JP2008016454A - レンズ内の分割された検出器で側面像や平面像を集めるための電子ビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SEMの側面像と平面像を収集するための電子ビーム装置において、電子ビーム装置は、電子源、必要ならば中間レンズ、対物レンズ、およびレンズ内分割検出器を備える。電子源は電子ビームを供給する。中間レンズは電子ビームの焦点を更に絞る。対物レンズは浸漬磁気レンズと遅延静電気レンズとの組み合わせで、電子ビームの焦点を試料表面に合わせる。レンズ内検出器は、2つ以上の部分に分割されて、異なる方位角度と極角度で試料から放出される二次電子線を集めて、側面SEM像を得る。
【選択図】図1
Description
本発明は、低照射エネルギーSEMで高分解能を得ることと側面像を得ることとの矛盾を解決する。
これや他の目的は、異なる方位と極角度とを有する試料表面から放射される二次電子や背面反射電子を捕捉する、電子検出器の構造と一次ビームの光軸周辺の開口の配置で達成される。
図6から11まではSEM画像処理のための異なる分割検出器である。図6は中央に開口を有する分割検出器の概略表現である。図7は、4セグメントの検出器が光軸で孔を形成する試料の概略表現である。図8は、8セグメントの検出器が光軸で孔を形成する試料の概略表現である。図9は、検出器のセグメントのうちの1つが孔を有し、それが光軸に位置している、試料の概略図である。図10は、検出器のセグメントのうちのいくつかが孔を形成し、それが光軸中心に位置している、試料の概略図である。図11は、検出器のセグメントのうちのいくつかが孔を形成し、それがビームの光軸に位置していない、試料の概略図である。軸をはずした」分割検出器上に二次電子を導くためにExBフィルタが利用される。
検出器が光システムの軸を外れて位置すると、開口の孔も、図11中の114に示される
ように除去されて、試料表面113から放射される二次電子は、図5に示されるように、ExBフィルタ108によって、軸をはずれた分割検出器に導かれる。
本発明について実施例に沿って説明してきたが、実施例には種々の改変が可能で、それらは本発明の精神や範囲内にある。従って、添付の請求項の精神や範囲から逸脱せずに多くの改変が可能である。
Claims (10)
- 側面SEM像と平面SEM像を集めるための電子ビーム装置であって、
電子ビームを供給する電子源と、
磁気浸漬機能と遅延機能を有し、電子ビームの焦点を試料表面上に合わせるための対物レンズと、
試料表面から放射する二次電子を受けるための2つ以上のセグメントからなるレンズ内検出器であって、各検出器のセグメントが、関連方位角度と極角度を有する試料から放射する二次電子を集めて、信号処理後に側面SEM画像を形成する前記レンズ内検出器と、からなる装置。 - レンズ内検出器はそれぞれ2つ以上のセグメントからなって、異なる方位角度を有する試料から放射される二次電子を集め、複数の検出器セグメントには光軸上に、一次電子を通過させるための直径3mm以下の小孔が形成されている請求項1に記載の電子ビーム装置。
- レンズ内検出器はそれぞれ2つ以上のセグメントからなって、異なる方位角度を有する試料から放射される二次電子を集め、検出器セグメントの1つは光軸上に、一次電子を通過させるための直径3mm以下の小孔を有する請求項1に記載の電子ビーム装置。
- レンズ内検出器はそれぞれ2つ以上のセグメントからなって、異なる方位角度を有する試料から放射される二次電子を集め、検出器セグメントの幾つかは光軸上に、一次電子を通過させるための直径3mm以下の小孔を有する請求項1に記載の電子ビーム装置。
- レンズ内検出器はそれぞれ、一次ビームの光軸近傍に設定された2つ以上のセグメントからなって、異なる方位角度と極角度を有する試料から放射され、ExBフィルタによって検出器に導かれて、一次ビームに影響を与えずに側面SEM像を形成する請求項1に記載の電子ビーム装置。
- 側面SEM像と平面SEM像を集めるための方法であって、
電子ビームを供給する工程と、
磁気浸漬機能と遅延機能を有する対物レンズが電子ビームの焦点を試料表面上に合わせる工程と、
試料表面から放射される二次電子を受けるための2つ以上のセグメントからなる各レンズ内検出器のセグメントが、関連方位角度と極角度を有する試料から放射される二次電子を集めて、信号処理後に側面SEM画像を形成する工程と、
からなる方法。 - レンズ内検出器はそれぞれ2つ以上のセグメントからなって、異なる方位角度を有する試料から放射される二次電子を集める工程であって、複数の検出器セグメントには光軸上に、一次電子を通過させるための直径3mm以下の小孔が形成されている、請求項6に記載の方法。
- レンズ内検出器はそれぞれ2つ以上のセグメントからなって、異なる方位角度を有する試料から放射される二次電子を集める工程であって、検出器セグメントの1つは光軸上に、一次電子を通過させるための直径3mm以下の小孔を有する請求項6に記載の方法。
- レンズ内検出器はそれぞれ2つ以上のセグメントからなって、異なる方位角度を有する試料から放射される二次電子を集める工程であって、検出器セグメントの幾つかは光軸上に、一次電子を通過させるための直径3mm以下の小孔を有する請求項6に記載の方法。
- レンズ内検出器はそれぞれ、一次ビームの光軸近傍に設定された2つ以上のセグメントからなって、異なる方位角度と極角度を有する試料から放射され、ExBフィルタによって検出器に導かれて、一次ビームに影響を与えずに側面SEM像を形成する請求項6に記載の方法。
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