JP2006114225A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 荷電粒子線源と、
   当該荷電粒子線源より放射された荷電粒子線を加速させるための手段と、
   ドリフト領域を構成するドリフト管と、
   前記荷電粒子線が照射される試料を載置する試料ステージと、
   前記試料に荷電粒子線を照射して発生する二次電子または反射電子を検出する検出器と、
   荷電粒子線の通過する開口部を備えた対向電極を有する静電型対物レンズと、
   前記ドリフト管と前記検出器とを同電位に保つための手段とを備え、
   該静電型対物レンズは前記試料側に配置された第一の電極と荷電粒子線源側に配置された第二の電極を備え、
   更に、前記対物レンズの主面は前記第一の電極と前記試料台との間に形成され、
   前記荷電粒子線源は前記ドリフト管の外部に配置され、
   前記第二の電極は前記ドリフト管の下面に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
2. 少なくとも第一のカラムと第二のカラムを備えた荷電粒子線装置において、
   前記第一のカラムと第二のカラムに共通した試料を載置するための試料ステージと、
   前記第一のカラムと第二のカラムを移動させるカラム移動機構または前記試料を移動させるための試料移動機構と、
   前記第一のカラムと第二のカラムは
   荷電粒子線源と、荷電粒子線を加速するための手段と、ドリフト領域を構成するドリフト管と、前記荷電粒子線を前記試料に照射するための静電型対物レンズと、前記荷電粒子線を照射することで前記試料より発生した二次電子または反射電子を検出する検出器とを各々有し、
   前記ドリフト管内に前記検出器を備え、
   前記荷電粒子線源は各々前記ドリフト管の外部に配置され、
   前記第一のカラムと第二のカラムは前記試料ステージ表面に垂直な軸に対して対称に配置され、
   前記第一のカラムから前記荷電粒子線を試料に対し照射して発生する反射電子を、第二のカラムにおける検出器によって検出することを特徴とする荷電粒子線装置。
3. 請求項１または２に記載の荷電粒子線装置において、
   前記荷電粒子線源と、荷電粒子線を加速させる手段と、ドリフト管と、対物レンズと、検出器とを含むカラムを備え、
   該カラムを移動させるカラム移動機構を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
4. 請求項１または２に記載の荷電粒子線装置において、
   前記ドリフト管内における前記第二の電極から前記検出器までの距離Ldetは
   前記第一の電極と第二の電極との距離Lobjと、前記対物レンズの開口部の大きさDobjと、前記検出器の検出領域の外径D2から、
   

   

   により定めることを特徴とする荷電粒子線装置。
5. 請求項４に記載の荷電粒子線装置において、
   前記ドリフト管への印加電圧は４kV〜２０kVの正電圧であることを特徴とする荷電粒子線装置。
6. 請求項４に記載の荷電粒子線装置において、
   前記検出器は複数の独立した検出領域を有し、該複数の検出領域から各々独立して信号を取り出す手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
7. 請求項４に記載の荷電粒子線装置において、
   前記試料に荷電粒子線を照射して発生した二次電子と反射電子を独立に検出する手段を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
8. 請求項４に記載の荷電粒子線装置において、
   前記二次電子と反射電子を独立に検出する手段とは、前記ドリフト管の内部配置された電界コントロール電極またはＷｉｅｎフィルタであることを特徴とする荷電粒子線装置。
9. 請求項４に記載の荷電粒子線装置において、
   前記荷電粒子線源と引き出し電極を含む電子銃部を備え、
   該電子銃部を真空排気するための非蒸発ゲッタポンプと該非蒸発ゲッタポンプ加熱手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
10. 請求項９に記載の荷電粒子線装置において、
    前記電子銃部の真空隔壁の一部にガスのバイパス手段を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
11. 請求項１０に記載の荷電粒子線装置において、
    前記ガスのバイパス手段として、バイパス穴とこれを開閉する加熱変形素子とを設けることを特徴とする荷電粒子線装置。