JP7037210B2 - クリーナ - Google Patents
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Description
図1、図2、図3に於て、1は除塵ヘッドであって、凹状の三次元形状の被清浄面11を有するワークWの該被清浄面11に対して、エアーを噴出して、除塵作用をなす。
この除塵ヘッド1は、ワークWの凹状の三次元形状の被清浄面11に対して、小寸法Gだけ離間した三次元オフセット形状の凸状のワーク対応面1aを、備える。
前記鍔部15を下方から引掛状として、取付リング9は、除塵ヘッド1に外嵌し、かつ、ボルト(ネジ)16によって、エアー噴出吸入筒状体20の下端の底壁板21に、固着される。
2は、図外のコンプレッサ等から圧送される高圧エアーを供給するエアー供給パイプであり、種々の継手25,26,27を介して、吐出エアー集合小箱体24の周囲壁部に、連通連結される。
他方、取付リング9のエアー吸込孔8から吸込まれたエアーは、矢印F10,F11,F12に示すように、吸入孔23を経て、エアー吸引筒部4内を上昇方向に吸引される。なお、5は吸引圧測定器である。このように、エアー吸込孔8を介して、外周から吸引するので、周辺(装置)を汚染しない。
言い換えれば、仮想区画した上記中央領域Cに貫設の第1エアー噴出孔H1 の直径をD1 とし、また、中間包囲領域Pに貫設の第2エアー噴出孔H2 の直径をD2 とし、外側包囲領域Sに貫設の第3エアー噴出孔H3 の直径をD3 としたとき、D1 >D2 >D3 なる不等式が成立する。
この図4の場合も、除塵ヘッド1は、金属3Dプリンタにて製作するのが、望ましい。
そして、図4に於ても、中央領域Cと中間包囲領域Pと外側包囲領域Sに、仮想区画した場合、エアー噴出孔の直径を、順次、小さく設定する。つまり、前述したD1 >D2 >D3 なる不等式が成立するように、エアー噴出孔の直径を設定し、小寸法Gのギャップを流れるエアーが、中央領域Cからラジアル外方向にスムーズに流出して、引続いて、除塵ヘッド1の外周面に沿って配設のエアー吸込孔8へ吸引できる。このように、確実にスムーズな除塵が実現できる。そして、外周のエアー吸込孔8からの吸引によって、周辺を汚染することがない。
この図5の場合も、除塵ヘッド1は、金属3Dプリンタにて製作するのが望ましい。
図5に於て、中央領域Cと中間包囲領域Pと外側包囲領域Sとに、仮想的に区画した場合、エアー噴出孔の直径を、順次、小さく設定する。つまり、図1~3に於て述べた如く、D1 >D2 >D3 なる不等式が成立するように、エアー噴出孔の直径を設定し、小寸法Gのギャップを流れるエアーが、中央領域Cからラジアル外方向にスムーズに流出して、複雑な三次元の被清浄面11に対しても、確実に均等かつ十分な除塵を実現できる。また、図5の場合も、図4と同様に、外周のエアー吸込孔8を設けて、周辺の汚染を防止している。
ところで、図1に示すように、吐出エアー集合小箱体24の大き目の空間から小さ目の吐出孔22を介して矢印F4 のように除塵ヘッド1の大き目の空間へ流入させることにより、超音波を発生させて、除塵効率を、さらに、高めることができる(図4,図5も同様である)。
G<1mmでは、ワーク対応面1aがワークWに接触する虞れが生ずる。また、G>3mmでは、除塵作用が低下する。
エアー噴出圧力は、0.1MPa~0.3MPaの範囲内で選定(設定)するのが好ましい。
1a ワーク対応面
11 被清浄面
G 小寸法
W ワーク
C 中央領域
P 中間包囲領域
S 外側包囲領域
H1 ,H2 ,H3 エアー噴出孔
D1 ,D2 ,D3 (孔の)直径
Claims (1)
- 凹状、凸状、又は凹凸状の三次元形状である被清浄面(11)を有するワーク(W)の該被清浄面(11)の各部分に対して直交方向からエアーを噴出する多数のエアー噴出孔を有する除塵ヘッド(1)を備え、該除塵ヘッド(1)は、上記被清浄面(11)の上記三次元形状に対して、小寸法(G)だけ離間させた三次元オフセット形状の凸状、凹状、又は凸凹状のワーク対応面(1a)を、備え、上記除塵ヘッド(1)の上記ワーク対応面(1a)を、中央領域(C)、中間包囲領域(P)、外側包囲領域(S)の3領域に、仮想区画すれば、上記中央領域(C)に貫設の第1エアー噴出孔(H 1 )の直径をD 1 とし、上記中間包囲領域(P)に貫設の第2エアー噴出孔(H 2 )の直径をD 2 とし、上記外側包囲領域(S)に貫設の第3エアー噴出孔(H 3 )の直径をD 3 としたとき、D 1 >D 2 >D 3 なる不等式が成立するように設定したことを特徴とするクリーナ。
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---|---|---|---|---|
JP7096627B1 (ja) * | 2022-02-28 | 2022-07-06 | 有限会社タクショー | クリーナヘッド及び除塵装置 |
US20240050993A1 (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Onsite cleaning system and method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019195809A (ja) | 2017-10-24 | 2019-11-14 | 日本精工株式会社 | ブロー装置、並びに部品、軸受、直動装置、操舵装置、車両及び機械装置の製造方法 |
WO2020031289A1 (ja) | 2018-08-08 | 2020-02-13 | 株式会社安川電機 | ロボット |
JP2020075303A (ja) | 2018-11-05 | 2020-05-21 | 櫻護謨株式会社 | ノズルおよびブラスト装置 |
CN111330911A (zh) | 2018-12-18 | 2020-06-26 | 西安新桂系信息技术有限公司 | 一种可有效清洁侧壁的风刀 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
IT1002382B (it) * | 1973-12-27 | 1976-05-20 | Gaiardelli Giuseppe | Pulitore pneumatico in partcicolare per fusi e consimili di macchine tessili |
JPH0580573A (ja) | 1991-09-20 | 1993-04-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 平版印刷用原版 |
JP2567191Y2 (ja) * | 1992-04-13 | 1998-03-30 | 株式会社伸興 | パネル体の除塵装置 |
JPH1043699A (ja) * | 1996-08-02 | 1998-02-17 | Shinko:Kk | クリーナ |
JP2006007012A (ja) * | 2004-06-22 | 2006-01-12 | Koganei Corp | 除電除塵装置 |
WO2013026471A1 (de) * | 2011-08-22 | 2013-02-28 | Alfred Kärcher Gmbh & Co. Kg | Düsenkopf für ein reinigungsgerät |
JP3181250U (ja) * | 2012-11-14 | 2013-01-31 | ヒューグルエレクトロニクス株式会社 | クリーニングヘッド |
US9776218B2 (en) * | 2015-08-06 | 2017-10-03 | Asml Netherlands B.V. | Controlled fluid flow for cleaning an optical element |
KR101868820B1 (ko) * | 2017-06-16 | 2018-07-23 | 윤중식 | 수세 방식의 필름 클리닝 설비 |
KR101875715B1 (ko) * | 2017-06-27 | 2018-07-06 | 윤중식 | 필름 이물질 건식 제거 장치 |
JP2019009370A (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | クリーニングノズル付蓋体、熱処理装置及び熱処理装置用蓋体のクリーニング方法 |
CN206925095U (zh) * | 2017-07-10 | 2018-01-26 | 吕权 | 一种汽车音响扬声器鼓纸表面清洁装置 |
KR102588120B1 (ko) * | 2018-11-27 | 2023-10-13 | 엘지전자 주식회사 | 식기세척기 |
CN110449431B (zh) * | 2019-06-25 | 2021-09-17 | 人民百业科技有限公司 | 一种液晶模组显示屏在加工过程中的除尘装置 |
CN110877039B (zh) * | 2019-12-13 | 2023-10-27 | 江苏宏宝锻造股份有限公司 | 一种应用于辊的异物剥离设备及异物剥离方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019195809A (ja) | 2017-10-24 | 2019-11-14 | 日本精工株式会社 | ブロー装置、並びに部品、軸受、直動装置、操舵装置、車両及び機械装置の製造方法 |
WO2020031289A1 (ja) | 2018-08-08 | 2020-02-13 | 株式会社安川電機 | ロボット |
JP2020075303A (ja) | 2018-11-05 | 2020-05-21 | 櫻護謨株式会社 | ノズルおよびブラスト装置 |
CN111330911A (zh) | 2018-12-18 | 2020-06-26 | 西安新桂系信息技术有限公司 | 一种可有效清洁侧壁的风刀 |
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