JP2014034069A - 加工装置の排気ダクト - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 87
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims abstract description 72
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 41
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 20
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 12
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 8
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- Dicing (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物に加工液を供給しながら加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを囲繞する加工室と、加工屑及び廃液を含んだ該加工室内の雰囲気を排気する排気路と、を有する加工装置に接続される排気ダクトアセンブリであって、上端が雰囲気を吸引する排気吸引源に連通し、下端に液体排出手段を有する第1ダクトと、一端が加工装置の該排気路に連通し、他端が該液体排出手段より上方で該第1ダクトに連結される第2ダクトと、を備え、該第1ダクトの断面積が該第2ダクトの断面積の1.5倍以上であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
24 切削ユニット
28 切削ブレード
30 筐体
31 加工室
44 排気路
45 ファン
46 排気管(第2ダクト)
48 分離手段
50 下チャンバー
52 上チャンバー
54 分離チャンバー
60 隔壁
68,68A 排気ダクトアセンブリ
70 第1ダクト
74 漏斗部
80 液体排出手段
82 廃液受け容器
84 第2の液体排出手段
90 第3ダクト
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物に加工液を供給しながら加工する加工手段と、該チャックテーブルと該加工手段とを囲繞する加工室と、加工屑及び廃液を含んだ該加工室内の雰囲気を排気する排気路と、を有する加工装置に接続される排気ダクトアセンブリであって、
上端が雰囲気を吸引する排気吸引源に連通し、下端に液体排出手段を有する第1ダクトと、
一端が加工装置の該排気路に連通し、他端が該液体排出手段より上方で該第1ダクトに連結される第2ダクトと、を備え、
該第1ダクトの断面積が該第2ダクトの断面積の1.5倍以上であることを特徴とする加工装置の排気ダクトアセンブリ。 - 前記第2ダクトとの連結部より上方の第1ダクト内に配設された逆円錐形状の漏斗部を更に備え、
該漏斗部により前記雰囲気中の廃液が該第1ダクトの内壁を伝わって上昇し前記排気吸引源に侵入することを抑制する請求項1記載の加工装置の排気ダクトアセンブリ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012175317A JP5984565B2 (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 加工装置の排気ダクトアセンブリ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012175317A JP5984565B2 (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 加工装置の排気ダクトアセンブリ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014034069A true JP2014034069A (ja) | 2014-02-24 |
JP5984565B2 JP5984565B2 (ja) | 2016-09-06 |
Family
ID=50283384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012175317A Active JP5984565B2 (ja) | 2012-08-07 | 2012-08-07 | 加工装置の排気ダクトアセンブリ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5984565B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021094616A (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-24 | 株式会社ディスコ | 吸引力の測定方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2019028951A1 (zh) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | 南通耀龙金属制造有限公司 | 一种管道抛光设备用通风除尘装置 |
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-
2012
- 2012-08-07 JP JP2012175317A patent/JP5984565B2/ja active Active
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JP7333749B2 (ja) | 2019-12-13 | 2023-08-25 | 株式会社ディスコ | 吸引力の測定方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5984565B2 (ja) | 2016-09-06 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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