JP3041541B2 - 除塵機および除塵方法 - Google Patents
除塵機および除塵方法Info
- Publication number
- JP3041541B2 JP3041541B2 JP3033235A JP3323591A JP3041541B2 JP 3041541 B2 JP3041541 B2 JP 3041541B2 JP 3033235 A JP3033235 A JP 3033235A JP 3323591 A JP3323591 A JP 3323591A JP 3041541 B2 JP3041541 B2 JP 3041541B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- fluid
- nozzle
- compressed fluid
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/02—Devices for holding articles during cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
- B08B5/023—Cleaning travelling work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/02—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by distortion, beating, or vibration of the surface to be cleaned
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、対象物の表面に付着
した塵埃を除去する除塵機及び除塵方法に関する。
した塵埃を除去する除塵機及び除塵方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、対象物の表面に付着した塵埃を除
去する除塵機は、図３及び図４において示すように、送
風機２から送られた圧縮流体は、高性能フィルタ３を経
由し、先細り吹出しノズル４を通して吹き出させてい
た。対象物を入れた洗浄カゴ１３はローラ６の上を通過
し、表面に付着している塵埃をこの圧縮流体により吹き
飛ばしを行う装置が知られていた。
去する除塵機は、図３及び図４において示すように、送
風機２から送られた圧縮流体は、高性能フィルタ３を経
由し、先細り吹出しノズル４を通して吹き出させてい
た。対象物を入れた洗浄カゴ１３はローラ６の上を通過
し、表面に付着している塵埃をこの圧縮流体により吹き
飛ばしを行う装置が知られていた。
【０００３】また、コロナ放電でイオン化した空気を発
生させ、そのイオン化した空気を吹き付けて帯電物体の
静電気を除去し、次いで除電した物体にエアノズルによ
り圧縮空気を吹き付けて、物体の表面に付着している塵
埃を除去し、除去した塵埃をダクトで吸引排除する装置
が知られている。さらに、ＩＣの製造工場においては、
異物を低減化するため、各組立工程毎にエアブロー装置
を用いて高圧エアにより塵埃を吹き飛ばすとともに吹き
飛ばした塵埃を排気ダクトにより排出して、再付着する
のを防止する方法が知られている。
生させ、そのイオン化した空気を吹き付けて帯電物体の
静電気を除去し、次いで除電した物体にエアノズルによ
り圧縮空気を吹き付けて、物体の表面に付着している塵
埃を除去し、除去した塵埃をダクトで吸引排除する装置
が知られている。さらに、ＩＣの製造工場においては、
異物を低減化するため、各組立工程毎にエアブロー装置
を用いて高圧エアにより塵埃を吹き飛ばすとともに吹き
飛ばした塵埃を排気ダクトにより排出して、再付着する
のを防止する方法が知られている。
【０００４】例えば、特開昭６３−２６７４１４号公
報、および特開昭６３−１３０１６９号公報などにこの
ような技術が開示されている。
報、および特開昭６３−１３０１６９号公報などにこの
ような技術が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の表面付
着塵埃除塵機では、対象物の支持部側である下部側及び
対象物の表面に帯電している静電気を除去することが出
来ず、浮遊している塵埃を対象物に再付着させてしまう
という課題があった。そこで、この発明の目的は、従来
のこのような課題を解決するため対象物の支持手段と同
一側に配置したノズルより清浄圧縮流体および除電イオ
ン発生器からのイオンを放出して、対象物の全表面に付
着している塵埃を除去するとともに、対象物に帯電して
いた静電気を除去し、浮遊塵埃の再付着防止を行うもの
である。
着塵埃除塵機では、対象物の支持部側である下部側及び
対象物の表面に帯電している静電気を除去することが出
来ず、浮遊している塵埃を対象物に再付着させてしまう
という課題があった。そこで、この発明の目的は、従来
のこのような課題を解決するため対象物の支持手段と同
一側に配置したノズルより清浄圧縮流体および除電イオ
ン発生器からのイオンを放出して、対象物の全表面に付
着している塵埃を除去するとともに、対象物に帯電して
いた静電気を除去し、浮遊塵埃の再付着防止を行うもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は、対象物へ対象物支持手段と同一側へ配
置した複数の清浄圧縮流体ノズルより、清浄圧縮流体を
吹きつける手段と、対象物に帯電してしまう静電気を除
去するため、除電イオン発生器よりイオンを放出させ、
清浄圧縮流体と同一複数ノズルから吹きつける手段と、
対象物全体を均一に除塵、静電気除去を行うため、対象
物支持手段より上部及び両側面より、複数の除電イオン
を放出する手段と、対象物全面を除塵、除電するため対
象物支持移動手段と、対象物の有無を認識する一つ以上
の対象物検出手段を有する構成とした。
に、この発明は、対象物へ対象物支持手段と同一側へ配
置した複数の清浄圧縮流体ノズルより、清浄圧縮流体を
吹きつける手段と、対象物に帯電してしまう静電気を除
去するため、除電イオン発生器よりイオンを放出させ、
清浄圧縮流体と同一複数ノズルから吹きつける手段と、
対象物全体を均一に除塵、静電気除去を行うため、対象
物支持手段より上部及び両側面より、複数の除電イオン
を放出する手段と、対象物全面を除塵、除電するため対
象物支持移動手段と、対象物の有無を認識する一つ以上
の対象物検出手段を有する構成とした。
【０００７】
【作用】上記のように構成された対象物の表面付着塵埃
除塵機においては、洗浄トレイ、洗浄カゴ、重しあみ蓋
にセットされた対象物を対象物支持手段のベルトコンベ
アへ乗せる。対象物支持手段は、対象物が除塵ボックス
を通過するまで移動するものである。
除塵機においては、洗浄トレイ、洗浄カゴ、重しあみ蓋
にセットされた対象物を対象物支持手段のベルトコンベ
アへ乗せる。対象物支持手段は、対象物が除塵ボックス
を通過するまで移動するものである。
【０００８】対象物を除塵するため、対象物支持手段を
移動させる運転スイッチを入れる。この時、対象物支持
手段の移動開始と、同時に除塵ボックス内送風機が運転
し、ボックス内を高性能フィルタを経由した除塵流体が
除塵ボックス内の上面および両面側にある先細りノズル
から吹き出され、ボックス内を清浄化する。対象物が支
持手段上で移動し、除塵ボックス内進行方向手前の光電
管運転センサに洗浄トレイ、洗浄カゴがよぎると、対象
物支持手段と同一側下方向より圧縮流体が清浄圧縮流体
発生器を通過し、清浄圧縮流体ノズル複数より、圧力１
〜１０ｋｇ／ｃｍ2 の清浄圧縮流体を放出すると同時
に、対象物へ帯電している静電気を除電するための除電
イオンが同一のノズルより放出され、対象物から飛ばさ
れ離れた付着塵埃は、対象物支持手段下部方向へ吸引
し、送風機へもどり、再び、高性能フィルタにて浄化さ
れ、除塵ボックス内へ先細りノズルより放出される。
移動させる運転スイッチを入れる。この時、対象物支持
手段の移動開始と、同時に除塵ボックス内送風機が運転
し、ボックス内を高性能フィルタを経由した除塵流体が
除塵ボックス内の上面および両面側にある先細りノズル
から吹き出され、ボックス内を清浄化する。対象物が支
持手段上で移動し、除塵ボックス内進行方向手前の光電
管運転センサに洗浄トレイ、洗浄カゴがよぎると、対象
物支持手段と同一側下方向より圧縮流体が清浄圧縮流体
発生器を通過し、清浄圧縮流体ノズル複数より、圧力１
〜１０ｋｇ／ｃｍ2 の清浄圧縮流体を放出すると同時
に、対象物へ帯電している静電気を除電するための除電
イオンが同一のノズルより放出され、対象物から飛ばさ
れ離れた付着塵埃は、対象物支持手段下部方向へ吸引
し、送風機へもどり、再び、高性能フィルタにて浄化さ
れ、除塵ボックス内へ先細りノズルより放出される。
【０００９】対象物は、支持手段同一側下部配置された
清浄圧縮流体の圧力により、吹き上がり、振動を行うこ
とにより付着塵埃は対象物より外れる。ここで振動、摩
擦した対象物が再び静電気を帯びないよう除電イオンを
吹きつけ除電し、非帯電対象物として移動し、進行方向
後部にある光電管を用いた停止センサを通過した時、速
やかに清浄圧縮流体、除電イオン発生器を停止させる。
清浄圧縮流体の圧力により、吹き上がり、振動を行うこ
とにより付着塵埃は対象物より外れる。ここで振動、摩
擦した対象物が再び静電気を帯びないよう除電イオンを
吹きつけ除電し、非帯電対象物として移動し、進行方向
後部にある光電管を用いた停止センサを通過した時、速
やかに清浄圧縮流体、除電イオン発生器を停止させる。
【００１０】
【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基づいて
説明する。図１において、対象物である時計外装ケース
７は、洗浄トレイ１２に時計外装ケース７のガラスが上
面となるように組み込む。清浄トレイ１２は底部が網目
状になり、複数の対象物が入るようにます目状になって
いる。対象物７組込み後、重しあみ蓋１４を洗浄トレイ
１２の上に乗せる。重しあみ蓋１４は空気の流通を良く
するために網目状になっている。重しあみ蓋１４は、対
象物が洗浄トレイ１２より脱落しないためのものであ
る。
説明する。図１において、対象物である時計外装ケース
７は、洗浄トレイ１２に時計外装ケース７のガラスが上
面となるように組み込む。清浄トレイ１２は底部が網目
状になり、複数の対象物が入るようにます目状になって
いる。対象物７組込み後、重しあみ蓋１４を洗浄トレイ
１２の上に乗せる。重しあみ蓋１４は空気の流通を良く
するために網目状になっている。重しあみ蓋１４は、対
象物が洗浄トレイ１２より脱落しないためのものであ
る。
【００１１】ベルト５は、複数のローラ６により移動す
る。洗浄トレイ１２はベルト５の上に乗せる。洗浄トレ
イ１２は、駆動機構（図示しない）によりベルト５が動
作すると同時に移動する。移動する洗浄トレイ１２が光
電管を用いた運転センサ１０の位置を横切ると、清浄圧
縮流体ノズル９から清浄圧縮流体３２が放出される。
る。洗浄トレイ１２はベルト５の上に乗せる。洗浄トレ
イ１２は、駆動機構（図示しない）によりベルト５が動
作すると同時に移動する。移動する洗浄トレイ１２が光
電管を用いた運転センサ１０の位置を横切ると、清浄圧
縮流体ノズル９から清浄圧縮流体３２が放出される。
【００１２】清浄圧縮流体３２は圧縮流体３１を清浄圧
縮流体発生機２２より作られる。清浄圧縮流体発生機２
２は、例えば０．０１μｍ（ミクロン）以上の粒径塵埃
を除去するフィルタを内蔵したものであり、圧縮流体圧
力１０ｋｇ／ｃｍ2 程度まで耐えるものである。清浄圧
縮流体発生機２２を通過した清浄圧縮流体３２は、清浄
圧縮流体減圧弁２３により、圧力調整をする。圧力は１
〜１０ｋｇ／ｃｍ2 程度の範囲で可変することが出来
る。例えば、２ｋｇ／ｃｍ2 程度にてセットする。
縮流体発生機２２より作られる。清浄圧縮流体発生機２
２は、例えば０．０１μｍ（ミクロン）以上の粒径塵埃
を除去するフィルタを内蔵したものであり、圧縮流体圧
力１０ｋｇ／ｃｍ2 程度まで耐えるものである。清浄圧
縮流体発生機２２を通過した清浄圧縮流体３２は、清浄
圧縮流体減圧弁２３により、圧力調整をする。圧力は１
〜１０ｋｇ／ｃｍ2 程度の範囲で可変することが出来
る。例えば、２ｋｇ／ｃｍ2 程度にてセットする。
【００１３】対象物７が静電気帯電物体の場合は、除電
イオン発生器８により除電イオン放出針１５にて除電イ
オンを放出させる。この時は、清浄圧縮流体ノズル９よ
り、混合した除電イオン入り清浄圧縮流体３３が放出さ
れる。この除電イオン入り清浄圧縮流体３３により、対
象物７は洗浄トレイ１２内を上下に移動する構造にする
こともある。対象物７が反転したり、重ったりしないよ
うに、トレイ内ます目の寸度は対象物７よりやや大きめ
にし、仕切りの高さは対象物７の外形よりも小さくして
おく。この時、対象物７に付着していた塵埃は、清浄圧
縮流体３２により吹き飛ばさせる。対象物７に静電気が
帯電している場合は、除電イオン入り清浄圧縮流体３３
にて、付着塵埃吹き飛し及び静電気を除去する。
イオン発生器８により除電イオン放出針１５にて除電イ
オンを放出させる。この時は、清浄圧縮流体ノズル９よ
り、混合した除電イオン入り清浄圧縮流体３３が放出さ
れる。この除電イオン入り清浄圧縮流体３３により、対
象物７は洗浄トレイ１２内を上下に移動する構造にする
こともある。対象物７が反転したり、重ったりしないよ
うに、トレイ内ます目の寸度は対象物７よりやや大きめ
にし、仕切りの高さは対象物７の外形よりも小さくして
おく。この時、対象物７に付着していた塵埃は、清浄圧
縮流体３２により吹き飛ばさせる。対象物７に静電気が
帯電している場合は、除電イオン入り清浄圧縮流体３３
にて、付着塵埃吹き飛し及び静電気を除去する。
【００１４】除塵作業終了後、移動する洗浄トレイ１２
が光電管からなる停止センサ１１をよぎった時、清浄圧
縮流体３２又は除電イオン入り清浄圧縮流体３３の放出
が停止する。図２において、送風機２より放出された圧
縮流体は高性能フィルタ３により除塵された後、除塵ボ
ックス１内を清浄化するために先細り吹き出しノズル
（ボックス内洗浄用吹き出しノズル）４より除塵流体２
４となって、除塵ボックス１内へ放出される。
が光電管からなる停止センサ１１をよぎった時、清浄圧
縮流体３２又は除電イオン入り清浄圧縮流体３３の放出
が停止する。図２において、送風機２より放出された圧
縮流体は高性能フィルタ３により除塵された後、除塵ボ
ックス１内を清浄化するために先細り吹き出しノズル
（ボックス内洗浄用吹き出しノズル）４より除塵流体２
４となって、除塵ボックス１内へ放出される。
【００１５】更に、対象物７に付着した塵埃を引き離し
て除塵ボックス１内へ吹き飛ばすために、対象物上面と
下面から上部清浄圧縮流体ノズル（付着塵埃除去用ノズ
ル）２１と下部清浄圧縮流体ノズル（付着塵埃除去用ノ
ズル）９とにより、清浄圧縮流体３２又は図１に示す除
電イオン入り清浄圧縮流体３３を対象物７に吹き付け
る。これにより、対象物７が洗浄カゴ１３の上面へ向け
て吹き上がり振動を行う。また、下部清浄圧縮流体ノズ
ル９の吹き付けのみでも、対象物７の吹き上がり振動が
可能である。送風機２は、除塵ボックス１から、対象物
７から引き離された塵埃を含んだ流体を吸引して、高性
能フィルタ３に送出するものであり、流体吸引手段と流
体送出手段としての動作を有している。上述の塵埃を含
んだ流体は、高性能フィルタ３により塵埃が除去され
て、再び先細り吹き出しノズル４から除塵流体２４とな
って除塵ボックス１内に放出されるので、除塵ボックス
１内が常に清浄化される。なお、対象物７が洗浄トレイ
１２にいれる必要のない場合は、洗浄カゴ１３にて除塵
する。洗浄カゴ１３には仕切りは不要である。
て除塵ボックス１内へ吹き飛ばすために、対象物上面と
下面から上部清浄圧縮流体ノズル（付着塵埃除去用ノズ
ル）２１と下部清浄圧縮流体ノズル（付着塵埃除去用ノ
ズル）９とにより、清浄圧縮流体３２又は図１に示す除
電イオン入り清浄圧縮流体３３を対象物７に吹き付け
る。これにより、対象物７が洗浄カゴ１３の上面へ向け
て吹き上がり振動を行う。また、下部清浄圧縮流体ノズ
ル９の吹き付けのみでも、対象物７の吹き上がり振動が
可能である。送風機２は、除塵ボックス１から、対象物
７から引き離された塵埃を含んだ流体を吸引して、高性
能フィルタ３に送出するものであり、流体吸引手段と流
体送出手段としての動作を有している。上述の塵埃を含
んだ流体は、高性能フィルタ３により塵埃が除去され
て、再び先細り吹き出しノズル４から除塵流体２４とな
って除塵ボックス１内に放出されるので、除塵ボックス
１内が常に清浄化される。なお、対象物７が洗浄トレイ
１２にいれる必要のない場合は、洗浄カゴ１３にて除塵
する。洗浄カゴ１３には仕切りは不要である。
【００１６】除塵ボックス１内全体を除電するため、先
細り吹出しノズル４内へ、除電イオン放出針１５を設け
る。本発明における圧縮流体は、空気、窒素ガス、アル
ゴンなどからなるおもに安定性の良い不活性ガスで液体
以外のものを用いる。又、対象物としては、時計部品だ
けでなく、半導体材料、ガラス板、食品包装表面、プラ
スチック、セラミックからなるものが用いられる。さら
に、高度な品質を要求される場合には、除塵ボックス１
あるいは、本体全体を陽圧、密閉構造とする。
細り吹出しノズル４内へ、除電イオン放出針１５を設け
る。本発明における圧縮流体は、空気、窒素ガス、アル
ゴンなどからなるおもに安定性の良い不活性ガスで液体
以外のものを用いる。又、対象物としては、時計部品だ
けでなく、半導体材料、ガラス板、食品包装表面、プラ
スチック、セラミックからなるものが用いられる。さら
に、高度な品質を要求される場合には、除塵ボックス１
あるいは、本体全体を陽圧、密閉構造とする。
【００１７】対象物が半導体関連部品等においては、対
象物の組み込みは、ベルト面に対して平行だけでなく直
角又は、一定の角度に配列することもできる。
象物の組み込みは、ベルト面に対して平行だけでなく直
角又は、一定の角度に配列することもできる。
【００１８】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように表面付
着塵埃除塵機において、清浄圧縮流体を直接対象物へ吹
きつける手段と、対象物に帯電している静電気を除電イ
オン入り清浄圧縮流体による除電手段と、対象物の下部
方向から吹き付ける手段と、光電管を用いた運転セン
サ、停止センサ手段とを用いることにより、対象物の上
面や側面だけでなく支持手段側に付着している塵埃も除
去できる。また、除電イオン入り清浄圧縮流体を用いれ
ば、対象物に静電気が帯電している場合では、静電気を
除去することができるので、塵埃の除去の品質は向上
し、再付着することも殆どないという効果を有する。
着塵埃除塵機において、清浄圧縮流体を直接対象物へ吹
きつける手段と、対象物に帯電している静電気を除電イ
オン入り清浄圧縮流体による除電手段と、対象物の下部
方向から吹き付ける手段と、光電管を用いた運転セン
サ、停止センサ手段とを用いることにより、対象物の上
面や側面だけでなく支持手段側に付着している塵埃も除
去できる。また、除電イオン入り清浄圧縮流体を用いれ
ば、対象物に静電気が帯電している場合では、静電気を
除去することができるので、塵埃の除去の品質は向上
し、再付着することも殆どないという効果を有する。
【図１】本発明の塵埃除去装置の動作説明図である。
【図２】本発明の塵埃除去装置の側面図である。
【図３】従来の塵埃除去装置の側面図である。
【図４】従来の塵埃除去装置の圧縮流体の流れを示す説
明図である。
明図である。
１ 除塵ボックス ２ 送風機 ３ 高性能フィルタ ４ 先細り吹出しノズル ５ ベルト ６ ローラ ７ 対象物 ８ 除電イオン発生器 ９ 清浄圧縮流体ノズル １０ 運転センサ １１ 停止センサ １２ 洗浄トレイ １３ 洗浄カゴ １４ 重しあみ蓋 １５ 除電イオン放出針 ２１ 上部清浄圧縮流体ノズル ２２ 清浄圧縮流体発生機 ２３ 清浄圧縮流体減圧弁 ２４ 除塵流体 ３１ 圧縮流体 ３２ 清浄圧縮流体 ３３ 除電イオン入り清浄圧縮流体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−182089（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−6100（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 49/00 B08B 5/00 - 5/04
Claims (7)
- 【請求項１】 対象物の表面に付着した塵埃を除去する
除塵機において、 前記対象物を支持する対象物支持手段と、前記対象物に対して、清浄圧縮流体を吹き付けて付着し
た塵埃を前記対象物から引き離して前記対象物が置かれ
ているボックス内に吹き飛ばす付着塵埃除去用ノズル
と、 前記付着塵埃除去用ノズルに前記清浄圧縮流体を供給す
る清浄圧縮流体生成手段と、 前記対象物から飛ばされた前記塵埃を含んだ流体を前記
ボックス内から吸引する流体吸引手段と前記流体吸引手
段からの前記塵埃を含んだ流体から前記塵埃を除去する
フィルタと、 前記対象物が置かれる前記ボックス内に、前記フィルタ
により前記塵埃が除去された流体を吹き出して常に前記
ボックス内を清浄化するボックス内清浄用吹き出しノズ
ルとを有する ことを特徴とする除塵機。 - 【請求項２】 対象物の表面に付着した塵埃を除去する
除塵機において、 前記対象物を支持する対象物支持手段と、 前記対象物に対して、清浄圧縮流体を吹き付けて付着し
た塵埃を前記対象物から引き離して吹き飛ばす付着塵埃
除去用ノズルと、 前記付着塵埃除去用ノズルに清浄圧縮流体を供給する清
浄圧縮流体生成手段とを有し、 前記付着塵埃除去用ノズルが前記対象物支持手段の下部
に配置されていて前記着塵埃除去用ノズルから吹き出さ
れる 清浄圧縮流体により、前記対象物に吹き上がり振動
をさせることを特徴とする除塵機。 - 【請求項３】 前記対象物の帯電静電気を除去するため
に前記清浄圧縮流体中へ除電イオン発生器からの除電イ
オンを混合し吹き付ける静電除去手段を有する請求項２
記載の除塵機。 - 【請求項４】 前記対象物に対して、更に複数の方向か
ら清浄圧縮流体を吹き付けるための他の付着塵埃除去用
ノズルを有する請求項２記載の除塵機。 - 【請求項５】 前記対象物支持手段を移動させるための
対象物移動手段と、前記対象物の有無を認識する一つ以
上の対象物検出手段を有する請求項２乃至請求項４のい
ずれか1項に記載の除塵機。 - 【請求項６】 対象物が置かれるボックス内を、ボック
ス内清浄用吹き出しノズルからフィルタにより塵埃が除
去された流体を吹き出して常に清浄化する工程と、 前記対象物に対して、付着塵埃除去用ノズルから清浄圧
縮流体を吹き付けて付着した塵埃を前記対象物から引き
離して前記ボックス内に吹き飛ばす工程と、 前記対象物から飛ばされた前記塵埃を含んだ流体を流体
吸引手段により吸引する工程と、前記流体吸引手段からの 前記塵埃を含んだ流体を再び前
記フィルタにより清浄化して前記ボックス内清浄用ノズ
ルから前記ボックス内に吹き出す工程とから成る除塵方
法。 - 【請求項７】 前記付着塵埃除去用ノズルが前記対象物
の下に配置されていて前記付着塵埃除去用ノズルから吹
き出される清浄圧縮流体により、前記対象物に吹き上が
り振動をさせる工程を有する請求項６記載の除塵方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3033235A JP3041541B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 除塵機および除塵方法 |
| US07/840,342 US5351354A (en) | 1991-02-27 | 1992-02-24 | Dust cleaner and dust cleaning method |
| GB9204116A GB2253271B (en) | 1991-02-27 | 1992-02-26 | Dust cleaner and dust cleaning method |
| HK98106208A HK1006951A1 (en) | 1991-02-27 | 1998-06-23 | Dust cleaner and dust cleaning method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3033235A JP3041541B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 除塵機および除塵方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04271808A JPH04271808A (ja) | 1992-09-28 |
| JP3041541B2 true JP3041541B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=12380800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3033235A Expired - Fee Related JP3041541B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 除塵機および除塵方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5351354A (ja) |
| JP (1) | JP3041541B2 (ja) |
| GB (1) | GB2253271B (ja) |
| HK (1) | HK1006951A1 (ja) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5487200A (en) * | 1994-01-24 | 1996-01-30 | Herzog; Kenneth J. | Bottle cleaner |
| DE4425765C2 (de) * | 1994-07-21 | 1999-01-07 | Duerr Systems Gmbh | Anlage zum Reinigen von Werkstücken mittels eines Druckluftstrahles |
| US5810550A (en) * | 1995-04-13 | 1998-09-22 | Pinnacle Brands, Inc. | Method and apparatus for product separation and stacking |
| US5630866A (en) * | 1995-07-28 | 1997-05-20 | Gregg; Lloyd M. | Static electricity exhaust treatment device |
| JP3501343B2 (ja) * | 1998-05-13 | 2004-03-02 | 株式会社リコー | 塵埃除去装置 |
| US6497000B1 (en) | 1999-09-30 | 2002-12-24 | Novartis Ag | Apparatus for cleaning ophthalmic components |
| JP4159298B2 (ja) * | 2001-09-04 | 2008-10-01 | シャープ株式会社 | 電気掃除機及び機器 |
| US7143465B2 (en) * | 2002-07-17 | 2006-12-05 | Futor Cleaning System Ag | Apparatus for cleaning toner cartridges |
| TW594159B (en) * | 2003-01-09 | 2004-06-21 | Quanta Display Inc | Automatic gas bath cleaning device for component assembly of liquid crystal display and method thereof |
| US20050111478A1 (en) * | 2003-11-20 | 2005-05-26 | International Business Machines Corporation | Distributed control load shaping method and apparatus |
| JP2006007012A (ja) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Koganei Corp | 除電除塵装置 |
| JP4598694B2 (ja) * | 2005-06-22 | 2010-12-15 | 株式会社リコー | 洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP4580916B2 (ja) * | 2005-11-02 | 2010-11-17 | 株式会社リコー | 洗浄装置と洗浄方法 |
| US9168569B2 (en) | 2007-10-22 | 2015-10-27 | Stokely-Van Camp, Inc. | Container rinsing system and method |
| US8147616B2 (en) * | 2007-10-22 | 2012-04-03 | Stokely-Van Camp, Inc. | Container rinsing system and method |
| JP4637155B2 (ja) * | 2007-10-30 | 2011-02-23 | 小島プレス工業株式会社 | 除電除塵装置及び除電除塵方法 |
| US8141190B2 (en) * | 2008-07-28 | 2012-03-27 | Gentex Optics, Inc. | Walk-up workstation employing ionizing air nozzles and insulating panels |
| US8370989B2 (en) * | 2010-07-31 | 2013-02-12 | Cheng Uei Precision Industry Co., Ltd. | Static eliminator with dust removal feature |
| DE202011101114U1 (de) * | 2010-11-13 | 2012-08-28 | Waldner Laboreinrichtungen Gmbh & Co. Kg | Abzugvorrichtung |
| JP2014076438A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-01 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品のクリーニング方法 |
| CN103551339B (zh) * | 2013-10-29 | 2015-04-22 | 张家港市宏博机械有限公司 | 汽车角度调节器表面处理用烘箱的进料清灰装置 |
| JP6214441B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2017-10-18 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 偏向器用クリーニング装置及び偏向器のクリーニング方法 |
| CN105797999B (zh) * | 2016-04-22 | 2018-01-12 | 国网浙江省电力公司金华供电公司 | 多功能智能静电平衡带电清洗机 |
| DE102016111050A1 (de) * | 2016-06-16 | 2017-12-21 | Ossberger Gmbh + Co Kg | Durchlaufreinigungsanlage und Reinigungsverfahren dafür |
| CN111348306A (zh) * | 2018-12-21 | 2020-06-30 | 天津市泊鹤农业科技发展有限公司 | 一种用于温室大棚的卷膜收纳装置 |
| DE102019116307A1 (de) * | 2019-05-08 | 2020-11-12 | Ecoclean Gmbh | Reinigungsvorrichtung und Verfahren zum Reinigen von Bauteilen |
| CN110575996A (zh) * | 2019-08-08 | 2019-12-17 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种基板清洁装置 |
| CN114173461A (zh) * | 2021-03-11 | 2022-03-11 | 深圳职业技术学院 | 一种薄膜材料制备用静电去除设备及其控制方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB784685A (en) * | 1954-11-29 | 1957-10-16 | Turner Machinery Ltd | Improvements relating to the removal of dust from buffed hides, skins and the like |
| GB1419337A (en) * | 1973-08-29 | 1975-12-31 | Gvi Proekt Predreijaty Koksokh | Device for dedusting loose materials |
| CH590788A5 (ja) * | 1973-12-18 | 1977-08-31 | Huber Anton Gmbh & Co Kg | |
| US4854441A (en) * | 1985-10-29 | 1989-08-08 | William J. McBrady | Bottle duster |
| US4727614A (en) * | 1987-01-20 | 1988-03-01 | Shape Inc. | Ground corona comb |
| US4883542A (en) * | 1987-12-22 | 1989-11-28 | John Voneiff | Method and apparatus for cleaning containers |
| US4854004A (en) * | 1987-12-28 | 1989-08-08 | Orc Manufacturing Co., Ltd. | Device for clearing the hole blockage of a liquid resist substrate |
| GB2227086B (en) * | 1989-01-17 | 1992-05-20 | Delco Electronic Overseas Corp | Destaticising and cleaning apparatus |
| US5012547A (en) * | 1989-11-27 | 1991-05-07 | Adolph Coors Company | Apparatus for removing fluid particles from containers |
-
1991
- 1991-02-27 JP JP3033235A patent/JP3041541B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-02-24 US US07/840,342 patent/US5351354A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-02-26 GB GB9204116A patent/GB2253271B/en not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-06-23 HK HK98106208A patent/HK1006951A1/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04271808A (ja) | 1992-09-28 |
| HK1006951A1 (en) | 1999-03-26 |
| GB2253271A (en) | 1992-09-02 |
| GB2253271B (en) | 1994-12-21 |
| GB9204116D0 (en) | 1992-04-08 |
| US5351354A (en) | 1994-10-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3041541B2 (ja) | 除塵機および除塵方法 | |
| JP3501343B2 (ja) | 塵埃除去装置 | |
| US7552503B2 (en) | Apparatus and method for cleaning a surface with high pressure air | |
| CN100446190C (zh) | 基板附着物除去方法及基板干燥方法、以及使用该方法的基板附着物除去装置及基板干燥装置 | |
| US5265298A (en) | Container cleaning system using ionized air flow | |
| US20050268408A1 (en) | Cleaning system | |
| US4313767A (en) | Method and apparatus for cleaning containers with an ionized gas blast | |
| JPH07106290A (ja) | 電子部品用異物除去装置 | |
| JP4950329B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| GB1072995A (en) | Process and apparatus for cleaning shaped articles | |
| JP2010279949A5 (ja) | ||
| TW402528B (en) | Dust-removal apparatus and its method | |
| JPH08173922A (ja) | 粉体が付着した物品の洗浄方法およびその装置 | |
| JP2007330947A (ja) | 乾式洗浄装置、および乾式洗浄方法 | |
| JP6097159B2 (ja) | パーツフィーダー用除電器 | |
| JPH0763649B2 (ja) | 静電気除去装置付き空気清浄機 | |
| JPH10209097A (ja) | 基板洗浄方法及び装置 | |
| CN114392999A (zh) | 玻璃基板清洗方法及清洗设备 | |
| JP4256510B2 (ja) | サンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニット | |
| JPH08332424A (ja) | 粉末塗料の清浄方法及び清浄装置 | |
| KR100566031B1 (ko) | 제진 장치 | |
| JPH0440770Y2 (ja) | ||
| KR20080109124A (ko) | 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트 | |
| JP2010114245A (ja) | レジスト塗布装置 | |
| JPH0719659Y2 (ja) | フラクサー |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |