KR100493384B1 - 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을로딩하기 위한 구조 - Google Patents

액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을로딩하기 위한 구조 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정표시소자 제조 공정용 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시소자를 제조하기 위한 한 쌍의 기판을 합착하는 기판 합착 장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 액정표시소자 제조 공정용 기판이 고정되고, 다수의 이동 관로가 관통 형성된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와, 일단이 상기 각 스테이지 내부의 각 이동 관로 내에 돌출 가능하게 구비되고, 기판을 진공 흡착하는 진공 흡착 수단 그리고, 상기 진공 흡착 수단으로 진공 흡입력을 제공하는 진공 펌프를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조가 제공된다.

Description

액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조{structure for loading of substrate in substrate bonding device for manucturing a liquid crystal display device}
본 발명은 액정 적하 방식을 적용한 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치에 관한 것으로, 특히, 각 기판간 합착 작업을 위해 상기 각 기판을 상부 스테이지에 부착하기 위한 구조에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 많이 사용되고 있다.
이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다.
따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
상기와 같은 액정표시소자의 제조 방식으로는 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특허출원 평11-089612(일본국 특허공개2000-284295)호 및 특허출원 평11-172903(일본국 특허공개2000-005405)호 공보에 제안된 액정 및 씨일재를 적하한 어느 하나의 기판을 다른 하나의 기판과 진공 중에서 접합하는 액정 적화 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.
도시한 도 1은 상기한 바와 같은 종래의 액정표시소자 제조 방식 중 액정 적화 방식이 적용된 기판 합착 장치를 나타내고 있다.
즉, 종래의 기판 합착 장치는 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와, 밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버부(31,32)와, 챔버 이동수단 그리고, 스테이지 이동수단으로 크게 구성된다.
이 때, 상기 스테이지부는 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각 구분되고, 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어지는 위치의 측부에 장착되며, 상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분된다.
이와 함께, 상기 챔버 이동수단(40)은 하부 챔버 유닛(32)를 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터로 구성되며, 상기 스테이지 이동수단(50)은 상기 상부 스테이지를 상부 혹은, 하부로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터로 구성된다.
이하, 상기한 종래의 기판 합착 장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을 그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.
우선, 로더부에 의해 어느 하나의 기판(51)이 반입되어 상부 스테이지에 부착 고정되고, 계속해서 상기 로더부에 의해 다른 하나의 기판이 반입되어 하부 스테이지(22)에 부착 고정된다.
이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)는 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1과 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치(S1) 상으로 이동된다.
그리고, 상기 상태에서 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)에 의한 밀봉제의 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 2와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치(S2) 상으로 이동하게 된다.
이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각 스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 별도의 진공 수단에 의해 상기 공간이 진공 상태를 이루게 된다.
그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 상기 상부 스테이지(21)에 부착 고정된 기판(51)을 하부 스테이지(22)에 부착 고정된 기판(52)에 밀착됨과 더불어 계속적인 가압을 통한 각 기판간 합착을 수행함으로써 액정표시소자의 제조가 완료된다.
그러나 전술한 바와 같은 종래 기판의 합착 장치는 다음과 같은 문제점이 발생된다.
우선, 로더부에 의해 반입되는 기판은 상기 로더부의 각 핑거에 지지되지 못하는 부위가 처지게 된다.
그럼에도 불구하고, 상기와 같이 반입되는 기판을 상부 스테이지에 흡착 고정하는 과정은 순간적인 진공 흡착으로 수행되기 때문에 상기 기판의 각 부위 중 기판과 상부 스테이지간의 간격이 좁은 부위는 상기 상부 스테이지에 쉽게 흡착되지만 그 간격이 넓은 부위는 원활한 흡착이 이루어지지 않게 된다.
만일, 상기한 문제를 해결하기 위해 과도한 진공력을 사용한다면 기판의 파손이 야기된다는 문제점 역시 가지기 때문에 적절한 진공력을 사용하여야만 함으로써 기판의 로딩이 원활히 이루어지지 못하였다.
특히, 최근에는 상기한 액정표시소자의 크기가 커지고 있음을 고려한다면 기판의 크기 역시 점차적으로 커지고 있지만, 기판 처짐에 대한 보상이 절실히 요구되고 있는 실정에 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 각종 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 기판을 상부 스테이지에 흡착 고정하는 과정에서 상기 기판의 처짐을 고려한 상부 스테이지로의 흡착 고정을 위한 구조를 제공하는데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면 액정표시소자 제조 공정용 기판이 고정되고, 다수의 이동 관로가 관통 형성된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와, 일단이 상기 각 스테이지 내부의 각 이동 관로 내에 돌출 가능하게 구비되고, 기판을 진공 흡착하는 진공 흡착 수단 그리고, 상기 진공 흡착 수단으로 진공 흡입력을 제공하는 진공 펌프를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조가 제공된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도 3 내지 도 7을 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.
우선, 도시한 도 3 내지 도 7은 본 발명의 액정표시소자 제조 공정용 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조를 개략적으로 나타내고 있다.
이를 통해 알 수 있듯이 본 발명은 크게 상부 스테이지(110) 및 하부 스테이지(120)와, 진공 흡착 수단과, 진공 펌프(140)를 포함하여 구성되며, 각 스테이지(110,120)와 각 기판(210,220)간의 간격을 센싱하는 센싱수단(150)이 더 포함되어 구성된다.
상기에서 상부 스테이지(110) 및 하부 스테이지(120)는 액정표시소자 제조 공정용 기판(210,220)을 흡착 고정하는 역할을 수행하며, 그 내부에는 기판(210,220)이 고정되는 면을 향하여 다수의 이동 관로(111,121)가 관통 형성된다.
그리고, 상기 진공 흡착 수단은 각 기판(210,220)이 상기 각 스테이지(110,120)에 진공 흡착되도록 하는 역할을 수행한다.
상기 진공 흡착 수단은 각 기판(210,220)이 흡착되도록 진공홀(131a)이 각각 형성된 다수의 패드부(131)와, 상기 각 패드부(131)의 진공홀(131a) 및 진공 펌프(140)와 각각 연통되며, 각 스테이지(110,120)의 이동 관로(111,121) 내에서 상하 이동하는 각각의 이동관(132)과, 상기 각 이동관(132)이 상하 이동되도록 동작되는 각각의 구동부(133)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 패드부(131)의 폭은 각 이동 관로(111,121)의 폭에 비하여 대략 동일하거나 작아야 한다.
또한, 상기 이동관(132)은 일단이 상기 패드부(131)의 진공홀(131a)과 연통되고, 그 타단은 구동부(133)에 의해 상기 이동 관로(111,121) 내에서 이동 가능하게 장착되며, 진공 펌프(140)와 연통되는 관로(141)가 연결된다.
또한, 상기 구동부(133)는 상기 이동관(132)을 축으로 가지는 액츄에이터로 구성된다.
물론, 상기 구동부(133)는 상기 이동관(132)을 축으로 가지는 스텝모터 혹은, 리니어 모터 등이 될 수도 있을 뿐 아니라 상기 구동부(133)가 상기 액츄에이터나 모터 종류가 아니더라도 상기 이동관(132)을 이동시킬 수 있다면 어떠한 구조라도 될 수 있다.
그리고, 상기 진공 펌프(140)는 펌핑 구동에 의해 진공 흡착력을 발생시켜 상기 이동관(132)을 통해 각 패드부(131)로 상기 진공 흡착력을 전달하는 역할을 수행한다.
그리고, 상기 센싱수단(150)은 각 스테이지(110,120) 및 각 기판(210,220)의 접촉면간 간격을 센싱하는 역할을 수행하며, 본 발명의 실시예에서는 간격 확인센서로 형성된다.
또한, 본 발명의 실시예에서는 상기 각 스테이지(110,120)에 상기 진공 펌프(140)를 통해 제공되는 진공 흡입력을 전달받아 각 기판(210,220)을 흡착 고정하는 다수의 진공홀(112,122)이 더 형성된다.
이하, 전술한 바와 같이 구성되는 기판 합착 장치의 기판 로딩 구조를 이용한 기판의 로딩 과정을 도시한 도 4 내지 도 7을 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 후술하는 바와 같다.
우선, 도시한 도 4와 같이 로더부(300)에 의해 씨일재가 도포된 제1기판(210)이 상부 스테이지(110)의 저부로 반입된다.
이 때, 상기 제1기판(210)은 상기 로더부(300)에 의해 반입되는 과정에서 상기 로더부(300)의 각 핑거(310)가 있는 부위는 상기 각 핑거(310)에 의해 그 처짐이 방지되지만 상기 각 핑거(310) 사이의 부위는 그 지지가 이루어지지 않기 때문에 중력 방향으로 처지게 된다.
이의 상태에서 진공 펌프(140)의 구동이 이루어져 상기 상부 스테이지(110)에 형성된 각 진공홀(112,122)을 통해 진공 흡입력이 제공되면 상기 각 핑거(310)에 의해 그 처짐이 방지된 상태로 상기 각 진공홀(112,122)에 근접 위치된 상기 제1기판(210)의 특정 부위는 도시한 도 5와 같이 상기 상부 스테이지(110)에 흡착 고정된다.
이 때, 상기 제1기판(210)의 처짐이 이루어졌던 부위는 상기 상부 스테이지(110)에 흡착 고정되지 못한 상태를 이룬다.
그리고, 상기한 과정이 완료되면 도시한 도 6과 같이 각 구동부(133)(액츄에이터)의 구동이 이루어지면서 각각의 이동관(132)이 하향 이동된다.
이 때, 상기 각 이동관(132)의 하향 이동 거리는 미리 설정해둔 거리일 수도 있으나, 센싱수단(150)(간격확인센서)을 통해 확인된 상기 상부 스테이지(110)와 제1기판(210)간의 접촉면 사이 거리가 상기 각 이동관(132)의 하향 이동 거리로 지정함이 보다 바람직하다.
그리고, 상기 각 이동관(132)이 설정된 거리만큼 하향 이동되었다면 진공 펌프(140)의 구동에 의해 상기 각 이동관(132)을 통해 각 패드부(131)의 진공홀(131a)로 진공 흡입력이 전달되고, 상기 진공 흡입력에 의해 상기 제1기판(210)은 상기 각 패드부(131)에 흡착된다.
이후, 상기 각 구동부(133)의 재 구동이 이루어지면서 상기 각 이동관(132)을 최초의 위치로 상향 이동시키고, 상기 각 이동관(132)이 최초의 위치로 복귀된다면 상기 각 구동부(133)의 구동이 중단된다.
따라서, 상기 제1기판(210)은 도시한 도 7과 같이 상부 스테이지(110)와 평행한 상태를 이루면서 흡착 고정된다.
한편, 상기한 제1기판(210)의 흡착 고정이 완료되면 제2기판(220)의 로딩이 이루어진다.
이의 과정은, 로더부(300)의 반출이 이루어진 후 상기 로더부(300)가 로딩 대기중이던 제2기판(220)을 가지고 각 스테이지(110,120) 사이 공간으로 재 반입됨으로써 수행된다.
이 때, 상기 로더부(300)에 의해 반입된 제2기판(220)이 하부 스테이지(120)에 흡착 고정되는 과정은 상기한 제1기판(210)을 상부 스테이지(110)에 흡착 고정하는 과정과 동일하기 때문에 재차적인 설명은 생략한다.
물론, 상기 제2기판(220)을 하부 스테이지(120)에 흡착 고정하는 과정은 상기 제1기판(210)을 상부 스테이지(110)에 흡착 고정하는 과정과는 달라도 상관없다.
결국, 전술한 과정에 의해 각각의 대응되는 스테이지(110,120)에 흡착 고정된 각 기판(210,220)간의 합착이 수행된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판 로딩 구조에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 각 기판의 반입이 수행되는 도중 처진 부분이 있다고 하더라도 각 스테이지에 구비된 진공 흡착 수단의 패드부가 하향 이동되어 상기 처진 부분을 흡착하도록 구성되어 있기 때문에 각 기판의 처짐이 방지된 상태로의 로딩이 이루어질 수 있게 된 효과를 가진다.
둘째, 과도한 진공 흡입력의 제공이 이루어지지 않더라도 원활한 기판의 흡착 고정이 가능하기 때문에 기판의 로딩 과정에서 상기 기판이 파손될 수 있는 문제점을 방지하게 된 효과를 가진다.
도 1 및 도 2 는 종래 액정표시소자의 제조 장비 중 기판 합착 장치를 나타낸 구성도
도 3 은 본 발명에 따른 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판 로딩 구조를 개략적으로 나타낸 구성도
도 4 내지 도 7 은 본 발명에 따른 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판 로딩 구조에 의한 기판 로딩 과정을 개략적으로 나타낸 구성도
도면의 주요 부분에 대한 부호 설명
110. 상부 스테이지 120. 하부 스테이지
131. 패드부 132. 이동관
133. 구동부 140. 진공 펌프
150. 센싱 수단 210. 제1기판
220. 제2기판 300. 로더부
310. 핑거

Claims (7)

  1. 액정표시소자 제조 공정용 기판이 고정되고, 다수의 이동 관로가 관통 형성된 상부 스테이지 및 하부 스테이지와,
    상기 기판이 흡착되도록 진공홀이 형성된 패드부와 상기 패드부의 진공홀 및 진공 펌프와 각각 연통되며, 각 스테이지의 이동 관로 내에서 상하 이동하는 이동관과 상기 이동관이 상하 이동되도록 동작되는 구동부로 이루어져지는 진공 흡착 수단 그리고,
    상기 진공 흡착 수단으로 진공 흡입력을 제공하는 진공 펌프를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 이동관을 축으로 가지는 액츄에이터로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 이동관을 축으로 가지는 스텝모터임을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 스테이지 및 기판의 접촉면간 간격을 센싱하는 센싱수단이 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 센싱수단은
    간격 확인센서로 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 스테이지에는
    상기 진공 펌프를 통해 제공되는 진공 흡입력을 전달받아 각 기판을 흡착 고정하는 다수의 진공홀이 더 형성되어 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을 로딩하기 위한 구조.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100962953B1 (ko) 2008-04-23 2010-06-10 로체 시스템즈(주) 유리 기판 이송용 로봇
CN103824519A (zh) * 2012-11-19 2014-05-28 三星显示有限公司 制造柔性显示装置的方法和设备

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3693972B2 (ja) * 2002-03-19 2005-09-14 富士通株式会社 貼合せ基板製造装置及び基板貼合せ方法
JP4213610B2 (ja) * 2004-03-15 2009-01-21 富士通株式会社 貼合せ基板製造装置
WO2005112179A2 (en) * 2004-05-07 2005-11-24 Ardica Technologies, Inc. Articles of clothing and personal gear with on- demand power supply for electrical devices
JP4482395B2 (ja) * 2004-08-03 2010-06-16 芝浦メカトロニクス株式会社 基板の貼り合わせ方法及び貼り合わせ装置
JP2006201330A (ja) * 2005-01-19 2006-08-03 Fujitsu Ltd 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法
US8187758B2 (en) * 2005-08-11 2012-05-29 Ardica Technologies Inc. Fuel cell apparatus with a split pump
US20070036711A1 (en) * 2005-08-11 2007-02-15 Ardica Technologies Inc. Hydrogen generator
KR100760561B1 (ko) * 2005-11-15 2007-09-20 주식회사 에이디엠 롤 장치
HU227011B1 (en) * 2006-04-20 2010-04-28 Mirrotron Kft Method of manufacturing multi layers neutron guides
US7790507B2 (en) * 2007-03-24 2010-09-07 Texas Instruments Incorporated Semiconductor die collet and method
WO2009097146A1 (en) * 2008-01-29 2009-08-06 Ardica Technologies, Inc. A system for purging non-fuel material from fuel cell anodes
US8469074B2 (en) * 2008-05-19 2013-06-25 Kwangwoo Michael Ko Pressure control mechanism for adhesive thermal compression bonding machines
ITMO20080200A1 (it) * 2008-07-23 2010-01-24 Aper S R L Macchina per incollare lastre in materiale poroso
US20100053852A1 (en) * 2008-09-02 2010-03-04 Cheng Uei Precision Industry Co., Ltd. Display Device
KR101007996B1 (ko) * 2008-12-12 2011-01-14 엘아이지에이디피 주식회사 기판합착장치
US20110020215A1 (en) * 2009-07-23 2011-01-27 Ryu Wonhyoung Chemical hydride formulation and system design for controlled generation of hydrogen
US20110053016A1 (en) * 2009-08-25 2011-03-03 Daniel Braithwaite Method for Manufacturing and Distributing Hydrogen Storage Compositions
KR101036797B1 (ko) * 2011-03-31 2011-05-25 한국뉴매틱(주) 진공 그리퍼 장치
KR101859964B1 (ko) * 2011-06-29 2018-05-24 삼성디스플레이 주식회사 기판 밀봉장치 및 이를 이용한 기판의 밀봉방법
JP5977826B2 (ja) * 2011-08-12 2016-08-24 エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー 基板のボンディング装置及び方法
US9947637B2 (en) * 2013-11-01 2018-04-17 Nikon Corporation System and method for clamping wafers together in alignment using pressure
CN103755161B (zh) 2013-12-31 2016-03-30 深圳市华星光电技术有限公司 贴合机用板材固定件的安装结构和顶板、贴合机
US10301883B2 (en) 2017-05-03 2019-05-28 Coil Solutions, Inc. Bit jet enhancement tool
WO2018204655A1 (en) 2017-05-03 2018-11-08 Coil Solutions, Inc. Extended reach tool
KR102625687B1 (ko) * 2019-07-29 2024-01-17 엘지전자 주식회사 곡면 디스플레이 장치의 제조 방법
CN112828560A (zh) * 2021-02-03 2021-05-25 广州曼越科技信息有限公司 一种仪器仪表生产加工用壳体安装设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH086036A (ja) * 1994-06-17 1996-01-12 Seiwa Sangyo Kk 液晶パネル組立体の加圧装置
KR970016662A (ko) * 1995-09-22 1997-04-28 야노 다께시 액정 패널을 제조하기 위한 장치
KR970059461U (ko) * 1996-04-26 1997-11-10 삼성전자주식회사 엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치
KR20010021475A (ko) * 1999-08-31 2001-03-15 마찌다 가쯔히꼬 기판의 본딩 방법과 본딩 장치 및 액정표시장치의 제조방법
JP2001213516A (ja) * 2000-02-02 2001-08-07 Seiko Epson Corp 電気光学パネルの搬送装置及びその搬送方法並びに電気光学装置の製造方法

Family Cites Families (100)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3498663A (en) * 1967-11-29 1970-03-03 Home Comfort Products Co Adjustable vacuum platen
US3978580A (en) 1973-06-28 1976-09-07 Hughes Aircraft Company Method of fabricating a liquid crystal display
JPS5165656A (ko) 1974-12-04 1976-06-07 Shinshu Seiki Kk
US4094058A (en) 1976-07-23 1978-06-13 Omron Tateisi Electronics Co. Method of manufacture of liquid crystal displays
JPS5738414A (en) 1980-08-20 1982-03-03 Showa Denko Kk Spacer for display panel
JPS5788428A (en) 1980-11-20 1982-06-02 Ricoh Elemex Corp Manufacture of liquid crystal display body device
JPS5827126A (ja) 1981-08-11 1983-02-17 Nec Corp 液晶表示パネルの製造方法
JPS5957221A (ja) 1982-09-28 1984-04-02 Asahi Glass Co Ltd 表示素子の製造方法及び製造装置
JPS59195222A (ja) 1983-04-19 1984-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JPS60111221A (ja) 1983-11-19 1985-06-17 Nippon Denso Co Ltd 液晶充填方法および装置
JPS60164723A (ja) 1984-02-07 1985-08-27 Seiko Instr & Electronics Ltd 液晶表示装置
JPS60217343A (ja) 1984-04-13 1985-10-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JPS617822A (ja) 1984-06-22 1986-01-14 Canon Inc 液晶素子の製造方法
JPS6155625A (ja) 1984-08-24 1986-03-20 Nippon Denso Co Ltd 液晶素子製造方法
US4775225A (en) 1985-05-16 1988-10-04 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment
JPS6254228A (ja) 1985-07-15 1987-03-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置の作製方法
JP2535142B2 (ja) 1985-07-15 1996-09-18 株式会社 半導体エネルギー研究所 液晶表示装置の作製方法
US4691995A (en) 1985-07-15 1987-09-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal filling device
JP2616761B2 (ja) 1985-07-15 1997-06-04 株式会社 半導体エネルギー研究所 液晶表示装置の作製方法
JPS6289025A (ja) 1985-10-15 1987-04-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JPS6290622A (ja) 1985-10-17 1987-04-25 Seiko Epson Corp 液晶表示装置
US4653864A (en) 1986-02-26 1987-03-31 Ovonic Imaging Systems, Inc. Liquid crystal matrix display having improved spacers and method of making same
JPH0668589B2 (ja) 1986-03-06 1994-08-31 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子
US5963288A (en) 1987-08-20 1999-10-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device having sealant and spacers made from the same material
US5379139A (en) 1986-08-20 1995-01-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device and method for manufacturing same with spacers formed by photolithography
JPS63109413A (ja) 1986-10-27 1988-05-14 Fujitsu Ltd 液晶デイスプレイの製造方法
JPS63110425A (ja) 1986-10-29 1988-05-14 Toppan Printing Co Ltd 液晶封入用セル
JPS63128315A (ja) 1986-11-19 1988-05-31 Victor Co Of Japan Ltd 液晶表示素子
JPS63311233A (ja) 1987-06-12 1988-12-20 Toyota Motor Corp 液晶セル
DE3825066A1 (de) 1988-07-23 1990-01-25 Roehm Gmbh Verfahren zur herstellung von duennen, anisotropen schichten auf oberflaechenstrukturierten traegern
US4964078A (en) 1989-05-16 1990-10-16 Motorola, Inc. Combined multiple memories
JPH0536425A (ja) 1991-02-12 1993-02-12 Tokyo Electric Power Co Inc:The 固体電解質型燃料電池用合金セパレータ及びその製造 方法
EP0528542B1 (en) 1991-07-19 1998-09-16 SHARP Corporation Optical modulating element and apparatuses using it
JP3068264B2 (ja) 1991-07-31 2000-07-24 三菱重工業株式会社 固体電解質燃料電池
JPH05107533A (ja) 1991-10-16 1993-04-30 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法及びその貼り合せ装置
JPH05127179A (ja) 1991-11-01 1993-05-25 Ricoh Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP2609386B2 (ja) 1991-12-06 1997-05-14 株式会社日立製作所 基板組立装置
JP3159504B2 (ja) 1992-02-20 2001-04-23 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
JPH05265011A (ja) 1992-03-19 1993-10-15 Seiko Instr Inc 液晶表示素子の製造方法
JPH05281562A (ja) 1992-04-01 1993-10-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造方法
JP2939384B2 (ja) 1992-04-01 1999-08-25 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
US5406989A (en) 1993-10-12 1995-04-18 Ayumi Industry Co., Ltd. Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell
US5507323A (en) 1993-10-12 1996-04-16 Fujitsu Limited Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell
JP2604090B2 (ja) 1992-06-30 1997-04-23 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置
JPH0651256A (ja) 1992-07-30 1994-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶吐出装置
JPH0664229A (ja) 1992-08-24 1994-03-08 Toshiba Corp 光プリンタヘッド
JP3084975B2 (ja) 1992-11-06 2000-09-04 松下電器産業株式会社 液晶表示用セルの製造装置
JPH06160871A (ja) 1992-11-26 1994-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JPH06194637A (ja) 1992-12-24 1994-07-15 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法
JPH06235925A (ja) 1993-02-10 1994-08-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH06265915A (ja) 1993-03-12 1994-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶充填用吐出装置
JP3210126B2 (ja) 1993-03-15 2001-09-17 株式会社東芝 液晶表示装置の製造方法
JP3170773B2 (ja) 1993-04-28 2001-05-28 株式会社日立製作所 基板組立装置
US5539545A (en) 1993-05-18 1996-07-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of making LCD in which resin columns are cured and the liquid crystal is reoriented
JP2957385B2 (ja) 1993-06-14 1999-10-04 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子の製造方法
US5407519A (en) * 1993-07-07 1995-04-18 Interserv Corp. Apparatus for manufacturing liquid crystal display screens
JP3260511B2 (ja) 1993-09-13 2002-02-25 株式会社日立製作所 シール剤描画方法
JPH07128674A (ja) 1993-11-05 1995-05-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH07181507A (ja) 1993-12-21 1995-07-21 Canon Inc 液晶表示装置及び該液晶表示装置を備えた情報伝達装置
JP2809588B2 (ja) 1994-04-06 1998-10-08 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP2880642B2 (ja) 1994-04-11 1999-04-12 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP3023282B2 (ja) 1994-09-02 2000-03-21 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置における定盤構造
US5854664A (en) 1994-09-26 1998-12-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Liquid crystal display panel and method and device for manufacturing the same
JP3189591B2 (ja) 1994-09-27 2001-07-16 松下電器産業株式会社 液晶素子の製造方法
JPH08101395A (ja) 1994-09-30 1996-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH08106101A (ja) 1994-10-06 1996-04-23 Fujitsu Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JP2665319B2 (ja) 1994-10-13 1997-10-22 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の加熱装置
JP3053535B2 (ja) 1994-11-09 2000-06-19 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の加圧加熱装置
JPH08171094A (ja) 1994-12-19 1996-07-02 Nippon Soken Inc 液晶表示器への液晶注入方法及び注入装置
JP3122708B2 (ja) 1994-12-26 2001-01-09 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP3545076B2 (ja) 1995-01-11 2004-07-21 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示装置及びその製造方法
JP3216869B2 (ja) 1995-02-17 2001-10-09 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
US6001203A (en) 1995-03-01 1999-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Production process of liquid crystal display panel, seal material for liquid crystal cell and liquid crystal display
JP3534474B2 (ja) 1995-03-06 2004-06-07 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示パネルのシール方法
JPH095762A (ja) 1995-06-20 1997-01-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JPH091026A (ja) 1995-06-23 1997-01-07 Hitachi Techno Eng Co Ltd ペースト塗布機
JP3139945B2 (ja) 1995-09-29 2001-03-05 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
JP3978241B2 (ja) 1995-07-10 2007-09-19 シャープ株式会社 液晶表示パネル及びその製造方法
JPH0961829A (ja) 1995-08-21 1997-03-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH0973075A (ja) 1995-09-05 1997-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子の製造装置
JP3161296B2 (ja) 1995-09-05 2001-04-25 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
JPH0980447A (ja) 1995-09-08 1997-03-28 Toshiba Electron Eng Corp 液晶表示素子
JP3358935B2 (ja) 1995-10-02 2002-12-24 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
US6236445B1 (en) 1996-02-22 2001-05-22 Hughes Electronics Corporation Method for making topographic projections
US5805330A (en) * 1996-03-15 1998-09-08 Gentex Corporation Electro-optic window incorporating a discrete photovoltaic device
JP3234496B2 (ja) 1996-05-21 2001-12-04 松下電器産業株式会社 液晶表示装置の製造方法
KR100208475B1 (ko) 1996-09-12 1999-07-15 박원훈 자기장 처리에 의한 액정배향막의 제조방법
US6016178A (en) 1996-09-13 2000-01-18 Sony Corporation Reflective guest-host liquid-crystal display device
JPH10153785A (ja) 1996-09-26 1998-06-09 Toshiba Corp 液晶表示装置
KR100207506B1 (ko) 1996-10-05 1999-07-15 윤종용 액정 표시 소자의 제조방법
JP3472422B2 (ja) 1996-11-07 2003-12-02 シャープ株式会社 液晶装置の製造方法
JPH10274768A (ja) 1997-03-31 1998-10-13 Denso Corp 液晶セルおよびその製造方法
JP4028043B2 (ja) 1997-10-03 2007-12-26 コニカミノルタホールディングス株式会社 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法
US5875922A (en) 1997-10-10 1999-03-02 Nordson Corporation Apparatus for dispensing an adhesive
US6055035A (en) 1998-05-11 2000-04-25 International Business Machines Corporation Method and apparatus for filling liquid crystal display (LCD) panels
US6337730B1 (en) 1998-06-02 2002-01-08 Denso Corporation Non-uniformly-rigid barrier wall spacers used to correct problems caused by thermal contraction of smectic liquid crystal material
JP3828670B2 (ja) 1998-11-16 2006-10-04 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
US6219126B1 (en) 1998-11-20 2001-04-17 International Business Machines Corporation Panel assembly for liquid crystal displays having a barrier fillet and an adhesive fillet in the periphery
JP3568862B2 (ja) 1999-02-08 2004-09-22 大日本印刷株式会社 カラー液晶表示装置
AU2003211350A1 (en) * 2002-03-05 2003-09-16 Hitachi Industries Co., Ltd. Method for holding substrate in vacuum, method for manufacturing liquid crystal display device, and device for holding substrate

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH086036A (ja) * 1994-06-17 1996-01-12 Seiwa Sangyo Kk 液晶パネル組立体の加圧装置
KR970016662A (ko) * 1995-09-22 1997-04-28 야노 다께시 액정 패널을 제조하기 위한 장치
KR970059461U (ko) * 1996-04-26 1997-11-10 삼성전자주식회사 엘씨디용 글래스 기판의 언로딩 장치
KR20010021475A (ko) * 1999-08-31 2001-03-15 마찌다 가쯔히꼬 기판의 본딩 방법과 본딩 장치 및 액정표시장치의 제조방법
JP2001213516A (ja) * 2000-02-02 2001-08-07 Seiko Epson Corp 電気光学パネルの搬送装置及びその搬送方法並びに電気光学装置の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100962953B1 (ko) 2008-04-23 2010-06-10 로체 시스템즈(주) 유리 기판 이송용 로봇
CN103824519A (zh) * 2012-11-19 2014-05-28 三星显示有限公司 制造柔性显示装置的方法和设备

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Publication number Publication date
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