WO2005123284A1

WO2005123284A1 - 除電除塵装置

Info

Publication number: WO2005123284A1
Application number: PCT/JP2005/010924
Authority: WO
Inventors: Takahiro Ishijima; Jun Inomata; Shigeru Ohkawa
Original assignee: Koganei Corporation
Priority date: 2004-06-22
Filing date: 2005-06-15
Publication date: 2005-12-29
Also published as: TW200600200A; JP2006007012A; EP1759776A1; EP1759776A4; US20090158537A1; CN1972763A

Description

明細書

除電除塵装置

技術分野

[0001] 本発明は、工業製品の部品などを被処理物としてこれにイオンィ匕した空気を吹き付けて被処理物に付着した塵埃を除去するとともに作業環境を汚染しな、ようにした除電除塵装置に関する。

背景技術

[0002] 電気製品などの工業製品の部品を製造したり、部品を組み立てて工業製品を製造する際には、部品に付着したゴミゃ異物やちりなどの塵埃を除去する必要がある。部品に付着する塵埃には、静電気によって付着するものがあるので、イオン化した空気を部品に吹き付けて部品の表面の静電気を中和除去しながら塵埃を除去すれば、塵埃を確実に除去することができる。このように工業製品の部品等をワークつまり被処理物としてこれに付着した塵埃を被処理物の表面の静電気を中和しながら除去するようにした技術が、例えば特許文献 1, 2に記載されるように提案されている。

特許文献 1：特開平 5— 15862号公報

特許文献 2：特開平 8 - 131982号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0003] イオンィ匕した空気を発生させるには、空気を流すようにした流路内に電極を配置し、電極間でコロナ放電により空気をイオンィ匕しており、部品などを被処理物としてこれに付着した塵埃を除去するには、イオンィ匕空気をノズルにより被処理物に吹き付けるようにしている。しかしながら、ノズルからイオンィ匕空気を吹き付けて塵埃を除去すると、除去された塵埃が再度被処理物に付着することがあり、その場合には塵埃除去後の被処理物を清浄に保持することができない。また、除去された塵埃は作業環境の周囲に飛散、浮遊し、作業環境をも汚染してしまう。

[0004] そこで、開閉ドアを有するボックス内に被処理物に吹き付けられるメイン空気流を生成し、このメイン空気流にノズルからのイオンィ匕空気を混流させるようにし、被処理物に付着した塵埃を除去するようにした除電除塵装置が開発されているが、ノズルからのイオンィ匕空気をメイン空気に混流させると、イオン濃度が低下してしまい、除電効率が低下して除電除塵処理の完了までに時間が掛カることになる。一方、ボックス内への被処理物の挿入時に開閉ドアを操作する場合には、作業者は被処理物の搬入時と搬出時とに頻繁に開閉ドアの操作を行う必要があり、処理操作の作業性が良くないという問題点がある。

[0005] 本発明の目的は、被処理物に付着した塵埃の除電除塵操作を短時間で効率的に行うことができる除電除塵装置を提供することにある。

[0006] 本発明の他の目的は、被処理物から取り除かれた塵埃が外部へ飛び出して作業環境を汚染することのない除電除塵装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

[0007] 本発明の除電除塵装置は、被処理物にイオンィ匕空気を吹き付けて被処理物に付着した塵埃を除去する除電除塵装置であって、空気が流入する空気流入口を有する基台ボックスと、前記基台ボックスに設けられた支持コラムに前記空気流入口に対向して取り付けられ、前記空気入流口との間で処理空間を形成する処理ヘッドと、前記処理ヘッドに設けられ、前記空気流入口に向けて空気を噴出する噴出口が設けられて前記処理空間を外部力遮断するエアーカーテンを形成する空気噴出部材と、前記処理ヘッドに設けられ、前記処理空間内の被処理物にイオンィヒ空気を吹き付けるイオン噴出ノズルとを有すること特徴とする。

[0008] 本発明の除電除塵装置は、前記処理ヘッドの先端部と前記基台ボックスの先端部との間に正面開口部を形成し、前記正面開口部に沿って前記エアーカーテンを形成し、前記正面開口部を介して前記処理空間内に対する被処理物の搬入と搬出とを行うことを特徴とする。

[0009] 本発明の除電除塵装置は、前記処理ヘッドの先端部と前記基台ボックスの先端部との間に正面開口部を形成するとともに、前記処理ヘッドの両側部と前記基台ボックスの両側部との間に側面開口部を形成し、前記正面開口部とそれぞれの前記側面開口部に沿って前記エアーカーテンを形成し、前記正面開口部とそれぞれの前記側面開口部の、ずれかを介して前記処理空間内に対する被処理物の搬入と搬出とを行うことを特徴とする。

[0010] 本発明の除電除塵装置は、それぞれの前記側面開口部に取り外し自在のカバーを装着し、前記カバーを取り外すことにより前記側面開口部を介して前記処理空間内に対する被処理物の搬入と搬出とを行うことを特徴とする。

[0011] 本発明の除電除塵装置は、前記処理空間内に搬入された被処理物を検出するセンサと、当該センサが被処理物の搬入を検出したときに、前記基台ボックス内の空気流の形成と、前記空気噴出部材からの空気の噴出と、前記イオン噴出ノズルからのィオンィ匕空気の噴出とをこの順で所定時間経過毎に処理開始制御する制御手段とを有することを特徴とする。

[0012] 本発明の除電除塵装置は、前記制御手段は、前記処理空間内から被処理物が搬出されたときに、前記イオン化空気の噴出停止と、前記空気噴出部材からの空気の噴出停止と、前記基台ボックス内の空気流形成停止とをこの順で所定時間経過毎に処理終了制御することを特徴とする。

[0013] 本発明の除電除塵装置は、前記制御手段は、所定の処理時間が経過したときに、前記イオン化空気の噴出停止と、前記空気噴出部材からの空気の噴出停止と、前記基台ボックス内の空気流形成停止とをこの順で所定時間経過毎に処理終了制御することを特徴とする。

発明の効果

[0014] 本発明によれば、エアーカーテンにより処理空間を外部力遮蔽した状態の下で、イオン噴出ノズルからイオンィ匕空気を噴出させて被処理物に帯電した静電気を中和しながら塵埃を除去するようにしたので、処理空間をカバーなどにより覆う必要がなく、処理空間内への被処理物の搬入と処理空間内からの被処理物の搬出とを迅速に行うことができ、被処理物の除電除塵処理を迅速に行うことができる。

[0015] 空気噴出部材力噴出されてエアーカーテンを形成する圧縮空気は、空気流入口力基台ボックス内に吸引して基台ボックス内に空気の流れを形成し、イオン噴出ノズルカ噴出するイオンィ匕空気もボックス内の空気流により吸引されて基台ボックス内に流入するので、処理空間内でイオンィ匕空気がエアーカーテン用の空気と混合することなく、イオン化空気の希釈化を防止することができ、被処理物に確実にイオン化空気が吹き付けられて被処理物に付着した塵埃を短時間で除去することができる。

[0016] 側面開口部に取り付けられるカバーを取り外し自在とすることにより、装置の設置場所に応じて被処理物の処理空間に対する搬入と搬出の経路を種々選択することができる。

[0017] 処理開始時および処理終了時のボックス内における空気流の形成とエアーカーテンとイオン噴出ノズルとの作動順序を一定の順序とすることにより、被処理物に対してイオン化空気を吹き付けるときおよび処理終了後には処理空間内に塵埃が存在しな V、状態とすることができるので、被処理物の処理品質を高めることができる。

[0018] 処理空間内で取り除かれた塵埃の外部漏出を防ぐことができるので、作業環境の塵埃による汚染を防止することができる。

[0019] 処理終了制御のパターンをセンサにより被処理物の搬出を検出するようにしたセンサ停止タイプと、タイマーで装置をオフするようにしたタイマー停止タイプとに設定することができ、被処理物の種類に応じて、ずれかの制御パターンを選択することができる。

図面の簡単な説明

[0020] [図 1]本発明の除電除塵装置を示す正面図である。

[図 2]図 1の側面図である。

[図 3]図 1の一部切り欠き平面図である。

[図 4]本発明の除塵除電装置の内部構造を示す一部切り欠き側面図である。

[図 5]図 1の要部を示す斜視図である。

[図 6]図 5における A— A線に沿う拡大断面図である。

[図 7]除電除塵装置の作動を制御する制御回路を示す概略図である。

[図 8]センサにより装置をオンオフするようにしたタイプの制御手順を示すフローチヤートである。

[図 9]タイマーで装置をオフするようにしたタイプの制御手順を示すフローチャートである。

発明を実施するための最良の形態

[0021] 以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。この除電除塵装置は、板材を組み合わせることにより形成される基台ボックス 11を有し、この基台ボッタス 11内には、図 4に示すように、モータ 12とこれにより回転駆動されるファン 13とこれらを収容するケース 14とを有するブロワ一つまり送風機 15が組み込まれており、内部には空気の流れを形成する空間つまり空気流路が形成されている。基台ボックス 1 1の前端部側にはこの中に垂直に空気が流入する空気流入口 16が形成され、空気流入口 16には多数の通気孔を有するエキスパンドメタル 17が取り付けられており、基台ボックス 11内に空気流入口 16から被処理物などが入り込むことを防止して、る。送風機 15を駆動すると、図 4において矢印で示すように空気流入口 16に設けられたエキスパンドメタル 17の多数の通気孔力も基台ボックス 11内に空気が流入し、基台ボックス 11内部に空気の流れ (空気流）が生成される。生成された空気流は、基台ボックス 11の背面に取り付けられた排気ダクト 18から外部に空気が排出される。

[0022] 基台ボックス 11の後端部には板材を組み合わせることにより形成される支持コラム 21が設けられており、この内部には収容室 22が形成されている。支持コラム 21には、図 4に示すように、前方に向けて突出し透明な板材力なる透明カバーが処理へッド 23として取り付けられており、この処理ヘッド 23と空気流入口 16との間には処理空間 24が形成されている。

[0023] 支持コラム 21を構成する側板 25, 26は処理ヘッド 23に沿って前方に向けて突出する突出部 25a, 26aを有し、処理ヘッド 23を構成する透明カバーは両方の突出部 25a, 26aに固定されている。突出部 25a, 26aには切り欠き部が設けられ、処理へッド 23の両側部と基台ボックス 11の両側部との間には側面開口部 27, 28が形成され、処理ヘッド 23の先端部と基台ボックス 11の先端部との間には正面開口部 29が形成されており、正面開口部 29から処理空間 24内に被処理物を搬入するとともに処理後の被処理物を搬出することができる。

[0024] それぞれの側面開口部 27, 28には、図 2および図 3に示すように、透明な板材からなる透明カバー 31, 32がねじ部材 30により取り付けられており、透明カバー 31, 32 を介して外部から処理空間 24内を目視して処理状況を観察することができる。それぞれの透明カバー 31, 32の少なくとも一方を取り外すと、側面開口部 27, 28を介して処理空間 24内に被処理物の搬入と搬出とを行うことができる。したがって、処理空間 24内への被処理物の搬入と搬出を正面開口部 29と一方の側面開口部とのいずれか一方としても良ぐ搬入を正面開口部 29と一方の側面開口部とのいずれか一方とし、搬出をいずれか他方としても良い。正面開口部 29が被処理物の搬入と搬出に使用されないときには、正面開口部 29を透明カバーにより覆うようにしても良い。

[0025] 支持コラム 21の前面壁にはそれぞれ突出部 25a, 26aの近傍に沿って側面側のパィプ 33a, 33bが固定され、それぞれのパイプ 33a, 33bの先端は正面側のパイプ 33 cにより継手 34を介して接続されており、これらのパイプ 33a〜33cにより平面コの字形状に組み立てられた空気噴出パイプ 33が空気噴出部材として形成されて、る。図 6に示すように、空気噴出パイプ 33には基台ボックス 11の空気流入口 16の外周部に向けて空気を噴出する噴出口 35が形成されており、それぞれの噴出口 35から噴出する空気によって側面開口部 27, 28と正面開口部 29とには、破線の矢印で示すように、エアーカーテンが形成されて、処理空間 24はエアーカーテンにより外部から遮断される。空気噴出部材としての空気噴出パイプ 33は、図示する場合には断面円形のパイプが使用されているが、角パイプを使用するようにしても良い。また、噴出口 35としては図示する場合には複数の孔により形成されている力スリット上の噴出口により形成しても良い。

[0026] 処理ヘッド 23の中央部にはイオン噴出ノズル 36が取り付けられており、処理空間 2 4内にはイオン噴出ノズル 36の噴出口 36aから処理空間 24内に向けて矢印で示すようにイオンィ匕空気が吹き付けられるようになっており、処理空間 24内に配置された被処理物には、エアーカーテンにより外部と遮断された状態の下でイオンィ匕空気が吹き付けられることになる。被処理物に吹き付けられたイオンィ匕空気は、送風機 15により空気流入口 16内に流入するエアーカーテン用の空気ととも送風機 15に吸引されて空気流入口 16内に流入し、排気ダクト 18から外部に排出される。

[0027] 空気噴出パイプ 33に圧縮空気を供給するために、支持コラム 21の背面壁には給気ポート 37が図 3に示すように取り付けられており、この給気ポート 37は開閉弁 38および絞り弁 39を介して給気ノイブ 41に接続され、給気パイプ 41は 2つに分岐してそれぞれのパイプ 33a, 33bに接続されている。したがって、給気ポート 37に接続される空気圧供給源からの圧縮空気は、開閉弁 38が開かれると絞り弁 39を通って空気噴出パイプ 33に供給されて噴出口 35から噴出してエアーカーテンを形成する。

[0028] イオン噴出ノズル 36は支持コラム 21に取り付けられたイオン発生器 42に接続されており、このイオン発生器 42に空気を供給するために、支持コラム 21の背面壁には給気ポート 37の下方側に給気ポート（図示省略）が取り付けられており、この給気ポ一トは図 3に示すように給気パイプ 45により圧力調整弁つまりレギユレータ 44および開閉弁 43に接続され、この開閉弁 43は図 4に示すように給気パイプ 45を介してィォン発生器 42に接続されている。イオン発生器 42とイオン噴出ノズル 36との間にはィオン搬送チューブ 46が接続されており、イオンィヒ空気はイオン噴出ノズル 36にィォン搬送チューブ 46により搬送される。したがって、開閉弁 43が開かれると空気圧供給源からの圧縮空気は、レギユレータ 44により調圧された後に開閉弁 43を介してィオン発生器 42に供給される。イオン発生器 42は圧縮空気の流路内に対となって配置される電極（図示省略)を有しており、電極に対して電力を供給することにより電極間のコロナ放電により空気がイオン化されてイオン噴出ノズル 36からはイオン化された空気が処理空間 24内に供給される。なお、 1つの給気ポート 37から供給され圧縮空気をエアーカーテン用の空気とイオン発生器 42用の空気とに分岐させてそれぞれに供給するようにしても良い。

[0029] このように、処理空間 24を取り囲んでこれを外部力遮蔽するように圧縮空気によりエアーカーテンが形成された状態の下で、イオン噴出ノズル 36からのイオンィ匕空気が被処理物に吹き付けられるので、処理空間 24内でイオンィ匕空気がエアーカーテン用の空気と混合することなぐイオンィ匕空気の希釈化が防止される。したがって、被処理物に確実にイオン化空気が吹き付けられて被処理物に帯電した静電気がイオン化空気により中和され、静電気により被処理物に付着した塵埃を短時間で除去することができる。付着した塵埃はイオンィ匕空気の流れにより除去されて空気流入口 16から基台ボックス 11内に吸引される。

[0030] 被処理物が処理空間 24内に搬入されたときにこれを検出するために、図 4に示すように処理ヘッド 23には上側センサ 47が取り付けられ、基台ボックス 11内には下側センサ 48が設けられており、一方のセンサ 47は発光素子を有し、他方のセンサ 48は受光素子を有している。したがって、例えば作業者が被処理物を手に持って処理空間 24内に被処理物を搬入すると、搬入されたことが自動的にセンサ 47, 48により検出される。

[0031] 図 7は除電除塵装置の作動を制御する制御回路を示す概略図であり、支持コラム 2 1の収容室 22内に配置されたコントロールユニット 50からは、送風機 15のモータ 12 、それぞれの開閉弁 38, 43、イオン発生器 42に制御信号が送られるようになつており、コントロールユニット 50にはセンサ 48からの信号が供給されるようになっている。さらに、コントロールユニット 50からは除電除塵装置の作動状態を示すモニター信号が出力されるようになっている。

[0032] このような除電除塵装置による被処理物にイオン化された空気を吹き付けて、被処理物に付着した塵埃を除去する際には、被処理物は作業者により処理空間 24内に搬入される。被処理物が搬入されると、上側のセンサ 47から下側のセンサ 48に向けて照射された光が遮断され、センサ 48はコントロールユニット 50に搬入検出信号を出力する。これにより、エアーカーテンが正面開口部 29に形成されるとともに、側面開口部 27, 28に透明カバー 31, 32に沿ってエアーカーテンが形成された状態の下で、イオン噴出ノズル 36からイオンィ匕された空気が処理空間 24内に噴出され、処理空間 24内の空気は送風機 15により基台ボックス 11内に吸引される。排気ダクト 18に図示しない連通ダクトを接続して集塵フィルタなどに集塵空気を案内することにより、塵埃をフィルタに集めることができる。なお、基台ボックス 11の空気流路内に空気流入口 16から流入する空気の流れが形成されるのであれば、基台ボックス 11内に送風機 15を設けることなぐ排気ダクト 18から基台ボックス 11内の空気を外部に吸引して排気するようにしても良い。

[0033] 装置の処理終了制御方式には、作業者により被処理物が処理空間 24力も搬出されたことがセンサ 48により検出されたら処理を停止させる方式と、イオン空気の噴出が所定時間経過したら処理を停止させる方式とがあり、いずれの制御方式にするかは、被処理物の種類等に応じてコントロールユニット 50に接続された入力操作部 51 に設けられたスィッチを操作することにより設定される。この入力操作部 51は支持コラム 21の背面側などに設けられている。

[0034] 図 8はセンサにより装置をオンオフするようにしたタイプの制御手順を示すフローチヤートであり、図 9はタイマーで装置をオフするようにしたタイプの制御手順を示すフロ一チャートである。

[0035] 図 8に示す制御方式では、ワークつまり被処理物が処理空間 24内に搬入されてセンサ 48により検出されると（S1)、まず、送風機 15のモータ 12が作動して基台ボックス内に空気流が形成され、所定時間経過後に開閉弁 38が流路を開、て空気噴出パイブ 33に圧縮空気が供給されエアーカーテンが形成される。このようにして処理空間 24が外部力も遮断された状態の下で、開閉弁 43が流路を開いてイオン発生器 42に空気が供給されるとともにイオン発生器 42内の電極に電力が供給されてイオン発生器 42が作動する（S2〜S4)。ステップ S2〜S4の工程は 1秒以下の所定時間が経過した後に、連続的に順次実行され、確実にエアーカーテンにより処理空間 24が外部力遮断された状態の下でイオンィ匕空気が被処理物に吹き付けられる。所定時間吹き付けられると被処理物に静電気により付着した塵埃はイオンィ匕空気により静電気が中和されて処理空間 24内の空気の流れにより除去されて基台ボックス 11内に吸引される。被処理物の搬出がセンサ 48により検出されると (ステップ S5)、所定時間毎に、イオン発生器 42の作動停止と、エアーカーテンの停止と、送風機 15の作動停止による空気流形成停止とが連続的に実行される。

[0036] このように、除電除塵装置においては処理空間内に被処理物が搬入されたことを検出すると、装置の処理開始時には、送風機 15の作動後所定時間が経過したときにエアーカーテンを作動させるようにし、その後所定時間経過後にイオンィ匕空気を噴出するようにしたので、エアーカーテンにより処理空間 24が確実に外部力も遮断されるとともに処理空間 24内に塵埃が存在しない状態の下でイオンィ匕空気が被処理物に噴出されるので、塵埃が装置外部に漏出することが防止されるとともに確実に塵埃を被処理物から取り除くことができる。これに対して、処理終了時には、処理開始時とは逆にイオン発生器 42が停止してカゝら所定時間が経過したときにエアーカーテンを停止し、それから所定時間が経過した後に送風機 15の作動を停止して空気流形成を停止するようにしたので、除去された塵埃が外部に漏出することを確実に防止することがでさる。

[0037] 一方、図 9に示す制御方式では、除電除塵装置の処理開始制御は図 8に示す場合と同様である力装置の作動を停止させるときの処理終了制御は図 8と相違してタイマーによりイオンィ匕空気の吹き付け時間が所定時間経過したときに装置の作動を停止させるようにしている。イオンィ匕空気が被処理物に所定時間吹き付けられる自動的に除電除塵処理が終了するので、作業者は装置の停止とともに被処理物を外部に搬出する。このようにタイマー停止タイプの処理終了制御においても、図 8に示すセンサ停止タイプの処理終了制御方式と同様に塵埃を外部に漏出させることなぐ被処理物からの塵埃の除去を行うことができる。

[0038] この除電除塵装置は、工業製品用の各種電気部品や電子部品、光学レンズなどのカメラ部品、榭脂成型モールド部品などのように静電気が原因となって素子を破損したり、ゴミなどの塵埃の付着が問題となる部品を被処理物として除電除塵の処理を行うことができる。

[0039] 本発明は前記実施の形態に限定されるものではなぐその要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、図示する除電除塵装置においては、処理ヘッド 2 3には 1つのイオン噴出ノズル 36が設けられている力複数のイオン噴出ノズル 36を設けるようにしても良い。また、処理ヘッド 23は透明板材により形成されている力不透明な板材により処理ヘッド 23を形成するようにしても良ぐ同様に透明カバー 31, 32に代えて不透明の板材によりカバーを形成するようにしても良い。

Claims

請求の範囲

[1] 被処理物にイオン化空気を吹き付けて被処理物に付着した塵埃を除去する除電除塵装置であって、

空気が流入する空気流入口を有し、当該空気流入口から流入した空気の流れを案内する空気流路を有する基台ボックスと、

前記基台ボックスに設けられた支持コラムに前記空気流入口に対向して取り付けられ、前記空気入流口との間で処理空間を形成する処理ヘッドと、

前記処理ヘッドに設けられ、前記空気流入口に向けて空気を噴出する噴出口が設けられて前記処理空間を外部力遮断するエアーカーテンを形成する空気噴出部材と、

前記処理ヘッドに設けられ、前記処理空間内の被処理物にイオン化空気を吹き付けるイオン噴出ノズルとを有すること特徴とする除電除塵装置。

[2] 請求項 1記載の除電除塵装置において、前記処理ヘッドの先端部と前記基台ボッタスの先端部との間に正面開口部を形成し、前記正面開口部に沿って前記エアー力一テンを形成し、前記正面開口部を介して前記処理空間内に対する被処理物の搬入と搬出とを行うことを特徴とする除電除塵装置。

[3] 請求項 1記載の除電除塵装置において、前記処理ヘッドの先端部と前記基台ボッタスの先端部との間に正面開口部を形成するとともに、前記処理ヘッドの両側部と前記基台ボックスの両側部との間に側面開口部を形成し、前記正面開口部とそれぞれの前記側面開口部に沿って前記エアーカーテンを形成し、前記正面開口部とそれぞれの前記側面開口部の、ずれかを介して前記処理空間内に対する被処理物の搬入と搬出とを行うことを特徴とする除電除塵装置。

[4] 請求項 3記載の除電除塵装置において、それぞれの前記側面開口部に取り外し自在のカバーを装着し、前記カバーを取り外すことにより前記側面開口部を介して前記処理空間内に対する被処理物の搬入と搬出とを行うことを特徴とする除電除塵装置

[5] 請求項 1記載の除電除塵装置において、前記処理空間内に搬入された被処理物を検出するセンサと、当該センサが被処理物の搬入を検出したときに、前記基台ボッタス内の空気流の形成と、前記空気噴出部材からの空気の噴出と、前記イオン噴出ノズル力のイオン化空気の噴出とをこの順で所定時間経過毎に処理開始制御する制御手段とを有することを特徴とする除電除塵装置。

[6] 請求項 5記載の除電除塵装置において、前記制御手段は、前記処理空間内から被処理物が搬出されたときに、前記イオン化空気の噴出停止と、前記空気噴出部材からの空気の噴出停止と、前記基台ボックス内の空気流形成停止とをこの順で所定時間経過毎に処理終了制御することを特徴とする除電除塵装置。

[7] 請求項 5の除電除塵装置において、前記制御手段は、所定の処理時間が経過したときに、前記イオン化空気の噴出停止と、前記空気噴出部材からの空気の噴出停止と、前記基台ボックス内の空気流形成停止とをこの順で所定時間経過毎に処理終了制御することを特徴とする除電除塵装置。