、荷電粒子線を加速させる手段と、ドリフト管と、対物レンズと、検出器とを含むカラムを備え、
該カラムを移動させるカラム移動機構を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1または2に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料を移動させる試料ステージ移動機構を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記ドリフト管への印加電圧と、荷電粒子線源への印加電圧と、試料への印加電圧とを制御するコントローラを有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記ドリフト管への印加電圧は4kV〜20kVの正電圧であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記領域はドリフト領域であって、
該ドリフト領域は、前記コントローラにより各々の印加電圧を制御することによって形成されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記検出器は複数の独立した検出領域を有し、該複数の検出領域から各々独立して信号を取り出す手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記試料に荷電粒子線を照射して発生した二次電子と反射電子を独立に検出する手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記二次電子と反射電子を独立に検出する手段とは、対物レンズ下面に配置された反射電子検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記二次電子と反射電子を独立に検出する手段とは、前記ドリフト管の内部配置された電界コントロール電極またはWienフィルタであることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線源と引き出し電極を含む電子銃部を備え、
該電子銃部を真空排気するための非蒸発ゲッタポンプと該非蒸発ゲッタポンプ加熱手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項18に記載の荷電粒子線装置において、
前記電子銃部の真空隔壁の一部にガスのバイパス手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項19に記載の荷電粒子線装置において、
前記ガスのバイパス手段として、バイパス穴とこれを開閉する加熱変形素子とを設けることを特徴とする荷電粒子線装置。
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