DE4207527A1

DE4207527A1 - Hochvakuum-beschichtungsanlage

Info

Publication number: DE4207527A1
Application number: DE4207527A
Authority: DE
Inventors: Klaus Contzen
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1992-03-10
Filing date: 1992-03-10
Publication date: 1993-09-16
Also published as: ITMI930461A1; IT1272004B; GB9224787D0; GB2264954B; GB2264954A; ITMI930461A0

Description

Die Erfindung betrifft eine Hochvakuum-Beschichtungsan lage zum Beschichten von Folien, welche einen an einer Stirnseite von einer Rezipientenplatte einer Grundfahr einheit verschließbaren, als Vakuumkessel ausgebildeten Rezipienten hat, wobei die Rezipientenplatte auf ihrer dem Rezipienten zugewandten Seite einen Abwickler, einen Aufwickler und eine Beschichtungswalze trägt und bei der die Grundfahreinheit mit Laufrädern auf in Längsrichtung des Rezipienten verlaufenden Fahrschienen angeordnet ist.

Beschichtungsanlagen der vorstehenden Art werden zum Be schichten von Folien mit einer Metallauflage eingesetzt und sind allgemein bekannt. Bei ihnen weist die Grund fahreinheit als tragendes Bauteil einen brückenartigen Rahmen auf, welcher die Laufräder hat und an dem die Re zipientenplatte befestigt ist. Ebenfalls am Rahmen ist ein nach hinten weisender Ausleger angeflanscht, auf dem die Kühl- und Heizeinrichtungen der Beschichtungsanlage angeordnet sind.

Der Rahmen der Grundfahreinheit stellt ein relativ teures Bauteil dar und bedingt relativ großen Montageaufwand. Weiterhin erhöht sich durch den Rahmen die Baugröße sol cher Beschichtungsanlagen beträchtlich.

Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Hochva kuum-Beschichtungsanlage der eingangs genannten Art zu entwickeln, welche möglichst kostengünstig herstellbar ist.

Dieses Problem wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Laufräder mittels Radträger unmittelbar auf der dem Rezipienten abgewandten Seite der Rezipientenplatte befe stigt sind.

Durch den erfindungsgemäßen Fortfall des tragenden Rah mens der Grundfahreinheit erniedrigen sich die Herstel lungskosten der Beschichtungsanlage erheblich, ohne daß Nachteile gegenüber den bisherigen Anlagen entstehen. We gen des im Rezipienten zu erzeugenden Hochvakuums während des Beschichtungsvorganges muß die Rezipientenplatte oh nehin eine solche Festigkeit haben, daß sie auch in der Lage ist, die Laufräder der Grundfahreinheit unmittelbar zu tragen.

Konstruktiv besonders einfach ist die Hochvakuum-Be schichtungsanlage gestaltet, wenn an einem Radträger zum Antrieb der Laufräder ein Getriebemotor befestigt ist, welcher das Laufrad dieses Radträgers unmittelbar und das gegenüberliegende Laufrad über eine quer zu den Fahr schienen verlaufende Antriebswelle antreibt. Solche An triebe mit den Radträgern und Laufrädern werden für an dere Zwecke, beispielsweise für Krane, ebenfalls benötigt und sind deshalb kostengünstig erhältlich.

Üblicherweise steht ähnlich bei Hochvakuum-Beschichtungs anlagen der Rezipient auf einem Endbereich der Fahrschie nen der Grundfahreinheit. Dieses Prinzip entspricht dem einer Drehbank, bei der der Spindelkasten auf dem Bett steht, auf welchem auch der Support verfahrbar ist. Auch durch dieses Bauprinzip sind solche Anlagen relativ teu er. Weiterhin stehen hierzu die Schienen auf dem Funda ment, so daß sie die Bauhöhe der Anlage vergrößern. Auch diese Nachteile können gemäß einer vorteilhaften Weiter bildung der Erfindung vermieden werden, wenn die Fahr schienen vor der Stirnseite des Rezipienten enden und in Bezug auf den Rezipienten ausgerichtet im Fundament der Hochvakuum-Beschichtungsanlage befestigt sind.

Die Kraftbeanspruchung der Rezipientenplatte ist beson ders gering, wenn gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung in an sich bekannter Weise oben aus dem Rezipi enten zumindest eine in Längsrichtung des Rezipienten verlaufende Schiene herausführt, in welcher die Grund fahreinheit nahe ihrer dem Rezipienten zugewandten Lager platte mittels einer Laufrolle abgestützt ist.

Zur weiteren Entlastung der Rezipientenplatte von auf sie einwirkenden Momenten trägt es bei, wenn die Grundfahr einheit aus der Rezipientenplatte mit dem Abwickler, Auf wickler, der Beschichtungswalze und den Wickelmotoren und aus einem daran um eine horizontale Achse beweglich ange kuppelten Anhänger besteht, welcher insbesondere die er forderlichen Kühl- und Heizeinrichtungen trägt und nahe seines der Rezipientenplatte abgewandten Endes mit je weils einem Laufrad auf den Fahrschienen abgestützt ist.

Die Bauhöhe der Hochvakuum-Beschichtungsanlage wird be sonders gering, wenn der Rezipient im Querschnitt recht eckig ausgebildet ist und deshalb auch die Rezipienten platte eine rechteckige Form hat. Durch diese rechteckige Form können die Radträger mit den Laufrädern besonders gut an der Rezipientenplatte im unteren äußeren Bereich befestigt werden. Sie brauchen nur minimal über die Un terkante der Rezipientenplatte hinausreichen.

Die Erfindung läßt verschiedene Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips ist eine da von in der Zeichnung dargestellt und wird nachfolgend be schrieben. Diese zeigt in

Fig. 1 eine Seitenansicht einer Hochvakuum- Beschichtungsanlage nach der Erfindung,

Fig. 2 einen Blick auf die Außenseite der Rezi pientenplatte der Beschichtungsanlage, im Maßstab gegenüber Fig. 1 vergrößert,

Fig. 3 eine Draufsicht auf eine Grundfahreinheit der Beschichtungsanlage.

Die Fig. 1 zeigt einen als Vakuumkessel ausgebildeten Rezipienten 1 rechteckigen Querschnitts, in welchem das Beschichtungsverfahren abläuft. Rechts neben dem Rezipi enten 1 ist eine Grundfahreinheit 2 angeordnet, welche auf Fahrschienen 3 verfahrbar ist. Die Grundfahreinheit 2 hat eine Rezipientenplatte 4, welche sich durch Verfahren der Grundfahreinheit 2 nach links dichtend auf die rechte Stirnfläche des Rezipienten 1 aufsetzen läßt.

Aus der Rezipientenplatte 4 ragen zum Rezipienten 1 hin ein Aufwickler 5 und ein Abwickler 6. Weiterhin ist in etwa auf halber Höhe zwischen dem Aufwickler 5 und Ab wickler 6 eine Beschichtungswalze 7 an der Rezipienten platte 4 befestigt. Wickelmotoren 8, 9 auf der dem Rezi pienten 1 abgewandten Seite der Rezipientenplatte 4 die nen dem Antrieb des Aufwicklers 5 und Abwicklers 6. Um ein Kippen der Grundfahreinheit 2 aufgrund der in Fig. 1 links vor seiner Rezipientenplatte 4 angeordneten Messen zu vermeiden, ist die Grundfahreinheit 2 an ihrer vorder sten, dem Rezipienten 1 zugewandten Seite oben mit Lauf rollen 10 auf einer Schiene 11 abgestützt, welche oben aus dem Rezipienten 1 herausführt. Zur Evakuierung des Rezipienten 1 dienen Diffusionspumpen 12, 13 und mechani sche Pumpen 14, 15.

Wichtig für die Erfindung ist, daß unmittelbar nahe der Unterkante der Rezipientenplatte 4 an ihr zwei Radträger 16 mit jeweils einem auf der Fahrschiene rollenden Lauf rad 17 befestigt sind. Weiterhin ist wichtig, daß an die Rezipientenplatte 4 ein Anhänger 18 angehangen ist, wel cher an seiner der Rezipientenplatte 4 abgewandten Seite mit Laufrädern 19 auf der Fahrschiene 3 steht und über eine horizontale Achse 20 schwenkbar mit der Rezipienten platte 4 verbunden ist. Auf diesem Anhänger 18 sind Kühl- und Heizeinrichtungen 21 angeordnet, welche für die Hoch vakuum-Beschichtungsanlage erforderlich sind. Die Fahr schienen 3 enden vor dem Rezipienten 1 und sind in einem Fundament 22 genau ausgerichtet, so daß die Grundfahrein heit 2 exakt mit dem vor ihrer Rezipientenplatte 4 lie genden Bereich in den Rezipienten 1 fahren kann.

Die Fig. 2 läßt erkennen, daß die Rezipientenplatte 4 auf zwei Fahrschienen 3, 3a verfahrbar ist. Die Radträger 16, 16a sind nahe der Unterkante der Rezipientenplatte 4 jeweils an ihrer Seite angeschraubt. An dem Radträger 16 ist ein Getriebemotor 23 befestigt, der das Laufrad 17 unmittelbar und das gegenüberliegende Laufrad 17a über eine quer verlaufende Antriebswelle 24 antreibt.

In Fig. 3 sind die Rezipientenplatte 4 mit den Radträ gern 16, 16a, dem Getriebemotor 23 und die Antriebswelle 24 strichpunktiert dargestellt. In durchgezogenen Linien ist der Anhänger 18 gezeichnet, welcher um die horizontal verlaufende Achse 20 zu schwenken vermag. Gestrichelt dargestellt sind seine Laufräder 19, 19a nahe seines der Achse 20 abgewandten Endes.

Bezugszeichenliste

1 Rezipient
2 Grundfahreinheit
3 Fahrschiene
4 Rezipientenplatte
5 Aufwickler
6 Abwickler
7 Beschichtungswalze
8 Wickelmotor
9 Wickelmotor
10 Laufrolle
11 Schiene
12 Diffusionspumpe
13 Diffusionspumpe
14 mechanische Pumpe
15 mechanische Pumpe
16 Radträger
17 Laufrad
18 Anhänger
19 Laufrad
20 Achse
21 Kühl- und Heizeinrichtung
22 Fundament
23 Getriebemotor
24 Antriebswelle
25 Lagerplatte

Claims

1. Hochvakuum-Beschichtungsanlage zum Beschichten von Fo lien, welche einen an einer Stirnseite von einer Rezipi entenplatte einer Grundfahreinheit verschließbaren, als Vakuumkessel ausgebildeten Rezipienten hat, wobei die Re zipientenplatte auf ihrer dem Rezipienten zugewandten Seite einen Abwickler, einen Aufwickler und eine Be schichtungswalze trägt und bei der die Grundfahreinheit mit Laufrädern auf in Längsrichtung des Rezipienten ver laufende Fahrschienen angeordnet ist, dadurch gekenn zeichnet, daß die Laufräder (17, 17a) mittels Radträger (16, 16a) unmittelbar auf der dem Rezipienten (1) abge wandten Seite der Rezipientenplatte (4) befestigt sind.

2. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, daß an einem Radträger (16) zum An trieb der Laufräder (17, 17a) ein Getriebemotor (23) be festigt ist, welcher das Laufrad (17) dieses Radträgers (16) unmittelbar und das gegenüberliegende Laufrad (17a) über eine quer zu den Fahrschienen (3) verlaufende An triebswelle (24) antreibt.

3. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fahrschienen (3) vor der Stirnseite des Rezipienten (1) enden und in Bezug auf den Rezipienten (1) ausgerichtet im Fundament (22) der Hochvakuum-Beschichtungsanlage befestigt sind.

4. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß oben aus dem Rezipienten (1) zumindest eine in Längsrich tung des Rezipienten (1) verlaufende Schiene (11) heraus führt, in welcher die Grundfahreinheit (2) nahe ihrer dem Rezipienten (1) zugewandten Lagerplatte (25) mittels einer Laufrolle (10) abgestützt ist.

5. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundfahreinheit (2) aus der Rezipientenplatte (4) mit dem Abwickler (6), Aufwickler (5), der Beschichtungs walze (7) und den Wickelmotoren (8, 9) und aus einem dar an um eine horizontale Achse beweglich angekuppelten An hänger (18) besteht, welcher insbesondere die erforder lichen Kühl- und Heizeinrichtungen (21) trägt und nahe seines der Rezipientenplatte (4) abgewandten Endes mit jeweils einem Laufrad (19, 19a) auf den Fahrschienen (13, 13a) abgestützt ist.

6. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Rezipient (1) im Querschnitt rechteckig ausgebildet ist und deshalb auch die Rezipientenplatte (4) eine rechteckige Form hat.