TWI520895B - 基板移除裝置及利用該基板移除裝置製造平板顯示裝置的方法 - Google Patents

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Description

基板移除裝置及利用該基板移除裝置製造平板顯示裝置的方法
本發明關於一種基板移除裝置，尤其，關於一種包括初始間隙形成單元和前吸附型移除單元的基板移除裝置，以及一種利用該基板移除裝置製造其中輔助基板被分離的平板顯示裝置的方法。
與各種可攜式裝置行動電話發展一致，筆記型電腦和實現高解析度和高品質影像之例如高清晰度電視的資訊電子裝置，等等，對應用在其中的平板顯示裝置的需求已經增加。平板顯示裝置包括液晶顯示器(LCDs)、電漿顯示器(PDPs)、場發射顯示器(FEDs)、有機發光顯示裝置等等。
平板顯示裝置通常用在可攜式裝置中，以及就大型電視而言，面積的增加導致了重量的增加，因此對更輕和更薄的顯示裝置的需求正在日漸成長以增強其可攜性。
平板顯示裝置的厚度和重量可以用多種方法減小，但是平板顯示裝置的主要部件的縮減在結構和目前技術方面受到限制。另外，主要部件在重量上是輕的，因此減小主要部件的重量來減小平板顯示裝置整體的厚度和重量是非常困難的。
因此，藉由減少組成顯示面板的平面基板的厚度來減少平板顯示裝置的厚度和重量的方法已經被積極地研究。在這種情況中，然而，由於薄基板被應用，當其在多單元處理中被傳遞或單元處理在其上執行時薄基板可能彎曲或破損。因此，為了克服該問題，貼附輔助基板至薄玻璃基 板、執行製造程序、以及當程序完成時移除輔助基板，以使對平面基板的損害減到最小的方法已經被提出。
第1A圖是表示利用相關領域方法之真空墊製造薄基板的基板移除裝置的示意圖，以及第1B圖是表示利用拱形筒狀墊之基板移除裝置的示意圖。
參閱第1圖，相關領域之真空墊基板移除裝置10具有其中複數個真空吸附墊14被配置在貼附至玻璃或塑膠面板基板11上的輔助基板12的結構。並且藉由驅動真空吸引單元15來分離面板基板11與輔助基板12。特別地，假設一塑膠基板、一離型層藉由利用SiNx和a-Si形成於面板基板11和輔助基板12中間，並且藉由利用雷射移除，因此削弱基板之間的結合力以執行移除程序。
然而，在真空墊基板移除裝置10中，由於真空吸附墊14(a)的高度和吸附功率之間的差異輔助基板12在初始吸附部和末端吸附部可能損壞。並且由於離型層需要被雷射移除，成本增加了。同樣，一旦使用，輔助基板12不能被重複利用。
第1B圖表示相關領域利用筒狀墊的基板移除裝置20。在基板移除裝置20中，當輔助基板貼附程序完成時，貼附至面板基板21的第一輔助基板22和第二輔助基板23需要被移除，並且為了這個目的，拱形筒狀墊25被用於吸附第一輔助基板22的前部表面並且逐漸提升該前部表面，然而同時降低第一輔助基板22的後端，以移除第一輔助基板22，並且第二輔助基板23以相同的方式被移除。
然而，利用筒狀墊的基板移除方法的不便在於相較於前部表面吸附方法，分離(或移除)該輔助基板的前部表面所需時間比較長，並且由於提供較大數量的驅動單元和吸附室，以裝備的維持而言管理驅動單元和吸附室是困難的。另外，製造和管理形成於筒狀墊較低表面用於分離的O型環是困難的。
藉此，本發明所說明的一方面提供一種製造平面顯示裝置的方法以及一種基板移除裝置，該製造平面顯示裝置的方法藉由貼附一輔助基 板至一薄面板基板並且執行程序能夠阻止一薄玻璃基板的損壞，該基板移除裝置能夠輕易地從由該方法所製造的一面板基板上分離一輔助基板。
正如在此具體且廣泛的描述，為實現這些和其他的優勢並且依據本說明書的目的，一種基板移除裝置包括：一初始間隙形成單元，配置以當一母基板載入時，在藉由貼附一輔助基板和一面板基板而形成的該母基板中形成一初始間隙；以及上述的移除單元，配置以藉由在形成該初始間隙的該母基板已載入其上的一載台上所形成的一矩形翼型O型環真空吸附該輔助基板，以從該面板基板上分離該輔助基板。
正如在此具體且廣泛的描述，為實現這些和其他的優勢並且依據本發明說明書的目的，一種基板移除方法包括：提供一第一輔助基板和一第二輔助基板及一薄面板基板；藉由貼附該第一輔助基板和該第二輔助基板至該面板基板製備一母基板；在該母基板上執行一顯示面板製造程序；輸送該母基板至一初始間隙形成單元以在該第一輔助基板和該面板基板之間形成一初始間隙；輸送該母基板至一前吸附型移除單元以分離該第一輔助基板；輸送該母基板至該初始間隙形成單元以在該第二輔助基板和該面板基板之間形成一初始間隙；以及輸送該母基板至該前吸附型移除單元以分離該第二輔助基板。
本申請的進一步應用範圍在下文給出的詳細描述中將更加明顯。然而，應該理解的是顯示本發明較佳實施例的詳細說明和具體事例只以圖示的方式給出，藉由詳細的描述在本發明的精神和範圍內的各種變化和更改對本領域的技術人員而言係顯而易見的。
10‧‧‧真空墊基板移除裝置
11‧‧‧面板基板
12‧‧‧輔助基板
14‧‧‧真空吸附墊
15‧‧‧真空吸引單元
20‧‧‧基板移除裝置
21‧‧‧面板基板
22‧‧‧第一輔助基板
23‧‧‧第二輔助基板
25‧‧‧拱形筒狀墊
50‧‧‧母基板
51‧‧‧第一面板基板
52‧‧‧第二面板基板
61‧‧‧第一輔助基板
62‧‧‧第二輔助基板
100‧‧‧初始間隙形成單元
101‧‧‧空間
102‧‧‧支撐物
110‧‧‧視覺對位模組
111‧‧‧感測器單元
112‧‧‧第一輸送單元
113‧‧‧第二輸送單元
114‧‧‧第三輸送單元
120‧‧‧基板對位模組
140‧‧‧推針模組
141‧‧‧推針
142‧‧‧荷重元
143‧‧‧第一輸送單元
144‧‧‧第二輸送單元
145‧‧‧第三輸送單元
150‧‧‧間隙刀模組
151‧‧‧間隙刀
152‧‧‧刀控制器
153‧‧‧第一輸送單元
154‧‧‧第二輸送單元
155‧‧‧第三輸送單元
160‧‧‧吸附載台
161‧‧‧升降針孔
165‧‧‧推針孔
167‧‧‧主真空吸附線
169‧‧‧子真空吸附線
170‧‧‧升降針模組
200‧‧‧前吸附型移除單元
201‧‧‧空間
202‧‧‧支撐物
210‧‧‧低載台
211‧‧‧真空吸附線
213‧‧‧槽線
213a‧‧‧階梯部
214‧‧‧基板止動突出
220‧‧‧高載台
221‧‧‧真空吸附線
223‧‧‧槽線
230‧‧‧分離間隙形成模組
231‧‧‧固定框架
232‧‧‧移入/移出構件
233‧‧‧高度調節單元
234‧‧‧底部框架
236‧‧‧驅動單元
240‧‧‧彎曲預防模組
241‧‧‧旋轉構件
242‧‧‧旋轉構件
S101~S110‧‧‧步驟
S200~S252‧‧‧步驟
附加的圖示被納入以提供對本發明的進一步瞭解並且被併入其中且構成本所明書的一部分，附圖說明了實施例並且與該說明書一起用於解釋本發明的主旨。
在該附圖中：第1A圖是示意性說明利用相關領域方法中之真空墊以製造薄基板的基板移除裝置的視圖，及第1B圖是示意性說明利用拱形筒狀墊的基板移除 裝置的視圖；第2圖是說明根據本發明一實施例之製造平板顯示裝置的方法的視圖；第3圖是示意性說明根據本發明一實施例之基板移除裝置的視圖；第4A圖至第4C圖是說明具有角切部的面板基板利用初始間隙形成單元執行初始間隙程序的視圖；第5圖是說明根據本發明一實施例之基板移除裝置的初始間隙形成單元的視圖；第6A圖至第6D圖是說明包含在第5圖之初始間隙形成單元中的元件的視圖；第7圖是說明根據本發明一實施例之基板移除裝置的前吸附型移除單元的視圖；第8A圖至第8C圖是說明第7圖中前吸附型移除單元的兩個載台的視圖；第9A圖及第9B圖是說明根據本發明一實施例之移除間隙形成模組的視圖；第10A圖及第10B圖是說明根據本發明一實施例之預防彎曲模組的視圖；第11圖是說明根據本發明一實施例之製造平板顯示裝置方法中移除基板的方法的視圖。
參考附圖，說明書將以詳細實施例的方式給出。為了簡要說明參考附圖，相同或等效的元件具有相同的參考編碼，及其說明將不再重複。
以下，參考附圖敍述根據本發明之製造平板顯示裝置的方法和利用該方法的基板移除裝置。以下，參考附圖敍述根據本發明實施例之製造平板顯示裝置的方法和基板移除裝置。在以下說明中，以製造一液晶層被***兩個基板之間的液晶顯示器的面板基板的方法作為例子來說明，但根據本發明實施例的製造方法不只侷限於LCD同時可被應用至任何平板顯示裝置的面板基板中，例如有機發光顯示裝置、電漿顯示面板等等。
第2圖是說明根據本發明一實施例之製造平板顯示裝置的方法的視圖。
第2圖中，係假設以滴入的方式形成液晶層製造LCD的面板基板的方法來說明，但本發明可被應用至假設以液晶注入方式形成液晶層製造LCD的方法中。
製造LCD的程序可包括在較低陣列基板上形成驅動元件的驅動元件陣列程序和在較低彩色濾光片基板上形成彩色濾光片的彩色濾光片程序。
LCD的厚度和重量取決於許多因素，並且由玻璃形成的彩色濾光片基板和陣列基板可能是LCD元件中最重的。因此，為了減輕LCD裝置的厚度和重量，較佳地使用一薄玻璃基板。
根據本發明一實施例之製造平板顯示裝置的方法中，利用具有厚度等於或小於0.5t的薄面板基板的陣列基板和彩色濾光片基板來執行。在此情形中，藉由貼附輔助基板至兩個較薄面板基板的外部表面來執行程序，因此減輕了薄面板基板的彎曲並且預防薄面板基板的損害。在此，t表示mm，且因此，0.5t表示0.5mm的厚度。以下，為了說明，在下面說明中mm表示為t。
特別是，當進入常規平板顯示裝置製造程序時具有0.5t或更小厚度的薄玻璃面板基板嚴重下垂，引起利用如卡匣或類似的移動單元的面板基板難以輸送的問題，並且當載入至單元處理設備或從單元處理設備卸載時即使以小的衝擊作用在其上會迅速嚴重地彎曲，頻繁地引起位置錯誤。
因此，在本發明的一實施例中，在將薄面板基板放至一生產線之前，輔助基板被貼附至具有0.5mm或更小厚度的薄面板基板，藉此具有增強彎曲特性的面板基板係相同或更勝於用於常規平板顯示裝置中具有約0.7t厚度的玻璃基板。
首先，在將具有0.5t或更小厚度的薄玻璃基板放置在陣列程序和彩色濾光片程序的生產線之前，具有約0.5t至0.7t厚度的輔助基板被貼附至面板基板(S101)的一表面。在此，然而，本發明不侷限於薄面板基板和輔助基板的厚度。
貼附面板基板與輔助基板的程序可藉由將兩塊基板帶入真空狀態接觸來執行。在此情況中，該兩基板之間的貼附力被認為是基於真空力、凡得瓦力、靜電力、分子結合等等。
藉此，在本發明一實施例中，輔助基板利用氟被電漿處理，諸如此類，或利用表面活性劑處理，或凹凸圖案形成於輔助基板上以減輕貼附力以便從薄面板基板輕易分離，或薄面板基板與輔助基板上沒有執行任何處理而貼附。
接下來，當輔助基板貼附至薄面板基板時，在此貼附的陣列基板的薄面板基板和輔助基板(下文中，稱為「陣列基板」)經歷一陣列程序。在該陣列程序中，多條閘線與多條資料線配置於陣列基板以確定像素區域，並且連接閘線和資料線的薄膜電晶體TFTs、驅動元件分別形成在像素區域內(S102)。同樣，一像素電極被形成以連接至每個TFT。當一信號作用至TFT時，像素電極驅動液晶層。
同時，在彩色濾光片程序期間，實現色彩之包括紅、綠、及藍子彩色濾光片的彩色濾光片層形成在用於彩色濾光片基板的薄面板基板上，而前述輔助基板貼附至薄面板基板上(S103)。在此情況下，當一面內轉向(IPS)LCD被製造時，一共用電極形成在該陣列基板上，其中該像素電極在S102步驟中形成。
隨後，在彩色濾光片基板和陣列基板上執行形成配向膜的一配向程序(S104、S105)。在此情況中，為了提供錨定力或表面固定力至形成於彩色濾光片基板與陣列基板之間的液晶層的液晶分子上，進一步包括一關於配向層的摩擦程序。
接下來，執行塗敷一密封劑(或一密封材料)至摩擦後的彩色濾光片基板以形成一預定密封圖案的程序，並且同時，液晶層通過一液晶滴落程序形成於陣列基板上(S106、S107)。或者，該密封劑塗敷程序與該液晶滴落程序可分別在陣列基板或彩色濾光片基板上執行。
藉此，彩色濾光片基板與陣列基板分別形成於大尺寸母基板上。亦即，多個面板區域形成於每個大尺寸母基板中，且TFTs、驅動元件、或彩色濾光片層分別形成於面板區域中。
其後，在一貼附程序中(S108)，液晶滴落且塗敷密封劑至陣列基板與彩色濾光片基板形成於其中的任何一個母基板，並且隨後，該兩個母基板被對準且壓力被施加至其上以藉由該密封劑貼附該兩個母基板且允許滴落的液晶均勻地分布在整個該兩基板之上。
通過這些程序，包括液晶層的複數個顯示面板形成於處於大尺寸母基板狀態中之陣列基板和彩色濾光片基板中，並且第一輔助基板和第二輔助基板從包含複數個顯示面板的大尺寸母基板上移除(S109)，並且母基板被裁切成複數個顯示面板，並且複數個顯示面板的每一個被檢查，藉此製造平板顯示裝置(S110)。
在此情況下，分離輔助基板的程序藉由利用基板移除裝置來執行(S109)，並且該基板移除裝置包括初始間隙形成單元和前部表面吸附型移除單元。
第3圖是示意性說明根據本發明一實施例之基板移除裝置。參閱第3圖，根據本發明一實施例之基板移除裝置包括初始間隙形成單元100，用於執行一初始間隙形成程序以從面板基板移除輔助基板；以及前吸附型移除單元200，用於從初始間隙形成在其中的面板基板上移除輔助基板。
經歷貼附程序的單母基板50被載入至初始間隙形成單元100，且在貼附至面板基板的一表面的第一輔助基板上執行該初始間隙形成程序，以及母基板卸載。形成有初始間隙的母基板50相對於第一輔助基板載入至前吸附型移除單元200，第一輔助基板被移除，第二輔助基板被控制以朝向上方，並且通過初始間隙形成單元100與前吸附型移除單元200再次於第二輔助基板上執行初始間隙形成程序和基板分離程序。
為了通過初始間隙形成單元100形成關於輔助基板的初始間隙，一切割部需要形成於基板上以供應一推針。
第4A圖至第4C圖是說明利用初始間隙形成單元執行初始間隙程序之具有角切部的面板基板的視圖。
如上文所述，在本實施例中，在開始利用具有0.5t或更少的薄玻璃基板，亦即利用第一面板基板51和第二面板基板52的製造程序之前，在輸送或單元程序中，第一輔助基板61和第二輔助基板62被貼附，以具 有相同或更勝於具有約0.7t厚度用於常規LCDS之那些玻璃基板的彎曲特性，以減小基板下垂的產生等等。
在此情況中，其中配置有多個液晶面板且被貼附之第一面板基板51和第二面板基板52以及第一輔助基板61和第二輔助基板62的隅角以預定的傾斜角度被切削。
特別地，薄第一輔助基板61和第二輔助基板62的至少兩個隅角相較於第一面板基板51和第二面板基板52(請參考第4C圖)被較輕微地切削掉以在方向和後續程序之間作區分。因此，當基板被貼附時，第一輔助基板和第二輔助基板的隅角部被暴露。該等暴露的區域被用作為推針區域A和B而推針PP應用在其上以開始第一輔助基板61和第二輔助基板62的初始間隙程序。
即，在第一面板基板51和第二面板基板52被切削之後，被貼附的第一輔助基板61和第二輔助基板62的隅角突出。推針PP沿X軸和Y軸移入推針區域A和B以在基板被固定的狀態中施加壓力。因此，首先，在貼附至一表面的第一輔助基板61上執行一第一初始間隙程序以從第一面板基板51或第二面板基板52上分離第一輔助基板61，並且在第一輔助基板61被分離之後，藉由利用關於第二輔助基板62之推針PP執行一第二初始間隙程序以施加壓力至推針區域C和D。
以下，參考附圖，描述根據本發明一實施例之組成基板移除裝置的兩單元的結構。
第5圖是說明根據本發明一實施例之基板移除裝置的初始間隙形成單元的視圖，以及第6A圖至第6D圖是說明第5圖之初始間隙形成單元中的組件的視圖。
參閱第5圖，初始間隙形成單元100包括視覺對位模組110，該視覺對位模組110安裝在空間101中並且設置在支撐物102上以成像形成於母基板中的角切部以定位對應於角切部的推針；基板對位模組120，用於當母基板載入時，對位母基板處於常規位置；推針模組140，用於控制推針對母基板的角切部施壓；間隙刀模組150(第6C圖)，用於***間隙刀至被推針施壓的角切部的基板接觸部中以形成初始間隙；吸附載台160，用於載 入輸送的母基板；以及升降針模組170，包含複數個耦合至吸附載台160的下部部分的升降針以支撐母基板。
以下，參閱第5圖及第6A圖至第6D圖，描述初始間隙形成單元100的結構。
視覺對位模組110耦合至支撐物102並安裝在吸附載台160的上方，且與吸附載台160分離一預定距離。視覺對位模組110可成像載入至吸附載台160上的母基板的區域(圖中未顯示)，並且根據結果定位推針模組140以對應形成於母基板中的角切部。
為了這個目的，視覺對位模組110包括感測器單元111，該感測器單元111具有用於成像角切部的影像感測器；第一輸送單元112和第二輸送單元113，耦合至感測器單元111且沿著第一方向和第二方向移動感測器單元111；以及第三輸送單元114，耦合至第一輸送單元112和第二輸送單元113以沿第三方向移動第一輸送單元112和第二輸送單元113。在此，第一方向至第三方向被設為X、Y和Z軸。
當母基板被傳送至空間101內部且載入至吸附載台160時，基板對位模組120首先對位母基板以將母基板放置於常規位置。當母基板被傳送至空間101內部時，藉由穿透吸附載台160母基板被載入到複數個針上(圖中未顯示)，並且基板對位模組120在母基板被固定至吸附載台160之前對位母基板。
根據視覺對位模組110的成像結果，推針模組140定位推針141以對應載入至吸附載台160的母基板的角切部，並且提升推針141施壓角切部以暴露位於母基板的輔助基板和面板基板之間的接觸部。在此情況中，如果由推針141施加至母基板的壓力太強或者如果施加至母基板的壓力時間期間很長，母基板可能損壞。因此，為了阻止此情況，當施加預定壓力時，可進一步提供用於降低推針141的荷重元142。因此，推針模組140包括推針141、以及第一輸送單元143至第三輸送單元145，用以在對應於母基板的角切部的位置中定位推針141。
間隙刀模組150用以***間隙刀151至被推針141施壓的母基板的接觸部以形成初始間隙。詳細地，當母基板被推針141施壓時，母基板的輔助基板從面板基板上分離一定的程度，但在此情況下，當母基板被 傳送至前吸附型移除裝置時，輔助基板可再次貼附至面板，如此，輔助基板沒有分離。因此，為了減小這個問題，當位於輔助基板和面板基板之間的接觸部藉由推針141的施壓而暴露時，間隙刀模組150將間隙刀***外露的接觸部以減小基板之間的貼附，藉此形成間隙。
間隙刀模組150包括間隙刀151；刀控制器152，用於將間隙刀***至被加壓的母基板的接觸部或從被加壓的母基板的接觸部移除；第一輸送單元153至第三輸送單元155，用於沿第一方向至第三方向移動刀控制器152。
吸附載台160藉由支撐物102安裝在空間101的內部，傳送的母基板被載入至其上，並且在初始間隙形成程序中吸附載台160用來穩定地支撐母基板。根據一真空吸附方法，吸附載台160負載母基板。為了這個目的，吸附載台160包括：複數個升降針孔161，使得從設置在下方的升降針模組170提升的複數個升降針進入至該等升降針孔161中；至少一推針孔165，形成於吸附載台160側面上以允許推針進入；主真空吸附線167，具有矩陣格式，用於劃分母基板的整個區域，並且主要吸附母基板；以及子真空吸附線169，該等子真空吸附線169具有矩陣格式，位於鄰近由主真空吸附線167劃分的區域中之角切部的區域內並且次要吸附母基板。
特別地，子真空吸附線169形成在對應於被推針141施壓的母基板的角切部的區域中，用來阻止由於推針141的加壓使得母基板從吸附載台160分離。亦即，子真空吸附線169相對於主真空吸附線167密集地形成，且在真空狀態中，其上的吸附力比其他的區域強，藉此減輕了分離的問題。
升降針模組170被設在吸附載台160的後表面上且在母基板被吸附之前暫時支撐被輸送至空間101內部的母基板。詳細地，升降針模組170提升該等升降針(圖中未顯示)使得該等升降針被提升通過吸附載台160的升降針孔161以支撐輸送的母基板。當母基板完成對位時，升降針模組170降低該等升降針使得母基板被載入至吸附載台160。同樣，在初始間隙程序完成後，當母基板由於貼附力不能輕易從吸附載台160分離時，升降針模組170提升該等升降針以推進母基板的後表面，藉此輔助迅速執行卸載程序。
根據該結構，根據本實施例之初始間隙形成單元執行形成初始間隙以從母基板上分離輔助基板的程序。以下，說明根據本發明的前吸附型移除單元的結構。
第7圖是說明根據本發明一實施例之基板移除裝置的前吸附型移除單元的視圖。第8A圖至第8C圖是說明第7圖中前吸附型移除單元之兩個載台的視圖。第9A圖至第9B圖是說明根據本發明一實施例之移除間隙形成模組的視圖。第10A圖至第10B圖是說明根據本發明一實施例之彎曲預防模組的視圖。
參閱第7圖，前吸附型移除單元200包括：低載台210，安裝於空間201內的支撐物202上，用於允許所輸送的母基板載入至其上，且具有翼型O型環(OR)；高載台220，設置在低載台210上且具有翼型O型環；分離間隙形成模組230，在低載台210與高載台220之間形成間隙；以及彎曲預防模組240，用於移除於母基板中所產生的靜電。
以下，參考第7圖及第8A圖至第8C圖說明前吸附型移除單元200的結構。
低載台210被安裝於支撐物202上方且於一程序期間用來穩定支撐被輸送進入空間201且載入至其上的母基板。低載台210包括複數條真空吸附線211，形成於內側且具有矩陣格式以在真空狀態中吸附母基板、以及槽線213，形成於其最外部且允許翼型O型環(OR)被***其中。同樣，基板止動突出214形成於槽線213的外側以圍繞所載入母基板的側面。
根據該結構，傳送至前吸附型移除單元200內部的母基板藉由基板止動突出214首先被對位並且載入使得其後部表面與翼型O型環的上部接觸。同樣，在真空吸附期間，翼型O型環傾斜向槽線213的內部，並且母基板安裝在低載台210的上表面上。
特別地，當母基板突然地被吸附至低載台210時，母基板可能受損，並且為了預防此情形，可提供電動氣動調節器以允許母基板被緩慢地吸附。如下文所述，電動氣動調節器可不提供在高載台220上。
高載台220被安裝以對應於低載台210，且吸附輔助基板以從母基板分離輔助基板。具有與那些低載台210相同形狀的真空吸附線221及 槽線223形成於高載台220上並處於高載台220內側，並且翼型O型環***槽線223中。
同樣，儘管沒有顯示，在高載台220中，可進一步提供預定感測器(圖中未顯示)，為了確定輔助基板是否受損或被移除。當基板受損時，吸附壓力降低。藉此，感測器可包括吸附壓力感測器，用於檢測吸附壓力、以及壓力感測器，用於檢測包括突出的分離並且當該突出被按壓時確定輔助基板的分離，該突出形成於其上部部分上且具有一預定高度。
如上所述，在通過低載台210和高載台220的真空吸附程序中，在高載台和低載台之間形成真空狀態並且輔助基板透過真空泵或與之類似者連接至一真空吸附線，並且該真空吸附線具有2mm或更少的寬度和1mm深度。在此情況下，吸附壓力可確定在約30kpa至90kpa的範圍內。
同樣，可在低載台210的較低表面上提供一加熱板，以便於藉由提供熱量來移除輔助基板。該加熱板用來藉由調節母基板的溫度範圍從30℃至150℃減少面板基板與輔助基板之間的貼附程度。
根據該結構，母基板載入，低載台210和高載台220以一預定距離彼此隔開，並且每條真空吸附線處於真空狀態。在此狀態中，O型環密封地關閉內側，並且輔助基板從初始間隙開始與面板基板分離。
第8C圖是說明翼型O型環***低載台210的槽線的結構之第8A圖中一部分的放大圖。特別地，翼型O型環由彈性材料製成，並且可由具有優異溫度、化學、和物理耐久性，例如天然橡膠、發泡矽或非發泡矽等軟性物質所製成。
同樣，在輔助基板被分離之後，分離的輔助基板也許不能從翼型O型環上移除。為了預防這樣的問題，翼型O型環的一表面可以塗佈聚對二甲苯。該聚對二甲苯塗層表示沉積在一物體上具有在室溫真空狀態中為氣態的微尺度厚度的聚合物塗層，而不考慮物體的形狀。該聚對二甲苯塗層包括是線性且具有優異憎水性的少量多晶體，並且藉此不會引起嚴重的化學反應。在本發明的實施例中，翼型O型環塗有具有這樣特性的聚對二甲苯使得輔助基板可輕易地從O型環上滑行且減小了O型環的附著力。
同樣，該翼型O型環藉由兩次彎曲其上的部分而具有一「ㄈ」形狀，並且一上彎曲部以預定角度傾斜且與母基板接觸。特別地，當該翼型O 型環吸附至母基板時，其形狀沒有保持而是彎曲以***槽線213。藉此，為了這個目的，一預定階梯部213a形成於槽線213中。
藉此，母基板的前和後表面分別與在以一預定距離彼此隔開的低載台210和高載台220中所提供的翼型O型環接觸並且翼型O型環的內側造成真空，面板基板與輔助基板分別被吸附至低載台210和高載台220上，以使得被分開，並且為了這個目的，提供用於調整低載台210和高載台220之間的空間的分離間隙形成模組230。
分離間隙形成模組230用來調整低載台210和高載台220之間的間隙，並且包括固定框架231，設置在載台的每一側；一個或多個移入/移出構件232，耦合在該等固定框架之間；高度調節單元233，用於調節固定框架231的高度；以及底部框架234，其中安裝有低載台210。
特別地，藉由設置在後載台的驅動單元236，移入/移出構件236向內移動以限制高載台被下降到的位置。驅動單元236可以手動操作或被配置為一伺服電動機等等。特別地，兩個或更多移入/移出構件232可垂直堆疊以根據母基板的高度或其他處理環境適當調整低載台210和高載台220之間的間隙。
在母基板載入後，如果溫度是不均勻地增加，母基板可能彎曲且延展以引起母基板的一部分脫落的彎曲現象。這可能導致基板區域高度之間20mm或更大的差異。同樣，當分離程序執行時，靜電可能引入至母基板。藉此，為了預防此問題，彎曲預防模組240可提供在低載台210的兩側，以便排放靜電。
當母基板載入至低載台210時，彎曲預防模組240用來暫時施壓低載台210的兩側端部，且該彎曲預防模組240包括由旋轉構件241和242連接的棒型按壓構件和連接構件且進入至低載台210和從低載台210退出。
一預定刷可附接至彎曲預防模組240的按壓構件以有效地排出引入至母基板的靜電。
以下，參閱附圖，描述根據本發明一實施例之利用製造平板顯示裝置的方法中的基板移除裝置用於移除基板的方法。
第11圖是說明根據本發明一實施例之製造平板顯示裝置的方法中移除基板的方法的視圖。
參考第11圖，母基板包括已經經歷先前程序的面板基板與貼附至其上的第一輔助基板與第二輔助基板，該母基板被輸送至初始間隙形成單元的空間內部且載入至吸附載台上(S200)。
在此情形中，該面板基板可形成為具有0.5t或更小厚度的薄玻璃基板，並且具有從0.3t至0.7t範圍厚度而已被電漿處理或表面活性處理且具有凹凸圖案的第一輔助基板和第二輔助基板可貼附至面板基板。在此，各自基板的厚度不侷限於特定尺寸。
接下來，載入至吸附載台的母基板通過基板對位模組被對位至常規位置(S210)。
隨後，第一輔助基板從母基板分離(S220)。首先，視覺對位模組成像母基板的角切部且定位推針模組使得其對應於角切部。推針模組施壓角切部以暴露面板基板與第一輔助基板之間的接觸部，並且間隙刀進入以形成初始間隙(S221)。其後，母基板被輸送至前吸附型移除單元且載入至低載台，高載台降低，並且第一輔助基板以真空方式隨後分離(S222)。在此情況中，低載台與高載台分別包括翼型O型環，並且當母基板被翼型O型環圍繞且第一輔助基板被吸附至高載台時，第一輔助基板從面板基板分離。
其後，第一輔助基板從其上分離的母基板被翻轉且再次被載入至初始間隙形成單元的吸附載台(S230)。亦即，母基板被載入至吸附載台使得將被分離的第二輔助基板朝向上方。
母基板通過基板對位模組被對位至常規位置(S240)。
隨後，第二輔助基板從母基板分離(S250)。首先，第二輔助基板的角切部利用前述推針以預定壓力被向上加壓以暴露第二輔助基板與薄玻璃基板之間的接觸部，亦即，面板基板與第二輔助基板之間的接觸部，並且間隙刀從一方向移至另一方向以部分分離第二輔助基板與母基板的接觸區域以形成初始間隙(S251)。
接下來，母基板被輸送至前吸附型移除單元且載入至低載台，並且高載台降低，以及第二輔助基板以真空方式分離(S252)。在此情況下， 當母基板被翼型O型環圍繞且第二輔助基板被吸附至高載台，第二輔助基板從面板基板分離。
根據本發明實施例，製造薄面板基板的程序藉由利用輔助基板可以容易執行，且關於先前完成程序的基板，輔助基板藉由利用包括初始間隙形成單元和具有翼型O型環和複數條真空吸附線形成於其上的載台的前吸附型移除單元的基板移除裝置可以容易地從面板基板分離。藉此，在基板製造程序中輔助基板可以無損壞地被分離，且該程序簡化且成本降低。
前述實施例與優點僅是示例且不被考慮用於限制本發明。本教義可以容易的用於其他類型裝置。說明書目的在於說明，且不限制申請專利範圍的範疇。許多替代，修改，和變化對本領域技術人員顯而易見。在此描述實施例的特徵，結構，和其他特點可以多種方式結合以獲得其他和/或替換實施例。
因為本特徵以不脫離其特點的可以多種方式體現，應理解上述實施例不侷限於前述說明的任何細節，除非其他特殊指定者，但其他應被認為明顯在附加的申請專利範圍所定義的範圍中。並且因此落入申請專利範圍或與該範圍等價的所有變化和修改被申請專利範圍意圖包含。
S101~S110‧‧‧步驟

Claims (13)

  1. 一種基板移除裝置，包括：一初始間隙形成單元，配置以當一母基板載入時，在藉由貼附一輔助基板與一面板基板而形成的該母基板中形成一初始間隙，其中該初始間隙形成單元包括：一吸附載台，所輸送的該母基板被載入至其中，一推針模組，配置以控制一推針以施壓該母基板的一角切部，一視覺對位模組，配置以成像形成在該母基板中的該角切部且定位該推針以對應於該角切部，以及一間隙刀模組，配置以供應一間隙刀至被該推針加壓的該角切部的一基板接觸部以形成一初始間隙；以及一前吸附型移除單元，配置以藉由在該初始間隙形成的該母基板已載入至其上的一載台上所形成的一矩形翼型O型環真空吸附該輔助基板，以從該面板基板分離該輔助基板。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的基板移除裝置，其中該推針模組進一步包括一荷重元，配置以測量由該推針施加在該母基板上的壓力。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的基板移除裝置，其中該初始間隙形成單元包括複數個升降針，耦合至該吸附載台的下部部分以支撐該母基板。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的基板移除裝置，其中該吸附載台包括：複數個升降針孔，該等升降針***其中；至少一推針孔，形成在該吸附載台側面以允許該推針***其中；複數個主真空吸附線，形成矩陣格式以劃分該母基板的整個區域且配置以首先吸附該母基板；以及複數個子真空吸附線，在鄰近該母基板的該角切部的區域內形成矩陣格式，並且在被該等主真空吸附線劃分的區域中其次吸附該母基板。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的基板移除裝置，其中該前吸附型移除單元包括：一低載台，該母基板載入至其上，該低載台包括所述翼型O型環被***其中的槽線和形成矩陣格式且沿著該等槽線的向內方向定位的複數條真空吸附線；一高載台，設置在該低載台上方且包括所述翼型O型環被***其中的槽線和形成矩陣格式且沿著該等槽線向內方向定位的複數條真空吸附線；一分離間隙形成模組，配置以在該低載台和該高載台之間形成一間隙；以及一彎曲預防模組，配置以移除在該母基板中所產生的靜電。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的基板移除裝置，其中該高載台進一步包括一分離感測感測器，配置以檢測該母基板是否沿著朝向該低載台方向分離。
  7. 如申請專利範圍第5項所述的基板移除裝置，其中該低載台進一步包括一加熱單元，施加熱量至該基板的後表面。
  8. 如申請專利範圍第5項所述的基板移除裝置，其中每一個該翼型O型環至少彎曲兩次且具有一具有「ㄈ」形狀的截面，並且每一個該翼型O型環的一側沿著朝向該母基板的方向彎曲。
  9. 如申請專利範圍第8項所述的基板移除裝置，其中該等槽線具有每一個該翼型O型環的彎曲部被***其中的一階梯。
  10. 如申請專利範圍第5項所述的基板移除裝置，其中該等翼型O型環的表面塗佈有聚對二甲苯塗料。
  11. 一種基板移除方法，包括： 提供一第一輔助基板、一第二輔助基板和一薄面板基板；藉由貼附該第一輔助基板與該第二輔助基板至該面板基板製備一母基板；於該母基板上執行一顯示面板製造程序；輸送該母基板至一初始間隙形成單元以在該第一輔助基板與該面板之間形成一初始間隙，其中該第一輔助基板或該第二輔助基板與該面板基板之間的初始間隙的形成包括：載入該母基板至一吸附載台，成像形成於該母基板中的一角切部且定位一推針以對應於該角切部，控制該推針以施壓該母基板中的該角切部，以及***一間隙刀至被該推針加壓的該角切部的一基板接觸部以形成一初始間隙；輸送該母基板至一前吸附型移除單元以分離該第一輔助基板；輸送該母基板至該初始間隙形成單元以在該第二輔助基板與該面板基板之間形成一初始間隙；以及輸送該母基板至該前吸附型移除單元以分離該第二輔助基板。
  12. 如申請專利範圍第11項所述的基板移除方法，其中該面板基板包括一陣列基板與一彩色濾光片基板，其中於該母基板上的該顯示面板製造程序的執行包括：於該陣列基板上執行一陣列形成程序；於該彩色濾光片基板上執行一彩色濾光片形成程序；以及伴隨著***在該陣列基板與該彩色濾光片基板之間的一液晶層貼附該陣列基板與該彩色濾光片基板。
  13. 如專利申請範圍第11項所述的基板移除方法，其中該母基板至該前吸附型移除單元的輸送和該第一輔助基板或該第二輔助基板的分離包括：載入該母基板至一低載台上且使該母基板與形成在該低載台的一翼型O型環接觸； 降低一高載台且將該母基板帶入至形成在該高載台的一翼型O型環中；控制形成於該低載台和該高載台上之矩陣格式的複數個真空吸附線進入真空狀態，以分離該第一輔助基板或該第二輔助基板；以及移除該母基板中所產生的靜電。
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