TW582012B - Active matrix substrate, electro-optical apparatus, and electronic device - Google Patents

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582012 A7 __B7五、發明説明（1 ) 發明所屬之技術領域： 本發明乃關於適用於光電裝置之主動矩陣基板 裝置及電子機器。 光電 經 濟 部 智 財 產 局 消 費 合 作 印 先前技術： 具有液晶元件、 元件等之光電裝置的 於主動矩陣驅動方式 配置於顯示面板上。 於每個像素上， 該光電元件的驅動電 像素電路是以對應於 如，參照專利文獻1 說明冊）。 爲了於光電裝置 供應至光電元件之電 電流驅動型光電元件 因此，有必要將所希 件，因此不僅須達到 必要達到像素排列的 生的問題例如有，像 持電容的安定性，或 Current)等。 因此，本發明乃 有機EL元件、電泳元件、電子放射 驅動方式之一爲主動矩陣驅動方式。 的光電裝置中，多數的像素以矩陣狀 具有由光電元件以及供應驅動電力於 晶體所構成之像素電路。此外，這些 資料線及掃描線的交叉部來配置（例 :曰本國際公開第W098/36407號之 中精密的控制亮度，必須精密的控制 量。尤其是有機EL元件，因爲其乃 ，因此其電流量直接反應於亮度上。 望的電流量精密的供應至有機EL元 驅動電路及驅動方法的最適化’亦有 最適化。事實上，像素排列所可能產 素電極與其周邊電路之接觸，以及維 者是電晶體的關閉狀態電流（0ff 鑑於上述情形所創作之發明’其目的 、紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 -線 -5- 經濟部智慧財/i局員工消費合作社印製 582012 A7 __B7_ 五、發明説明（2 ) 之一爲提供具有最適合於安定的驅動光電元件之像素排列 的主動矩陣基板，光電裝置及電子機器。 發明內容： 爲了解決上述課題，本發明的第1之主動矩陣基板， 乃對應光電元件，具有將電流供應至設置於每個像素上的 光電元件之周邊電路，而各個周邊電路各自具有維持控制 電壓之維持元件，以及接續於維持元件並供應基於此控制 電壓的電流至光電元件之第1主動元件，以及接續於維持 元件並控制維持元件的充電放電之第2主動元件，而上述 第2主動元件具有於電源切斷之際之漏電流防止構造。 在此，「光電元件」是指，以電氣性作用來發光或是 改變來自於外部的光的狀態之元件，其包含自行發光之元 件以及控制來自於外部的光的穿透之元件兩者。例如，光 電元件包含液晶元件、電泳元件、EL元件、以及將因爲 電場的施加所產生的電子發射至發光板來發光之電子放射 元件。 「周邊電路」是指’於主動型光電裝置中各個像素所 驅動之電路元件的集合體，例如以TFT所構成者。 「主動矩陣基板」是指搭載周邊電路的基板，並不限 定是否形成光電元件。 「主動元件」並無所限制，例如有TFT等電晶體與 二極體。 在此，所謂的「維持元件」是指維持例如電容或記憶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） " "~ -6 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 582012 A7 B7 五、發明説明（3 ) 體等之電氣信號之元件。 主動元件所具有的「於電源切斷中之漏電流防止構造 」是指，一般於該主動元件未導電的狀態下，理想上不應 流通的電流卻流通極少許，因此主動元件具有防止如此的 電流（漏電流）之產生之構造。 如此的元件例如有多閘極型的主動元件。所謂的多閘 極型的主動元件是指，雖然爲1個元件，但是如同多數主 動元件序列接續在一起般，具有這些控制端子接續在一起 的相同功能之構成之主動元件。 於構成多閘極型主動元件之際，可如之後本實施型態 所述般，使半導體層呈彎曲形狀，或是使閘極形狀彎曲亦 可 ° 此外，第2主動元件可爲LDD構造、GDD構造、及 DDD構造所組成的一群當中所選擇的一種構造之電晶體 。在此，「LDD」爲Lightly DLPped D_rain (輕摻雜汲極） 的略稱，「GDD」爲graded mffused bain (漸進式擴散 汲極）的略稱，「DDD」爲Rouble Effused Rrain (雙擴 散汲極）的略稱。爲了控制於MOS FET細微化之際熱電 子等所產生的不良影響，具有如此構造的電晶體爲將汲極 附近的最大電場減弱之電晶體。例如爲，於進行不純物擴 散的區域以及用以降低矽基板之間的電場之電晶體的汲極 區域上，摻雜些微的不純物並自我統合形成η-區域之電 晶體。 於如此的電晶體中，因爲於通電關閉之際之源極一汲 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ29?公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-7- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 582012 A7 ____B7_ 五、發明説明（4 ) 極之間的電阻値極高並且漏電流降低，因此累積於維持元 件的電荷不會逸散，因此可以固定維持施加於控制用端子 之電位。 本發明的第2之主動矩陣基板，乃具有對應於多數的 資料線及多數的掃描線的交叉部來配置之多數的單位電路 ，其特徵爲上述多數的單位電路各自具有，具備第1控制 用端子及第1端子及第2端子之第1電晶體，以及接續於 上述第1控制用端子並具備第1電極及第2電極之維持元 件，以及具備第3端子及第4端子及第2控制用端子，且 上述第3端子及上述第4端子各自接續於上述第1端子及 上述第1電極之第2電晶體，而上述第2電晶體具有多閘 極構造。 於主動矩陣基板中，上述第2電晶體可以不採用多閘 極構造，而爲具有由LDD構造、GDD構造、及DDD構造 所組成的一群當中所選擇的一種構造之電晶體亦可。 此外，藉由採用多閘極構造極LDD構造、GDD構造 、及DDD構造，可降低第2電晶體於通電關閉的情況下 之漏電流，因此可以長時間維持累積於維持元件的電荷。 於上述主動矩陣基板中，上述第1電晶體及上述第2 電晶體較理想爲具有互爲不同的導電型式。於此情況下， 構成上述第1電晶體之半導體膜及上述第2電晶體半導體 膜最好加以分離。
例如，上述第1電晶體爲P型，上述第2電晶體爲N 型。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-8- 582012 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（5 ) 於上述主動矩陣基板中，又具有具備第5端子及第6 端子及第3控制用端子之第3電晶體，而上述第3控制用 端子接續於上述多數掃描線當中之一條掃描線，上述第5 端子接續於上述多數資料線當中之一條資料線。 此外，上述第6端子又可接續於上述第3端子及上述 第 1端子。 於上述主動矩陣基板中，可使上述主動矩陣基板具有 具備多數的層之疊層構造，而上述多數的層包含形成了構 成上述第1電晶體及上述第2電晶體的半導體膜之半導體 層，以及形成了上述第2控制用端子之閘極金屬層，而於 上述閘極金屬層上，形成了上述多數的掃描線當中之至少 一條掃描線之至少一部分。 如此，因爲可於相同工程中形成上述第2控制用端子 與掃描線的至少一部分，因此可縮短製程。 於上述主動矩陣基板中，可使上述主動矩陣基板具有 具備多數的層之疊層構造，而上述多數的層包含形成了構 成上述第1電晶體及上述第2電晶體的半導體膜之半導體 層，以及形成了上述第2控制用端子之聞極金屬層，而於 上述閘極金屬層上，形成了上述多數的資料線當中之至少 一條資料線之至少一部分。 如此，因爲可於相同工程中形成上述第2控制用端子 與資料線的至少一部分，因此可縮短製程。 於上述主動矩陣基板中，可使上述主動矩陣基板具有 具備多數的層之疊層構造，而上述多數的層包含形成了構 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 、11 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 582012 A7 B7 五、發明説明（6 ) 成上述第1電晶體及上述第2電晶體的半導體膜之半導體 層，以及形成了上述第2控制用端子之閘極金屬層，以及 形成了接續於上述第2電晶體的源極或是汲極之源極或是 汲極之源極金屬層，而上述多數的資料線當中之至少一條 資料線的至少一部分，形成於源極金屬層及閘極金屬層當 中較爲接近上述半導體層之層上。 如此，因爲於主動矩陣基板上方配置光電元件並做爲 光電裝置的情況下，可以將資料線的至少一部分遠離光電 元件的電極，因此可以降低於電極與資料線之間產生的寄 生電容所造成的動作延遲。 本發明的第3之主動矩陣基板，乃具有具備電晶體的 單位電路及掃描線及資料線，並具有由多數的層所組成之 疊層構造，其特徵爲上述多數的層具有形成了構成電晶體 的半導體膜之半導體層，以及形成了上述電晶體的閘極端 子之閘極金屬層，而上述掃描線及資料線當中之至少一種 之至少一部分形成於上述閘極金屬層。 如此，因爲可於相同工程中形成電晶體的閘極端子與 掃描線或是資料線的至少一部分，因此可縮短製程。 本發明的第4之主動矩陣基板，乃具有具備電晶體的 單位電路及掃描線及資料線，並具有由多數的層所組成之 疊層構造，其特徵爲上述多數的層具有形成了構成電晶體 的半導體膜之半導體層，以及形成了上述電晶體的閘極端 子之閘極金屬層，以及形成了接續於上述電晶體的源極或 是汲極之源極或是汲極之源極金屬層，而上述掃描線及資 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-10- 582012 A7 B7 五、發明説明（7 ) 料線當中之至少一種之至少一部分，形成於閘極金屬層及 源極金屬層當中較爲接近上述半導體層之層上。 於上述主動矩陣基板中，因爲於主動矩陣基板上方配 置光電元件並做爲光電裝置的情況下，可以將掃描線或資 料線的至少一部分遠離光電元件的電極，因此可以抑制於 電極與掃描線或資料線之間產生的寄生電容所造成的信號 供給延遲。 於上述主動矩陣基板中，單位電路具有具備第1控制 用端子及第1端子及第2端子之第1電晶體，以及接續於 上述第1控制用端子並具備第1電極及第2電極之維持元 件，以及具備第3端子及第4端子及第2控制用端子，並 且上述第3端子及上述第4端子各自接續於上述第1端子 及上述第1電極之第2電晶體，而上述第2電晶體爲具有 由LDD構造、GDD構造、DDD構造、及多閘極構造所組 成的一群當中所選擇的至少一種構造之電晶體。 因爲LDD構造、GDD構造、DDD構造、及多閘極構 造適合於抑制漏電流，因此可藉由此構成來長時間維持累 積於維持元件的電荷。 本發明的第1之光電裝置，乃具有上述主動矩陣基板 以及光電元件。 本發明的第2之光電裝置，乃對應光電元件，具有將 電流供應至設置於每個像素上的上述光電元件之周邊電路 ，而上述各個周邊電路具有，於發光期間將電流供應至上 述光電元件之發光控制主動元件，以及維持控制電壓之維 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 -11 - 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 582012 A7 _B7 五、發明説明（8 ) 持元件，以及在閘極端子接續於上述維持元件下，將基於 施加於該閘極端子之控制電壓的電流，經由發光控制主動 元件供應至上述光電元件之第1主動元件，以及於選擇期 間中，經由上述第1主動元件來產生定電流（或是資料電 流）之電流控制主動元件，以及接續於上述電流控制主動 元件及上述維持元件之間，並於上述選擇期間中，進行上 述維持元件的充電並記憶上述控制電壓之第2主動元件， 而上述第2主動元件具有於電源切斷之際之漏電流防止構 造。 上述漏電流防止構造與上述主動矩陣基板的情況相同 ，可採用例如LDD構造、GDD構造、DDD構造、及多閘 極構造。 於上述光電裝置中，上述第1主動元件及第2主動元 件較理想爲例如採用電晶體。於此情況下，最好具有互爲 不同的導電型式。例如，上述第1主動元件爲P型，上述 第2主動元件爲N型。 對應於此，亦可以具有將負邏輯的資料信號供給至第 1主動7U件之第1驅動電路，以及將正邏輯的掃描丨言號供 給至第2主動元件之第2驅動電路來構成。 於上述光電裝置中，亦可以具有將資料信號供給至第 1主動元件之資料線，以及與資料線交叉並將掃@ {共 給至第2主動元件之掃描線來構成。 此外，於上述光電裝置中，資料線或是掃插I泉當φ之 一項，較理想爲藉由離構成第1主動元件及第2主自# # 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----- -12- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印焚 582012 A7 B7 五、發明説明（9 ) 之源極金屬層及閘極金屬層當中之光電元件的共通電極較 遠的金屬層來佈線。若是利用離共通電極較遠的金屬層的 話，則可減少該信號線與共通電極之間所產生的寄生電容 〇 具體而言，例如掃描線藉由形成第2主動元件的閘極 端子之閘極金屬層來佈線。 此外，於上述光電裝置中，較理想乃於多數的主動元 件當中，將具有相同極性的多數主動元件以平面的方式連 續形成於相同的半導體層。如此可以降低於半導體層上用 於佈線的面積並提升開口率。 此時，於具有相同極性的多數主動元件之間的接續點 上，具有共通的接觸孔，並透過該接觸孔，佈線至與這些 主動元件具有相異極性之主動元件上。這是因爲於極性相 異的情況下，必須進行一般的佈線。此外，如此可藉由具 有共通的接觸孔，來減少接續部分占驅動電路全體面積的 佔有面積。 順帶一提的是，於之後所述的一實施型態當中，具有 相同極性的多數主動元件爲第2主動元件，以及發光控制 主動元件，以及電流控制主動元件，但具有相同極性的多 數主動元件並不限定於此。 在此，上述第2主動元件及上述電流控制主動元件的 閘極端子可採用共通的掃描線，於此情況下，關於共通的 閘極端子接續，可直接利用掃描線來減少佈線面積並提升 開口率。 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-13- 582012 A7 B7 五、發明説明（1〇 ) ^3,-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於未將上述第2主動元件及上述電流控制主動元件在 相同時機驅動的情況下，可利用相異的信號線來做爲各自 的閘極端子。 本發明的第3之光電裝置，乃具有光電元件以及驅動 上述光電元件之周邊電路，上述光電元件以該光電元件的 邊界至少具有所定的曲率以上來形成，於具有該所定曲率 的邊界與外接於該光電元件的多角形邊界所包圍的區域上 ，至少形成上述周邊電路的一部分。 關於具有「所定的曲率」的形狀，尤其是在採用液體 材料來形成光電元件的情況下有效，於此情況下’較理想 爲因應該液體材料的黏度與表面張力，以及光電元件下層 的材料來適當的設定。然而，即使未採用液體材料而以蒸 鍍法等來形成光電元件的情況下，亦可達到防止短路的效 較理想爲形成了多數之具有此所定的曲率之邊界部分 。此外，形成了多數之邊界部分，較理想爲以實質上對稱 於通過光電元件的幾何中心點之一條中心線來配置。 經濟部智慈財4局員工消費合作社印t 例如，形成於此區域的周邊電路之一部分爲構成該周 邊電路的佈線之接觸孔。此接觸孔較理想爲配合此區域形 狀之多角形。構成該周邊電路的佈線之接觸孔，例如爲用 以供應電流至光電元件的電極的至少一項之接觸孔。此接 觸孔爲多數，較理想爲以實質上對稱於通過上述光電元件 的幾何中心點之一條中心線來配置。 於形成光電元件之際採用液體材料的情況下，於光電 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 582012 Μ Β7 五、發明説明（11 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 元件的邊界附近，更具有針對該液體材料調整親和性之親 和性控制層，藉此，可控制構成光電元件的功能層的膜厚 ，並提升其平坦性。此外，藉由使堆積層的至少於壁面上 的該液體材料之親和性，與親和性控制層之親和性不同， 來更進一步提升其效果。例如，使堆積層的至少於壁面上 的該液體材料之親和性低於親和性控制層之親和性，使該 液體材料所形成的膜不會附著於堆積層的壁面上，來進一 步提升該液體材料所形成的膜之平坦性。 亦可以於該光電元件內側上，具有對堆積層所形成的 壁面爲階梯形狀的方式，來形成此親和性控制層。 在此所謂的「堆積層」，爲區隔像素區之間的區隔材 料。對於確保陰極或是共通電極與供應資料線或是掃描線 等之信號的佈線之間的距離，堆積層亦具效果。藉由充分 確保該距離，可降低寄生電容並抑制供給信號之際的延遲 〇 經濟部智您財產局0(工消費合作社印製 總而言之，因爲資料信號容易受到來自於掃描信號的 寄生電容的影響，而成爲動作延遲的原因，因此有必要充 分確保資料信號與陰極或是共通電極之間的距離。 在此於具有所定的曲率的邊界部分中，較理想爲，構 成光電元件的至少一項電極對應於該邊界部分的形狀來佈 線。使電極配合曲率來佈線，可更容易配置周邊電路的至 少一部分。而所謂的周邊電路的至少一部分，例如用於周 邊電路與上述電極的接續之接觸區。 本發明的第4之光電裝置，乃具有發光部，以及經由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 582012 A7 B7 五、發明説明（12) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 像素電極來進行供應至上述發光部的電流控制之周邊電路 ，上述發光部的面積比上述像素電極的面積還小，而上述 發光部的形狀與上述像素電極的形狀不同。 本發明的第5之光電裝置，乃具有發光部，以及經由 像素電極來進行供應至上述發光部的電流控制之周邊電路 ，上述發光部的面積比上述像素電極的面積還小，而上述 發光部的形狀爲具有曲率的形狀，上述像素電極的形狀爲 多角形的形狀。 本發明的第6之光電裝置，乃具有發光部，以及經由 像素電極來進行供應至上述發光部的電流控制之周邊電路 ，上述發光部的面積比上述像素電極的面積還小，而上述 發光部爲具有η個（η爲4以上的整數）角之多角形的形 狀，上述像素電極爲具有m個（m爲3以上的整數）角 之多角形的形狀，並具有η > m的關係。 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 於上述光電裝置中，因爲發光部爲具有曲率的形狀或 是四角形以上的多角形形狀，因此可防止發光部的末端產 生短路的情況。此外，於採用液體材料來形成發光部之際 ，亦可使液體材料充分流到發光部的末端，因此可形成厚 度一致的膜。 於上述光電裝置中，上述發光部的全部區域形成於上 述像素電極上，而於未形成上述發光部之上述像素電極的 部分上，設置用於接續上述周邊電路與上述像素電極的接 觸區。 本發明的第7之光電裝置，乃具有光電元件，以及規 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -16- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（13 ) 定供應至上述光電元件的電流之維持電容，以及將因應記 錄了維持電容之電壓的電流加以供應之主動元件，而構成 維持電容的第1電極是以，將形成供應電流至光電元件的 電源線之金屬層的一部分加以佈線來形成。 本發明的第8之光電裝置，乃可以藉由主動元件，將 依循記錄於維持電容的電壓之電流，供應至光電元件來構 成’其具有接續於電源之第1金屬層，以及包含一部分主 動元件的控制端子來進行佈線以形成之第2金屬層，而構 成上述維持電容的第1電極，乃將第1金屬層的一部分加 以佈線來形成。 在此，於「層」上除了金屬層之外，還包含影響維持 電容形成的層，例如半導體層。 此外，構成維持電容的第2電極，乃將形成主動元件 的控制端子之金屬層的一部分加以佈線來形成。 於上述光電裝置中，上述第1電極爲電源線的一部分 ，並將形成主動元件的控制端子之金屬層的一部分，與該 電源線的一部分互相重疊來佈線，以形成上述第2電極。 於此構成下，則不需另外設置接續維持電容與主動元件的 佈線，因此可提升開口率。 較理想爲，於構成維持電容的電極上，重複具備形成 於該電極形狀的半導體層。此半導體層例如導入不純物。 亦可以摻雜不純物使半導體層金屬化或是低電阻化。 此外，較理想爲，維持電容形成於光電元件與主動元 件所形成的區域之外的區域上，如此可提升開口率。例如 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-17- 582012 A7 B7 經濟部智慧財/I局員工消費合作社印製 五、發明説明（14 ) ’構成維持電容的電極的各層，對應於光電元件與主動元 件所形成的區域之外的區域之形狀，而形成爲多角形，例 如爲五角形以上。 於上述光電裝置中，較理想爲於構成上述維持電容的 電極的各層當中，配置於較下層的層所占的區域比配置於 較上層的層所占的區域還要大。 於上述光電裝置中，上述配置於較下層的層所占的區 域是以，即使於形成配置於較上層的層所占的區域之際所 可能產生之最大位置偏移的情況下，該配置於較上層的層 所占的區域亦會於配置於較下層的層所占的區域之內的形 狀，來佈線形成。 於上述光電裝置中，較理想爲又具有區隔互相鄰接之 光電元件的堆積層，而維持電容較理想爲形成於堆積層之 下。 此外，更理想爲於堆積層中或是堆積層之下，又具有 於形成光電元件之際控制材料液體的親和性之親和性控制 層。 形成了維持電容的重複區域可設置於，第1金屬層或 是第2金屬層的至少一項爲電源佈線圖樣之區域上。 此外，更理想爲，由第2金屬層所形成的佈線圖樣是 以，距離接續於光電元件之2個電極的至少一項所定距離 以上來配置。藉由如此構成，可減少不需要的電容。 本發明的第5之主動矩陣基板，乃具有對應於資料線 及掃描線的交叉部來配置之像素電極與電路，其特徵爲上 聋-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） -18- 582012 A7 B7 五、發明説明（15 ) 述像素電極經由至少1個電晶體接續於電源線，並設置接 續於上述至少1個電晶體的閘極之維持元件，而構成上述 維持元件之第1電極接續於上述電源線。 本發明的第6之主動矩陣基板，乃具有對應於資料線 及掃描線的交叉部來配置之像素電極與電路，其特徵爲上 述像素電極經由至少1個電晶體接續於電源線，並設置接 續於上述至少1個電晶體的閘極之維持元件，而構成上述 維持元件之第1電極爲上述電源線的一部分。 於上述主動矩陣基板中，構成上述維持元件之第2電 極爲上述至少1個電晶體的閘極。 本發明的第7之主動矩陣基板，乃具有對應於資料線 及掃描線的交叉部並具備電晶體的單位電路，其特徵爲構 成上述電晶體的半導體膜形成於半導體層上，而於上述資 料線及上述掃描線的交叉部中，上述資料線及上述掃描線 中之任一項形成於第1導電層，而上述交叉部以外的部分 之上述資料線及上述掃描線則形成於第2導電層。於此主 動矩陣基板中，較理想爲上述第2導電層配置於上述第1 導電層與上述半導體層之間。 上述主動矩陣基板可藉由與光電元件之組合，來構成 光電裝置。 本發明的第9之光電裝置，乃對應於資料線及掃描線 的交叉部以具備光電元件，其特徵爲包含供應電力於上述 光電元件之一對電極，於上述資料線及上述掃描線的交叉 部中’上述資料線及上述掃描線中之任一項形成於第1導 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） —---------裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 -19- 582012 A7 B7 五、發明説明（16 ) 電層，而上述交叉部以外的部分之上述資料線及上述掃描 線形成於第2導電層，而上述第2導電層則從上述第丨導 電層遠離上述一對電極之任一邊來配置。 在此，上述光電元件可爲電致發光（ Electroluminescence，EL)兀件。在此，所謂的「電致發 光元件」一般是指藉由施加電場，於從陽極注入之正孔與 從陰極注入之電子重新結合之際，以其重新結合的能量使 發光性物質發光之電致發光現象之元件，而在此並不限定 其發光性物質爲有機或是無機（Zn:S等）。此外，做爲 具有以電極包圍的層構造之電致發光元件，除了由發光性 物質所組成之發光層之外，還可具備正孔輸送層或是電子 輸送層當中之任一項或是兩者。具體而言，除了陰極/發 光層/陽極之外，還可適用陰極/發光層/正孔輸送層/陽極 ，或是陰極/電子輸送層/發光層/陽極，或是陰極/電子輸 送層/發光層/正孔輸送層/陽極等來做爲層構造。 此外，亦可適用於具備上述主動矩陣基板之電子機器 。在此，「電子機器」並未限定，只要是具有以上述主動 矩陣基板所構成的顯示裝置者均可，例如，行動電話、攝 影機、個人電腦、頭戴式顯示器、背投式或是前投式投影 機，或是具有顯示功能的傳真機、數位相機的視窗、可攜 式電視、DSP裝置、PDA、電子記事本等。 實施方式： 接下來參照圖面說明本發明的較爲理想的實施型態。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 線 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 -20- 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 582012 A7 B7 五、發明説明（17 ) 以下的實施型態僅爲本發明的例子，並非限定本發明的適 用範圍。 [實施型態1] 本發明的實施型態乃關於利用EL元件做爲光電元件 之光電裝置的顯示面板。第1圖爲由包含該EL元件之主 動矩陣基板所構成的顯示面板的全體圖。 如第1圖所示，顯示面板1乃藉由在玻璃基板16上 配置顯示區11及驅動區14及1 5所構成。陰極1 2形成於 顯示區11全體上並接續於陰極取出電極1 3。而像素區1 0 以矩陣形狀配置於顯示區11上。於彩色顯示的情況下， 像素區1 0可各自以彩色顯示下所需之原色（例如紅、藍 、綠三原色）來發光所構成，並以各原色來發光之像素區 1 0的一組爲1個像素要素。例如，配置於顯示區11的列 方向之驅動區15，將信號輸出於寫入控制線Vsel及發光 控制線Vgp，而配置於顯示區11的行方向之驅動區14， 則除了電源線Vdd之外，亦將資料電流輸出於資料線 I da ta。藉由形成於驅動區14及15之圖中未顯示之驅動電 路，來控制各個像素區1 0中之發光狀態，可使任意晝像 顯不於顯不區11中。 第2圖爲說明1個像素區及其周邊之佈線圖樣之平面 圖。於第2圖中，顯示第3圖所示之主要的半導體層102 ，以及閛極金屬層104，以及源極金屬層106，以及陽極 層1 1 0之各個圖樣。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-21 - 582012 A7 B7 五、發明説明（18) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第2圖所示，於電源線Vdd與資料線idata所包圍 的區域中，配置了發光部OLED以及驅動其之周邊電路。 電源線Vdd隔著發光部〇LED與資料線Idata相隔來配置 。周邊電路以做爲第1主動元件之電晶體T 1，以及做爲 第2主動元件之電晶體T 2，以及做爲電流控制主動元件 之電晶體T3，以及做爲發光控制主動元件之電晶體T4， 以及做爲維持原件之維持電谷C所構成。關於電晶體 T 1〜T4的導電型式並未特別限定，於本實施型態中，電晶 體T1的導電型式爲P型，其他電晶體T2〜T4的導電型式 均爲N型。 經濟部智慧財產局g(工消費合作社印製 電晶體T 1的源極接續於電源線Vdd，其汲極則接續 於電晶體T4的汲極側。電晶體T4的源極接續於發光部 OLED的陽極。維持電容C形成於電源線Vdd與電晶體 T 1的閘極之間。電晶體T2的源極接續於維持電容C及電 晶體T1的閘極，其汲極則接續於電晶體T3的汲極及電 晶體T1與電晶體T4之間。而電晶體T3的源極接續於資 料線Idata，其汲極則接續於電晶體T2的閘極與共通的寫 入控制線V s e 1。 第3圖爲顯示於第2圖所示之剖面中之層構造的各個 剖面圖。第3圖A爲A— A的剖面，第3圖B爲B— B的 剖面，第3圖C爲C 一 C的剖面中之層構造。 如第3圖所示，該像素區10乃於玻璃基板1〇〇(第1 圖中之玻璃基板16)上，將底層保護膜1〇1’以及半導體 層102，以及閘極絕緣膜103，以及閘極金屬層1〇4，以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 582012 經濟部智慧財產局Ρ'工消費合作社印製 A7 B7_五、發明説明（19 ) 及第1層間絕緣膜105，以及源極金屬層106，以及第2 層間絕緣膜107，以及堆積層108，以及陰極層109 (第1 圖中之陰極1 2 )的各層加以疊層來構成。此外，如第3 圖B及C所示，於電場發光部OLED中，將陽極層110， 以及正孔輸送層1 Π，以及發光層11 2的各層加以疊層來 構成。 因爲本實施型態爲EL元件往基板側射出光之型態’ 玻璃基板1 00必須具有光穿透性，因此適用鈉鈣玻璃、低 膨脹玻璃、石英等無鹼玻璃。然而，於構成陰極層109採 用光穿透性物質，並從陰極側射出光之型態的EL元件的 情況下，亦可使用金屬等導電性物質，以及碳化矽（SiC )、氧化鋁（Al2〇3)、氮化鋁（A1N)等非透明絕緣性物 質。 底層保護膜101可採用氧化矽膜（SiOx : 0< 2) 與氮化矽膜（Si3Nx : 0< xS 4)等絕緣性物質。底層保護 層乃將玻璃基板中所含的鈉（Na)等可動離子混入於半 導體層中，以防止對半導體層的不純物控制產生不良影響 來形成。 關於底層保護膜101，首先將基板100以純水或是酒 精等有機溶劑洗淨，之後再採用常壓化學氣相沉積法（ APCVD法），或低壓化學氣相沉積法（LPCVD法），或 電漿化學氣相沉積法（PECVD法）等之CVD法，或是濺 鍍法等，使底層保護膜101形成於基板上。 半導體層102除了矽（Si)與鍺（Ge)等四族單體的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 線 -23- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（2〇) 半導體層之外，亦可採用矽化鍺（SixGe^ : 0〈 x< 1 )， 或碳化矽（SuCn : 0< χ< 1 )，或碳化鍺（GexCl_x : % <1)等四族元素複合體，或是砷化鎵（GaAs )，或銻化 銦（InSb )等三族元素與五族元素之複合體化合物，或是 硒化鎘（CdSe)等二族元素與六族元素之複合體化合物， 或是如砂·鍺·鎵·砷（ SixGeyGazAsz: x + y + z=l)之複合 體化合物等。 此外，關於半導體層102，例如於APCVD法或 LPCVD法或PECVD法等之CVD法，或是濺鍍法等或蒸鍍 法等PVD法來堆積矽元素等之後，以雷射光來照射使半 導體層1 02產生多晶化來形成。雷射光可採用準分子雷射 、氬離子雷射、及YAG雷射等基本波及高頻波。例如， 一旦將砂兀素多晶化的話，則成爲多晶砂。並將此多晶化 的半導體層102，配合維持電容C與各個電晶體T1〜T4的 各TFT之各個元件的形狀來佈線。例如藉由採用CF4與氧 氣的混合氣體之反應性離子鈾刻，來使非結晶狀態的半導 體層配合元件形狀，來佈線爲島狀加以形成。於佈線之後 ，例如形成閘極金屬層之後，以該閘極金屬層爲遮罩，來 導入不純物於半導體層中。具體而言，於各個元件中添加 磷（P )、砷（As )、銻（Sb )等供體元素（Donor Element )使成爲N型半導體層，或是添加硼（B)、鋁（ A1 )、鎵（Ga)、銦（In )等受體元素（Acceptor Element )使成爲P型半導體層。於本實施型態中，導入 不純物使構成維持電容C的半導體層爲N型半導體層。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 訂 線 -24- 582012 A7 B7 五、發明説明（21 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在此，在使TFT成爲LDD構造，以及調整TFT的閾値電 壓的情況下，進行以低濃度導入不純物之通道摻雜（ Channel Doping ) 〇 閘極絕緣膜1 0 3乃藉由，例如以四乙基正矽酸鹽（ TE0S )爲原料之二氧化矽膜來形成。而閘極絕緣膜103 例如以微波放電電漿、ECR電漿等之氧氣或是氮氣環境中 之電漿CVD法來形成。 閘極金屬層104採用例如钽（Ta )、鎢（W )、鉻（ Cr )、鋁（A1 )等導電性材料。在以濺鍍法等成膜之後， 閘極金屬層104以閘極電極的形狀來佈線形成。 第1層間絕緣膜1 05可採用氧化矽或是氮化矽等絕緣 膜。在以濺鍍法等形成之後，於第1層間絕緣膜上，形成 用於例如TFT用源極·汲極之接觸孔。 源極金屬層106除了鋁（A1)之外，還可使用鉅（Ta )、鎢（W )、鉬（Mo )、鈦（Ti )等導電性材料。在以 濺鍍法等來疊層導電性材料之後，配合電極的形狀來佈線 形成。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 第2層間絕緣膜107可採用氧化矽或是氮化矽等絕緣 膜。在以濺鑛法等形成之後，於第2層間絕緣膜上，例如 形成陽極層110用之接觸孔hi及h2。 陽極層110例如可採用氧化銦錫合金（ITO )等具有 光穿透性之導電性材料。於不需具光穿透性的情況下，貝[J 陽極層可採用氧化錫、金、銀、白金、銅等。在以濺鍍法 等形成之後，陽極層11 0因應發光部OLED的形狀來佈線 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25- 582012 A7 B7 五、發明説明（22 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 形成。陽極層（或是像素電極）的形狀並未特別限定，但 較爲理想爲比發光部OLED的面積還大。以此構成的話， 則可於像素電極的發光部以外的區域上設置，用於周邊電 路或是像素電路與像素電極進行電氣性接續的接觸孔。在 此構成下可至少提升發光部的平坦性。 堆積層108可採用氧化砂或氮化砂，或是聚硫亞氨（ Polyimide)等絕緣材料。在以濺鍍法等形成之後，堆積 層於對應發光部OLED的位置上設置開口部來形成。 正孔輸送層1 1 1例如可採用N，N’ —二苯基—Ν,Ν’ — 雙一（3-甲苯基）—（1，1’—雙苯基）一4,4’一二胺（ TPDA )。而正孔輸送層於設置在堆積層108的開口部上 ，採用金屬遮罩等來成膜。 發光層1 12例如可採用三（8 -口奎口林）鋁（Alq3 )等之任意的發光性物質。發光層可以採用金屬遮罩或矽 遮罩之蒸鍍法來形成，但亦可藉由噴墨法，將包含發光性 物質之溶劑配置於開口部，並使溶劑成分蒸發來形成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 陰極層1 09以依能量順位可做爲EL元素的陰極加以 使用的材料，或是鋁，或是鋁與其他元素（例如鋰）的合 金，或是鈣等來形成。陰極層以金屬遮罩等來形成，並以 微影技術（Photolithography)或蔽蔭遮罩法（Shadow Mask)來佈線形成。 於本實施型態中，乃將像素電極做爲陽極而將共通電 極做爲陰極，但亦可將像素電極做爲陰極而將共通電極做 爲陽極來構成。因爲典型的陰極材料較多爲金屬，因此於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 582012 A7 B7 五、發明説明（23) 像素電極做爲陰極的情況下，發光部OLED所發出的光從 與基板1 00相反的一邊射出。即使於像素電極做爲陽極且 共通電極做爲陰極的情況下，亦可藉由採用透明材料做爲 陰極材料，或是採用光可以穿透的膜厚，來使光線從與基 板100相反的一邊射出。 以下，針對本實施型態中之佈線圖樣上的各種特徵依 序說明。 (發光部的平面形狀） EL元件的製造方法之一，有以噴墨方式將包含載子 輸送性物質或是載子阻隔性物質之液體材料，從開口部吐 出並加以乾燥，然後形成發光層之製造方法。於此製造方 法中’重要的是讓所吐出的材料液平均分佈至開口部的任 何角落。若是材料液未平均分佈的話，則成膜後的發光層 厚度不一致，使發光區域內射出的光的強度不平均，而使 顯示面板的畫質變差。例如，假設其開口部爲方形的話， 則於平面上因爲材料液的表面張力或黏度等影響，而使開 口部中所吐出之材料液的液面高度與其他部分不同。因此 ’於此形狀的發光部中，有可能使成膜後的發光層厚度不 一致。 另一方面，因爲有必要提升顯示面板中的亮度，因此 存在著儘可能使射出光的區域，亦即發光部區域增大，使 周邊電路所占的區域縮小的需求，亦即提升開口率的需求 。因此不能只是考慮到製造上的簡易性來配置圖樣。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） —— 聋-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
-27- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（24 ) 因此’爲了滿足此需求，於本實施型態中，發光部的 邊界以至少具有所定的曲率以上來形成，而於具有此所定 的曲率的邊界與外接於此發光部的多角形邊界所包圍的區 域上，至少形成上述周邊電路的一部分。 在此基於第4圖來說明其具體槪念。第4圖A〜C爲 各自顯示適用本發明的槪念之發光部的全部或是一部分的 平面形狀，於第4圖A中，發光部的邊界爲圓形的情況 ，亦即其邊界具有所定的曲率R的情況。於此圓周與外 接於此圓周之多角形，亦即與虛線所顯示的正方形所包圍 的區域上，亦即於斜線區域上，設置一部分周邊電路。此 圓形的發光部的理想形狀爲，可於通過中心點的任何中心 線均爲對稱的點上，使發光部的膜厚爲一致的形狀。然而 ，如第4圖A所示，爲了提升發光部的開口率，有必要 有效活用斜線部分。 第4圖B顯不於長方形的角落部分採用本發明，並 於發光部的邊界具有所定的曲率R的例子。於此例中， 外接的多角形乃以虛線所顯示的長方形，而於發光部的邊 界與長方形的邊界所包圍的斜線區域上，爲設置周邊電路 的一部分或是全部之區域。若本實施型態屬於此例並使曲 率大於R的話，則會成爲長圓形的發光部平面形狀。因 爲於此例中，亦對通過發光部中心點的中心線呈上下或是 左右對稱，並且其角落部分的曲率大於一定値，因此可形 成具有一致膜厚的發光部。 第4圖C爲設定對中心線非對稱性的角落部分的曲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210x 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
•28- 582012 A7 B7 __ 五、發明説明（25 ) 率之情況。往圖面看其左邊角落部分的曲率R1比右邊角 落部分的曲率R2還小。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於此例中，外接的多角形乃以虛線所顯示的長方形， 而於發光部的邊界與長方形的邊界所包圍的斜線區域內， 爲設置周邊電路的一部分或是全部之區域。如此，即使於 曲率不一致的情況下，可藉由設定最小的曲率於一定値以 上，來形成具有一致膜厚的發光部。因爲最小的曲率受到 所吐出溶液的表面張力，以及吐出面的排水性或是排液性 (親水性或是親液性）所影響，因此可藉由實驗來決定不 同例子所採用的最小曲率。 於本實施型態中，採用如第2圖所示般之發光部爲長 方形的平面形狀。而於發光部的邊界與外接於此發光部的 邊界之長方形（圖中未顯示）的邊界所包菌的斜線區域內 ，形成周邊電路的一部分，亦即接觸孔hi及h2 (參照第 3圖B)。於本實施型態中，原本是被浪費掉的空間之第 4圖B的斜線區域，因爲用於設置接觸孔，而滿足了空間 有效利用的需求。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於此發光部的邊界與外接於此發光部的多角形的邊界 所包圍的斜線區域內，除了形成接觸孔之外，亦可形成周 邊電路的任何元件，例如電晶體或是電容等。此外，並非 一定得將獨立產生功能的元件全體一同放入此區域，而是 亦可以將元件或是接觸孔的一部分，亦即周邊電路的部分 放入此區域。亦即，重要的是以有效利用空間的方式來配 置。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ' -29- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 582012 A7 B7 五、發明説明（26 ) 於形成發光部之際未採用液體材料的情況下，例如， 即使以蒸鍍法等來形成發光部的情況下，亦可藉由使發光 部的終端部具有曲率，來降低發光部OLED的終端部中之 像素電極與共通電極產生短路的危險性。 更嚴密的說，因爲曲率乃以細長直線的集合來顯示， 因此發光部的形狀亦可解釋爲比像素電極的形狀還具有更 多角的多角形。 (用於發光部的接觸孔） 於EL元件中，如第2圖所示般，於發光部的邊界與 外接於此發光部的多角形的邊界所包圍的區域內，設置接 觸孔乃具有其意義。亦即，這是因爲藉由於此區域中設置 較大孔的接觸孔，不僅可有效利用此區域，還可供應充分 的電流於發光部。 此外，較理想爲設置多數的接觸孔。亦即，於EL元 件中，有必要將發光層所需的某種程度的電流量平均供應 至發光部全體。若是用於接續供應直接電流的陽極之接觸 孔，位於較偏離的位置的話，則因爲電流的供應處位於偏 離發光層的位置上，因此有可能使電流供應量不平均。而 不平均的電流供應量則會導致發光強度不一致。 就此點而言，如本實施型態所述般，若是於對稱通過 發光部的中心點之中心線的位置上設置多數的接觸孔的話 ，則可以解決此問題。亦即，如第2圖所示般，於本實施 型態中，乃於對稱設置在通過發光部的中心點之所定中心 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-30- 582012 A7 B7 五、發明説明（27 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 線上的區域上，各自設置較大孔的多數接觸孔。藉由在此 對稱區域上各自設置接觸孔，不僅可滿足發光部平均成膜 的需求，亦可滿足對發光部的電流供應的一致性。 (金屬層之間的對準） 由於不同的EL元件的驅動電路方式’而可能使維持 電容的變動，對供應至發光部的電流量的安定性產生影響 。但即使於該實施型態中，亦不希望維持電容C的電容 値因像素或是顯示面板的不同而有所不同。然而，於顯示 面板的製程中疊層金屬層之際，有可能產生偏離預定位置 的情況。因爲金屬層的重複區域的面積決定其電容値，若 位置偏離的話，則產生電容値的變動或是分散，而使維持 電容C的電容値因像素或是顯示面板的不同而有所不同 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 因此，於本實施型態中，於形成了維持電容C的重 複區域附近，在與維持電容C的形成相關的層，亦即在 源極金屬層106與閘極金屬層104與半導體層102當中， 乃以配置於較下層的層（相對於源極金屬層之閘極金屬層 與半導體層）所占的區域或是寬度，比起配置於較上層的 層（相對於半導體層之閘極金屬層與源極金屬層，及相對 於閘極金屬層之源極金屬層）所占的區域或是寬度還要大 的方式來形成。 此特徵亦可從第2圖的平面圖來得知，但是在此參照 第6圖所示之A- A的剖面圖來更具體說明。如第6圖所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -31 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 582012 A7 B7 五、發明説明（28 ) 示，假設源極金屬層106的寬度爲dl，閘極金屬層104 的寬度爲d2，半導體層102的寬度爲d3，則具有d3> d2 > d 1的關係。愈往下層其圖樣形狀愈大。 應具有多大圖樣形狀，乃因製程精密度與圖樣密度的 不同而不同。就取決的方式而言，即使於形成配置於較上 層的層之際，產生了所可能的最大位置偏移的情況下，亦 可使配置於較上層的層的區域，處於配置於較下層的層戶斤 占的區域之內的形狀來佈線形成。於本實施型態中，差分 d3-d2與d2-dl是以，與製程中所可以預測之位置偏移的 量相同或是以上的量來設計。 (閘極金屬層的分隔形成） EL元件具有共通電極，其共通電極形成於顯示區全 面上。而如第1圖所示般，於本實施型態中，做爲發光部 OLED的共通電極之陰極13 (陰極層109)，形成於顯示 區11全體上。然而，一旦形成全面的共通電極的話，則 與接續於電晶體的閘極之閘極金屬層之間，會有電容產生 之問題。一旦產生寄生電容的話，則電晶體的動作產生延 遲，因此無法保證其是否會於所設計的時機中產生正確的 動作。 因此，於本實施型態中，乃將由閘極金屬層所形成的 佈線圖樣配置於，離發光層的電極的至少某一項所定距離 以上。阻抗降低而造成問題者，乃起因於共通電極之陰極 層1 09與閘極金屬層104之間的距離。此外，因爲於發光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-32- 582012 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 A7 _B7 ___五、發明説明（29 ) 部OLED中陰極層109與下層側的距離縮小，而使陰極層 109與發光部周邊中之閘極金屬層的距離成爲問題。因此 ，如第7圖（相當於第2圖中之C 一 C剖面）所示般，於 本實施型態中，於發光發光層附近，陰極層1 09與閘極金 屬層104之深度方向上的距離dl，與平面方向上的距離 d2，均保持所定距離以上來佈線形成。 在此，所定的距離乃因閘極金屬層的面積以及介於其 中的層之介電常數之不同而有所不同，因此無法槪括論定 ’但是較爲理想爲，在像素區的面積上所能夠容許的範圍 內，儘可能的擴大其距離來佈線形成。 用於供應資料丨g號及掃描信號等電氣信號之配線，必 須考量寄生電容所造成之動作延遲來進行佈線。於本實施 型態中，資料線Ida ta及掃描線Vsel乃利用離共通電極之 陰極層109較遠的源極金屬層1〇6，於資料線idata及掃 描線Vsel的交叉部分上，將資料線idata形成於源極金屬 層106上，而資料線idata於交叉部分以外的部分與掃描 線Vse 1，則形成於閘極金屬層1 〇4上。 於有必要降低資料線Idata的寄生電容的情況下，可 將資料線Idata的所有部分形成於離共通電極最遠的導電 層上。對應本實施型態來說明的話，則於資料線Idata及 掃描線V s e 1的父叉部分上，將掃描線v s e丨形成於源極金 屬層106上，而資料線Idata的所有部分與掃描線於 父叉部分以外的部分，則形成於閘極金屬層丨〇4上。 此外，爲了將掃描線及資料線等信號線遠離共通電極 本紙張尺度適用巾關家標準（CNS ) M規格（21GX 297公f) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 -33- 582012 A7 B7 五、發明説明（3〇 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 與像素電極，可以將導電層形成於與半導體層102同一層 上’再者，若將電晶體以所謂的底閘極來構成的話’則於 半導體層的下一層上設置導電層，並利用該導電層來佈線 信號線。 (周邊電路的動作） 接下來說明本實施型態之EL元件的周邊電路的動作 。第5圖顯示構成像素區1 0的像素電路之電路圖。 1) 本實施型態之電路具有，藉由供應電流資料來做 爲資料信號而產生動作之電路構成。像素顯示乃從選擇寫 入控制線Vsel，並將電晶體T2與T3調整於ON的狀態下 ，做爲資料寫入動作來開始。 2) —旦電晶體T2與T3處於ON的狀態下，則電晶 體T1於所定時間之後達到常態，而因應資料電流Cdata 之電荷累積於維持電容C。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3) 然後不選擇寫入控制線Vsel，並將電晶體T2與 T3調整於OFF的狀態下，做爲發光動作，一旦停止供應 資料電流Cdata後，選擇發光控制線Vgp。其結果爲，電 晶體T4處於ON的狀態，而對應記憶於維持電容C的電 壓與電源電壓Vdd之電位差Vgs之電流，則經由電晶體 T1與T4供應至發光部0LED，並從發光層射出光。 (周邊電路中之電流維持性能的提升） 接下來說明周邊電路中之本實施型態的特徵。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -34- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（31) 以往，關於控制維持電容的充電放電的主動元件，並 未被詳加檢討。於精密化的FET中，閘極電壓於閾値以 下的情況下，汲極電流亦取決於汲極電壓。亦即，對於聞 極電壓，源極-通道-汲極之間的注入電流呈指數關係來 增加’並產升漏電流。例如’如第5圖所τκ般，一*旦於電 晶體T2中產生漏電流的話，則維持電容C的兩端的電位 差Vgs，偏離對應於所供應的資料信號之値，而將該電壓 輸入於閘極以做爲控制電壓之電晶體T 1，其汲極電流產 生變動。因爲此變動乃以發光部〇LED中之亮度的變化來 呈現，因此無法保證可以得到安定亮度的發光。 因此，如第1圖及第5圖所示般，於本實施型態中， 乃將直接接續於維持電容C的主動元件之電晶體T2，做 爲多重控制端子型主動元件，亦即做爲多閘極型電晶體。 如第5圖的箭頭所示般，於如此的電晶體中，事實上乃相 當於將多數電晶體加以序列接續之元件，使漏電流大幅降 低。而因應所供應的資料信號之電流量，則正確的供應至 發光部OLED。 在此，可以將電晶體T2換爲多閘極型，或者是與之 合倂使用，來成爲LDD構造、GDD構造、DDD構造之電 晶體。藉由採用如此的構造，不僅可減少漏電流，還可抑 制將FET精密化之際之熱電子等所造成的不良影響，以 提升元件的信賴性。 於此實施型態中，考慮了控制信號的極性等，電晶體 丁 1與T2乃以互相具有不同極性，亦即電晶體T 1爲P型 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-35- 582012 A7 B7 五、發明説明（32 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) FET，電晶體T2〜T4爲N型FET來構成。然而，採用P型 或是N型並不限定於此，乃因應所欲適用之信號的極性 可進行任意變更。 此外，各個元件的配置亦不限定於第5圖所示者。例 如，亦可以將維持電容與電晶體T1與發光部OLED的電 位關係加以逆轉。於此情況下，以發光部的共通電極爲陽 極，並最好將各個電晶體的極性（P型或是N型）加以逆 轉。 (周邊電路的空間之縮減） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上所述，於顯示裝置中，爲了提升亮度或是開口率 ，需要將周邊電路所占的區域儘可能的縮減。因此，於本 實施型態中，以在多數的電晶體等主動元件當中之至少一 個主動元件，與其他主動元件用相同的接觸孔來接續的方 式，來佈線形成。具體而言，如第2圖所示般’電晶體 T2及T3及T4乃以相同的接觸孔h3來相互接續。如此， 可使電路上共通接點或是接觸點增多而使佈線達到最適化 ，並以相同接觸點來接續共通接點的部分之方式’來配置 各個元件，藉此，可降低接觸孔的數目，並降低接觸孔於 周邊電路所占的面積。 [實施型態2] 第8圖顯示，針對本發明的實施型態2中之EL元件 ，說明1個像素區及其周邊的配線圖樣之平面圖。第9圖 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -36- 582012 A7 _ B7 五、發明説明（33 ) 爲說明第8圖所示之切面中之層構造之各個剖面圖。第9 圖A爲A— A切面，第9圖B爲B_B切面，第9圖C爲 C-C切面中之層構造。於這些圖面中，與實施型態丨相 同，亦顯示了主要的半導體層102，以及閘極金屬層1〇4 ’以及源極金屬層106，以及陽極層110之各個圖樣。 實施型態2中之EL元件的構成，除了構成階梯形狀 Step的親和性控制膜1 1 3的存在之外，其於與實施型態1 中之EL元件相同。因此關於與實施型態1相同的要素， 於圖面上賦予相同符號，並省略其說明。 以下說明本實施型態的特徵。 (親和性控制層） 如第9圖C所示般，實施型態2中之發光部OLED， 於第2層間絕緣膜1 07及堆積層1 08之間具有親和性控制 層11 3。此親和性控制層11 3雖然不需要形成於像素區全 體上，但是於採用液體材料來形成發光部OLED的情況下 ’較理想爲至少在發光部的邊界附近上，具有此親和性控 制層1 1 3。親和性控制層1 1 3有必要與使用於發光部的形 成之液體材料具有親和性。於本實施型態中，堆積層1 0 8 形成發光部的邊界的壁面，並且選擇對使用於發光層1 1 2 的形成之液體材料具有非親和性的材料做爲堆積層108的 材料，並將之疊層於親和性控制層1 13上。因此，如第8 圖與第9圖C所示般，親和性控制層11 3於發光部內側上 ，形成對堆積層108所形成的壁面之階梯形狀Step。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 訂 經濟部智¾財產局員工消費合作社印製 -37- 582012 A7 B7 五、發明説明（34) 親和性控制層11 3的材料乃取決於，以噴墨方式充塡 於發光區之液體材料具備何種性質來決定。例如，若是液 體材料包含水等極性極高的液體的話，則最好是至少與液 體材料接觸的部分或是表面具有極性基者，來做爲親和性 控制層。相反的，若是液體材料包含非極性的液體的話， 則最好是至少與液體材料接觸的部分或是表面具有非極性 基者，來做爲親和性控制層。此外，親和性控制層的親和 性程度，亦取決於所充塡的液體材料的表面張力。 例如，即使採用對水具有較低的化學性親和性的材料 來做爲親和性控制層，但若是含有較多量之表面張力比水 還小的溶劑的話，則其液體材料的表面張力比水還小，而 使該親和性控制層對該液體材料具有親和性。因此，採用 何種親和性控制層，可依據所採用的液體材料來適當的採 親和性控制層113較理想爲，由A：l、Ta等金屬、氧 化矽、氮化矽、非晶矽、多晶矽、聚硫亞氨、具有氟素結 合之有機化合物、光阻當中任一項所組成之無機化合物或 是有機化合物來加以構成。若是必須具有絕緣性的話，則 可以金屬以外的化合物來構成親和性控制層。這些材料會 因其對液體材料的接觸角度之不同，來決定其親和性的程 度。亦即，親和性或是非親和性，乃爲相對的而非絕對的 。此外，亦可以表面處理的方法來調整親和性的程度。 堆積層108較理想爲，以其親和性的程度比起親和性 控制層1 1 3較低的材料來構成。藉由使堆積層108的親和 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -38- 582012 經濟部智慧財產笱員工消費合作社印製 A7 B7____五、發明説明（35) 性的程度比起親和性控制層1 Π還低，可以因堆積層的非 親和性，來防止液體材料流入於鄰近的像素區，以防止短 路。此外，亦可以因堆積層的非親和性，來防止過剩的液 體材料往堆積層側流入而形成凹狀膜。 如此，根據本實施型態，因爲於發光部的邊界附近’ 具備與液體材料具有親和性的親和性控制層，因此可形成 膜厚一致的發光層。 如此，根據本實施型態，因爲於發光部的邊界附近’ 具備與液體材料具有親和性的親和性控制層，因此可提升 構成發光部的正孔注入層與發光層等層的厚度一致性。 於本實施型態中，乃以階梯形狀形成親和性控制層 11 3，但是在層剖面的厚度足夠的情況下，亦可以形成不 具階梯形狀的壁面，亦即可形成與堆積層之間不具高度差 之單一壁面。 因爲本實施型態2的其他優點與實施型態1相同，因 此省略其說明。 [實施型態3] 第10圖顯示，針對本發明的實施型態3中之EL元 件，說明1個像素區及其周邊的配線圖樣之平面圖。第 11圖爲說明第10圖所示之切面中之層構造之各個剖面圖 。第11圖A爲第10圖A— A切面，第11圖B爲第10圖 B—B切面，第11圖C爲第10圖C—C切面中之層構造 。於這些圖面中，與實施型態1相同，亦顯示了主要的半 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝_ 訂 線 -39- 582012 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（36 ) 導體層202，以及閘極金屬層204，以及源極金屬層206 ，以及陽極層210之各個圖樣。 關於圖樣形狀，於實施型態3之EL元件中，其像素 區20的寬度比實施型態1中之像素區1 〇的寬度還小。關 於電路構成則與實施型態1相同（參照第5圖），而關於 構成各層的材料亦與實施型態1相同，因此與實施型態1 相同的要素，於圖面上賦予相同符號，並省略其說明。然 而於實施型態1中之玻璃基板100，以及底層保護膜1 0 1 ，以及半導體層102，以及閘極絕緣膜103，以及閘極金 屬層104，以及第1層間絕緣膜105，以及源極金屬層 106，以及第2層間絕緣膜107，以及堆積層108，以及陰 極層109，以及陽極層110，以及正孔輸送層111，以及 發光層11 2的各層，於實施型態3中則各自對應於玻璃基 板200，以及底層保護膜201，以及半導體層202，以及 閘極絕緣膜203，以及閘極金屬層204，以及第1層間絕 緣膜205，以及源極金屬層206，以及第2層間絕緣膜 207，以及堆積層208，以及陰極層209，以及陽極層210 ，以及正孔輸送層2 Π，以及發光層2 1 2的各層。此外， 於實施型態1中之電晶體T1〜T4，於實施型態3中則各自 對應於電晶體ΤΙ 1〜T14，於實施型態1中之接觸孔Μ〜h3 ，於實施型態3中則各自對應於接觸孔hi 1〜hi 3。 以下說明本實施型態中之配線圖樣上的特徵。 (電源線下的維持電容） 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 線 -40- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（37 ) 於實施型態1中，將維持電容C配置於電源線Vdd 與資料線Idata之間且爲發光部的外側上（第2圖中之發 光部的上部）。然而，如本實施型態般之像素區的面積較 小的情況下，亦即其像素密度較高的情況下，則會產生維 持電容所佔有的元件面積無法充分取得。 因此於本實施型態中，乃於第1金屬層（例如源極金 屬層206 )或是第2層中之至少一層成爲電源佈線圖樣的 區域上，形成維持電容C。具體而言，如第10圖所示般 ’於佈線在發光部OLED的橫向上之電源線Vdd (源極金 屬層206 )的下方，平行疊層閘極金屬層204，藉此來形 成維持電容C。 此維持電容C與實施型態1所說明的維持電容相同 ’藉由在與維持電容C的形成相關的各層之間（例如源 極金屬層206與閘極金屬層204與半導體層202 )形成重 複區域，來形成維持電容C，並於形成了維持電容C的重 複區域附近，於多數層當中，乃以配置於較下層的層所占 的區域，比起配置於較上層的層所占的區域還要大的方式 來形成。具體而言，如第11圖所示般，假設源極金屬層 206的寬度爲dll，閘極金屬層204的寬度爲dl2，半導體 層202的寬度爲dl3，則具有dl3> dl2> dll的關係。愈 往下層其圖樣形狀愈大。 應具有多大圖樣形狀，乃因製程精密度與圖樣密度的 不同而不同。就取決的方式而言，即使於形成配置於較上 層的層之際，產生了所可能的最大位置偏移的情況下，亦 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ：297公釐^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 -41 - 582012 經濟部智慧財4局工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（38 ) 可使配置於較上層的層的區域，處於配置於較下層的層所 占的區域之內的形狀來佈線形成。於本實施型態中，差分 dl3-dl2與dl2-dl 1是以，與製程中所可以預測之位置偏 移的量相同或是以上的量來設計。 (堆積層下的維持電容） 上述的維持電容較理想爲，形成於用於分隔鄰接的上 述發光部之間的堆積層208之下。亦即，因爲需要以堆積 層來分隔像素，因此於此區域之下，藉由將電源線的佈線 區與用於維持電容的重複區域加以重疊，來大幅減少周邊 電路所佔有的區域，並確保足夠的開口率。 (周邊電路的空間之縮減） 與第1實施型態相同，於本實施型態2中，以在多數 的電晶體等主動元件當中之至少一個主動元件，與其他主 動元件用相同的接觸孔來接續的方式，來佈線形成。具體 而言，如第10圖所示般，電晶體T12及T13及T14乃以 相同的接觸孔h 1 3來相互接續。如此，可使電路上共通接 點增多來設計電路，並以相同接觸點來接續共通接點的部 分之方式，來配置各個元件，藉此，可降低接觸孔的數目 ，並降低接觸孔於周邊電路所占的面積。 關於其他特徵，例如發光部的平面形狀’與閘極金屬 層的電極的分隔處理，周邊電路的動作，周邊電路中之電 流維持性能的提升等，因爲與第1實施型態相同，因此在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 線 -42- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 582012 A7 B7 五、發明説明（39 ) 此省略其說明。 [實施型態4] 第1 2圖顯示，針對本發明的實施型態4中之EL元 件，說明1個像素區及其周邊的配線圖樣之平面圖。第 13圖爲說明第12圖所示之切面中之層構造之各個剖面圖 。第13圖A爲第12圖A — A切面，第13圖B爲第12圖 B—B切面，第13圖C爲第12圖C— C切面中之層構造 。於這些圖面中，與實施型態3相同，亦顯示了主要的半 導體層202，以及閘極金屬層204，以及源極金屬層206 ，以及陽極層210之各個圖樣。 實施型態4中之EL元件的構成，除了構成階梯形狀 Step的親和性控制膜213的存在之外，其於與實施型態3 中之EL元件相同。因此關於與實施型態3相同的要素， 於圖面上賦予相同符號，並省略其說明。 以下說明本實施型態的特徵。 (親和性控制層） 如第13圖B所示般，實施型態4中之發光部OLED ，於第2層間絕緣膜207及堆積層208之間具有親和性控 制層2 1 3。此親和性控制層2 1 3雖然不需要形成於像素區 全體上，但是有必要與使用於發光部的形成之液體材料具 有親和性。於本實施型態中，堆積層208形成發光部的邊 界的壁面，並且選擇對使用於發光層212或是正孔注入層 ^纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-43- 582012 A7 B7 五、發明説明（4〇) 211的形成之液體材料具有非親和性的材料做爲堆積層 208的材料，並將之疊層於親和性控制層2 1 3上。因此， 如第1 2圖與第1 3圖B所示般，親和性控制層213於發光 部內側上，形成對堆積層所形成的壁面之階梯形狀Step。 親和性控制層2 1 3的材料乃取決於，以噴墨方式充塡 於發光區之液體材料具備何種性質來決定。例如，若是液 體材料包含水等極性極高的液體的話，則最好是至少與液 體材料接觸的部分或是表面具有極性基者，來做爲親和性 控制層。相反的，若是液體材料包含非極性的液體的話， 則最好是至少與液體材料接觸的部分或是表面具有非極性 基者，來做爲親和性控制層。此外，親和性控制層的親和 性程度，亦取決於所充塡的液體材料的表面張力。 例如，即使採用對水具有較低的化學性親和性的材料 來做爲親和性控制層，但若是含有較多量之表面張力比水 還小的溶劑的話，則其液體材料的表面張力比水還小，而 使該親和性控制層對該液體材料具有親和性。因此，採用 何種親和性控制層，可依據所採用的液體材料來適當的採 用。 親和性控制層21 3較理想爲，由A卜Ta等金屬、氧 化矽' 氮化矽、非晶矽、多晶矽、聚硫亞氨、具有氟素結 合之有機化合物、光阻當中任一項所組成之無機化合物或 是有機化合物來加以構成。若是必須具有絕緣性的話，則 可以金屬以外的化合物來構成親和性控制層。這些材料會 因其對液體材料的接觸角度之不同，來決定其親和性的程 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -44- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（41 ) 度。亦即，親和性或是非親和性，乃爲相對的而非絕對的 。此外，亦可以表面處理的方法來調整親和性的程度。 堆積層208較理想爲，以其親和性的程度比起親和性 控制層2 1 3較低的材料來構成。藉由使堆積層的親和性的 程度比起親和性控制層還低，可以因堆積層的非親和性， 來防止液體材料流入於鄰近的像素區，以防止短路。此外 ，亦可以因堆積層的非親和性，來防止過剩的液體材料往 堆積層側流入而形成凹狀膜。 如此，根據本實施型態，因爲於發光部的邊界附近， 具備與液體材料具有親和性的親和性控制層，因此可提升 構成發光部的正孔注入層與發光層等層的厚度一致性。 如此，根據本實施型態，因爲形成發光部的邊界附近 的壁面之堆積層對液體材料不具親和性，因此可防止鄰近 的像素區之間的短路。 於本實施型態中，乃以階梯形狀形成親和性控制層 2 1 3，但是在層剖面的厚度足夠的情況下，亦可以形成不 具階梯形狀的壁面，亦即可形成與堆積層之間不具高度差 之單一壁面。 因爲本實施型態4的其他優點與實施型態1相同，因 此省略其說明。 [實施型態5] 本實施型態乃關於，具有於上述實施型態中所說明的 光電元件的EL元件之光學裝置之顯示面板，以及具有該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂
-45- 582012 A7 _B7__ 五、發明説明（42 ) 顯示面板的電子機器。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 第1 4圖爲本實施型態之顯示面板1的接續圖。如第 1圖所示，乃將像素區配置於顯示區1 1內來構成。像素 區可採用實施型態1或實施型態2中之像素區1 0，或是 實施型態3或實施型態4中之像素區20。控制信號可經 由發光控制線Vgp及寫入控制線Vsel，從驅動區14供應 至各個像素區中。而資料信號及電源電壓則經由資料線 Idata與電源線Vdd，從驅動區15供應至各個像素區中。 本實施型態的顯示面板1可適用於各種電子機器。於 第15圖中乃舉出適用此顯示面板1的各種電子機器。 第1 5圖A爲行動電話的適用例，該行動電話30具 有天線部3 1，以及聲音輸出部32，以及聲音輸入部33， 以及操作部34，以及本發明的顯示面板1。如此，本發明 的顯示面板乃做爲顯示部來利用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 5圖B爲攝影機的適用例，該攝影機40具有受像 部41，以及操作部42，以及聲音輸入部43，以及本發明 的顯示面板1。如此，本發明的顯示面板乃做爲視窗及顯 示部來利用。 第1 5圖C爲可攜式個人電腦的適用例，該電腦50具 有攝像部5 1，以及操作部52，以及本發明的顯示面板1 。如此，本發明的顯示面板乃做爲顯示部來利用。 第15圖D爲頭戴式顯示器的適用例，該頭戴式顯示 器60具有固定帶61，以及光學系統收納部62 ’以及本發 明的顯示面板1。如此’本發明的顯示面板乃做爲畫像顯 用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐1 582012 A7 B7 五、發明説明（43 ) 示源來利用。 第1 5圖E爲背投式投影機的適用例，該背投式投影 機70具有本體71，以及光源72，以及合成光學系統73 ’以及反射鏡74及75，以及螢幕76，以及本發明的顯示 面板1。如此’本發明的顯示面板乃做爲畫像顯示源來利 用。 第1 5圖F爲前投式投影機的適用例，該前投式投影 機80於本體8 2中，具有光學系統8 1以及本發明的顯示 面板1，並可將晝像顯示於螢幕8 3上。如此，本發明的 顯示面板乃做爲畫像顯示源來利用。 除此之外，本發明的光電裝置並不限定於上述例子， 亦可適用於所有可適用主動矩陣形顯示裝置之電子機器。 例如，亦可活用於具有顯示功能的傳真機、數位相機的視 窗、可攜式電視、DSP裝置、PDA、電子記事本、電子公 佈欄、宣傳公告用顯示器等。 圖示簡單說明： 第1圖爲本實施型態中之顯示面板的全體圖。 第2圖爲實施型態1中之像素區的平面圖。 第3圖爲實施型態1中之像素區的剖面圖，第3圖A 爲第2圖A— A的剖面，第3圖B爲第2圖B- B的剖面 ，第3圖C爲第2圖C— C的剖面。 第4圖爲發光部的邊界形狀的變形例，第4圖A爲 圓形的發光部之情況，第4圖B爲具有中心線對稱性彎 本紙張尺度適用中國國家標準·（ CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -47- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 582012 A7 B7 五、發明説明（44 ) 曲部的發光部之情況，第4圖C爲具有中心線非對稱性 彎曲部的發光部之情況。 第5圖爲實施型態1中之像素區的電路圖。 第6圖爲實施型態1中之金屬層的對準之說明圖。 第7圖爲實施型態1中之閘極金屬的隔開處理之說明 圖。 第8圖爲實施型態2中之像素區的平面圖。 第9圖爲實施型態2中之像素區的剖面圖，第9圖A 爲第8圖A— A的剖面，第9圖B爲第8圖B—B的剖面 ，第9圖C爲第8圖C一 C的剖面。 第1 0圖爲實施型態3中之像素區的平面圖。 第1 1圖爲實施型態3中之像素區的剖面圖，第1 1圖 A爲第10圖A — A的剖面’第11圖B爲第10圖B— B的 剖面。 第1 2圖爲實施型態4中之像素區的平面圖。 第1 3圖爲實施型態4中之像素區的剖面圖，第1 3圖 A爲第12圖A— A的剖面，第13圖B爲第12圖B—B的 剖面。 第14圖爲實施型態5中之顯示面板的接續圖。 第1 5圖爲實施型態5中之電子機器的例子，第1 5圖 A爲適用本發明的顯示面板之行動電話的例子，第1 5圖 B爲適用本發明的顯示面板之攝影機的例子，第1 5圖C 爲適用本發明的顯示面板之可攜式個人電腦的例子，第 15圖D爲適用本發明的顯示面板之頭戴式顯示器（Head 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本百〇
-48- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（45 ) Mount Display)的例子，第15圖E爲適用本發明的顯示 面板之背投式投影機（Rear-type Projector )的例子，第 15圖F爲適用本發明的顯示面板之前投式投影機（Front-type Projector) 的 例子。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 主要元件對照表 1 10 5 20 11 12 13 14，15 16 ， 100 ， 200 30 31 32 33，43 34 ， 42 ， 52 40 41 50 51 60 61 顯示面板 像素區 顯示區 陰極 陰極取出電極 驅動區 玻璃基板 行動電話 天線部 聲音輸出部 聲音輸入部 操作部 攝影機 受像部 電腦 攝像部 頭戴式顯示器 固定帶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -49- 582012 A7 B7 五、發明説明（46 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 62 光 學 系 統 收 納 部 70， 80 投 影 機 71， 82 本 體 72 光 源 73 合 成 光 學 系 統 74， 75 反 射 鏡 76， 83 螢 幕 81 光 學 系 統 101 ，201 底 層 保 護 膜 102 ，202 半 導 體 層 103 ，203 閘 極 絕 緣 膜 104 ，204 閘 極 金 屬 層 105 ，205 第 1 層 間 絕 緣 膜 106 ，206 源 極 金 屬 層 107 ，207 第 2 層 間 絕 緣 膜 108 ，208 堆 積 層 109 ，209 陰 極 層 110 ，210 陽 極 層 111 ，211 正 孔 輸 送 層 112 ，212 發 光 層 113 ，213 親 合 性 控 制 層 C 維 持 電 容 Cdata 資 料 電 流 dl〜 d3 ， dll〜dl3 寬 度 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -50- 582012 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、發明説明（47 ) h1〜h3， hi 1〜hl3 接觸孔 Idata 資料線 OLED 發光部 R1，R2 曲率 Step 階梯形狀 T1〜T4 ， T 1 1 〜T 1 4 電晶體 Vdd 電源線 Vgp 發光控制線 Vgs 電位差 Vsel 寫入控制線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -51 -

Claims (1)

  1. 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 1 1、 一種主動矩陣基板，乃對應光電元件，具有將電 流供應至設置於每個像素上的上述光電元件之周邊電路， 而上述各個周邊電路各自具有維持控制電壓之維持元件， 以及接續於上述維持元件並供應基於上述控制電壓的電流 至上述光電元件之第1主動元件，以及接續於上述維持元 件並控制上述維持元件的充電放電之第2主動元件，而上 述第2主動元件具有於電源切斷之際之漏電流防止構造。 2、 如申請專利範圍第1項之主動矩陣基板，其中， 上述第2主動元件由多閘極型主動元件所構成。 3、 如申請專利範圍第1項之主動矩陣基板，其中， 上述第2主動元件爲至少具有由LDD構造、GDD構造、 及DDD構造所組成的一群當中所選擇的一種構造之電晶 am 體。 4、 一種主動矩陣基板，乃具有對應於多數的資料線 及多數的掃描線的交叉部來配置之多數的單位電路，其特 徵爲：上述多數的單位電路各自具有，具備第1控制用端 子及第1端子及第2端子之第1電晶體，以及接續於上述. 第1控制用端子並具備第1電極及第2電極之維持元件， 以及具備第3端子及第4端子及第2控制用端子，且上述 第3端子及上述第4端子各自接續·於上述第.1端子及上述 第1電極之第2電晶體，而上述第2電晶體具有多閘極構 造。 5、 一種主動矩陣基板，乃具有對應於多數的資料線 及多數的掃描線的交叉部來配置之多數的單位電路，其特 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 、1T 線 -52- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 2 徵爲：上述多數的單位電路各自具有，具備第1控制用端 子及第1端子及第2端子之第1電晶體，以及接續於上述 第1控制用端子並具備第1電極及第2電極之維持元件， 以及具備第3端子及第4端子及第2控制用端子，並且上 述第3端子及上述第4端子各自接續於上述第1端子及上 述第1電極之第2電晶體，而上述第2電晶體爲具有由 LDD構造、GDD構造、及DDD構造所組成的一群當中所 選擇的一種構造之電晶體。 6、 如申請專利範圍第4項或 第5項所記載之主動 矩陣基板，其中，又具有具備第5端子及第6端子及第3 控制用端子之第3電晶體，而上述第3控制用端子接續於 上述多數掃描線當中之一條掃描線，上述第5端子接續於 上述多數資料線當中之一條資料線。 7、 如申請專利範圍第6項所記載之主動矩陣基板， 其中，上述第6端子接續於上述第3端子及上述第1端子 〇 8、 如申請專利範圍第4項或 第5項所記載之主動. 矩陣基板，其中，使上述主動矩陣基板具有具備多數的層 之疊層構造，而上述多數的層包含形成了構成上述第1電 晶體及上述第2電晶體的半導體膜之半導體層，以及形成 了上述第2控制用端子之閘極金屬層，而於上述閘極金屬 層上，形成了上述多數的掃描線當中之至少一條掃描線之 至少一部分。 9、 如申請專利範圍第4項或 第5項所記載之主動 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 訂 線 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -53- 582012 A8 B8 C8 D8 夂、申請專利範圍 3 矩陣基板，其中’使上述主動矩陣基板具有具備多數的層 之疊層構造，而上述多數的層包含形成了構成上述第1電 晶體及上述第2電晶體的半導體膜之半導體層，以及形成 了上述第2控制用端子之閘極金屬層，而於上述閘極金屬 層上，形成了上述多數的資料線當中之至少一條資料線之 至少一部分。 1 〇、如申請專利範圍第4項或第5項所記載之主動 矩陣基板，其中，使上述主動矩陣基板具有具備多數的層 之疊層構造’而上述多數的層包含形成了構成上述第1電 晶體及上述第2電晶體的半導體膜之半導體層，以及形成 了上述第2控制用端子之閘極金屬層，以及形成了接續於 上述第2電晶體的源極或是汲極之源極或是汲極之源極金 屬層，而上述多數的資料線當中之至少一條資料線的至少 一部分’形成於源極金屬層及閘極金屬層當中較爲接近上 述半導體層之層上。 11、 一種主動矩陣基板，乃具有具備電晶體的單位電 路及掃描線及資料線，並具有由多數的層所組成之疊層.構 造’其特徵爲：上述多數的層具有形成了構成電晶體的半 導體膜之半導體層，以及形成了上述電晶體的閘極端子之 閘極金屬層，而上述掃描線及資料線當中之至少一種之至 少一部分形成於上述閘極金屬層。 12、 一種主動矩陣基板，乃具有具備電晶體的單位電 路及掃描線及資料線，並具有由多數的層所組成之疊層構 造’其特徵爲：上述多數的層具有形成了構成電晶體的半 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -54- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 582012 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4 導體膜之半導體層，以及形成了上述電晶體的閘極端子之 閘極金屬層，以及形成了接續於上述電晶體的源極或是汲 極之源極或是汲極之源極金屬層，而上述掃描線及資料線 當中之至少一種之至少一部分，形成於閘極金屬層及源極 金屬層當中較爲接近上述半導體層之層上。 13、 如申請專利範圍第11項或.第12項所記載之主 動矩陣基板，其中，單位電路具有具備第1控制用端子及 第1端子及第2端子之第1電晶體，以及接續於上述第1 控制用端子並具備第1電極及第2電極之維持元件，以及 具備第3端子及第4端子及第2控制用端子，並且上述第 3端子及上述第4端子各自接續於上述第1端子及上述第 1電極之第2電晶體，而上述第2電晶體爲具有由LDD構 造、GDD構造、DDD構造、及多閘極構造所組成的一群 當中所選擇的至少一種構造之電晶體。 14、 一種光電裝置，其特徵乃具有如申請專利範圍第 1項至第1 3項所記載之任一項的主動矩陣基板以及光電 元件。 1 5、一種光電裝置，屬於對應光電元件，具有將電流供 應至設置於每個像素上的上述光電元件之周邊電路，其特 徵係上述各個周邊電路具有，於發光期間將電流供應至上 述光電元件之發光控制主動元件，以及維持控制電壓之維 持元件，以及在閘極端子接續於上述維持元件下，將基於 施加於該閘極端子之控制電壓的電流，經由發光控制主動 元件供應至上述光電元件之第1主動元件，以及於選擇期 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 裝 訂 .線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -55- 582012 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 間中’經由上述第1主動元件來產生資料電流之電流控制】 主動元件，以及接續於上述電流控制主動元件及上述維持 元件之間，並於上述選擇期間中，進行上述維持元件的充 電並記憶上述控制電壓之第2主動元件，而上述第2主動 元件具有於電源切斷之際之漏電流防止構造。 1 6、一種光電裝置，其特徵係乃具有光電元件以及驅 動上述光電元件之周邊電路，上述光電元件以該光電元件 的邊界至少具有所定的曲率以上來形成，於具有該所定曲 率的邊界與外接於該光電元件的多角形邊界所包圍的區域 上’至少形成上述周邊電路的一*部分。 1 7、如申請專利範圍第1 6項之光電裝置，其中形成 了多數之具有上述所定的曲率之邊界部分。 1 8、如申請專利範圍第1 6項或是第1 7項之光電裝置 ，其中’形成了多數之上述邊界部分，乃以實質上對稱於 通過上述光電元件的幾何中心點之一條中心線來配置。 19、 一種光電裝置，其特徵爲：具有發光部，以及經 由像素電極來進行供應至上述發光部的電流控制之周邊·電 路，上述發光部的面積比上述像素電極的面積還小，而上 述發光部的形狀與上述像素電極的形狀不同。 20、 一種光電裝置，其特徵爲：具有發光部，以及經 由像素電極來進行供應至上述發光部的電流控制之周邊電 路，上述發光部的面積比上述像素電極的面積還小，而上 述發光部的形狀爲具有曲率的形狀，上述像素電極的形狀 爲多角形的形狀。 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -56- 582012 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 6 2 1、一種光電裝置，其特徵爲··具有發光部，以及經 由像素電極來進行供應至上述發光部的電流控制之周邊電 路，上述發光部的面積比上述像素電極的面積還小，而上 述發光部爲具有η個（η爲4以上的整數）角之多角形的 形狀，上述像素電極爲具有m個（m爲3以上的整數） 角之多角形的形狀，並具有η > m的關係。 22、 如申請專利範圍第1 9項至第2 1項所記載之任一 項之光電裝置，其中，上述發光部的全部區域形成於上 述像素電極上，而於未形成上述發光部之上述像素電極的 部分上，設置用於接續上述周邊電路與上述像素電極的接 觸區。 23、 一種光電裝置，其特徵係乃具有光電元件，以及 規定供.應至上述光電元件的電流之以包含電極的多數層所 構成之維持電容，以及將因應維持上述維持電容之電荷量 的電流供應至上述光電元件之主動元件，而構成上述維持 電容的第1電極是以，將形成供應電流至上述光電元件的 電源線之金屬層的一部分加以佈線來形成。 24、 如申請專利範圍第23項之光電裝置，其中，構 成上述維持電容的第2電極是以，將形成上述主動元件的 控制端子之金屬層的一部分加以佈·線來形成。 25、 如申請專利範圍第23項之光電裝置，其中，上 述第1電極爲上述電源線的一部分，並與形成上述主動元 件的控制端子於上述電源線的一部分上之金屬唐的一部分 互相重疊來佈線，以形成上述第2電極。 本紙張尺度逋用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?! 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -57- 582012 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消黄合作社印製 々、申請專利範圍 7 26、 如申請專利範圍第23項之光電裝置，其中，於 上述第1電極與上述第2電極的下方具備半導體層。 27、 如申請專利範圍第25項之光電裝置，其中，於 構成上述維持電容的電極的各層當中，配置於較下層的層 所占的區域比配置於較上層的層所占的區域還要大。 28、 如申請專利範圍第27項之光電裝置，其中，上 述配置於較下層的層所占的區域是以，即使於形成配置於 較上層的層所占的區域之際所可能產生之最大位置偏移的 情況下，該配置於較上層的層所占的區域亦會處於配置於 較下層的層所占的區域之內的形狀，來佈線形成。 29、 一種光電裝置，乃可以藉由主動元件，將依循記 錄於維持電容的電壓之電流，供應至由包含電極之多數層 所構成，並藉由施加電場於該電極之間來發光之光電元件 來構成，其具有構成電源線之第1金屬層，以及針對包含 一部分之上述主動元件的控制端子進行佈線來形成之第2 金屬層，而構成上述維持電容的某一邊的電極，乃將上述 第1金屬層的一部分加以佈線來形成。 30、 如申請專利範圍第29項之光電裝置，其中，構 成上述維持電容的另一邊的電極，乃將上述第2金屬層的 一部分加以佈線來形成。 . 3 1、如申請專利範圍第29項之光電裝置，其中，構 成上述維持電容的某一邊的電極爲上述電源線的一部分， 並將上述第2金屬層的一部分與該電源線的一部分互相重 疊來佈線，以形成上述另一邊的電極。 穿-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -58- 582012 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 8 32、 如申請專利範圍第29項之光電裝置，其中，於 構成上述維持電容的電極的各層當中，配置於較下層的層 所占的區域比配置於較上層的層所占的區域還要大。 33、 如申請專利範圍第32項之光電裝置，其中，上 述配置於較下層的層所占的區域是以，即使於形成配置於 較上層的層所占的區域之際所可能產生之最大位置偏移的 情況下，該配置於較上層的層所占的區域亦會處於配置於 較下層的層所占的區域之內的形狀，來佈線形成。 3 4、一種主動矩陣基板，乃具有對應於資料線及掃描 線的交叉部來配置之像素電極與電路，其特徵爲：上述像 素電極經由至少1個電晶體接續於電源線，並設置接續於 上述至少1個電晶體的閘極之維持元件，而構成上述維持 元件之第1電極接續於上述電源線。 35、 一種主動矩陣基板，乃具有對應於資料線及掃描 線的交叉部來配置之像素電極與電路，其特徵爲：上述像 素電極經由至少1個電晶體接續於電源線，並設置接續於 上述至少1個電晶體的閘極之維持元件，而構成上述維持 元件之第1電極爲上述電源線的一部分。 36、 如申請專利範圍第34項或 第35項所記載之主 動矩陣基板，其中，構成上述維持元件之第2電極爲上述 至少1個電晶體的閘極。 37、 一種主動矩陣基板，乃具有對應於資料線及掃描 線的交叉部並具備電晶體的單位電路，其特徵鳥：構成上 述電晶體的半導體膜形成於半導體層上，而於上述資料線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -59 - 582012 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 9 及上述掃描線的交叉部中，上述資料線及上述掃描線中之 任一項形成於第1導電層，而上述交叉部以外的部分之上 述資料線及上述掃描線則形成於第2導電層。 3 8、如申請專利範圍第3 7項所記載之主動矩陣基板 ，其中，上述第2導電層配置於上述第1導電層與上述半 導體層之間。 39、一種光電裝置，乃對應於資料線及掃描線的交叉 部以具備光電元件，其特徵爲：包含供應電力於上述光電 元件之一對電極，於上述資料線及上述掃描線的交叉部中 ，上述資料線及上述掃描線中之任一項形成於第1導電層 ，而上述交叉部以外的部分之上述資料線及上述掃描線形 成於第2導電層，而上述第2導電層則從上述第1導電層 遠離上述一對電極之任一邊來配置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60-
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