KR101079513B1

KR101079513B1 - 범프 인쇄장치 및 그 제어방법

Info

Publication number: KR101079513B1
Application number: KR1020090041644A
Authority: KR
Inventors: 김준곤
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2009-05-13
Filing date: 2009-05-13
Publication date: 2011-11-03
Also published as: US8297486B2; KR20100122641A; US20100291289A1; JP5014396B2; US20130020379A1; JP2010264743A; US8408449B2

Abstract

본 발명은 기판상에 인쇄되는 솔더 범프의 인쇄성을 향상시킬 수 있는 범프 인쇄장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.

본 발명에 따른 범프 인쇄장치는 기판이 안착되는 인쇄 테이블; 상기 기판상에 밀착되고, 인쇄 후 분리되면서 상기 기판상에 솔더 범프를 인쇄하는 마스크; 및 상기 인쇄 테이블 내에 구비되며, 상기 기판이 상기 인쇄 테이블상에 밀착되도록 에어(air)를 흡인하는 복수의 흡인 노즐과 상기 마스크가 상기 기판상에서 분리되도록 에어를 분사하는 복수의 분사 노즐을 포함하는 에어 노즐부;를 포함하고, 상기 분사 노즐은 에어가 상기 인쇄 테이블의 중심부에서 외측면 방향 또는 내측면 방향을 향해 분사되도록 경사지게 구비된다.

솔더 범프, 메탈 마스크, 인쇄 테이블, 진공 흡착

Description

범프 인쇄장치 및 그 제어방법{Bump Printing Apparatus And Control Method Thereof}

본 발명은 범프 인쇄장치 및 그 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판상에 인쇄되는 솔더 범프의 인쇄성을 향상시킬 수 있는 범프 인쇄장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.

일반적으로 플립 칩(Flip Chip), 탭(Tape Automated Bonding), 와이어 본딩(Wire Bonding) 방식 등이 인쇄회로기판(PCB)이나 웨이퍼 레벨 패키지(WLP) 등과 같은 외부 기판(substrate)에 칩을 연결하는 방식으로 사용된다.

그 중에서도 단위면적당 패드의 수를 증가시킬 수 있다는 장점때문에 플립 칩 방법이 휴대용 전자제품의 제조에 널리 이용되고 있다.

이러한 플립 칩 방법은 칩과 외부 기판의 양호한 본딩을 위해 웨이퍼에 솔더 범프를 형성하는 것으로, 특히 솔더 범프의 제작 기술은 양호한 전도성과 균일한 높이를 가지며 미세 피치(Fine Pitch)를 갖는 솔더 범프를 형성하는 방법으로 발달해 왔다.

이와 같은 플립 칩의 솔더 범프 형성 기술은 범핑 되는 물질에 따라 솔더 범프의 특성 및 그 응용 범위가 결정되는 특징이 있는데 대표적인 솔더 범프 형성 기술로는 용융 땝납에 패드 전극을 접촉시키는 용융 땝납 방법, 패드 전극 상에 솔더 페이스트(Solder Paste)를 스크린 인쇄한 후 리플로우(Reflow)하는 스크린 인쇄법, 패드 전극 상에 솔더 볼(Solder Ball)을 탑재해 리플로우하는 솔더 볼 법, 패드 전극에 땝납 도금을 실시하는 도금법 등이 있다.

이 중 스크린 인쇄법은 솔더 범프를 형성하기 위한 공정이 간단하고, 제조 비용이 저렴하며, 원하는 금속성분을 가진 범프를 형성할 수 있다는 점에서 솔더 범프의 형성 방법으로 가장 많이 사용되고 있다.

그리고, 스크린 인쇄 후 마스크와 기판을 분리하는 판 분리(Snap Off) 방식으로는 마스크와 PCB의 분리시 PCB가 고정되고 마스크만 상승하는 마스크 스냅 오프(Mask Snap Off) 방식과 마스크가 고정되고 PCB가 안착된 테이블이 하강하여 분리되는 테이블 스냅 오프(Table Snap Off) 방식이 일반적으로 사용된다.

그러나, 이러한 방식에서는 마스크와 PCB가 강제분리시 상기 마스크가 하방향으로 처지는 처짐현상이 발생하여 부위별 판분리 속도의 차이를 유발함으로써 솔더 범프의 형상과 솔더 페이스트의 인쇄량의 편차를 발생시킨다.

따라서, 솔더 페이스트의 퍼짐, 쇼트(short), 범프가 형성되지 않는 미싱 범프(missing bump)와 같은 범프 불량이 발생하여 범프의 인쇄성이 저하되는 문제를 발생시키며, 이는 인쇄회로기판의 신뢰성을 감소시키는 원인이 된다.

따라서, 본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 솔더 범프의 빠짐성을 개선하여 범프의 형상이 유지되도록 함으로써 솔더 범프의 인쇄성을 향상시킴은 물론, 이러한 범프의 불량발생을 방지하여 기판의 신뢰성을 증가시킬 수 있는 범프 인쇄장치 및 그 제어방법을 제공함을 그 목적으로 한다.

본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치는 기판이 안착되는 인쇄 테이블; 상기 기판상에 밀착되고, 인쇄 후 분리되면서 상기 기판상에 솔더 범프를 인쇄하는 마스크; 및 상기 인쇄 테이블 내에 구비되며, 상기 기판이 상기 인쇄 테이블상에 밀착되도록 에어(air)를 흡인하는 복수의 흡인 노즐과 상기 마스크가 상기 기판상에서 분리되도록 에어를 분사하는 복수의 분사 노즐을 포함하는 에어 노즐부;를 포함하고, 상기 분사 노즐은 에어가 상기 인쇄 테이블의 중심부에서 외측면 방향 또는 내측면 방향을 향해 분사되도록 경사지게 구비된다.

삭제

또한, 상기 분사 노즐은 진공상태로 밀착된 상기 마스크와 기판 사이에 공기압을 발생시켜 상기 마스크와 상기 기판이 서로 분리되도록 상기 마스크와 기판 사이로 에어를 분사할 수 있다.

또한, 상기 분사 노즐은 상기 기판과 분리되는 상기 마스크가 상기 기판과 수평상태를 유지하며 분리되도록 에어를 분사할 수 있다.

삭제

또한, 상기 기판은 상기 에어 노즐부에서 분사되는 에어가 상기 기판을 통과하여 상기 기판의 상부측으로 이동하도록 에어 홀(air hole)을 관통형성하여 구비할 수 있다.

또한, 상기 에어 노즐부를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치의 제어방법은 에어 홀이 구비된 기판을 흡인 노즐을 통해 인쇄 테이블상에 진공 흡착하여 고정시키는 단계; 상기 기판상에 마스크를 밀착시키는 단계; 상기 마스크의 상면으로 스퀴지를 이용하여 솔더 페이스트를 압착이동시켜 솔더 범프를 인쇄하는 단계; 분사 노즐을 통해 에어를 분사하여 상기 마스크를 상기 기판과 분리시키는 단계; 및 상기 분사 노즐을 통한 에어 분사를 중단하고, 상기 흡인 노즐을 통한 에어 흡인을 중단하여 상기 기판을 제거하는 단계;를 포함할 수 있다.

또한, 상기 기판을 고정시키는 단계는 상기 에어 홀이 상기 인쇄 테이블의 분사 노즐상에 위치하도록 상기 기판을 정렬하는 단계를 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 마스크를 밀착시키는 단계는 상기 분사 노즐을 통해 에어를 흡인하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 범프 인쇄장치는 솔더 범프의 빠짐성 개선 및 불량발생을 효과적으로 방지하여 인쇄성 및 수율이 향상될 수 있으며, 따라서 기판의 신뢰성을 증가시키는 것이 가능하다.

또한, 종래와 같이 판 분리를 위한 미세한 관리가 불필요하여 제조공정이 용이하며, 따라서 생산성이 향상됨은 물론 장치의 구조가 간단하여 적용이 용이하다는 장점이 있다.

본 발명에 따른 범프 인쇄장치의 실시예에 관한 구체적인 사항을 도면을 참조하여 설명한다.

도 1a, 1b는 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치를 개략적으로 나타내는 사시도 및 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시한 범프 인쇄장치에서 흡인 노즐과 분사 노즐을 구비한 인쇄 테이블을 나타내는 평면도이며, 도 3은 도 2에 도시한 인쇄 테이블을 나타내는 단면도이다.

그리고, 도 4a와 도 4b는 도 3에 도시한 인쇄 테이블에서 분사 노즐의 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도 및 평면도이고, 도 5a와 도 5b는 도 3에 도시한 인쇄 테이블에서 분사 노즐의 또 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도 및 평면도이며, 도 6a는 도 2에 도시한 인쇄 테이블상에 기판과 마스크가 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 평면도이고, 도 6b는 도 6a에서 y-y축을 따라 절개한 상태를 나타내는 확대단면도이다.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치(1)는 인쇄 테이블(10), 마스크(20), 에어 노즐부(30)를 포함하여 구성된다.

상기 인쇄 테이블(10)은 그 상부면에 안착되는 기판(b)을 고정시켜 솔더 범프(60)를 인쇄하기 위한 스크린 프린트 공정을 수행하는 지그부재이다.

상기 인쇄 테이블(10)은 도면에서와 같이 기판(b)의 형상에 대응하는 사각형의 형상을 가지는 것이 일반적이나, 반드시 이에 한정하는 것은 아니다.

그리고, 상기 기판(b)으로는 경성 및 연성 회로기판을 포함하는 수지 재질의 인쇄회로기판(PCB), 세라믹 기판 등 일반적인 기판이 모두 사용될 수 있다.

이때, 상기 기판(b)에는 복수개의 에어 홀(air hole)(h)이 관통형성되어 상기 에어 노즐부(30)에서 분사되는 에어(air)가 상기 기판(b)을 통과하여 상기 기판(b)의 상부측으로 이동할 수 있도록 한다.

상기 에어 홀(h)은 상기 인쇄 테이블(10)에서 분사되는 에어가 상기 기판(b)에 의해 간섭받지 않고 상기 기판(b)상에 밀착된 마스크(20)를 분리시키기 위한 것으로 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.

상기 인쇄 테이블(10)상에 안착되는 상기 기판(b)의 상부면으로는 특정 패턴의 패턴홀(21)이 형성되고, 지그(22)에 의해 지지되는 마스크(20)가 구비된다.

상기 마스크(20)는 상기 기판(b)상에 밀착되어 고정되며, 스퀴지(s)를 이용하여 솔더 페이스트(p)를 압착 이동시키면서 솔더 범프(60)를 인쇄한 후에는 다시 상기 기판(b)과 분리되면서 상기 기판(b)상에 솔더 범프(60)를 형성한다.

이때, 상기 마스크(20)와 기판(b)과의 사이에는 실질적으로 진공상태가 형성되어 스크린 인쇄 공정시 상기 마스크(20)와 기판(b)의 어긋남이 발생하지 않아 설계위치에 솔더 범프(60)를 정밀하게 인쇄할 수 있도록 한다.

상기 마스크(20)는 일반적인 메탈 마스크일 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니며 다른 재질의 마스크로 구비되는 것도 가능하다.

한편, 에어 노즐부(30)는 상기 인쇄 테이블(10) 내에 구비되며, 상기 기판(b)이 상기 인쇄 테이블(10)상에 밀착되도록 에어를 흡인하고, 상기 마스크(20)가 상기 기판(b)상에서 분리되도록 에어를 분사한다.

도면에서와 같이, 상기 에어 노즐부(30)는 에어를 흡인하는 흡인 노즐(31)과, 에어를 분사하는 분사 노즐(32)로 구성되며, 각각 상기 인쇄 테이블(10)의 상부면을 따라서 복수개로 구비된다.

상기 흡인 노즐(31)은 일정한 압력으로 에어를 흡인하여 상기 인쇄 테이블(10)의 상면에 안착되는 상기 기판(b)을 진공 흡착방식으로 고정시킨다.

그리고, 상기 분사 노즐(32)은 상기 마스크(20)와 상기 기판(b) 사이로 에어를 분사하여 진공상태로 밀착된 상기 마스크(20)와 상기 기판(b) 사이에 공기압을 발생시켜 상기 마스크(20)와 상기 기판(b)을 서로 분리시킨다.

특히, 상기 분사 노즐(32)은 상기 기판(b)과 분리되는 상기 마스크(20)가 상기 기판(b)과 수평상태를 유지하며 분리되도록 분사되는 에어의 압력을 조절하며 에어를 분사한다.

즉, 솔더 범프(60)의 인쇄가 완료되는 시점에서 상기 기판(b)과 마스크(20) 를 서로 분리시킬 때, 종래와 같이 상기 마스크(20)가 처진 상태에서 강제로 분리되지 않고 에어 블로잉(air blowing)에 의한 공기압력으로 수평상태를 유지하며 판분리가 이루어지도록 함으로써 솔더 범프의 빠짐성을 향상시키는 것이 가능하다.

또한, 도 4a와 도 4b에서와 같이 상기 분사 노즐(32)은 에어가 상기 인쇄 테이블(10)의 중심부에서 외측면 방향을 향해 방사형(radial)으로 분사되도록 소정의 기울기(θ)를 가지며 경사지게 구비될 수 있다.

이 경우, 도면과 같이 상기 마스크(20)의 중심과 일치하는 상기 인쇄 테이블(10)의 중심부에 구비되는 분사 노즐(32)은 상기 인쇄 테이블(10)의 상면과 직교하는 수직방향으로 구비되고, 상기 중심부에서 멀어지면서 상기 인쇄 테이블(10)의 외측면 방향을 향해 소정 기울기(θ)로 경사지게 구비되어 방사형의 구조를 이루는 것이 바람직하다.

따라서, 통상 중심부를 향해 처짐이 발생하는 마스크(20)에 대해 그 처짐의 형상과 대응하는 방향으로 에어를 분사함으로써 상기 마스크(20)의 수평상태 유지가 보다 용이해질 수 있다.

또한, 도 5a와 도 5b에서와 같이 상기 분사 노즐(32)은 에어가 상기 인쇄 테이블(10)의 중심부를 향해 원추형(cone)으로 분사되도록 소정의 기울기(θ)를 가지며 경사지게 구비되는 것도 가능하다.

이는 상기 방사형과 반대로 상기 중심부에서 멀어지면서 상기 분사 노즐(32)이 상기 인쇄 테이블(10)의 중심부 방향을 향해 경사지게 구비되어 원추형 구조를 이루는 것이다.

이 경우 상기 마스크(20)에 대해 그 처짐의 형상과 대향하는 방향으로 에어를 분사함으로써 처짐량이 큰 부분에 에어 분사가 집중되도록 하여 상기 마스크(20)의 수평상태 유지가 용이해질 수 있다.

상기 분사 노즐(32)이 상기 인쇄 테이블(10)에 대해 수직방향으로 구비되는 경우뿐만 아니라 소정의 기울기(θ)로 경사지게 구비되는 경우에도 상기 인쇄 테이블(10)의 상면으로 노출되는 상기 분사 노즐(32)의 입구의 위치는 동일하다.

그리고, 상기 기판(b)에 구비되는 상기 에어 홀(h)은 그 위치가 상기 분사 노즐(32)의 입구의 위치와 대응된다.

따라서, 상기 인쇄 테이블(10)상에 상기 기판(b)이 안착하더라도 상기 분사 노즐(32)과 상기 에어 홀(h)이 중첩되어 서로 연통하는 구조를 이루므로 상기 분사 노즐(32)에서 분사되는 에어는 상기 기판(b)에 의해 노즐 입구가 막히지 않아 상기 에어 홀(h)을 통과하여 상기 기판(b)의 상부측으로 이동하는 것이 가능하다.

한편, 상기 분사 노즐(32)은 에어를 분사하여 상기 마스크(20)를 분리시킬 뿐만 아니라, 상기 흡인 노즐(31)과 같이 에어를 흡인함으로써 상기 기판(b)상에 밀착되는 상기 마스크(20)의 밀착력을 보다 더 높이는 것도 가능하다.

즉, 솔더 범프(60)를 인쇄하는 과정에서는 상기 흡인 노즐(31)과 같이 에어를 흡인하여 상기 마스크(20)가 기판(b)의 상면에 보다 확실하게 밀착되도록 하고, 인쇄 후에는 반대로 에어를 분사하여 상기 마스크(20)가 기판(b)에서 분리되도록 한다.

이처럼 분사 노즐(32)을 통해 에어를 흡인하여 상기 마스크(20)를 상기 기 판(b)상에 진공흡착시키는 경우, 상기 마스크(20)와 기판(b) 사이에 틈새가 발생하는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.

이러한 흡인 노즐(31)과 분사 노즐(32)은 서로 연통하지 않고 개별적으로 에어가 흐르도록 안내하는 도관(33, 34)과 각각 연결되고, 상기 도관(33, 34)은 각각 상기 인쇄 테이블(10)의 외부에 구비되는 에어 펌프(41, 42)와 연결된다.

그리고, 상기 에어 펌프(41, 42)는 서로 독립적으로 제어되어 상기 흡인 노즐(31)을 통한 에어 흡인과 상기 분사 노즐(32)을 통한 에어 흡인 및 분사가 개별적으로 진행되도록 한다.

이러한 에어 펌프(41, 42)의 구동을 통한 에어 노즐부(30)의 제어는 별도로 구비되는 제어부(50)를 통해 보다 정밀하게 제어될 수 있다.

한편, 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치의 제어방법에 대해 상세히 설명한다.

도 7a 내지 7e는 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치의 제어방법을 통해 인쇄공정이 진행되는 것을 나타내는 개략도이다.

도 7a에서와 같이, 우선 복수개의 흡인 노즐(31)과 분사 노즐(32)을 구비하는 인쇄 테이블(10)의 상면에는 솔더 범프(60)를 인쇄하기 위한 기판(b)이 놓이게 된다.

상기 기판(b)에는 복수개의 에어 홀(h)이 관통형성되어 있어 상기 기판(b)이 상기 인쇄 테이블(10)상에 안착되는 경우, 상기 에어 홀(h)과 분사 노즐(32)이 서로 중첩되어 연통하도록 상기 기판을 정렬하여 배치한다.

그리고, 상기 흡인 노즐(31)과 연결된 에어 펌프(41)를 작동시켜 상기 흡인 노즐(31)을 통해 에어를 흡인하여 상기 기판(b)을 상기 인쇄 테이블(10)상에 진공 흡착하여 고정시킨다.

다음으로, 도 7b에서처럼 특정 패턴의 패턴홀(21)이 형성되고 지그(22)에 의해 지지되는 마스크(20)를 상기 기판(b)상에 밀착시킨다.

이때, 상기 분사 노즐(32)과 연결되는 에어 펌프(42)를 작동시켜 에어를 흡인함으로써 상기 기판(b)상에 밀착되는 상기 마스크(20)이 밀착력을 더 높이는 것이 가능하다.

이처럼 상기 기판(b)과 마스크(20)가 상호 면접한 상태에서 도 7c에서처럼 상기 마스크(20)의 상면으로 스퀴지(s)를 이용하여 솔더 페이스트(p)를 압착 이동시키면, 상기 솔더 페이스트(p)가 상기 마스크(20)의 패턴홀(21)을 메우면서 인쇄를 실시하게 된다.

인쇄 공정이 완료된 후에는 도 7d에서와 같이 상기 분사 노즐(32)과 연결된 에어 펌프(42)를 작동시켜 상기 분사 노즐(32)을 통해 에어를 분사하여 상기 마스크(20)를 상기 기판(b)과 분리시킨다.

여기서, 상기 분사 노즐(32)은 상기 기판(b)의 에어 홀(h)과 연통하므로 상기 분사 노즐(32)에서 분사되는 에어는 상기 에어 홀(h)을 통과하여 상기 기판(b)의 상면으로 이동하는 것이 가능하다.

따라서, 상기 기판(b)과 마스크(20) 사이로 유입되는 에어를 통해 상기 마스크(20)가 상기 기판(b)과 분리되도록 하는 공기압을 발생시킨다.

이때, 상기 흡인 노즐(31)은 지속적으로 에어를 흡인하여 상기 기판(b)이 상기 인쇄 테이블(10)상에 계속해서 고정되도록 한다.

다음으로, 도 7e에서와 같이 상기 마스크(20)가 기판(b)과 분리된 이후에는 상기 분사 노즐(32)을 통한 에어 분사를 중단하고, 상기 흡인 노즐(31)을 통한 에어 흡인을 중단하여 상기 기판(b)을 상기 인쇄 테이블(10)에서 제거한다.

그리고, 상기 인쇄 테이블(10)상에는 새로운 기판(b)을 배치하여 연속적으로 인쇄 공정을 수행한다.

상기 흡인 노즐(31) 및 분사 노즐(32)과 연결되는 각각의 에어 펌프(41, 42)는 별도의 제어부(50)를 통해 개별적으로 제어될 수 있으며, 특히 분사 노즐(32)에서 분사되는 에어의 압력을 조절하여 마스크(20)의 수평상태를 유지시킨다.

따라서, 종래와 같이 처짐이 발생한 마스크(20)에서 판 분리를 위한 미세한 관리가 불필요하게 된다.

이와 같이, 에어 블로잉(air blowing)에 의한 공기압력으로 마스크(20)가 수평상태를 유지하며 기판(b)과 분리되도록 함으로써 솔더 범프(60)의 빠짐성을 향상시킬 수 있다.

따라서, 솔더 범프(60)의 불량발생을 효과적으로 방지하여 인쇄성 및 수율이 향상될 수 있으며, 이는 기판(b)의 신뢰성을 증가시키는 효과를 가져올 수 있다.

도 1a, 1b는 본 발명의 실시예에 따른 범프 인쇄장치를 개략적으로 나타내는 사시도 및 단면도이다.

도 2는 도 1에 도시한 범프 인쇄장치에서 흡인 노즐과 분사 노즐을 구비한 인쇄 테이블을 나타내는 평면도이다.

도 3은 도 2에 도시한 인쇄 테이블을 나타내는 단면도이다.

도 4a, 4b는 도 3에 도시한 인쇄 테이블에서 분사 노즐의 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도 및 평면도이다.

도 5a, 5b는 도 3에 도시한 인쇄 테이블에서 분사 노즐의 또 다른 실시예를 개략적으로 나타내는 단면도 및 평면도이다.

도 6a는 도 2에 도시한 인쇄 테이블상에 기판과 마스크가 안착된 상태를 개략적으로 나타내는 평면도이다.

도 6b는 도 6a에서 y-y축을 따라 절개한 상태를 나타내는 확대단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10..... 인쇄 테이블 20...... 마스크

30..... 에어 노즐부 41, 42.. 에어 펌프

50..... 제어부 60...... 솔더 범프

Claims

삭제
기판이 안착되는 인쇄 테이블;

상기 기판상에 밀착되고, 인쇄 후 분리되면서 상기 기판상에 솔더 범프를 인쇄하는 마스크; 및

상기 인쇄 테이블 내에 구비되며, 상기 기판이 상기 인쇄 테이블상에 밀착되도록 에어(air)를 흡인하는 복수의 흡인 노즐과 상기 마스크가 상기 기판상에서 분리되도록 에어를 분사하는 복수의 분사 노즐을 포함하는 에어 노즐부;

를 포함하고,

상기 분사 노즐은 에어가 상기 인쇄 테이블의 중심부에서 외측면 방향 또는 내측면 방향을 향해 분사되도록 경사지게 구비되는 범프 인쇄장치.
기판이 안착되는 인쇄 테이블;

상기 기판상에 밀착되고, 인쇄 후 분리되면서 상기 기판상에 솔더 범프를 인쇄하는 마스크; 및

상기 인쇄 테이블 내에 구비되며, 상기 기판이 상기 인쇄 테이블상에 밀착되도록 에어(air)를 흡인하는 복수의 흡인 노즐과 상기 마스크가 상기 기판상에서 분리되도록 에어를 분사하는 복수의 분사 노즐을 포함하는 에어 노즐부;

를 포함하고,

상기 분사 노즐은 에어가 상기 인쇄 테이블의 중심부에서 외측면 방향 또는 내측면 방향을 향해 분사되도록 경사지게 구비되고, 진공상태로 밀착된 상기 마스크와 기판 사이에 공기압을 발생시켜 상기 마스크와 상기 기판이 서로 분리되도록 상기 마스크와 기판 사이로 에어를 분사하는 범프 인쇄장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,

상기 분사 노즐은 상기 기판과 분리되는 상기 마스크가 상기 기판과 수평상태를 유지하며 분리되도록 에어를 분사하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
삭제
기판이 안착되는 인쇄 테이블;

상기 기판상에 밀착되고, 인쇄 후 분리되면서 상기 기판상에 솔더 범프를 인쇄하는 마스크; 및

상기 인쇄 테이블 내에 구비되며, 상기 기판이 상기 인쇄 테이블상에 밀착되도록 에어(air)를 흡인하고, 상기 마스크가 상기 기판상에서 분리되도록 에어를 분사하는 에어 노즐부;

를 포함하고,

상기 기판은 상기 에어 노즐부에서 분사되는 에어가 상기 기판을 통과하여 상기 기판의 상부측으로 이동하도록 에어 홀(air hole)을 관통형성하여 구비하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
제2항 또는 제3항에 있어서,

상기 에어 노즐부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치.
에어 홀이 구비된 기판을 흡인 노즐을 통해 인쇄 테이블상에 진공 흡착하여 고정시키는 단계;

상기 기판상에 마스크를 밀착시키는 단계;

상기 마스크의 상면으로 스퀴지를 이용하여 솔더 페이스트를 압착이동시켜 솔더 범프를 인쇄하는 단계;

분사 노즐을 통해 에어를 분사하여 상기 마스크를 상기 기판과 분리시키는 단계; 및

상기 분사 노즐을 통한 에어 분사를 중단하고, 상기 흡인 노즐을 통한 에어 흡인을 중단하여 상기 기판을 제거하는 단계;

를 포함하는 범프 인쇄장치의 제어방법.
제8항에 있어서,

상기 기판을 고정시키는 단계는 상기 에어 홀이 상기 인쇄 테이블의 분사 노 즐상에 위치하도록 상기 기판을 정렬하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치의 제어방법.
제8항에 있어서,

상기 마스크를 밀착시키는 단계는 상기 분사 노즐을 통해 에어를 흡인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 범프 인쇄장치의 제어방법.