JP2014041734A - 複合荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオンビームカラム101aの光軸101bおよび電子ビームカラム102bの光軸102bが交差するクロスポイント171に試料103を配置し、対物レンズの先端を構成する複数の着脱可能な部品108を交換する事により、クロスポイント171の位置を変えることなくカラム先端と試料103の距離を変える。
【選択図】図1
Description
荷電粒子線カラムを1つのみ備える装置、例えばSEMの場合、SEMの光軸上に試料が位置すればよい。そのため、試料と荷電粒子線カラムの距離は、用途に応じて適宜変更される。例えば、高分解能で観察したい場合には、試料をより荷電粒子線カラムに近づけて観察する。
まず、本実施例における装置構成について述べる。図1は、本実施例における複合荷電粒子線装置の概略図である。図2は、クロスポイント付近の拡大図である。
図1において、複合荷電粒子線装置は、イオンビームカラム101aと、イオンビームカラム101aを制御するためのイオンビームカラム制御器131と、電子ビームカラム102aと、電子ビームカラム102aを制御するための電子ビームカラム制御器132と、試料103を載置することが可能な試料ステージ104と、試料ステージ制御器134、試料室105と、電子ビーム102bまたはイオンビーム101bを試料103に照射した際に発生する電子を検出するための検出器106、107と、各々の検出器を制御する検出器制御器136、137と、X線検出器109と、X線検出器を制御するX線検出器制御器139と、複合荷電粒子線装置全体の動作を制御する統合コンピュータ130と、オペレータが照射条件や試料ステージの位置といった各種指示等を入力するコントローラ(キーボード、マウスなど)151と、装置をコントロールするためのGUI画面153や装置の状態、取得した情報(画像を含む)等を表示する1つまたは複数のディスプレイ152とを備えている。尚、装置の状態や取得した情報等は、GUI画面153に含まれてもよい。
対物レンズの先端を形成する部品108は、電子ビームカラム102 a、イオンビームカラム101a、試料ステージ104を考慮し、全長が35mm以下であることが望ましい。
〔対物レンズ先端の固定方法〕
対物レンズ先端の部品108の固定方法は、ネジによる固定方法や、部品そのものにネジを切る方法、圧着による固定方法など様々考えられる。ここでは、その一例について記載する。
電子ビームカラム102aの対物レンズ先端を着脱可能な部品108で構成する効果について述べる。
対物レンズの先端を着脱可能な部品で構成することで、用途に応じて異なる構造の対物レンズ先端を装着することができる。その結果、例えば、(1)試料と対物レンズ下面までの距離(Working Distance : WD)を変更することができる(2)対物レンズ先端が損傷した場合や汚染された場合の修復が容易となる(3)異なる材質の対物レンズ先端を複数用意することでシステムピークに対応できる、という効果が得られる。下記、各効果について詳細に説明する。
〔(1)WDを変更することができることに関する効果〕
一般にWDを短くするとSEMの分解能は向上する。一方で、WDを短くすると試料室に搭載された検出器107やX線検出器109の検出効率が低下する。そのため、用途に応じてWDを変更することが望まれる。1つの荷電粒子線カラムが搭載されている汎用SEM装置の場合には、試料ステージを動かすことで対応でき、日常的に行われている。しかし、2つ以上の荷電粒子線カラムが搭載されているFIB-SEM装置の場合には、クロスポイント171に試料103が位置するように試料ステージ104は調整される。そのため、光軸方向の試料ステージ104の位置は基本的に固定である。即ち、WDは、イオンビームカラムと電子ビームカラムの搭載位置によって基本的に決まってしまう。しかし、電子ビームカラム102aの対物レンズ先端を着脱可能な部品108で構成することで、WDを変更することができる。即ち、試料ステージ104の位置を動かすことなく、対物レンズ下面を変えることでWDを変更する。例えば、図4に示すように、高分解能観察が重要になる場合には、対物レンズ先端の部品408aを長くし、分解能よりも試料ステージの駆動範囲や検出器107やX線検出器109の検出効率を優先したい場合には、対物レンズ先端の部品408bを短くすればよい。
また、対物レンズ先端の部品408b を短くした場合、デポジションユニットやマイクロサンプリングユニットの駆動範囲も広げることができる。その他、コールドトラップなどもより試料に近づけることができる。即ち、複合荷電粒子線装置の汎用性を広げることができる。
さらに、対物レンズ先端の位置ごとにGUI画面153の表示が変わると便利である。例えば、取り付けられている対物レンズの種類を明示したり(図4)、クロスポイントと各荷電粒子線カラム端との距離を明示したり(図4)、対物レンズの種類ごとに各ユニットの駆動範囲を明示したり(図5)する機能があると便利である。尚、明示方法は、文字や数値による表示であってもよいし、図形や色といった図示であってもよい。また、その両方が表示されていてもよい。
〔(2)対物レンズ先端が損傷した場合や汚染された場合に対する修復容易さについて〕
試料近傍にある部品には、試料から放出されるガスやイオンビームによるスパッタ粒子などが付着する。その付着物により、荷電粒子線装置の性能が劣化する場合がある。例えば、対物レンズ先端に付着した絶縁物によって、一次ビームが曲げられたり、試料からの放出電子が曲げられたり、といったことが起こりうる。そのような場合、対物レンズのクリーニング、さらには対物レンズ一式を交換といった作業が必要となる。また、クリーニング作業には、作業時に対物レンズを傷をつけてしまうといったリスクもある。
〔(3)異なる材質の対物レンズ先端を複数用意することでシステムピークに対応できる効果について〕
試料近傍に存在する部品の材質は、試料の組成分析に大きな影響を与える。例えば、X線分析を行う際、検出したい元素と同じ物質が、対物レンズ先端の部品108に用いられていると、試料からの信号なのか対物レンズ先端からの信号なのかの区別がつかない。その対応策として、対物レンズ先端に分析したい元素を含まない材質のメッキを施すなどの方法がある。しかし、分析する試料が多岐にわたるとメッキによる対応も困難となる。
しかし、電子ビームカラム102aの対物レンズ先端を着脱可能な部品108で構成することで、異なるメッキを施した対物レンズ先端の部品を用意することができる。即ち、分析対象に合わせて、対物レンズ先端の部品を交換することが可能となる。これにより、元素分析の幅を飛躍的に改善することができる。
図6では、各ユニットの可動範囲を明示するGUI画面の例を示したものである。本GUIでは、ステージの可動範囲とUnitA(例えば、デポジションユニット、マイクロサンプリングのプローブ等)の可動範囲が数値で示されている。
また、本実施例では、イオンビームカラムと電子ビームカラムを備えた複合荷電粒子線装置において記載したが、荷電粒子線カラムの組み合わせは問わない。例えば、2つ以上の電子ビームカラムを備える装置や2つ以上のイオンビームカラムを備える装置に適応しても構わない。また、荷電粒子線カラムとレーザー等光学装置との組み合わせに適応しても構わない。
本実施形態により、第1の実施形態に記載した「WDを変更することができることに関する効果」と同様の効果を得ることができる。さらに、本実施例の場合には、SEM観察中またはFIB加工中にWDを変更できるという利点も持つ。さらに、本実施例においても第1の実施形態と同様、対物レンズ先端の位置ごとにGUI画面の表示が変わると便利である。
尚、本実施例では電子ビームカラム全体を駆動する機構としたが、対物レンズ先端の位置を変更する目的において、対物レンズのみを駆動しても構わないし、対物レンズの一部または対物レンズを含むカラムの一部を駆動しても構わない。
また、本実施例においても第1の実施形態と同様、荷電粒子線カラムの組み合わせは問わない。
本実施形態により、第1の実施形態に記載した「WDを変更することができることに関する効果」と同様の効果を得ることができる。また、本実施例においても第1の実施形態と同様、対物レンズ先端の位置ごとにGUI画面の表示が変わると便利である。
また、本実施例においても第1の実施形態と同様、荷電粒子線カラムの組み合わせは問わない。
本発明によれば、FIB-SEM装置に代表される2つ以上の荷電粒子線カラムを有する複合荷電粒子線装置において、用途に応じて対物レンズ先端の形状を変更することができる。その結果、1つの複合荷電粒子線装置において対応可能な試料の幅が拡張される。即ち、装置の利便性が飛躍的に改善される。
101b:イオンビーム
101c:イオンビームカラムの光軸
102a, 902a, 002a:電子ビームカラム
102b:電子ビーム
102c:電子ビームカラムの光軸
103:試料
104:試料ステージ
105:試料室
106、107:検出器
108, 308a, 308b, 308c, 308d, 308e, 408a, 408b, 808:着脱可能な部品
109:X線検出器
130:統合コンピュータ
131:イオンビームカラム制御器
132:電子ビームカラム制御器
134:試料ステージ制御器
136、137:検出器制御器
139:X線検出器制御器
151:コントローラ(キーボード、マウスなど)
152:ディスプレイ
153:GUI画面
171:クロスポイント
010:フランジ
Claims (14)
- 複数の荷電粒子線カラムを備える複合荷電粒子線装置において、
前記複数のカラムの光軸が交わる交点の位置に試料を配置し、
前記荷電粒子線カラムにおける対物レンズの先端を形成する複数の部品が着脱可能であり、前記部品は、前記交点と前記荷電粒子線カラム先端との距離を変更できることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
前記部品は、前記荷電粒子線カラムの光軸が交わる交点の位置を変化することなく、前記交点と1つ以上の荷電粒子線カラム先端との距離を変更できる機構を備えることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
前記複数の荷電粒子線カラムは、電子ビームを照射するカラムと、イオンビームを照射するカラムであることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
前記対物レンズの先端を形成する部品の全長が、35mm以下であることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
前記複合荷電粒子線装置を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、対物レンズの先端を形成する複数の部品の種類を表示することができることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
前記複合荷電粒子線装置を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、前記部品の種類が不適切であることを警告する表示が可能であることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
前記複合荷電粒子線装置を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、2つ以上の荷電粒子線カラムの光軸が交わる点と各荷電粒子線カラムとの距離を表示することができることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
試料を載置する試料ステージと、前記複合荷電粒子線装置を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、前記試料ステージの可動範囲を表示することができることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
試料近傍にガスを供給するデポジションユニットと、前記複合荷電粒子線装置を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、前記デポジションユニットの可動範囲を表示することができることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項1の複合荷電粒子線装置において、
試料から微小試料を取り出すサンプリングのプローブと、前記複合荷電粒子線装置を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、前記プローブの可動範囲を表示することができることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 複数の荷電粒子線カラムを備える複合荷電粒子線装置において、
前記複数のカラムの光軸が交わる交点の位置に試料を配置し、
前記複数の荷電粒子線カラムの光軸が交わる交点の位置を変えずに前記交点と前記荷電粒子線カラム先端との距離を変更できるように前記荷電粒子カラムを移動する移動機構を備えることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項11の複合荷電粒子線装置において、
前記複合荷電粒子線装置を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、2つ以上の荷電粒子線カラムの光軸が交わる点と各荷電粒子線カラムとの距離を表示することができることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 複数の荷電粒子線カラムを備える複合荷電粒子線装置において、
前記複数のカラムの光軸が交わる交点の位置に試料を配置し、
前記複数の荷電粒子線カラムの光軸が交わる交点の位置を変えずに前記交点と前記荷電粒子線カラム先端との距離を変更できるように前記荷電粒子線カラムと前記荷電粒子線カラムが配置される試料室の間に、異なる大きさのフランジが着脱可能であることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
- 請求項13の複合荷電粒子線装置において、
前記複合荷電粒子線装置を操作するためのGUIを表示するための表示装置を備え、
前記表示装置に、2つ以上の荷電粒子線カラムの光軸が交わる点と各荷電粒子線カラムとの距離を表示することができることを特徴とする複合荷電粒子線装置。
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