JP2001066614A - 基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置並びに液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置並びに液晶表示装置の製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多種多様な寸法の貼り合わせ基板の製造に容
易に対応できる基板の貼り合わせ方法および液晶表示装
置の製造方法を提供する。 【解決手段】 平板の中央部に凹部１ａ・２ａを形成し
てなる一対のマスク１・２を、上ステージ５および下ス
テージ６にそれぞれ、凹部１ａ・２ａがＣＦ基板３およ
びＴＦＴ基板４に対向するように配置し、ＣＦ基板３と
ＴＦＴ基板４とを重ね合わせ、マスク１・２でＣＦ基板
３およびＴＦＴ基板４を挟んで貼り合わせる。これによ
り、凹部１ａ・２ａによってＣＦ基板３およびＴＦＴ基
板４を両側から保護できるだけでなく、凹部１ａ・２ａ
によって保護されるＣＦ基板３およびＴＦＴ基板４の領
域の寸法をマスク１・２の交換により容易に変更できる
ようになる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板の貼り合わせ
方法および貼り合わせ装置並びに液晶表示装置の製造方
法に関するものであり、さらに詳しくは、一対の基板を
重ね合わせ、互いに対向する一対の定盤で両基板を挟ん
で両基板を貼り合わせる基板の貼り合わせ方法および貼
り合わせ装置、並びに、一対の基板を貼り合わせた後、
これら基板間に液晶を注入する液晶表示装置の製造方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、一対の基板を重ね合わせ、互
いに対向する一対の定盤で両基板を挟んで貼り合わせる
基板の貼り合わせ方法が、各種製品の製造に用いられて
いる。
【０００３】例えば、典型的な液晶表示装置の製造方法
では、２枚のガラス基板のそれぞれの内面上に、配線
層、画素電極、アクティブ素子、カラーフィルタ等を適
宜形成し、それらをさらに配向膜等により被覆し、２枚
の複合基板を得る。次に、これら複合基板を、互いに対
向する一対の定盤で挟むことによりシール材を介して貼
り合わせる。最後に、２枚の複合基板の間に液晶を注入
することにより、液晶表示装置を形成する。
【０００４】液晶表示装置の製造方法における基板の貼
り合わせ方法については、例えば、特開平１１−９５１
８１号公報に具体的に説明されている。すなわち、図１
０（上記公報の図１に相当する）に示すように、素子基
板１２０と対向基板１３０との貼り合わせ工程では、上
方から対向基板１３０を圧着ヘッド１１５によってシー
ル材（図示しない）を介して素子基板１２０に圧着させ
る。
【０００５】素子基板１２０の下方には剛体の台板１１
３が配置されており、台板１１３の中央部には凹部１１
３ａが形成されている。この凹部１１３ａは、素子基板
１２０及び対向基板１３０の液晶表示領域Ａの外縁部近
傍であって、しかも、図示しないシール材の形成領域よ
りも僅かに内側に配置された外縁を備えている。ここ
で、凹部１１３ａの外縁は、正確には、液晶表示領域Ａ
の外縁部の僅かに外側に位置している。
【０００６】剛体の台板１１３上には、緩衝材１１４が
配置されている。緩衝材１１４には、凹部１１３ａと一
致する形状の貫通部１１４ｂが形成されており、凹部１
１３ａと貫通部１１４ｂとによって、素子基板１２０の
液晶表示領域Ａに対応する部分よりも僅かに広い外面部
分が、台板１１３及び緩衝材１１４に接触しないように
なっている。これにより、素子基板１２０と台板１１３
との間に破片やゴミが挟まっても、液晶表示領域Ａにお
ける素子基板１２０の外面上に傷が付くことが防止され
る。
【０００７】また、台板１１３に凹部１１３ａを設ける
代わりに、図１１（特開平１１−９５１８１号公報の図
３に相当する）に示すように、緩衝材１１４に貫通部１
１４ｂ（もしくは凹部）を設けることにより非接触部を
形成する方法もある。
【０００８】さらに、図７に示すように、圧着ヘッド１
１６の加圧面１１６ａの中央部にも凹部１１６ｂを形成
することで、液晶表示領域Ａにおける対向基板１３０の
外面上に傷が付くことも防止する方法もある。この凹部
１１６ｂの外縁は、液晶表示領域Ａの外縁部近傍にあっ
て、しかも、図示しないシール材の形成領域よりも僅か
に内側にある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の基板
の貼り合わせ方法には、次に示すような問題点があっ
た。
【００１０】まず、図１０に示すような凹部１１３ｂが
形成された剛体の台板１１３（あるいは非接触部を備え
た台板１１３）を用いる方法、図１１に示すように緩衝
材１１４に貫通部１１４ｂ（もしくは凹部）を設けるこ
とにより非接触部を形成する方法のいずれにおいても、
剛体の台板１１３と素子基板１２０との間に配置される
緩衝材１１４は、台板１１３にも素子基板１２０にも固
定されていないので、ずれやすい。そのため、台板１１
３と緩衝材１１４との間や、緩衝材１１４と素子集板１
２０との間で位置ずれがたびたび発生し、台板１１３上
の素子基板１２０の正確な位置合わせが困難である。そ
の結果、基板間隔（基板１２０・１３０間のギャップ）
が不均一になったり、基板１２０・１３０のアライメン
トの精度が低下したりする。この基板間隔の不均一性や
不安定性、アライメントの精度の低下のため、正確で僅
かな一定の基板間隔（セルギャップは数μｍ程度）を基
板１２０・１３０全面で安定的に維持しながら液晶表示
装置を量産することが、実際上、大変困難となる。
【００１１】また、緩衝材１１４は、厚紙の重ね合わせ
などからなるので、強度が低く、繰り返し使用（耐久
性）の信頼性でも劣る。そのため、このような厚紙の重
ね合わせなどからなる緩衝材１１４は、液晶表示装置を
量産するために基板の貼り合わせに繰り返し使用するの
には問題があり、実際上、使用不可能である。また、緩
衝材１１４は、厚紙の重ね合わせなどからなるので、仮
に台板１１３に真空吸着したとしても、完全に固定する
ことが難しく、ずれやすい。そのため、基板１２０・１
３０間のギャップの不均一や、基板１２０・１３０のア
ライメントの精度の悪化を招く。
【００１２】さらに、図１０に示すような凹部１１３ｂ
が形成された剛体の台板１１３（あるいは非接触部を備
えた台板１１３）を用いる方法では、次のような問題点
もある。すなわち、製造対象の液晶表示装置の寸法を変
更する度に、緩衝材１１４を液晶表示装置の寸法に対応
した貫通部１１４ｂを有するものに交換するだけでな
く、台板１１３も液晶表示装置の寸法に対応した凹部１
１３ｂを有するものに交換しなければならない。そのた
め、多種多様な寸法の液晶表示装置に容易に対応するこ
とができない。
【００１３】また、上記公報には、図１１に示す構成に
おいて、さらに、凹部１１６ｂが形成された圧着ヘッド
１１６の加圧面１１６ａ上に対して凹部を備えた緩衝材
を貼着する変形例が開示されている。しかしながら、上
記公報には、平坦な加圧面１１６ａ上に対して凹部を備
えた緩衝材を貼着することは開示されていない。そのた
め、製造対象の液晶表示装置の寸法を変更する度に、圧
着ヘッド１１６も液晶表示装置の寸法に対応したサイズ
の凹部１１６ｂを有するものに交換しなければならな
い。そのため、多種多様な寸法の液晶表示装置に容易に
対応することができない。
【００１４】本発明は、上記従来の問題に鑑みなされた
ものであり、その第１の目的は、多種多様な寸法の貼り
合わせ基板の製造に容易に対応できる基板の貼り合わせ
方法および液晶表示装置の製造方法を提供することにあ
る。また、本発明の第２の目的は、凹部のサイズが大き
くなった場合でも基板の平面性を安定に維持できる基板
の貼り合わせ方法および液晶表示装置の製造方法を提供
することにある。さらに、本発明の第３の目的は、貼り
合わせた基板間の間隔を均一に保つことができ、しか
も、基板間の位置合わせの精度を向上させることができ
る基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置並びに液
晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明の基板の貼り合わ
せ方法は、上記の課題を解決するために、一対の基板を
重ね合わせ、互いに対向する一対の定盤で両基板を挟ん
で両基板を貼り合わせる基板の貼り合わせ方法におい
て、平板の中央部に凹部を形成してなる一対のマスク
を、これら定盤にそれぞれ凹部が基板に対向するように
配置することを特徴としている。
【００１６】上記方法によれば、マスクに凹部があるた
めに、基板表面の中央部のマスクの凹部に対向する表面
は、マスクと接触しない。そのため、マスクの凹部と基
板とが対向する領域では、マスクと基板との間に基板の
破片や異物等があったとしても、基板の破片や異物等は
マスクの凹部に入り込む。その結果、マスクの凹部に対
向する基板の外側表面に対して基板の破片や異物等によ
る局所的な圧力が加わることを回避できる。それゆえ、
マスクの凹部に対向する基板の外側表面に傷が付くこと
を防止できる。換言すれば、マスクの凹部によって基板
の外側表面を異物等から保護することができる。
【００１７】また、貼り合わせた基板を用いて液晶表示
装置を製造する場合、一般的にプラスチックビーズから
なるスペーサが基板の内側に配されるが、基板の外側表
面に局所的な圧力が加わると、基板の破片や異物等が基
板をスペーサに押し当てることになり、基板の内側表面
に傷が付く。しかしながら、上記方法によれば、マスク
の凹部に対向する基板の外側表面に局所的な圧力が加わ
らないので、この部分の基板の内側表面に傷が付くこと
も防止できる。
【００１８】したがって、例えば、貼り合わせた基板に
おけるマスクの凹部によって保護された部分を用いて液
晶表示装置を製造すれば、表示画面（表示領域）に傷の
ない液晶表示装置が得られる。
【００１９】また、上記方法によれば、マスクについて
も、基板表面との接触面積が縮小されるので、基板との
間に挟み込まれる異物等の量を減らすことができる。そ
れゆえ、マスク表面に発生する傷の量を減らすことがで
きる。
【００２０】また、上記方法によれば、基板とマスクの
凹部とが対向する領域では、基板の外側表面と加圧面と
の間に異物等が挟み込まれることがないので、挟み込ま
れた異物等による影響で基板間の間隔（ギャップ）が局
所的に狭められることがない。それゆえ、基板間の間隔
を均一に保つことができ、均一なギャップを有する貼り
合わせ基板を得ることができる。
【００２１】そして、上記方法によれば、一対のマスク
を各定盤にそれぞれ配置しているので、いずれの基板表
面にも傷が付くことを防止できるとともに、いずれの定
盤に対しても異物等による傷が付くことを防止できる。
さらに、マスクの交換により凹部の寸法変更を容易に行
うことができるので、多種多様な寸法の液晶表示領域を
持つ液晶表示装置などの多種多様な寸法の貼り合わせ基
板に容易に対応することができる。
【００２２】また、本発明の基板の貼り合わせ方法は、
上記の課題を解決するために、一対の基板を重ね合わ
せ、互いに対向する一対の定盤で両基板を挟んで両基板
を貼り合わせる基板の貼り合わせ方法において、平板の
中央部に凹部を形成するとともに凹部内に突出部を設け
てなるマスクを、これら定盤の少なくとも一方に凹部が
基板に対向するように配置することを特徴としている。
【００２３】上記方法によれば、マスクに凹部を設けた
ことで、前記の方法と同様に、基板の内側表面および外
側表面に傷が付くことを防止でき、かつ、マスク表面に
傷が付くことを防止でき、しかも、均一なギャップを有
する貼り合わせ基板を得ることができる。
【００２４】そして、上記方法によれば、基板に対向す
る凹部内に突出部を設けているので、一対の定盤で基板
を挟む際に基板が凹部側に反るような力が基板にかかっ
たとしても突出部によって基板の変形が阻止される。そ
れゆえ、凹部のサイズが大きくなった場合でも、基板が
凹部側に反ることを防止でき、基板の平面性を安定に維
持することができる。
【００２５】また、本発明の基板の貼り合わせ方法は、
上記の課題を解決するために、一対の基板を重ね合わ
せ、互いに対向する一対の定盤で両基板を挟んで両基板
を貼り合わせる基板の貼り合わせ方法において、平板の
中央部に凹部を形成するとともに凹部以外の部分に貫通
孔を形成してなるマスクを、これら定盤の少なくとも一
方に凹部が基板に対向するように配置し、上記定盤上に
設けた基板吸着孔から真空吸引することにより上記マス
クの貫通孔を介して基板を定盤に吸着させて固定するこ
とを特徴としている。
【００２６】上記方法によれば、マスクに凹部を設けた
ことで、前記の各方法と同様に、基板の内側表面および
外側表面に傷が付くことを防止でき、かつ、マスク表面
に傷が付くことを防止でき、しかも、均一なギャップを
有する貼り合わせ基板を得ることができる。
【００２７】そして、上記方法によれば、基板をマスク
を介して定盤に固定することで、貼り合わせた基板間の
間隔を均一に保つことができ、しかも、基板間の位置合
わせ（アライメント）の精度を向上させることができ
る。
【００２８】このような基板を定盤に吸着させて固定す
る方法においては、上記マスクに、凹部とマスクの側面
との間を通気させるリーク溝を設けることが好ましい。
【００２９】これにより、定盤に基板を吸着させるため
の真空吸引のリーク（真空漏れ）が凹部に作用しても、
マスクの側面からリーク溝を通って凹部内に外気が流れ
込むので、凹部内が減圧になることを防止することがで
きる。それゆえ、凹部内が減圧になることにより基板が
凹部側に引かれて反るという問題が生じることを回避で
きる。
【００３０】また、上記各方法において、上記マスク
は、金属材料からなることが好ましい。これによれば、
マスクが、金属材料からなるので、厚紙等と比較して強
度が高く耐久性が高い。それゆえ、長期にわたって安定
して基板の貼り合わせを行うことができる。
【００３１】また、上記方法によれば、マスクが金属材
料からなるために、マスクを定盤に設けた孔から真空吸
引して真空吸着させる場合に、真空吸引のリークを低く
抑えることができる。それゆえ、マスクをよりしっかり
と固定することができ、基板間の間隔の均一性や位置合
わせの精度をさらに向上させることができる。
【００３２】また、上記各方法において、上記マスク
は、複数の凹部を有していてもよい。
【００３３】これにより、凹部で保護された領域を複数
有する貼り合わせ基板を得ることができる。それゆえ、
例えば、貼り合わせた一対の基板から複数の液晶表示装
置を製造する場合、すなわち、いわゆる多面取りの場合
においても、凹部で保護された領域を各液晶表示装置の
表示領域とすることで、各液晶表示装置の表示領域を傷
のないものとすることができる。
【００３４】本発明の基板の貼り合わせ装置は、上記の
課題を解決するために、重ね合わせた一対の基板を貼り
合わせるための基板の貼り合わせ装置において、両基板
を挟むための互いに対向する一対の定盤と、これら定盤
の少なくとも一方に配置されたマスクとを備え、上記マ
スクには、基板と対向する面の中央部に凹部が形成され
ているとともに、凹部以外の部分に貫通孔が形成されて
おり、これら定盤の互いに対向する面上には、真空吸引
により基板を固定するための基板吸着孔が上記貫通孔と
対応する位置に設けられているとともに、真空吸引によ
りマスクを固定するためのマスク吸着孔がマスクと接触
する位置に設けられていることを特徴としている。
【００３５】上記構成によれば、マスクの凹部によっ
て、基板の外側表面を異物等によって傷付けられないよ
うに保護できるとともに、基板の外側表面に局所的な圧
力が加わることに起因する基板の内側表面の傷の発生を
防止でき、しかも、マスク表面に発生する傷の量を減ら
すことができる。その上、基板の外側表面と加圧面との
間に異物等が挟み込まれることを防止でき、貼り合わせ
た基板間の間隔をより均一に保つことができる。
【００３６】そして、上記構成によれば、基板をマスク
の貫通孔を介して定盤に固定するとともに、マスク吸着
孔からの真空吸引によりマスクを定盤に固定することが
できる。それゆえ、基板間の間隔の均一性や位置合わせ
の精度をより向上させることができる。
【００３７】本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記
の課題を解決するために、上記各方法のいずれかを用い
て一対の基板を貼り合わせた後、これら基板間に液晶を
注入することを特徴としている。
【００３８】上記方法によれば、一対のマスクを各定盤
にそれぞれ配置する方法を用いて一対の基板を貼り合わ
せることにより、多種多様な寸法の液晶表示領域を持つ
液晶表示装置の製造に容易に対応することが可能とな
る。また、基板に対向する凹部内に突出部を設ける方法
を用いて一対の基板を貼り合わせることにより、凹部の
サイズが大きくなった場合でも基板の平面性を安定に維
持できる。また、マスクの貫通孔を介した真空吸引によ
り基板を定盤に吸着させて固定する方法を用いて一対の
基板を貼り合わせることにより、貼り合わせた基板間の
間隔を均一に保つことができ、しかも、基板間の位置合
わせの精度を向上させることができる。
【００３９】
【発明の実施の形態】〔比較例〕本発明について説明す
る前に、本発明を見い出す基となった基礎技術を比較例
として説明する。本発明を見い出す基となった基礎技術
は、液晶表示装置の製造方法である。
【００４０】次に、この比較例の液晶表示装置の製造方
法における基板の貼り合わせ工程に用いる貼り合わせ装
置について、図８および図９に基づいて説明する。な
お、図８は、貼り合わせ装置の構成を示す断面図であ
り、図９は、貼り合わせ装置の上ステージにカラーフィ
ルタ基板を吸着させた様子を示す平面図である。
【００４１】この比較例の貼り合わせ装置は、図８に示
すように、互いに対向しかつ平行な平面を持つ金属等か
らなる上ステージ（定盤）２５および下ステージ（定
盤）２６を備えている。この貼り合わせ装置では、重ね
合わせたＣＦ（カラーフィルタ）基板２３およびＴＦＴ
（薄膜トランジスタ）基板２４（以下、適宜、これらを
まとめて両基板２３・２４と記す）を、熱硬化型樹脂か
らなるシール材（封止材）２７とプラスチックビーズ等
からなるスペーサ２８とを介して上ステージ２５および
下ステージ２６（以下、適宜、これらをまとめてステー
ジ２５・２６と記す）の間に挟み込んで圧着するように
なっている。
【００４２】なお、ＣＦ基板２３は、ガラス基板上にカ
ラーフィルタを配置し配向膜等で被膜したものである。
また、ＴＦＴ基板２４は、ガラス基板上に液晶駆動素子
である薄膜トランジスタや画素電極等を配置し配向膜等
で被膜したものである。
【００４３】上ステージ２５および下ステージ２６の互
いに対向する平面には、それぞれ、多数の基板吸着孔２
９および３０が設けられている。基板吸着孔２９は、真
空吸引によりＣＦ基板２３を上ステージ２５に吸着させ
て固定するためのものであり、上ステージ２５内の導管
を通して図示しない真空ポンプ等の真空吸引機に接続さ
れている。また、基板吸着孔３０は、ＴＦＴ基板２４を
真空吸引により下ステージ２６に吸着させて固定するた
めのものであり、下ステージ２６内の導管を通して図示
しない真空ポンプ等の真空吸引機に接続されている。
【００４４】ＣＦ基板２３には、図９に示すように、４
つのアライメントマーク（アライメント用のマーカー）
２３ａが四隅に設けられている。また、図示しないが、
ＴＦＴ基板２４にも、４つのアライメントマークがＣＦ
基板２３上の４つのアライメントマーク２３ａに対応す
る位置にそれぞれ設けられている。
【００４５】また、上ステージ２５および下ステージ２
６には、４つのアライメント用の撮像穴２５ａおよび４
つのアライメント用の撮像穴２６ａがアライメントマー
ク２３ａに対応する位置にそれぞれ貫通するように設け
られている。上ステージ２５における撮像穴２５ａが設
けられた位置には、ＣＦ基板２３上の４つのアライメン
トマーク２３ａとＴＦＴ基板２４上の４つのアライメン
トマークとの位置が一致しているかを識別するためにこ
れらアライメントマークを撮像する４つのアライメント
用のカメラ３３（２つは図示しない）が設置されてい
る。一方、下ステージ２６には、アライメントの際のカ
メラ３３による撮像のための光源である４つのバックラ
イト３４（２つは図示しない）が設けられている。
【００４６】上ステージ２５には、４つの紫外線照射用
の穴２５ｂが、四隅の所定位置に貫通するように設けら
れている。また、上ステージ２５における紫外線照射用
の穴２５ｂが設けられた位置には、両基板２３・２４上
の４ケ所に塗布された紫外線硬化型樹脂に対して紫外線
を照射する４つの紫外線照射光源３５（２つは図示しな
い）が設置されている。
【００４７】なお、カメラ３３とバックライト３４と
は、逆の位置に取り付けられていてもかまわない。ま
た、紫外線照射光源３５および紫外線照射用の穴２５ｂ
は、上ステージ２５ではなく下ステージ２６に設けられ
ていてもかまわない。
【００４８】次に、上記の貼り合わせ装置を用いた液晶
表示装置の製造方法について説明する。
【００４９】まず、貼り合わせ工程を行う前に、セルギ
ャップ（両基板２３・２４の間隔）を一定に保つための
スペーサ２８をＴＦＴ基板２４上に散布する。また、両
基板２３・２４を仮接着させるための紫外線硬化型樹脂
（図示しない）を両基板２３・２４の四隅の所定位置に
塗布する。さらに、ＣＦ基板２３上に、液晶表示領域３
６を囲むようにシール材２７を描画により形成する。な
お、シール材２７およびスペーサ２８は、ＣＦ基板２３
およびＴＦＴ基板２４のどちらに設けてもよい。
【００５０】その次に、上記の貼り合わせ装置を用い
て、ＣＦ基板２３とＴＦＴ基板２４とを貼り合わせる貼
り合わせ工程を行う。すなわち、両基板２３・２４を配
向膜等で被膜した面が対向するように配置し、セルギャ
ップ（両基板２３・２４の間隔）を均一に保つためのス
ペーサ２８、および液晶封止用のシール材２７を介して
精度良く貼り合わせる。
【００５１】以下、ＣＦ基板２３とＴＦＴ基板２４との
貼り合わせ方法について、詳細に説明する。
【００５２】まず、基板吸着孔２９および基板吸着孔３
０を介して真空吸引することにより、上ステージ２５お
よび下ステージ２６にそれぞれＣＦ基板２３およびＴＦ
Ｔ基板２４を真空吸着させる。
【００５３】次いで、両基板２３・２４の位置合わせ
（アライメント）を行う。すなわち、４つのカメラ３３
により、上ステージ２５に設けられたアライメント用の
撮像穴２５ａを通して、ＣＦ基板２３上の４つのアライ
メントマーク２３ａとＴＦＴ基板２４上の４つのアライ
メントマークとを撮像する。そして、この撮像結果に基
づいてこれらアライメントマークが互いに重なるように
上ステージ２５または下ステージ２６を移動させること
で、両基板２３・２４の間の位置合わせを行う。上ステ
ージ２５または下ステージ２６の移動は、図示しない
（Ｘ、Ｙ、θ）駆動装置によりＸ座標（両基板２３・２
４の一辺に平行なＸ軸の座標）およびＹ座標（両基板２
３・２４に平行であって、かつ、Ｘ軸に垂直なＹ軸の座
標）を制御することで行われる。
【００５４】次に、下ステージ２６を両基板２３・２４
に垂直なＺ軸（θ軸）に沿って上方へ移動させることに
より、両基板２３・２４の間のギャップがスペーサ２８
の径に近づくように両基板２３・２４を圧着する。
【００５５】その後、４つの紫外線照射光源３５から紫
外線照射用の穴２５ｂを通して、両基板２３・２４間の
紫外線硬化型樹脂を塗布してある箇所に紫外線を照射す
る。これにより、紫外線硬化型樹脂が硬化し、両基板２
３・２４が仮接着（仮止め）される。
【００５６】このように、貼り合わせ工程は、両基板２
３・２４を位置合わせし、紫外線硬化型樹脂により両基
板２３・２４をシール材２７を介して貼り合わせること
で、一定の寸法精度で両基板２３・２４を仮接着し固定
する工程である。
【００５７】この貼り合わせ工程の後、シール材２７を
焼成により硬化させるシール材硬化工程を行い、次い
で、貼り合わされた両基板２３・２４をシール材２７の
位置でカットした後、貼り合わされた両基板２３・２４
の間隙に液晶を注入する。これにより、液晶表示パネル
（液晶表示装置）が完成する。
【００５８】しかしながら、この比較例の基板の貼り合
わせ方法では、上ステージ２５および下ステージ２６に
両基板２３・２４の片面全体が接触した状態で、両基板
２３・２４の貼り合わせが行われる。そのため、ステー
ジ２５・２６上に両基板２３・２４の破片（すなわち、
ガラス破片）や異物等があれば、それらがステージ２５
・２６と両基板２３・２４との間に噛み込まれてしま
う。その結果、両基板２３・２４の外側表面、さらには
両基板２３・２４の内側の配向膜等に傷が付き、その結
果、多量の不良を生み出すことになる。さらに、両基板
２３・２４の破片や異物等が原因で、両基板２３・２４
間のギャップが不均一になったり、両基板２３・２４間
の仮接着アライメント精度が悪化したりすることにな
る。また、その異物等によりステージ２５・２６の表面
も傷つくため、貼り合わせ装置本体および液晶表示パネ
ルの製造にも不具合が生じる。
【００５９】〔実施の形態１〕本発明の実施の一形態に
ついて図１ないし図３に基づいて説明すれば、以下の通
りである。
【００６０】まず、本発明の基板の貼り合わせ方法およ
び液晶表示装置の製造方法に用いる貼り合わせ装置の実
施の一形態を図１に基づいて説明する。本実施形態の貼
り合わせ装置は、図１に示すように、互いに対向しかつ
平行な平面を持つ金属等からなる上ステージ（定盤）５
および下ステージ（定盤）６を備えている。この貼り合
わせ装置では、重ね合わせたＣＦ（カラーフィルタ）基
板３およびＴＦＴ（薄膜トランジスタ）基板４（以下、
適宜、これらをまとめて両基板３・４と記す）を、熱硬
化型樹脂からなるシール材（封止材）７とプラスチック
ビーズ等からなるスペーサ８とを介して上ステージ５お
よび下ステージ６（以下、適宜、これらをまとめてステ
ージ５・６と記す）の間に挟み込んで圧着するようにな
っている。
【００６１】なお、ＣＦ基板３は、ガラス基板上にカラ
ーフィルタを配置し配向膜等で被膜したものである。ま
た、ＴＦＴ基板４は、ガラス基板上に液晶駆動素子であ
る薄膜トランジスタや画素電極等を配置し配向膜等で被
膜したものである。
【００６２】上ステージ５および下ステージ６の互いに
対向する平面には、それぞれ、多数の基板吸着孔９およ
び１０が設けられている。基板吸着孔９は、真空吸引に
よりＣＦ基板３を上ステージ５に吸着させて固定するた
めのものであり、上ステージ５内の導管を通して図示し
ない真空ポンプ等の真空吸引機に接続されている。ま
た、基板吸着孔１０は、ＴＦＴ基板４を真空吸引により
下ステージ６に吸着させて固定するためのものであり、
下ステージ６内の導管を通して図示しない真空ポンプ等
の真空吸引機に接続されている。
【００６３】ＣＦ基板３には、図示しないが、図９に示
すアライメントマーク２３ａと同様の、４つのアライメ
ントマーク（アライメント用のマーカー）が四隅に設け
られている。また、ＴＦＴ基板４にも、図示しないが、
４つのアライメントマークがＣＦ基板３上の４つのアラ
イメントマークに対応する位置にそれぞれ設けられてい
る。
【００６４】また、上ステージ５および下ステージ６に
は、４つのアライメント用の撮像穴５ａおよび４つのア
ライメント用の撮像穴６ａがアライメントマークに対応
する位置にそれぞれ貫通するように設けられている。上
ステージ５における撮像穴５ａが設けられた位置には、
ＣＦ基板３上の４つのアライメントマークとＴＦＴ基板
４上の４つのアライメントマークとの位置が一致してい
るかを識別するためにこれらアライメントマークを撮像
する４つのアライメント用のカメラ１３（２つは図示し
ない）が設置されている。一方、下ステージ６には、ア
ライメントの際のカメラ１３による撮像のための光源で
ある４つのバックライト１４（２つは図示しない）が設
けられている。
【００６５】上ステージ５には、４つの紫外線照射用の
穴５ｂが、四隅の所定位置に貫通するように設けられて
いる。また、上ステージ５における紫外線照射用の穴５
ｂが設けられた位置には、両基板３・４上の４ケ所に塗
布された紫外線硬化型樹脂に対して紫外線を照射する４
つの紫外線照射光源１５（２つは図示しない）が設置さ
れている。
【００６６】なお、カメラ１３とバックライト１４と
は、逆の位置に取り付けられていてもかまわない。ま
た、紫外線照射光源１５および紫外線照射用の穴５ｂ
は、上ステージ５ではなく下ステージ６に設けられてい
てもかまわない。
【００６７】本実施形態の貼り合わせ装置は、以上の構
成については前記の比較例の貼り合わせ装置と同様であ
るが、前記の比較例の貼り合わせ装置と異なり、平板の
中央部に凹部１ａ・２ａを形成してなるマスク１・２
を、ステージ５・６上にそれぞれ凹部１ａ・２ａが両基
板３・４に対向するように設置している。なお、上ステ
ージ５の下面に取り付けた上側のマスク１の数、およ
び、下ステージ６の上面に取り付けた下側のマスク２の
数は、ここではいずれも１つであるが、一方または両方
を複数にしてもよい。
【００６８】マスク１・２の凹部１ａ・２ａは、液晶表
示領域１６に対応した寸法であればよいが、図３に示す
ように、液晶表示領域１６より僅かに大きい寸法の矩形
であることが好ましい。このように、マスク１・２の凹
部１ａ・２ａを液晶表示領域１６より僅かに大きい寸法
とすることで、液晶表示領域１６に傷が付くことをより
確実に防止することができる。なお、図３では、図面を
簡素化するために、アライメントマーク孔１ｃ・２ｃや
紫外線照射用の貫通孔１ｄを図示していない。
【００６９】また、マスク１・２の凹部１ａ・２ａは、
図３に示すように、シール材７が均一に良好にプレスさ
れるように液晶表示装置のシール材７の形成領域よりも
内側に設けている。しかしながら、シール材７が均一に
良好にプレスできるのであれば、必ずしもマスク１・２
の凹部１ａ・２ａをシール材７の形成領域よりも内側に
設ける必要はない。
【００７０】マスク１・２では、凹部１ａ・２ａ以外の
部分（外縁部）は両基板３・４と接触するが、凹部１ａ
・２ａは両基板３・４と非接触である。このため、マス
ク１・２と両基板３・４との間に異物等がある場合で
も、異物等が凹部１ａ・２ａに入り込むので、異物等が
両基板３・４に押し付けられることを防止できる。それ
ゆえ、異物等によって両基板３・４の外側表面に傷が発
生することがない。さらには、異物等の圧力が両基板３
・４の外側表面に加わることによって両基板３・４の内
側表面の配向膜等がスペーサ８によって傷付けられるこ
ともない。このように、本実施形態の貼り合わせ方法で
は、マスク１・２を設けたことにより、貼り合わせた両
基板３・４における不良発生率を低く抑えることができ
る。したがって、液晶表示装置の歩留まりを向上させる
ことができる。
【００７１】マスク１・２は、製造対象の液晶表示装置
（液晶表示セルパターン）の変更に伴い液晶表示領域１
６の寸法を変更する場合には、液晶表示領域１６の大小
に対応した大きさの凹部１ａ・２ａを有するものに交換
することがより好ましい。これにより、製造対象の液晶
表示装置に最適な貼り合わせ条件で両基板３・４を貼り
合わせることができる。したがって、多種多様な大きさ
の液晶表示装置に容易に対応して、最適な貼り合わせを
実現することができる。
【００７２】マスク１・２は、真空吸引によりステージ
５・６に吸着されて固定されている。このマスク１・２
の吸着は、基板３・４の吸着と独立して行えるようにな
っている。また、マスク１・２は、ステージ５・６への
吸着を解除することで容易に交換できるようになってい
る。上述した真空吸引によるマスク１・２の吸着固定の
ために、ステージ５・６の互いに対向する面上には、真
空吸引によりマスクを固定するためのマスク吸着用真空
溝であるマスク吸着溝（マスク吸着孔）１１・１２が、
マスク１・２と接触する位置に彫られている。マスク吸
着溝１１・１２も、図示しない真空ポンプ等の真空吸引
機に接続されている。
【００７３】マスク１・２には、両基板３・４をステー
ジ５・６に吸着させるための貫通孔１ｂ・２ｂが形成さ
れている。この貫通孔１ｂ・２ｂは、液晶表示領域１６
には設られておらず、凹部１ａ・２ａ以外の部分におけ
る基板吸着孔９・１０と対応する位置に設けられてい
る。これにより、ステージ５・６上に設けた基板吸着孔
９・１０から真空吸引することによりマスク１・２の貫
通孔１ｂ・２ｂを介して両基板３・４をステージ５・６
に吸着させて固定することができるようになっている。
また、この両基板３・４の吸着は、両基板３・４を抜き
取る際には解除できるようになっている。なお、ステー
ジ５・６に対するマスク１・２の吸着は、常時行われる
一方、ステージ５・６に対する両基板３・４の吸着は適
宜、実行（ＯＮ）／解除（ＯＦＦ）される。
【００７４】さらに、マスク１・２には、図１および図
２に示すように、位置決め用のアライメントマーク孔
（アライメント用の貫通孔）１ｃ・２ｃが、ステージ５
・６の撮像穴５ａ・６ａに対応する位置にそれぞれ貫通
するように設けられている。このアライメントマーク孔
１ｃ・２ｃを用いてマスク１・２の位置合わせを行うこ
とで、マスク１・２をステージ５・６に対して精度良く
固定できる。
【００７５】また、マスク１には、図１および図２に示
すように、紫外線照射用の貫通孔１ｄが上ステージ５の
紫外線照射用の穴５ｂに対応する位置に貫通するように
設けられている。これにより、紫外線照射光源１５から
照射された紫外線は、紫外線照射用の穴５ｂおよび紫外
線照射用の貫通孔１ｄを通して両基板４・５間に挟持さ
れた紫外線硬化型樹脂に達する。
【００７６】次に、マスク１・２の材質および寸法につ
いて説明する。
【００７７】マスク１・２は、例えば、フェライト系ス
テンレス鋼の１種であるＳＵＳ４３０、アロイ４２など
の金属材料からなることが好ましく、ＳＵＳ４３０から
なることが特に好ましい。
【００７８】マスク１・２の厚さ（凹部１ａ・２ａ以外
の部分の厚さ）は、１ｍｍ以下、例えば、０．５ｍｍま
たは１ｍｍに設定することが好ましい。これにより、マ
スク１・２は、比較的軽量となる。例えば、ＳＵＳ４３
０からなるマスク１・２の重量は、厚さが０．５ｍｍで
６３０ｇ〜７５０ｇ程度、厚さが１ｍｍで１２６０ｇ〜
１５００ｇ程度となる。そのため、製造工程におけるマ
スク１・２の取り扱い性を向上させることができる。ま
た、マスク１・２を、ＳＵＳ４３０により厚さが１ｍｍ
以下に形成することで、マスク１・２のコストを比較的
低く抑えることができる。
【００７９】マスク１・２の凹部１ａ・２ａの深さは、
マスク１・２の厚さの５０％に設定することが好まし
い。したがって、マスク１・２の凹部１ａ・２ａの深さ
は、マスク１・２の厚さが０．５ｍｍであれば０．２５
ｍｍに設定することが好ましく、マスク１・２の厚さが
１ｍｍであれば０．５ｍｍに設定することが好ましい。
また、マスク１・２の面積は、通常、１ｍ2 以下であ
る。
【００８０】次に、上記の貼り合わせ装置を用いた基板
の貼り合わせ方法および液晶表示装置の製造方法の一例
について説明する。
【００８１】本実施形態の液晶表示装置の製造方法で
は、まず、貼り合わせ工程を行う前に、セルギャップ
（両基板３・４の間隔）を一定に保つためのスペーサ８
をＴＦＴ基板４上に散布する。また、両基板３・４を仮
接着させるための紫外線硬化型樹脂（図示しない）を両
基板３・４の四隅の所定位置に塗布する。さらに、ＣＦ
基板３上に、液晶表示領域１６を囲むようにシール材７
を描画により形成する。なお、シール材７およびスペー
サ８は、両基板３・４のどちらに設けてもよい。
【００８２】その次に、上記の貼り合わせ装置を用い
て、ＣＦ基板３とＴＦＴ基板４とを貼り合わせる貼り合
わせ工程を行う。すなわち、両基板３・４を配向膜等で
被膜した面が対向するように配置し、セルギャップ（両
基板３・４の間隔）を均一に保つためのスペーサ８、お
よび液晶封止用のシール材７を介して精度良く貼り合わ
せる。
【００８３】以下、ＣＦ基板３とＴＦＴ基板４との貼り
合わせ方法について、詳細に説明する。
【００８４】まず、上ステージ５、下ステージ６、およ
びマスク１・２表面を清掃する。次に、マスク１・２を
ステージ５・６に対して精度良く設置して位置決めす
る。その後、図示しないロボットアームなどによりＣＦ
基板３を上側のマスク１上まで搬送する。
【００８５】次に、基板吸着孔９からマスク１の貫通孔
１ｂを介して真空吸引することにより、上ステージ５の
下面にＣＦ基板３を真空吸着させる。この際、ＣＦ基板
３は、前もって位置決めされている。そのため、ＣＦ基
板３の位置が、マスク１に対してずれることはない。さ
らに、同様にして、基板吸着孔１０からマスク２の貫通
孔２ｂを介して真空吸引することにより、上ステージ６
の上面にＴＦＴ基板４を真空吸着させる。
【００８６】次いで、下ステージ６を上ステージ５近く
まで上昇させる。その後、撮像穴５ａおよびアライメン
トマーク孔１ｃを通して、４つのカメラ１３により、Ｃ
Ｆ基板３上の４つのアライメントマークとＴＦＴ基板４
上の４つのアライメントマークとを読み取る。そして、
読み取り結果に基づいて、これらアライメントマークが
互いに重なるように下ステージ６の位置を調整すること
で、両基板３・４の間の位置合わせを行う。この下ステ
ージ６の位置調整では、図示しない（Ｘ、Ｙ、θ）駆動
装置により下ステージ６のＸ座標およびＹ座標を比較的
粗く調整する粗アライメントを行った後に、下ステージ
６を両基板３・４が接するように上昇させ、下ステージ
６のＸ座標およびＹ座標をより正確に微調整する精密ア
ライメントを行う。
【００８７】次に、ステージ５・６によって両基板３・
４に対してある一定の圧力をかけて圧着（プレス）す
る。この際、マスク１・２と両基板３・４との間やステ
ージ５・６とマスク１・２との間に異物等があったとし
ても、マスク１・２に凹部１ａ・２ａがあるために、液
晶表示領域１６には圧力がかからない。その結果、液晶
表示領域１６は、傷等が付くことはなく、保護される。
【００８８】次いで、この状態で、４つの紫外線照射光
源１５から紫外線照射用の穴５ｂおよび紫外線照射用の
貫通孔１ｄを通して、両基板３・４間の紫外線硬化型樹
脂を塗布してある箇所に紫外線を照射し、両基板３・４
を仮接着させる。
【００８９】次に、ステージ５・６による圧力を解放す
る。すなわち、上ステージ５へのＣＦ基板３の吸着を解
除し、両基板３・４を上側のマスク１から剥がしやすく
するために、基板吸着孔９より清浄空気の吹き付け（ブ
ロー）を行う。このとき、下ステージ６上のＴＦＴ基板
４は、下ステージ６に吸着されたままである。
【００９０】さらに、下ステージ６を所定の位置まで下
降させた後、同様にして、下ステージ６へのＴＦＴ基板
４の吸着を解除し、ＴＦＴ基板４を下側のマスク２から
剥がしやすくするために、基板吸着孔１０より清浄空気
の吹き付け（ブロー）を行う。その後、貼り合わせた両
基板３・４を図示しないロボットアームなどにより吸着
させて取り出す。以上のようにして、貼り合わせ工程が
完了する。
【００９１】この貼り合わせ工程の後に、シール材７を
硬化させるための焼成を行うことにより両基板３・４を
封着し、次いで、貼り合わされた両基板３・４をシール
材７の位置でカットした後、貼り合わされた両基板３・
４の間隙に液晶を注入する。これにより、液晶表示パネ
ル（液晶表示装置）が完成する。
【００９２】以上のように、本実施形態では、平板の中
央部に凹部１ａ・２ａを形成してなるマスク１・２を、
ステージ５・６上にそれぞれ凹部１ａ・２ａが両基板３
・４に対向するように設置することで、次のような効果
が得られる。
【００９３】すなわち、まず、マスク１・２に凹部１ａ
・２ａがあることで、両基板３・４の外側表面（ガラス
基板表面）に異物等による傷が付かない。また、異物等
による局所的な圧力が両基板３・４の外側表面にかから
ないことで、両基板３・４の外側表面のみならず、配向
膜等が形成されている両基板３・４の内側表面を傷つけ
ることもない。さらに、ステージ５・６に対しても異物
等による傷が付かない。その上、貼り合わせた両基板３
・４のギャップが、異物等による影響で小さくなること
がなくなり、均一に保たれる。
【００９４】さらに、本実施形態では、一対のマスク１
・２をステージ５・６にそれぞれ配置しているので、両
基板３・４のいずれの表面にも傷が付くことを防止でき
るとともに、いずれのステージ５・６に対しても異物等
による傷が付くことを防止できる。さらに、マスク１・
２の交換により凹部１ａ・２ａの寸法変更を容易に行う
ことができるので、多種多様な寸法の液晶表示領域を持
つ液晶表示装置に容易に対応することができる。
【００９５】さらに、本実施形態では、マスク１・２お
よび両基板３・４をステージ５・６に対して真空吸着さ
せて固定しているので、貼り合わせた両基板３・４間の
間隔をより均一に保つことができるとともに、両基板３
・４間の位置合わせの精度をより向上させることができ
る。
【００９６】また、以上のように、本実施形態の基板の
貼り合わせ装置では、ロボットアームなどを用いること
で、貼り合わせ操作を容易に機械化および完全自動化す
ることができる。その結果、貼り合わせ工程の歩留まり
を大幅に向上できるとともに、貼り合わせ工程のコスト
ダウンを実現できる。
【００９７】〔実施の形態２〕本発明の他の実施の形態
について図４および図５に基づいて説明すれば、以下の
通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１に
て示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の
符号を付記し、その説明を省略する。
【００９８】本実施の形態の基板の貼り合わせ方法およ
び液晶表示装置の製造方法では、図１および２に示すマ
スク１・２に代えて図４に示すマスク１・２を用いる以
外は、実施の形態１の貼り合わせ方法および液晶表示装
置の製造方法と同様にして貼り合わせを行う。なお、図
面における「１（２）」という表記は、「１」としても
「２」としても用いられるものであることを意味してい
る。
【００９９】本実施形態で用いるマスク１・２は、図４
に示すように、図１および図２に示すマスク１・２に対
して突出部としてのリブ（支え）１ｅ・２ｅを凹部１ａ
・２ａ内に設けたものである。なお、ここでは、図面を
簡素化するために、アライメントマーク孔１ｃ・２ｃや
紫外線照射用の貫通孔１ｄを図示していない。
【０１００】リブ１ｅ・２ｅは、マスク１・２の中心を
通ってマスク１・２の長手方向に沿って延びるリブ１ｅ
・２ｅと、マスク１・２の中心を通ってマスク１・２の
幅方向（マスク１・２の面方向であって、かつ、マスク
１・２の長手方向と直交する方向）に沿って延びるリブ
１ｅ・２ｅとから構成されている。
【０１０１】リブ１ｅ・２ｅは、その高さ（マスク１・
２の厚さ方向に沿った寸法）がマスク１・２の厚さと等
しくなるように形成されている。これにより、基板３・
４が凹部１・２側に反ることを確実に防止できる。リブ
１ｅ・２ｅにおける他の方向の寸法については、多様な
選択が可能であり、特に限定されるものではないが、例
えば、マスク１・２の面方向に沿った幅が５ｍｍに設定
される。
【０１０２】リブ１ｅ・２ｅは、マスク１・２の他の部
分と同じ材料で構成するとよい。これにより、リブ１ｅ
・２ｅを凹部１ａ・２ａと同時に形成することができ
る。すなわち、リブ１ｅ・２ｅは、凹部１ａ・２ａを形
成した後に形成するのではなく、凹部１ａ・２ａをエッ
チングにより形成すると同時にエッチングにより形成す
ることができる。
【０１０３】このようにリブ１ｅ・２ｅを設けること
で、凹部１ａ・２ａのサイズが大きくなった場合（ある
いは液晶表示領域１６のサイズが大きくなった場合）に
おいても、基板３・４の撓みを防止し、基板３・４の平
面性を安定に維持することができる。
【０１０４】なお、本実施の形態では、基板３・４とマ
スク１・２との接触面積は、リブ１ｅ・２ｅが基板３・
４に接触するために実施の形態１よりやや大きくなるも
のの、比較例の方法と比較すれば小さくなる。それゆ
え、基板１３・１４と加圧面との間に挟み込まれるガラ
ス破片・異物等の量を減らすことができ、その結果、基
板３・４表面に発生する傷の量を減らすことができる。
【０１０５】なお、図４に示す構成のマスク１・２を用
いる代わりに、図５（ａ）および（ｂ）に示すように、
突出部として支柱１ｆ・２ｆを設けた構成のマスク１・
２を用いても、図４に示す構成のマスク１・２と同様の
効果を得ることができる。なお、図５（ａ）および
（ｂ）でも、図面を簡素化するために、アライメントマ
ーク孔１ｃ・２ｃや紫外線照射用の貫通孔１ｄを図示し
ていない。
【０１０６】支柱１ｆおよび支柱２ｆはそれぞれ、マス
ク１に垂直な方向に沿って延びる４本の支柱１ｆおよび
マスク２に垂直な方向に沿って延びる４本の支柱２ｆか
ら構成されている。各支柱１ｆ・２ｆはそれぞれ、マス
ク１・２の中心と凹部１ａ・２ａの四隅とを結ぶ線分の
中点を通るように設けられている。
【０１０７】支柱１ｆ・２ｆも、その高さ（マスク１・
２の厚さ方向に沿った寸法）がマスク１・２の厚さと等
しくなるように形成されている。これにより、基板３・
４が凹部１ａ・２ａ側に反ることを確実に防止できる。
支柱１ｆ・２ｆの形状および径については、多様な選択
が可能であり、特に限定されるものではないが、例え
ば、１ｍｍ径の円柱とすればよい。
【０１０８】支柱１ｆ・２ｆも、マスク１・２の他の部
分と同じ材料で構成するとよい。これにより、凹部１ａ
・２ａを形成した後で支柱１ｆ・２ｆを形成するのでは
なく、エッチング等により凹部１ａ・２ａを形成すると
同時に支柱１ｆ・２ｆを形成することができる。
【０１０９】〔実施の形態３〕本発明のさらに他の実施
の形態について図６に基づいて説明すれば、以下の通り
である。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示
した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号
を付記し、その説明を省略する。
【０１１０】本実施の形態の基板の貼り合わせ方法およ
び液晶表示装置の製造方法では、図１および２に示すマ
スク１・２に代えて図６に示すマスク１・２を用いる以
外は、実施の形態１の貼り合わせ方法および液晶表示装
置の製造方法と同様にして貼り合わせを行う。
【０１１１】本実施形態で用いるマスク１・２は、図６
に示すように、図１および２に示すマスク１・２に対し
て凹部１ａ・２ａとマスク１・２の側面との間を通気さ
せるリーク溝１ｇ・２ｇを凹部１ａ・２ａ内に設けたも
のである。なお、ここでは、図面を簡素化するために、
アライメントマーク孔１ｃ・２ｃや紫外線照射用の貫通
孔１ｄを図示していない。
【０１１２】実施の形態１の貼り合わせ方法および液晶
表示装置の製造方法では、両基板３・４をステージ５・
６に吸着している際に、真空吸引のリーク（真空漏
れ）、すなわち、ステージ５・６におけるマスク１・２
の外縁部（凹部１ａ・２ａの周り）に対向する位置に設
けられた基板吸着孔９・１０からの真空吸引が、両基板
３・４とマスク１・２との僅かな間隙を介して凹部内１
ａ・２ａに作用するおそれがある。このような真空吸引
のリークが発生した場合、凹部１ａ・２ａ内が減圧状態
になり、両基板３・４が凹部１ａ・２ａ側に撓んだり、
両基板３・４がマスク１・２から離れなくなる。
【０１１３】これに対して、本実施形態の貼り合わせ方
法および液晶表示装置の製造方法では、凹部１ａ・２ａ
とマスク１・２の側面との間を通気させるリーク溝１ｇ
・２ｇを凹部１ａ・２ａ内に設けたことで、真空吸引の
リークが凹部１ａ・２ａに作用しても、マスク１・２の
側面からリーク溝１ｇ・２ｇを通って凹部１ａ・２ａ内
に外気が流れ込むので、凹部１ａ・２ａ内が減圧状態に
なることを防止でき、常圧を保つことができる。それゆ
え、両基板３・４が凹部１ａ・２ａ側に撓んだり、両基
板３・４がマスクから離れなくなるという問題を回避で
きる。
【０１１４】〔実施の形態４〕本発明のさらに他の実施
の形態について図７に基づいて説明すれば、以下の通り
である。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示
した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号
を付記し、その説明を省略する。
【０１１５】本実施の形態の基板の貼り合わせ方法およ
び液晶表示装置の製造方法では、図１および２に示すマ
スク１・２に代えて図７に示すマスク１・２を用いる以
外は、実施の形態１の貼り合わせ方法および液晶表示装
置の製造方法と同様にして貼り合わせを行う。
【０１１６】本実施形態で用いるマスク１は、図７に示
すように、複数の凹部１ａを有する構成であり、また、
マスク２も、図７に示すように、複数の凹部２ａを有す
る構成である。
【０１１７】上記方法によれば、貼り合わせた両基板３
・４において、凹部１ａ・２ａで保護された領域が複数
得られることになる。それゆえ、貼り合わせた両基板３
・４から複数の液晶表示装置を製造する場合、すなわ
ち、いわゆる多面取りの場合においても、凹部１ａ・２
ａで保護された各領域を各液晶表示装置の液晶表示領域
１６とすることで、各液晶表示装置を液晶表示領域１６
に傷のないものとすることができる。
【０１１８】なお、以上の各実施形態では、いずれも、
マスク（１・２）を上ステージ５および下ステージ６の
両方に配置していたが、上ステージ５上にのみ配置する
（すなわち、マスク２を省略する）、あるいは、下ステ
ージ６上にのみ配置する（すなわち、マスク１を省略す
る）ことも可能である。
【０１１９】また、以上の各実施形態では、シール材７
として熱硬化型樹脂を使用し、紫外線硬化型樹脂を用い
て仮接着を行う熱硬化型の貼り合わせ装置について説明
したが、本発明は、シール材７として紫外線硬化型樹脂
を使用し、上ステージ５および下ステージ６に光透過材
料（例えば、石英）を用いる紫外線硬化型の貼り合わせ
装置にも適用可能である。
【０１２０】また、以上の各実施形態では、ＴＦＴ型液
晶表示装置を製造するためのＣＦ基板３とＴＦＴ基板４
との貼り合わせに適用した場合を例に挙げて本発明を説
明した。しかしながら、本発明は、製造対象の装置の種
類、例えば、液晶駆動方式などには関係なく、ガラス板
などの基板を貼り合わせる工程の全てに適応可能であ
る。したがって、本発明の基板の貼り合わせ方法および
貼り合わせ装置は、ＳＴＮ型液晶表示装置を製造するた
めの上基板と下基板との貼り合わせにも適用可能であ
り、本発明の液晶表示装置の製造方法は、ＳＴＮ型液晶
表示装置の製造にも適用可能である。さらに、本発明の
基板の貼り合わせ方法および貼り合わせ装置は、液晶表
示装置の製造だけでなく他の装置の基板の貼り合わせに
際しても適用可能である。
【０１２１】
【発明の効果】本発明の基板の貼り合わせ方法は、以上
のように、平板の中央部に凹部を形成してなる一対のマ
スクを、これら定盤にそれぞれ凹部が基板に対向するよ
うに配置する方法である。
【０１２２】これにより、凹部によって両側から両基板
を保護できるだけでなく、凹部によって保護される両基
板の領域の寸法をマスクの交換により容易に変更でき
る。それゆえ、上記方法は、多種多様な寸法の貼り合わ
せ基板の製造に容易に対応できる基板の貼り合わせ方法
を提供することができるという効果を奏する。
【０１２３】また、本発明の基板の貼り合わせ方法は、
以上のように、平板の中央部に凹部を形成するとともに
凹部内に突出部を設けてなるマスクを、これら定盤の少
なくとも一方に凹部が基板に対向するように配置する方
法である。
【０１２４】これにより、一対の定盤で基板を挟む際に
基板が凹部側に反るような力が基板にかかったとしても
突出部によって基板の変形が阻止される。それゆえ、上
記方法は、凹部のサイズが大きくなった場合でも基板の
平面性を安定に維持できる基板の貼り合わせ方法を提供
することができるという効果を奏する。
【０１２５】また、本発明の基板の貼り合わせ方法は、
以上のように、平板の中央部に凹部を形成するとともに
凹部以外の部分に貫通孔を形成してなるマスクを、これ
ら定盤の少なくとも一方に凹部が基板に対向するように
配置し、上記定盤上に設けた基板吸着孔から真空吸引す
ることにより上記マスクの貫通孔を介して基板を定盤に
吸着させて固定する方法である。
【０１２６】それゆえ、上記方法は、貼り合わせた基板
間の間隔を均一に保つことができ、しかも、基板間の位
置合わせの精度を向上させることができる基板の貼り合
わせ方法を提供することができるという効果を奏する。
【０１２７】また、以上のように、このような基板を定
盤に吸着させて固定する方法において、上記マスクに、
凹部とマスクの側面との間を通気させるリーク溝を設け
ることにより、凹部内が減圧状態になって基板が反るこ
とを防止できるという効果が得られる。
【０１２８】また、以上のように、上記各方法におい
て、上記マスクを金属材料で形成することにより、長期
にわたって安定して基板の貼り合わせを行うことができ
るという効果が得られる。
【０１２９】また、以上のように、上記各方法におい
て、上記マスクを複数の凹部を有する構成とすることに
より、凹部で保護された領域を複数有する貼り合わせ基
板を得ることができるという効果が得られる。それゆ
え、例えば、貼り合わせた一対の基板から複数の液晶表
示装置を製造する場合においても、各液晶表示装置の表
示領域に傷が付くことを防止できる。
【０１３０】また、本発明の基板の貼り合わせ装置は、
以上のように、両基板を挟むための互いに対向する一対
の定盤と、これら定盤の少なくとも一方に配置されたマ
スクとを備え、上記マスクには、基板と対向する面の中
央部に凹部が形成されているとともに、凹部以外の部分
に貫通孔が形成されており、これら定盤の互いに対向す
る面上には、真空吸引により基板を固定するための基板
吸着孔が上記貫通孔と対応する位置に設けられていると
ともに、真空吸引によりマスクを固定するためのマスク
吸着孔がマスクと接触する位置に設けられていることを
特徴としている。
【０１３１】これにより、基板をマスクの貫通孔を介し
て定盤に固定するとともに、マスク吸着孔からの真空吸
引によりマスクを定盤に固定することができる。それゆ
え、上記構成は、貼り合わせた基板間の間隔を均一に保
つことができ、しかも、基板間の位置合わせの精度を向
上させることができる基板の貼り合わせ方法を提供する
ことができるという効果を奏する。
【０１３２】本発明の液晶表示装置の製造方法は、以上
のように、上記各方法のいずれかを用いて一対の基板を
貼り合わせた後、これら基板間に液晶を注入する方法で
ある。
【０１３３】それゆえ、上記方法は、多種多様な寸法の
液晶表示領域を持つ液晶表示装置の製造に容易に対応す
ることが可能な液晶表示装置の製造方法、凹部のサイズ
が大きくなった場合でも基板の平面性を安定に維持でき
る液晶表示装置の製造方法、あるいは、貼り合わせた基
板間の間隔を均一に保つことができ、しかも、基板間の
位置合わせの精度を向上させることができる液晶表示装
置の製造方法を提供することができるという効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の一形態に係る基板の貼り合わせ
装置の概略構成を示す断面図である。
【図２】図１の上ステージに固定されたマスクの概略構
成を示す平面図である。
【図３】図１の上ステージに固定されたマスクと、液晶
表示領域との関係を説明するための概略平面図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係るマスクの概略構成
を示す平面図である。
【図５】本発明のさらに他の実施形態に係るマスクの概
略構成を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面
図である。
【図６】本発明のさらに他の実施形態に係るマスクの概
略構成を示す平面図である。
【図７】本発明のさらに他の実施形態に係るマスクの概
略構成を示す平面図である。
【図８】比較例の基板の貼り合わせ装置の概略構成を示
す断面図である。
【図９】上記の比較例の貼り合わせ装置において、基板
が上ステージに固定された様子を示す概略平面図であ
る。
【図１０】従来の基板の貼り合わせ装置の一例を示す断
面図である。
【図１１】従来の基板の貼り合わせ装置の他の一例を示
す断面図である。
【符号の説明】
１ マスク １ａ 凹部 １ｂ 貫通孔 １ｅ リブ（突出部） １ｆ 支柱（突出部） １ｇ リーク溝 ２ マスク ２ａ 凹部 ２ｂ 貫通孔 ２ｅ リブ（突出部） ２ｆ 支柱（突出部） ２ｇ リーク溝 ３ 基板 ４ 基板 ５ 上ステージ（定盤） ６ 下ステージ（定盤） ９ 基板吸着孔 １０ 基板吸着孔 １１ マスク吸着溝（マスク吸着孔） １２ マスク吸着溝（マスク吸着孔）
フロントページの続き (72)発明者 堀 道夫 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 辻 雅之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 田村 和之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 福島 裕二 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Ｆターム(参考） 2H088 EA03 FA04 FA10 FA16 FA17 FA20 FA26 FA28 FA30 HA04 HA08 JA05 JA13 MA16 MA17 2H089 LA07 MA04X MA04Y NA24 NA25 NA32 NA33 NA35 NA44 NA45 NA48 NA49 NA51 NA60 QA12 QA14 RA05 RA10 TA06 TA09 2H090 JA13 JC02 JC12 JC14 JC17 KA05 KA08 LA03 LA04 5G435 AA17 BB12 EE33 FF00 KK05 KK10

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】一対の基板を重ね合わせ、互いに対向する
    一対の定盤で両基板を挟んで両基板を貼り合わせる基板
    の貼り合わせ方法において、 平板の中央部に凹部を形成してなる一対のマスクを、こ
    れら定盤にそれぞれ凹部が基板に対向するように配置す
    ることを特徴とする基板の貼り合わせ方法。
  2. 【請求項２】一対の基板を重ね合わせ、互いに対向する
    一対の定盤で両基板を挟んで両基板を貼り合わせる基板
    の貼り合わせ方法において、 平板の中央部に凹部を形成するとともに凹部内に突出部
    を設けてなるマスクを、これら定盤の少なくとも一方に
    凹部が基板に対向するように配置することを特徴とする
    基板の貼り合わせ方法。
  3. 【請求項３】一対の基板を重ね合わせ、互いに対向する
    一対の定盤で両基板を挟んで両基板を貼り合わせる基板
    の貼り合わせ方法において、 平板の中央部に凹部を形成するとともに凹部以外の部分
    に貫通孔を形成してなるマスクを、これら定盤の少なく
    とも一方に凹部が基板に対向するように配置し、 上記定盤上に設けた基板吸着孔から真空吸引することに
    より上記マスクの貫通孔を介して基板を定盤に吸着させ
    て固定することを特徴とする基板の貼り合わせ方法。
  4. 【請求項４】上記マスクに、凹部とマスクの側面との間
    を通気させるリーク溝を設けることを特徴とする請求項
    ３記載の基板の貼り合わせ方法。
  5. 【請求項５】上記マスクは、金属材料からなることを特
    徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の基板
    の貼り合わせ方法。
  6. 【請求項６】上記マスクが、複数の凹部を有することを
    特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の基
    板の貼り合わせ方法。
  7. 【請求項７】重ね合わせた一対の基板を貼り合わせるた
    めの基板の貼り合わせ装置において、 両基板を挟むための互いに対向する一対の定盤と、 これら定盤の少なくとも一方に配置されたマスクとを備
    え、 上記マスクには、基板と対向する面の中央部に凹部が形
    成されているとともに、凹部以外の部分に貫通孔が形成
    されており、 これら定盤の互いに対向する面上には、真空吸引により
    基板を固定するための基板吸着孔が上記貫通孔と対応す
    る位置に設けられているとともに、真空吸引によりマス
    クを固定するためのマスク吸着孔がマスクと接触する位
    置に設けられていることを特徴とする基板の貼り合わせ
    装置。
  8. 【請求項８】請求項１ないし６のいずれか１項に記載の
    方法を用いて一対の基板を貼り合わせた後、これら基板
    間に液晶を注入することを特徴とする液晶表示装置の製
    造方法。
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