JP2001174835A - 液晶表示装置用ガラス基板の組立装置及び液晶表示装置製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２枚のガラス板のアライメントで、ガラス板
の膜面やスペーサを損傷することなく正確にアライメン
トすることができるアライメント方法とその装置および
ガラス板組立装置を提供すること。 【解決手段】 仮接合された２枚のガラス板１ａ、１ｂ
を吸着プレート２６上に載置し、その上方から吸着部が
多孔質部材３９で形成されている吸着ヘッド３５で、多
孔質部材３９からエアを出しながら上側のガラス板１
ａ、（１ｂ）を吸着し、その状態で２枚のガラス板１
ａ、１ｂにそれぞれ付されたマークｍ_１、ｍ_２…のズレ
量を検出し、その結果に応じて吸着ヘッド３５に吸着さ
れているガラス板１ａ、１ｂをアライメントする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、液晶セル
等の組立製造に好適な２枚の貼り合せガラス基板のアラ
イメント方法とその装置およびガラス基板の組立装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶ディスプレイに用いられて
いる、液晶ディスプレイパネルのセルは、通常、２枚の
ガラス基板の間に液晶を封入するために、２枚のガラス
基板がスぺーサを挟んだ状態で重ね合され、予め塗布さ
れているシール剤によって相互に貼り合わせて仮止めさ
れ、その後に、２枚のガラスの相互の位置が正確にアラ
イメントされる。その状態で、シール剤を加圧しながら
加熱、あるいは紫外線を照射することによりシール剤を
硬化させ、２枚のガラス基板を貼り合わせて形成してい
るサンドイッチセルが用いられている。

【０００３】なお、ガラス基板は、液晶ディスプレイの
使用目的により要求される性能が異なるため、それぞれ
の用途に対応したガラス基板が開発されている。大別し
て、単純マトリクス駆動ＬＣＤには、ソーダライムガラ
ス基板が使用され、また、半導体技術が導入されたアク
ティブマトリクス駆動ＬＣＤには、無アルカリガラス、
ホウケイ酸ガラス、石英ガラス、シリコン基板等が使用
されている。

【０００４】また、通常用いられているガラス基板の厚
みは、一般に、厚さ１．１ｍｍである。この他に、０．
７ｍｍ、０．５ｍｍおよび０．４ｍｍ等の板厚が使用さ
れている。

【０００５】液晶ディスプレイに用いられているサンド
イッチセルの製造工程では、通常、１枚（両面で２枚）
のガラス基板に対して同時に複数個のサンドイッチセル
を形成し、複数個を形成後に両面のガラス基板のそれぞ
れのサンドイッチセルの間を切断して、個別のサンドイ
ッチセルに分離して作成している。

【０００６】これらの液晶セルの製造工程で用いられて
いる、２枚のガラス基板のアライナ装置では、前の工程
で貼り合わされて加圧された２枚のガラス基板につい
て、下側のガラス基板の下面側を透明な吸着プレートで
吸着固定し、一方、上側のガラス基板の上面側に対して
多孔質性の吸着ヘッドを下降させて吸着し、その状態で
それぞれのガラス基板に付されている位置合せマークを
合わせるために、Ｘ、Ｙ、θ方向にアライメントしてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようなガラス基板のアライメント方法では、ガラス基板
間には、ギヤップを一定にするため、直径が数μｍのス
ペーサが入っているために、このスペーサに集中荷重が
かかった状態で、アライメントを行うと、ガラス基板の
内側に形成されている膜面を傷付けたり、あるいはスペ
ーサを破壊してしまうなどの問題が発生する。

【０００８】通常、それを回避するため、アライメント
用の多孔質性の吸着ヘッドを上下動させているシリンダ
に対し、下降時にはエアの圧力を加えずに多孔質性の吸
着ヘッドの自重のみで下降させ、さらにガラス基板と接
触しアライメントする時には、多孔質性の吸着ヘッドの
自重もかからないように、上下動させているシリンダに
カウンターエアを入れ、ガラス基板への押付け力をほぼ
ゼロにしていた。

【０００９】しかし、多孔質性の吸着ヘッドの自重によ
る下降ではエアの圧縮性も関係して吸着ヘッドの速度調
整が困難になっている。そのため、多孔質性の吸着ヘッ
ドが基板に接触する時には、下降速度の衝撃がガラス基
板に影響し、ガラス基板間にある破壊強度の低いスペー
サ等を、変形または破損させる原因となっていた。この
状態でアライメントすると基板の内側の膜面を傷つけて
不良品になってしまうという問題が存在していた。

【００１０】本発明はこれらの事情に基づいてなされた
もので、液晶セルのアライメント工程等に用いられる、
２枚のガラス基板のアライメントで、ガラス基板の膜面
やスペーサを損傷することなく正確にアライメントする
ことができるアライメント方法とその装置およびガラス
基板組立装置を提供することを目的としている。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明による手
段によれば、２枚のガラス板がスぺーサを介して仮接合
されたガラス基板の一方のガラス板を吸着保持する吸着
プレートと、吸着部に多孔質部材を有しこの多孔質部材
からエアを噴射アるいは吸引可能で前記吸着プレートに
対して進退可能に設けられた吸着へッドと、前記２枚の
ガラス板それぞれに付された位置合せマークを検出する
検出手段と、前記検出手段により検出されたそれぞれの
位置合せマークに基づいて前記吸着プレートと前記吸着
へッドとを相対的に移動させて前記ガラス板のアラィメ
ントを行うアライメント手段とを有することを特徴とす
る液晶表示装置用ガラス基板の組立装置である。

【００１２】また請求項２の発明による手段によれば、
前記吸着プレートは紫外線透過部材であり、前記吸着プ
レートの前記ガラス基板の吸着面と反対側には紫外線光
源が設けられていることを特徴とする液晶表示装置用ガ
ラス基板の組立装置である。

【００１３】また請求項３の発明による手段によれば、
２枚のガラス板がスぺーサを介して仮接合されたガラス
基板を吸着プレート上に載置して一方のガラス板を吸着
固定する工程と、吸着部に多孔質部材が設けられた吸着
へッドの前記多孔質部材からエアを噴射しながら他方の
ガラス板に前記吸着部を接触させた後、前記エアの噴射
から吸引に切り替えて他方のガラス板を吸着する工程
と、前記一方のガラス板と他方のガラス板とにそれぞれ
付された位置合せマークを検出する工程と、検出した位
置合せマークから前記一方のガラス板と他方のガラス板
とのずれ量を検出する工程と、検出したずれ量に基づい
て位置合せを行う工程と、位置合せを行った状態で本接
合する工程とを有することを特徴とするアライメント方
法により液晶表示装置を製造する液晶表示装置製造方法
である。

【００１４】また請求項４の発明による手段によれば、
前記２枚のガラス板は紫外線硬化接着剤により仮接合さ
れており、前記本接合工程において前記紫外線硬化接着
剤に紫外線を照射して硬化させることを特徴とする液晶
表示装置製造方法である。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
を図面を参照して説明する。

【００１６】図１は本発明のアライメント装置によりア
ライメントする被処理体である液晶表示装置に用いるサ
ンドイッチセルの一例の構成を示す断面図である。

【００１７】すなわち、ガラス板１ａ、１ｂの片面に順
次、ＳｉＯ_２のアルカリイオン防止膜２と、ＳｉＯ_２等
の蒸着膜である配向膜３とが積層形成され、配向膜３中
にはＩＴＯの透明電極４ａ、４ｂ、４ｃ、…４ｎが形成
されている。この２枚のガラス板１ａ、１ｂがスペーサ
５ａ、５ｂ、…を介して所定間隔で配向膜３が向かい合
う方向に組合わされ、熱硬化性又は紫外線硬化性の封止
材６で封止されて貼り合せ基板（ガラス板）１が形成さ
れる。封止された貼り合せ基板１の内部には液晶７が充
填されている。なお、ガラス板１ａの一方には液晶７を
注入するための注入口８が設けられ、この注入口８は液
晶７を注入後に封止材６ａで封止されている。

【００１８】このサンドイッチセルにおける液晶層の厚
さは１μｍ以下から数百μｍまで可能であり、面積につ
いては原理的な制限は無い。

【００１９】通常、液晶セルを製造する製造工程でのア
ライナ工程の前後の工程は、図２に装置の配置の平面図
を示すように各装置が配置されている。すなわち、ガラ
ス板１ａ、１ｂを載置した基板搬送ユニット１０が移動
する搬送路１１に沿って、ガラス板１ａ、１ｂの搬送さ
れていく方向に沿って、順次、貼り合せ装置１２、加圧
装置１３、アライメント装置１４および姿勢補正装置１
５が設けられている。

【００２０】貼り合せ装置１２は、搬送路１１の両側に
対向して設けられ、一方がアレイが形成されたガラス板
１ａ用であり、他方がカラーフィルタが形成されたガラ
ス板１ｂ用である。なお、アレイが形成されたガラス板
１ａ用には仮止めするためのＵＶ硬化接着剤を塗布する
ディスペンサ（不図示）が設けられている。一方、カラ
ーフィルタが形成されたガラス板１ｂ用には、ガラス板
１ｂの表面と裏面とを反転させるための反転装置（不図
示）が設けられている。貼り合せ装置１２は、それぞれ
のガラス板１ａ、１ｂで所定の処理を施した後に、それ
らを対向させて貼り合わせて仮止し、貼り合せ基板１を
形成する装置である。

【００２１】加圧装置１３は、貼り合せ装置１２で形成
された貼り合せ基板１のガラス板１ａ、１ｂ間に所定量
のギャップを得るために、真空を利用して加圧する装置
である。

【００２２】アライメント装置１４は、貼り合せ基板１
を形成する２枚のガラス板１ａ、１ｂの相互位置を正確
にアライメントするために、多孔質性の吸着ヘッドを具
備して、仮止めされているガラス板１ａ、１ｂに付され
ている後述するマークを検出して、その結果に基づいて
高精度にアライメントする装置である。

【００２３】姿勢補正装置１５は、アライメントされた
貼り合せ基板１を載置して回転する回転機構で構成され
た、貼り合せ基板１の姿勢を補正する装置である。

【００２４】次に、これらの装置による動作を図３に示
す動作の模式フロー説明図に基づいて説明すると、アレ
イが形成されたガラス板１ａとカラーフィルタが設けら
れたガラス板１ｂとがそれぞれ、基板搬送ユニット１０
により貼り合せ装置１２に搬送され、アレイが形成され
たガラス板１ａには、ガラス板１ａの配向膜が形成され
た面に所定幅のディスペンサ１６によって、ＵＶ硬化の
接着剤がロ字状に塗布される。

【００２５】一方、カラーフィルタが設けられたガラス
板１ｂは、反転機構（不図示）により反転され配向膜面
が下面側になる。したがって、両ガラス板１ａ、１ｂは
重ね合わせた場合に配向膜が向かい合う状態になる。ア
レイが形成されたガラス板１ａ上にスペーサ５ａ、５ｂ
…を分散させて、カラーフィルタが設けられたガラス板
１ｂをその上から重ね合わせて、ガラス板１ａ、１ｂ同
士をＵＶ硬化接着剤により貼り合わせる。ただし、この
時点での貼り合せは、ＵＶ硬化接着剤の上にカラーフィ
ルタが設けられたガラス板１ｂが載置されて仮止めされ
ている状態で、ＵＶ硬化接着剤も硬化しておらず、２枚
のガラス板１ａ、１ｂは完全に固定された状態ではな
い。

【００２６】この貼り合わされた２枚のガラス板１ａ、
１ｂは貼り合せガラス板１を形成し、基板搬送ユニット
１０により加圧装置１３に搬送され、加圧装置１３によ
って所定圧力が印加されて２枚のガラス板１ａ、１ｂ間
のギャップが調整される。続いて、ギャップの調整され
た貼り合せガラス板１は基板搬送ユニット１０によりア
ライメント装置１４に搬送される。

【００２７】アライメント装置１４は、図４に模式図を
示すように、ＣＣＤカメラ２１が撮像するための孔２２
とＵＶ光源２３からのＵＶ光が透過する孔２４が設けら
れた基台２５に、貼り合せ基板１を吸着固定する吸着孔
（不図示）が設けられた石英ガラス製の透明吸着プレー
ト２６が固定されている。また、この透明吸着プレート
２６には貼り合せ基板１を吸着する面に、貼り合せ基板
１の大きさに合わせた出没自在な４本のピン（不図示）
が設けられている。

【００２８】また、基台２５には透明吸着プレート２６
を内部に覆うように門状のアングル２７が設けられてい
る。この門状アングル２７の上部にはシリンダ２８が固
定されている。このシリンダ２８の下部にはＸＹθテー
ブル２９が固定されている。このＸＹθテーブル２９は
テーブル保持部３０によって保持され、このテーブル保
持部３０はアングル２７の側柱の内側に設けられた直線
案内部３１と移動自在に係合している。したがって、シ
リンダ２８が作動することによって、それに応じてＸＹ
θテーブル２９はＺ軸方向に移動する。

【００２９】ＸＹθテーブル２９の下部にはＺ軸方向に
凹部３３が形成されたヘッドホルダ３２が設けられてい
る。この凹部３３にはＺ軸方向へのリニアガイド３４が
形成されており、このリニアガイド３４には吸着ヘッド
３５が移動自在に係合している。また、ヘッドホルダ３
２の側壁の外側には複数の小シリンダ３６ａ、３６ｂ…
が設けられて吸着ヘッド３５を保持している。

【００３０】これらの構成により、吸着ヘッド３５のＺ
軸方向の移動は、ＸＹθテーブル２９との一体的な大き
な動きはシリンダ２８により行われ、また、ＸＹθテー
ブル２９の動きと独立した吸着ヘッド３５のみの単独の
小さな動きは小シリンダ３６ａ、３６ｂ…によって行わ
れる。

【００３１】また、吸着ヘッド３５は吸着部３７が多孔
質（気孔率約４０％程度）の部材で形成され、図５に吸
着部の吸着面の平面図を示すように、吸着部３７は複数
の吸着孔３８ａ、３８ｂ…が露出しており、それ以外の
部分は吸着孔３８ａ、３８ｂ…の上が多孔質部材３９に
よって覆われている。

【００３２】なお、この吸着ヘッド３５には、図６に模
式図を示すように、真空ポンプ（不図示）からのフレキ
シブルホース４１が接続されており、制御部（不図示）
からの指示でそれぞれのタイミングで正圧と負圧が切替
弁４２の作動により適宜に印加される。それにより、エ
アの噴射及び停止と、貼り合せ基板１の着脱動作を行
う。

【００３３】また、基台２５の各孔２２、２４に対向し
た位置の下方には、貼り合せ基板１に付されている後述
するマークを認識するＣＣＤカメラ２１と画像処理部を
備えた認識装置４３と、ＵＶ光源２３がそれぞれ設けら
れている。

【００３４】また、透明吸着プレート２６の側方には、
貼り合せ基板１を載置して搬送する基板搬送ユニット１
０の受け渡し部が形成されている。すなわち、基板搬送
ユニット１０は、搬送路１１に沿って水平方向に移動
し、かつ、貼り合せ基板１を載置するアーム部（不図
示）はＺ軸方向にも移動可能な構造である。

【００３５】従って、基板搬送ユニット１０で搬送され
てきた貼り合わせ基板１は、透明吸着プレート２６の上
部まで進入する。一方、透明吸着プレート２６上に４本
のピン（不図示）が突起した状態で、貼り合せ基板１を
載置した基板搬送ユニット１０のアーム部が、４本のピ
ン上に移動し、その位置で下降すると、貼り合せ基板１
は４本のピン間に移載される。移載後にアーム部が退
き、４本のピンが下降して透明吸着プレート２６内に没
入すると、貼り合せ基板１は、透明吸着プレート２６の
吸着面に載置され吸着される。

【００３６】なお、図７（ａ）に示すように、貼り合せ
基板１を構成するの各々のガラス板１ａ、１ｂの中央部
の両端側には、アライメント用の十字のマークｍ_１、ｍ
_２…が付されている。このマークｍ_１、ｍ_２…は、図７
（ｂ−１）と（ｂ−２）に示すように、上側ガラス板１
ａと下側ガラス板１ｂとは相互に対称位置に設けられて
おり、両方のガラス板１ａ、１ｂが正確にアライメント
された状態で、図７（ｂ−３）に示すように、４つのマ
ークｍ_１→ｍ_５→ｍ_２→ｍ_６を結ぶと正方形になるよう
になっている。なお、この形状は予め定められた既定の
形状であればよく、正方形はその一例である。

【００３７】次に、これらの構成によるアライナ装置１
４の動作を、図８に示すフローチャトを参照して説明す
る。なお、各部の符号については図２乃至図４で用いた
符合を用いている。

【００３８】貼り合せ装置１２と加圧装置１３によっ
て、２枚のガラス板１ａ、１ｂが貼り合わされて、貼り
合せ基板１を形成し、基板搬送ユニット１０によりアラ
イナ装置１４に搬送される。アライナ装置１４は基板搬
送ユニット１０から貼り合せ基板１を受け取り、透明吸
着プレート２６上に載置する（Ｓ１）。透明吸着プレー
ト２６は貼り合せ基板１の下側のガラス板１ａを吸着し
て固定する（Ｓ２）。

【００３９】一方、吸着ヘッド３５を上下動させるシリ
ンダ２８が作動して、吸着ヘッド３５を透明吸着プレー
ト２６に向けて、上方から緩やかに下降させる。そし
て、吸着ヘッド３５は多孔質部材３９で形成された吸着
部３７で貼り合せ基板１の上側のガラス板１ｂを吸着し
て保持する。

【００４０】なお、この多孔質部材３９の吸着ヘッド３
５が上側のガラス板１ｂを吸着させるために、吸着ヘッ
ド３５を自重で下降させる際に、吸着ヘッド３５の吸着
孔３８ａ、３８ｂ…から真空破壊用のエアを吹出させ
る。この真空破壊用のエアの作用によって、吸着部３７
を備えた吸着ヘッド３５が下降するときに貼り合せ基板
１に対しての衝撃を緩和することができる（Ｓ３）。

【００４１】そして、吸着部３７の多孔質部材３９が上
側のガラス板１ｂに接触した後、吸着ヘッド３５を保持
している少シリンダ３６ａ、３６ｂ…にカウンターエア
を入れることで、吸着ヘッド３５の自重を相殺し、上側
のガラス板１ｂへの吸着ヘッド３５の押付け方向の力を
極力ゼロにした状態にする。

【００４２】これらの動作によって、貼り合せ基板１の
間に分散しているスペーサ５ａ、５ｂヘの衝撃も緩和で
きて、それらの変形や破損も防止して上側の上側のガラ
ス板１ｂを吸着する（Ｓ４）。

【００４３】その後、下側のガラス板１ａの透明吸着プ
レート２６の下方にある認識手段４３で２枚のガラス板
１ａ、１ｂに付与されている、それぞれのマークｍ_１、
ｍ_２…を透過して認識する（Ｓ５）。画像処理でそれぞ
れのマークｍ_１、ｍ_２…の相対ズレ量を算出する。な
お、上述のように、マークｍ_１、ｍ_２…はそれぞれのガ
ラス板１ａ、１ｂに、例えば、＋マークが付されている
ので、相互のマークｍ_１、ｍ_２…の認識結果によって
Ｘ、Ｙ、θの各方向のズレ量を算出することができる。

【００４４】この算出された相対ズレ量に応じて、アラ
イメント手段であるＸＹθテーブル２９を微動させ、
Ｘ、Ｙ、θ方向に関して、吸着ヘッド３５が必要に応じ
て調整量に応じて微動する。これにより、吸着ヘッド３
５に吸着された上側のガラス板１ｂを、下側のガラス板
１ａに対してアライメントする（Ｓ６）。

【００４５】アライメントが完了した後、透明吸着プレ
ート２６の下方にあるＵＶ光源２３によって、ガラス板
１ａ、１ｂ間の仮止め用のＵＶシ−ル剤（別の工程で塗
布されたもの）にＵＶ光を照射して硬化させる（Ｓ
７）。

【００４６】その後、吸着ヘッド３５が上側のガラス板
１ｂの吸着保持を解放し上昇する。アライメントされた
２枚のガラス板１ａ、１ｂは、基板搬送ユニット１０の
アーム部で保持されて透明吸着プレート２６から離脱し
て上昇させ、次の工程へ基板搬送ユニット１０によって
搬送される（Ｓ８）。

【００４７】なお、上述の実施の形態では、貼り合せ基
板の載置に石英ガラス性の透明吸着プレートを用いた
が、ステンレス等の金属製の吸着プレートを用いること
もできる。ただし、その際には、吸着プレートにＣＣＤ
撮像用と、ＵＶ光の透光用の孔を設ける必要がある。

【００４８】以上に述べたように、本発明によれば、ガ
ラス板に対し、多孔質の吸着部を形成して吸着ヘッドを
自重で下降させる際に、この吸着ヘッドの多孔質性の孔
から真空破壊のエアを出すようにしている。このエア
は、気孔率４０％程度の多孔質部材であるため、均一に
かつ相当量のエアを吹出すことができるので、アライメ
ント用の多孔質部材の吸着ヘッドを下降させてガラス板
に接触する際の速度を押さえることができる。それによ
り、ガラス板に対しての衝撃も緩和できる。また、ガラ
ス板の間のスペーサの変形や破損も防止できる。

【００４９】また、ガラス板の内側の膜面の傷つきなど
の不良を出さずにアライメントを行うことができるの
で、極めて安定したガラス板の組立を行うことができ
る。

【００５０】

【発明の効果】本発明によれば、２枚のガラス板のアラ
イメントに際して、一方のガラス板を吸着するために下
降する吸着ヘッドのガラス板への衝撃を緩和することが
できる。それにより、２枚のガラス板間に挿入されてい
る破壊強度の低いスペーサでも、変形あるいは破損など
を防止できる。

【００５１】また、ガラス板の貼合せ工程での不良を防
止でき、精度のよい安定したアライメントが可能にな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】液晶セルの一例の構成を示す断面図。

【図２】液晶セルを製造する製造工程でのアライナ工程
の前後の工程の装置の配置の平面図。

【図３】液晶セルを製造する製造工程でのアライナ工程
の前後の工程の模式説明図。

【図４】本発明のアライナ装置の模式構製図。

【図５】本発明の吸着ヘッドの平面図。

【図６】本発明の吸着ヘッドの動作模式図。

【図７】（ａ）（ｂ−１）（ｂ−２）（ｂ−３）は、い
ずれも本発明のマークによるアライメントの説明図。

【図８】本発明の工程のフロー図。

【符号の説明】

１…貼り合せ基板、１０…基板搬送ユニット、１２…貼
り合せ装置、１３…加圧装置、１４…アライメント装
置、２６…透明吸着プレート、２８…シリンダ、２９…
ＸＹθテーブル、３５…吸着ヘッド、３６ａ、３６ｂ…
小シリンダ、３７…吸着部、３８ａ、３８ｂ…吸着孔、
３９…多孔質部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H088 FA01 FA30 MA20 2H089 NA01 NA38 NA44 NA51 NA60 QA12 4G061 AA18 AA33 CA02 CB02 CB03 CB04 CD02 CD12 CD14 CD22 CD23 CD24 CD25 DA26 DA36 DA61

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚のガラス板がスぺーサを介して仮接
   合されたガラス基板の一方のガラス板を吸着保持する吸
   着プレートと、吸着部に多孔質部材を有しこの多孔質部
   材からエアを噴射アるいは吸引可能で前記吸着プレート
   に対して進退可能に設けられた吸着へッドと、前記２枚
   のガラス板それぞれに付された位置合せマークを検出す
   る検出手段と、前記検出手段により検出されたそれぞれ
   の位置合せマークに基づいて前記吸着プレートと前記吸
   着へッドとを相対的に移動させて前記ガラス板のアラィ
   メントを行うアライメント手段とを有することを特徴と
   する液晶表示装置用ガラス基板の組立装置。
2. 【請求項２】 前記吸着プレートは紫外線透過部材であ
   り、前記吸着プレートの前記ガラス基板の吸着面と反対
   側には紫外線光源が設けられていることを特徴とする請
   求項１記載の液晶表示装置用ガラス基板の組立装置。
3. 【請求項３】 ２枚のガラス板がスぺーサを介して仮接
   合されたガラス基板を吸着プレート上に載置して一方の
   ガラス板を吸着固定する工程と、吸着部に多孔質部材が
   設けられた吸着へッドの前記多孔質部材からエアを噴射
   しながら他方のガラス板に前記吸着部を接触させた後、
   前記エアの噴射から吸引に切り替えて他方のガラス板を
   吸着する工程と、前記一方のガラス板と他方のガラス板
   とにそれぞれ付された位置合せマークを検出する工程
   と、検出した位置合せマークから前記一方のガラス板と
   他方のガラス板とのずれ量を検出する工程と、検出した
   ずれ量に基づいて位置合せを行う工程と、位置合せを行
   った状態で本接合する工程とを有することを特徴とする
   アライメント方法により液晶表示装置を製造する液晶表
   示装置製造方法。
4. 【請求項４】 前記２枚のガラス板は紫外線硬化接着剤
   により仮接合されており、前記本接合工程において前記
   紫外線硬化接着剤に紫外線を照射して硬化させることを
   特徴とする請求項３記載の液晶表示装置製造方法。