DE4207527A1 - HIGH VACUUM COATING SYSTEM - Google Patents

HIGH VACUUM COATING SYSTEM

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
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Abstract

Track wheels 17, 17a of a drive unit 2, forming a high-vacuum coating apparatus together with a vacuum tank, which acts as a receiver for the drive unit which is movable into and out of sealing engagement with one side of the tank, are carried on rails extending towards the receiver by means of track wheels carried on wheel supports which are attached directly to the side of the carrier plate 4 facing away from the receiver. The carrier plate supports a supply roller 5, a take-up roller 6 and a coating roller 7 on its side facing the receiver. This arrangement avoids the use of the drive unit having a bridge-like frame forming a support which has the track wheels and carrier plate attached to it which is expensive and unwieldly. Cooling and heating devices 21 may be provided on a trailer attachment which is coupled to the carrier plate by a horizontal axle and has supporting track wheels rear its trailing end. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine Hochvakuum-Beschichtungsan­ lage zum Beschichten von Folien, welche einen an einer Stirnseite von einer Rezipientenplatte einer Grundfahr­ einheit verschließbaren, als Vakuumkessel ausgebildeten Rezipienten hat, wobei die Rezipientenplatte auf ihrer dem Rezipienten zugewandten Seite einen Abwickler, einen Aufwickler und eine Beschichtungswalze trägt und bei der die Grundfahreinheit mit Laufrädern auf in Längsrichtung des Rezipienten verlaufenden Fahrschienen angeordnet ist.The invention relates to a high vacuum coating was for coating films, which one on a Front side of a recipient plate of a basic vehicle unit lockable, designed as a vacuum vessel Has recipients, with the recipient plate on their one side of the receiver facing the recipient, one Rewinder and a coating roller carries and at the the basic drive unit with wheels on in the longitudinal direction of the recipient running rails is arranged.

Beschichtungsanlagen der vorstehenden Art werden zum Be­ schichten von Folien mit einer Metallauflage eingesetzt und sind allgemein bekannt. Bei ihnen weist die Grund­ fahreinheit als tragendes Bauteil einen brückenartigen Rahmen auf, welcher die Laufräder hat und an dem die Re­ zipientenplatte befestigt ist. Ebenfalls am Rahmen ist ein nach hinten weisender Ausleger angeflanscht, auf dem die Kühl- und Heizeinrichtungen der Beschichtungsanlage angeordnet sind.Coating systems of the above type are used for loading layers of foils with a metal coating and are generally known. With them shows the reason drive unit as a load-bearing component a bridge-like Frame on which has the wheels and on which the Re recipient plate is attached. Also on the frame flanged a rear-facing boom on which the cooling and heating devices of the coating system are arranged.

Der Rahmen der Grundfahreinheit stellt ein relativ teures Bauteil dar und bedingt relativ großen Montageaufwand. Weiterhin erhöht sich durch den Rahmen die Baugröße sol­ cher Beschichtungsanlagen beträchtlich.The frame of the basic driving unit represents a relatively expensive one Component and requires relatively large assembly costs. Furthermore, the frame size increases due to the frame cher coating systems considerable.

Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Hochva­ kuum-Beschichtungsanlage der eingangs genannten Art zu entwickeln, welche möglichst kostengünstig herstellbar ist.The invention is based on the problem of a Hochva vacuum coating system of the type mentioned  develop which can be produced as cost-effectively as possible is.

Dieses Problem wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Laufräder mittels Radträger unmittelbar auf der dem Rezipienten abgewandten Seite der Rezipientenplatte befe­ stigt sind.This problem is solved according to the invention in that the wheels by means of wheel carriers directly on the Befe side of the recipient plate facing away from the recipient are steady.

Durch den erfindungsgemäßen Fortfall des tragenden Rah­ mens der Grundfahreinheit erniedrigen sich die Herstel­ lungskosten der Beschichtungsanlage erheblich, ohne daß Nachteile gegenüber den bisherigen Anlagen entstehen. We­ gen des im Rezipienten zu erzeugenden Hochvakuums während des Beschichtungsvorganges muß die Rezipientenplatte oh­ nehin eine solche Festigkeit haben, daß sie auch in der Lage ist, die Laufräder der Grundfahreinheit unmittelbar zu tragen.Due to the omission of the supporting frame according to the invention In the basic drive unit, the manufacturers decrease development costs of the coating system considerably without Disadvantages compared to the previous systems arise. We conditions of the high vacuum to be generated in the recipient during of the coating process, the recipient plate oh anyway have such a strength that they are also in the Is located, the impellers of the base unit immediately to wear.

Konstruktiv besonders einfach ist die Hochvakuum-Be­ schichtungsanlage gestaltet, wenn an einem Radträger zum Antrieb der Laufräder ein Getriebemotor befestigt ist, welcher das Laufrad dieses Radträgers unmittelbar und das gegenüberliegende Laufrad über eine quer zu den Fahr­ schienen verlaufende Antriebswelle antreibt. Solche An­ triebe mit den Radträgern und Laufrädern werden für an­ dere Zwecke, beispielsweise für Krane, ebenfalls benötigt und sind deshalb kostengünstig erhältlich.The high vacuum loading is particularly simple in design Layering system designed when on a wheel carrier for Drive the impellers a gear motor is attached which the impeller of this wheel carrier directly and the opposite impeller across a transverse to the driving rails running drive drives. Such an drives with the wheel carriers and wheels are for their purposes, for example for cranes, are also required and are therefore available inexpensively.

Üblicherweise steht ähnlich bei Hochvakuum-Beschichtungs­ anlagen der Rezipient auf einem Endbereich der Fahrschie­ nen der Grundfahreinheit. Dieses Prinzip entspricht dem einer Drehbank, bei der der Spindelkasten auf dem Bett steht, auf welchem auch der Support verfahrbar ist. Auch durch dieses Bauprinzip sind solche Anlagen relativ teu­ er. Weiterhin stehen hierzu die Schienen auf dem Funda­ ment, so daß sie die Bauhöhe der Anlage vergrößern. Auch diese Nachteile können gemäß einer vorteilhaften Weiter­ bildung der Erfindung vermieden werden, wenn die Fahr­ schienen vor der Stirnseite des Rezipienten enden und in Bezug auf den Rezipienten ausgerichtet im Fundament der Hochvakuum-Beschichtungsanlage befestigt sind.Usually stands similar for high vacuum coating the recipient set up on an end area of the slide base drive unit. This principle corresponds to that a lathe with the headstock on the bed on which the support can also be moved. Also due to this construction principle, such systems are relatively expensive he. Furthermore, the rails are on the Funda ment, so that they increase the overall height of the system. Also  these disadvantages can be according to an advantageous further Education of the invention can be avoided when driving seemed to end in front of the recipient and in Relation to the recipient oriented in the foundation of the High vacuum coating system are attached.

Die Kraftbeanspruchung der Rezipientenplatte ist beson­ ders gering, wenn gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung in an sich bekannter Weise oben aus dem Rezipi­ enten zumindest eine in Längsrichtung des Rezipienten verlaufende Schiene herausführt, in welcher die Grund­ fahreinheit nahe ihrer dem Rezipienten zugewandten Lager­ platte mittels einer Laufrolle abgestützt ist.The load on the recipient plate is special low if, according to another training, the Invention in a manner known per se from the top of the recipient at least one in the longitudinal direction of the recipient out running rail in which the bottom drive unit close to its warehouse facing the recipient plate is supported by a roller.

Zur weiteren Entlastung der Rezipientenplatte von auf sie einwirkenden Momenten trägt es bei, wenn die Grundfahr­ einheit aus der Rezipientenplatte mit dem Abwickler, Auf­ wickler, der Beschichtungswalze und den Wickelmotoren und aus einem daran um eine horizontale Achse beweglich ange­ kuppelten Anhänger besteht, welcher insbesondere die er­ forderlichen Kühl- und Heizeinrichtungen trägt und nahe seines der Rezipientenplatte abgewandten Endes mit je­ weils einem Laufrad auf den Fahrschienen abgestützt ist.To further relieve the recipient plate from on it acting moments it contributes when the basic driving unit from the recipient plate with the unwinder, on winder, the coating roller and the winding motors and from one attached to it movable about a horizontal axis coupled trailer exists, which he in particular required cooling and heating equipment carries and close its end facing away from the recipient plate with each because an impeller is supported on the rails.

Die Bauhöhe der Hochvakuum-Beschichtungsanlage wird be­ sonders gering, wenn der Rezipient im Querschnitt recht­ eckig ausgebildet ist und deshalb auch die Rezipienten­ platte eine rechteckige Form hat. Durch diese rechteckige Form können die Radträger mit den Laufrädern besonders gut an der Rezipientenplatte im unteren äußeren Bereich befestigt werden. Sie brauchen nur minimal über die Un­ terkante der Rezipientenplatte hinausreichen.The height of the high vacuum coating system will be particularly low if the recipient is right in cross section is angular and therefore also the recipient plate has a rectangular shape. Through this rectangular The wheel carrier with the wheels can be particularly special good on the recipient plate in the lower outer area be attached. You only need minimally about the Un extend the edge of the recipient plate.

Die Erfindung läßt verschiedene Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips ist eine da­ von in der Zeichnung dargestellt und wird nachfolgend be­ schrieben. Diese zeigt inThe invention allows various embodiments. For there is a further clarification of their basic principle  of shown in the drawing and will be below wrote. This shows in

Fig. 1 eine Seitenansicht einer Hochvakuum- Beschichtungsanlage nach der Erfindung, Fig. 1 is a side view of a high-vacuum coating apparatus according to the invention,

Fig. 2 einen Blick auf die Außenseite der Rezi­ pientenplatte der Beschichtungsanlage, im Maßstab gegenüber Fig. 1 vergrößert, Fig. 2 is a view of the outside of the Rezi pientenplatte the coating installation, in scale compared with FIG. 1 is increased,

Fig. 3 eine Draufsicht auf eine Grundfahreinheit der Beschichtungsanlage. Fig. 3 is a plan view of a base unit of the coating system.

Die Fig. 1 zeigt einen als Vakuumkessel ausgebildeten Rezipienten 1 rechteckigen Querschnitts, in welchem das Beschichtungsverfahren abläuft. Rechts neben dem Rezipi­ enten 1 ist eine Grundfahreinheit 2 angeordnet, welche auf Fahrschienen 3 verfahrbar ist. Die Grundfahreinheit 2 hat eine Rezipientenplatte 4, welche sich durch Verfahren der Grundfahreinheit 2 nach links dichtend auf die rechte Stirnfläche des Rezipienten 1 aufsetzen läßt. Fig. 1 shows a recipient 1 formed as a vacuum vessel with a rectangular cross-section, in which the coating process takes place. On the right next to the recipient 1 , a basic driving unit 2 is arranged, which can be moved on rails 3 . The basic drive unit 2 has a recipient plate 4 , which can be placed sealingly on the right end face of the recipient 1 by moving the basic drive unit 2 to the left.

Aus der Rezipientenplatte 4 ragen zum Rezipienten 1 hin ein Aufwickler 5 und ein Abwickler 6. Weiterhin ist in etwa auf halber Höhe zwischen dem Aufwickler 5 und Ab­ wickler 6 eine Beschichtungswalze 7 an der Rezipienten­ platte 4 befestigt. Wickelmotoren 8, 9 auf der dem Rezi­ pienten 1 abgewandten Seite der Rezipientenplatte 4 die­ nen dem Antrieb des Aufwicklers 5 und Abwicklers 6. Um ein Kippen der Grundfahreinheit 2 aufgrund der in Fig. 1 links vor seiner Rezipientenplatte 4 angeordneten Messen zu vermeiden, ist die Grundfahreinheit 2 an ihrer vorder­ sten, dem Rezipienten 1 zugewandten Seite oben mit Lauf­ rollen 10 auf einer Schiene 11 abgestützt, welche oben aus dem Rezipienten 1 herausführt. Zur Evakuierung des Rezipienten 1 dienen Diffusionspumpen 12, 13 und mechani­ sche Pumpen 14, 15.A rewinder 5 and an unwinder 6 protrude from the recipient plate 4 towards the recipient 1 . Furthermore, a coating roller 7 is attached to the recipient plate 4 at about halfway between the rewinder 5 and from winder 6 . Winding motors 8, 9 on the side of the receptacle 1 Rezi pienten plate 4 facing away from the NEN the drive of the rewinder 5 and scheduler. 6 In order to avoid tilting of the basic driving unit 2 due to the measurements arranged on the left in FIG. 1 in front of its recipient plate 4 , the basic driving unit 2 is supported on its front most side facing the recipient 1 with rollers 10 supported on a rail 11 , which are at the top the recipient 1 leads out. Diffusion pumps 12, 13 and mechanical pumps 14 , 15 serve to evacuate the recipient 1 .

Wichtig für die Erfindung ist, daß unmittelbar nahe der Unterkante der Rezipientenplatte 4 an ihr zwei Radträger 16 mit jeweils einem auf der Fahrschiene rollenden Lauf­ rad 17 befestigt sind. Weiterhin ist wichtig, daß an die Rezipientenplatte 4 ein Anhänger 18 angehangen ist, wel­ cher an seiner der Rezipientenplatte 4 abgewandten Seite mit Laufrädern 19 auf der Fahrschiene 3 steht und über eine horizontale Achse 20 schwenkbar mit der Rezipienten­ platte 4 verbunden ist. Auf diesem Anhänger 18 sind Kühl- und Heizeinrichtungen 21 angeordnet, welche für die Hoch­ vakuum-Beschichtungsanlage erforderlich sind. Die Fahr­ schienen 3 enden vor dem Rezipienten 1 und sind in einem Fundament 22 genau ausgerichtet, so daß die Grundfahrein­ heit 2 exakt mit dem vor ihrer Rezipientenplatte 4 lie­ genden Bereich in den Rezipienten 1 fahren kann.It is important for the invention that immediately near the lower edge of the recipient plate 4 two wheel carriers 16 are fastened to it, each with a wheel 17 rolling on the running rail. Furthermore, it is important that a trailer is appended 18 to the receptacle plate 4 wel cher side facing away from the receptacle plate 4 stands with wheels 19 on the running rail 3 and swivel plate about a horizontal axis 20 with the receptacle 4 is connected. On this trailer 18 cooling and heating devices 21 are arranged, which are required for the high vacuum coating system. The driving rails 3 end in front of the recipient 1 and are precisely aligned in a foundation 22 , so that the Grundfahrein unit 2 can drive exactly with the area lying in front of its recipient plate 4 in the recipient 1 .

Die Fig. 2 läßt erkennen, daß die Rezipientenplatte 4 auf zwei Fahrschienen 3, 3a verfahrbar ist. Die Radträger 16, 16a sind nahe der Unterkante der Rezipientenplatte 4 jeweils an ihrer Seite angeschraubt. An dem Radträger 16 ist ein Getriebemotor 23 befestigt, der das Laufrad 17 unmittelbar und das gegenüberliegende Laufrad 17a über eine quer verlaufende Antriebswelle 24 antreibt. Fig. 2 shows that the recipient plate 4 is movable on two rails 3 , 3 a. The wheel carriers 16 , 16 a are screwed close to the lower edge of the recipient plate 4 on each side. A geared motor 23 is fastened to the wheel carrier 16 and drives the impeller 17 directly and the opposite impeller 17 a via a transverse drive shaft 24 .

In Fig. 3 sind die Rezipientenplatte 4 mit den Radträ­ gern 16, 16a, dem Getriebemotor 23 und die Antriebswelle 24 strichpunktiert dargestellt. In durchgezogenen Linien ist der Anhänger 18 gezeichnet, welcher um die horizontal verlaufende Achse 20 zu schwenken vermag. Gestrichelt dargestellt sind seine Laufräder 19, 19a nahe seines der Achse 20 abgewandten Endes.In Fig. 3, the recipient plate 4 with the Radträ like 16 , 16 a, the gear motor 23 and the drive shaft 24 are shown in phantom. The trailer 18 is drawn in solid lines and can pivot about the horizontally extending axis 20 . His impellers 19 , 19 a are shown in dashed lines near his end facing away from the axis 20 .

BezugszeichenlisteReference list

 1 Rezipient
 2 Grundfahreinheit
 3 Fahrschiene
 4 Rezipientenplatte
 5 Aufwickler
 6 Abwickler
 7 Beschichtungswalze
 8 Wickelmotor
 9 Wickelmotor
10 Laufrolle
11 Schiene
12 Diffusionspumpe
13 Diffusionspumpe
14 mechanische Pumpe
15 mechanische Pumpe
16 Radträger
17 Laufrad
18 Anhänger
19 Laufrad
20 Achse
21 Kühl- und Heizeinrichtung
22 Fundament
23 Getriebemotor
24 Antriebswelle
25 Lagerplatte 1 recipient
2 basic drive unit
3 track
4 recipient plate
5 rewinder
6 unwinders
7 coating roller
8 winding motor
9 winding motor
10 roller
11 rail
12 diffusion pump
13 diffusion pump
14 mechanical pump
15 mechanical pump
16 wheel carriers
17 impeller
18 followers
19 impeller
20 axis
21 cooling and heating device
22 foundation
23 gear motor
24 drive shaft
25 bearing plate

Claims (6)

1. Hochvakuum-Beschichtungsanlage zum Beschichten von Fo­ lien, welche einen an einer Stirnseite von einer Rezipi­ entenplatte einer Grundfahreinheit verschließbaren, als Vakuumkessel ausgebildeten Rezipienten hat, wobei die Re­ zipientenplatte auf ihrer dem Rezipienten zugewandten Seite einen Abwickler, einen Aufwickler und eine Be­ schichtungswalze trägt und bei der die Grundfahreinheit mit Laufrädern auf in Längsrichtung des Rezipienten ver­ laufende Fahrschienen angeordnet ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Laufräder (17, 17a) mittels Radträger (16, 16a) unmittelbar auf der dem Rezipienten (1) abge­ wandten Seite der Rezipientenplatte (4) befestigt sind.1. High vacuum coating system for coating foils, which has a sealable plate on one end face of a recipient plate of a basic drive unit, designed as a vacuum vessel, the recipient plate carrying an unwinder, a winder and a coating roller on its side facing the recipient and in which the basic drive unit with wheels is arranged on running rails in the longitudinal direction of the recipient, characterized in that the wheels ( 17 , 17 a) by means of wheel carriers ( 16 , 16 a) directly on the side facing away from the recipient ( 1 ) the recipient plate ( 4 ) are attached. 2. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß an einem Radträger (16) zum An­ trieb der Laufräder (17, 17a) ein Getriebemotor (23) be­ festigt ist, welcher das Laufrad (17) dieses Radträgers (16) unmittelbar und das gegenüberliegende Laufrad (17a) über eine quer zu den Fahrschienen (3) verlaufende An­ triebswelle (24) antreibt.2. High vacuum coating system according to claim 1, characterized in that on a wheel carrier ( 16 ) to drive the impellers ( 17 , 17 a) a geared motor ( 23 ) be fastened, which the impeller ( 17 ) of this wheel carrier ( 16th ) directly and the opposite impeller ( 17 a) via a transverse to the rails ( 3 ) extending to drive shaft ( 24 ) drives. 3. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fahrschienen (3) vor der Stirnseite des Rezipienten (1) enden und in Bezug auf den Rezipienten (1) ausgerichtet im Fundament (22) der Hochvakuum-Beschichtungsanlage befestigt sind.3. High vacuum coating system according to claims 1 or 2, characterized in that the rails ( 3 ) end in front of the front of the recipient ( 1 ) and aligned with respect to the recipient ( 1 ) in the foundation ( 22 ) of the high vacuum coating system are. 4. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß oben aus dem Rezipienten (1) zumindest eine in Längsrich­ tung des Rezipienten (1) verlaufende Schiene (11) heraus­ führt, in welcher die Grundfahreinheit (2) nahe ihrer dem Rezipienten (1) zugewandten Lagerplatte (25) mittels einer Laufrolle (10) abgestützt ist. 4. High vacuum coating system according to at least one of the preceding claims, characterized in that at the top of the recipient ( 1 ) at least one in the longitudinal direction of the recipient ( 1 ) extending rail ( 11 ) in which the basic unit ( 2 ) near it the recipient ( 1 ) facing the bearing plate ( 25 ) is supported by a roller ( 10 ). 5. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundfahreinheit (2) aus der Rezipientenplatte (4) mit dem Abwickler (6), Aufwickler (5), der Beschichtungs­ walze (7) und den Wickelmotoren (8, 9) und aus einem dar­ an um eine horizontale Achse beweglich angekuppelten An­ hänger (18) besteht, welcher insbesondere die erforder­ lichen Kühl- und Heizeinrichtungen (21) trägt und nahe seines der Rezipientenplatte (4) abgewandten Endes mit jeweils einem Laufrad (19, 19a) auf den Fahrschienen (13, 13a) abgestützt ist.5. High vacuum coating system according to at least one of the preceding claims, characterized in that the base drive unit ( 2 ) from the recipient plate ( 4 ) with the unwinder ( 6 ), rewinder ( 5 ), the coating roller ( 7 ) and the winding motors ( 8 , 9 ) and consists of a trailer ( 18 ) which is movably coupled to a horizontal axis and which carries in particular the required cooling and heating devices ( 21 ) and near its end facing away from the recipient plate ( 4 ), each with an impeller ( 19 , 19 a) is supported on the rails ( 13 , 13 a). 6. Hochvakuum-Beschichtungsanlage nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Rezipient (1) im Querschnitt rechteckig ausgebildet ist und deshalb auch die Rezipientenplatte (4) eine rechteckige Form hat.6. High vacuum coating system according to at least one of the preceding claims, characterized in that the recipient ( 1 ) is rectangular in cross section and therefore the recipient plate ( 4 ) has a rectangular shape.
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