TW559584B - Method and device for adjusting position of hand - Google Patents
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Description
559584 五、發明說明(]) 發明所屬之技術領域】 本發明係關於機哭丰/署 娜。。于之位置對準方法及其裝置。 習知之技術】 的中’有使用機械手臂將收納於閉盒内 ===:一作業場所的情況。機械手臂在將機 ° ·甲凰]的玻璃基板的下方空間後,筆直上升爷;^ 器手用以吸著破璃其祐 ^ e丄u 军且上开4械 門八& Η山 基板。方;疋,由機器手將各玻璃基板從 閘益内取出,搬運至下一作業場所的承接位置。 玻璃基板有被收納於閘盒内的偏離正確位置的位置上 情況,機械手臂邊修正I、息 k 〇止Θ位置偏呈邊將玻璃基板正確搬 至下一作業場所的承接位置。 乂機器手上設有檢測玻璃基板的後端緣(近前側端緣)用的 前後位置檢測感測器。藉由前後位置檢測感測器檢測玻璃 基板的後端緣’求得玻璃基板的前後方向的位置偏差量△ v 此外,前後位置檢測感測器係於機器手的左右各設置1 個’左右的前後位置檢測感測器根據檢測玻璃基板的後端 緣的時間至求得玻璃基板的左右方向的傾斜角0。 此外’鄰近機械手臂設置檢測玻璃基板的側緣用的左右 位置檢測感測為。機械手臂從閘盒内將玻璃基板筆直取出 後’橫向移動至左右位置檢測感測器檢測玻璃基板的側緣 為止。於是’根據移動機械手臂至左右位置檢測感測器檢 測玻璃基板的側緣為止的距離,求得玻璃基板的左右方向 的位置偏差量ΔΥ。 於是,機械手臂邊修正所求得的位置偏差量、Δγ及
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傾斜角0邊搬運基板 所的承接位置。 將玻璃基板正確置放於下一作業場 【發明 然而 器,其 玻璃基 會有加 本較一 此,裝 此外 業場所 增力口生 又, 移動, 置偏差 板的位 本發 間,同 之位置 【解決 所欲解決之問題】 係與機械手臂另外設置左右位置檢測感測 而I芏間增大,使得裝置全體更為大型化。一浐 板是於無塵室内進行作業,隨著製置全體的1 =化 t無塵室的必要。無塵室的每一單位面積的必要 般工廠的每一單位面積的必要成本要高很多,因 置的大型化會招致製造成本的增加。 ’從閘盒内取出的玻璃基板無法直接搬運至下一作 ’有暫時向左右位置檢測感測器移動的必要,此會 產即拍時間(duct time),造成生產性惡化。 為求得位置偏差量ΔΥ實際上將機械手臂向橫方向 ,用測定該移動量求得位置偏差量Δγ,因而,位 ^ ΑΥ的值本身就有可能含有誤差,會造成玻璃基 置定位精度惡化。 月之目的在於,提供一種可減小設置時必要的空 時可縮短生產節拍時間,又,誤差要因少的機器手 對準方法及其裝置。 問題之手段】 為了達成上述目的,申請專利範圍第1項之發明,係為 將^動彳2為手從前後方向進入工件的上方或下方進行位置 對準之機器手之位置對準方法,其具備如下步驟,機器手 具有左右方向並行配置的一對第1感測器,及設於側部的
C:\2D-O)DE\91-10\91117654.pUl 559584 五、發明說明(3) 第2感測器,將機器手從前後方向進入工件的上方或下方 的機器手進入步驟;根據機器手進入時一對第1感測器檢 測工件的前端緣或後端緣的機械座標差,求得工件的左右 方向的傾斜角<9的傾斜角計算步驟;於工件的上方或下方 沿左右方向使機器手僅傾斜傾斜角0的傾斜角對準步驟; 在沿左右方向使機器手僅傾斜傾斜角0的狀態下,沿左右 方向移動機器手至第2感測器檢測工件的側緣為止的第1左 右位置對準步驟;及在沿左右方向使機器手僅傾斜傾斜角 0的狀態下,沿從前後方向僅傾斜傾斜角0的方向移動機 器手至一對第1感測器檢測工件的前端緣或後端緣為止的 第1前後位置對準步驟。 據此,若進行機器手進入步驟時以使機器手與工件對 向,進行傾斜角計算步驟,可求得機器手與工件的面向偏 差(傾斜)。於是,進行傾斜角對準步驟以使機器手的面向 與工件的面向一致,進行第1左右位置對準步驟,以修正 機器手的左右方向的位置偏差,進行第1前後位置對準步 驟,以修正機器手的前後方向的位置偏差。也就是說,在 解除了工件的左右方向的傾斜角0 、左右方向的位置偏 差、前後方向的位置偏差的狀態下,始由機器手挾持工 件。 此外,申請專利範圍第2項之發明,係為將自動機器手 從前後方向進入工件的上方或下方進行位置對準之機器手 之位置對準方法,其具備如下步驟,機器手具有左右方向 並行配置的一對第1感測器,及設於側部的第2感測器,將
C:\2D-CODE\91 -10\911176 54.p t d 第6頁 559584 五、發明說明(4) 機器手從前後方向進入工件的上方或下方的機器手進入步 驟;根據機器手進入時一對第1感測器檢測工件的前端緣 或後端緣的機械座標差,求得工件的左右方向的傾斜角Θ 的傾斜角計算步驟;於工件的上方或下方沿左右方向使機 器手僅傾斜傾斜角Θ的傾斜角對準步驟;在沿左右方向使 機器手僅傾斜傾斜角Θ的狀態下,沿前後方向移動機器手 至一對第1感測器檢測工件的前端緣或後端緣為止的第2前 後位置對準步驟;及在沿左右方向使機器手僅傾斜傾斜角 0的狀態下,沿從左右方向僅傾斜傾斜角(9的方向移動機 器手至第2感測器檢測工件側緣為止的第2左右位置對準步 驟。 據此,若進行機器手進入步驟時以使機器手與工件對 向,進行傾斜角計算步驟,可求得機器手與工件的面向偏 差(傾斜)。於是,進行傾斜角對準步驟以使機器手的面向 與工件的面向一致,進行第2前後位置對準步驟,以修正 機器手的前後方向的位置偏差,進行第2左右位置對準步 驟,以修正機器手的左右方向的位置偏差。也就是說,在 解除了工件的左右方向的傾斜角0 、前後方向的位置偏 差、左右方向的位置偏差的狀態下,始由機器手挾持工 件。 此外,申請專利範圍第3項之發明,係為將自動機器手 從前後方向進入工件的上方或下方保持且取出工件、同時 進行位置對準之機器手之位置對準方法,其具備如下步 驟,機器手具有左右方向並行配置的一對前後感測器,同
C:\2D-CODE\9MO\9]]17654.rKl 第7頁 五、發明說明(5) 時’支持為可上下方 部具有端緣感測器,同才t J::機益手的機械手臂的臂柱 的上方或下方的機哭=再:機器手從前後方向進入工件 前後感測器檢測工件的ft二驟,根據機器手進入時一對 得工件的左右方向=後端緣的機械座標差,求 的上方或下方沿左右方6角=傾斜角計算步驟;於工件 角對準步‘驟;沿左右“::僅傾斜傾斜角θ的傾斜 後感測器導通的起始點保===僅傾斜傾斜角θ,在前 端緣感測器測定工件的#終 出工件的取出步驟;藉由 偏差量將工件對準 t 、、二右測疋步驟;及修正左右 據此,若進行機器手:位$ :位置對準步驟。 向,進行傾斜角計算I 入^驟時以使機器手與工件對 差(傾斜)。於是,逸疒二、可求得機器手與工件的面向偏 與工件的面向一致,^ 〃、斜角對準步驟以使機器手的面向 外,進行左右測定步驟::f步驟保持且取出工件。此 步驟以修正左右的偏差量疋工件的端緣,進行位置對準 說,在解除了工件的:使工件位於指示位置。也就是 置偏差、前後方向的位w ^向的傾斜角0 、左右方向的位 工件。 偏差的狀態下,始由機器手挾持 此外,申請專利範圍第 移動且可旋轉的自動機哭貝^之明,係為將可前後左右 下方進行位置對準之機從珂後方向進入工件的上方或 具有左力方向並行設置位置對準裝其於機器手 側部的第2感測器,根據播_對弟1感測器,及設於機器手 -歲為手進入時一對第1感測器檢測 !! C:\2D-CODE\91-10\91117654.ptd
第8頁 559584 五、發明說明(6) 工件的前端緣或後端緣的機械座標差,求得工件的左右方 向的傾斜角0 ,根據一對第1感測器檢測工件的前端緣或 後端緣,根據第2感測器檢測工件側緣。 據此,在解除了工件的左右方向的傾斜角0、前後方向 的位置偏差、左右方向的位置偏差的狀態下,始由機器手 挾持工件。 此外,申請專利範圍第5項之發明,係於申請專利範圍 第4項之機器手之位置對準裝置中,一對第1感測器及第2 感測器係為光學式地檢測工件之邊緣者。據此,可以非接 觸方式檢測工件的邊緣。 此外,申請專利範圍第6項之發明,係為將可前後左右 移動且可旋轉的自動機器手從前後方向進入工件的上方或 下方進行位置對準之機器手之位置對準裝置,其於可上下 方向移動地支持安裝機器手的機械手臂的臂柱部設置端緣 感測器,藉由該端緣感測器檢測機器手所吸著的工件的左 右方向的位置。 據此,利用端緣感測器檢測工件的左右方向的位置,因 而,與習知將左右位置檢測感測器特別設於自動臂機構的 情況比較,可使裝置全體小型化。藉此,減小了所需無塵 室的空間,可降低製造成本。 此外,無必要如習知般將從閘盒取出的工件移動至與機 械手臂部不同位置設置的左右位置檢測感測器,而且,端 緣感測器與機械手臂同時向上下方向移動,因而,可縮短 生產節拍時間,提高生產性。
C:\2D-CODE\9MO\91117654.ptd 第9頁 559584 五、發明說明(7) 又,端緣mm於❹冑, ,間:活;部僅為機器手及機械手臂。因:與如習。 2置檢測感測器間存在自動臂機構及架台的 定誤差。 仵兵感測為間的活動部極少而可減小測 此外’ t請專利範圍第7項之發明 第6項之機器手之位置對準 申5月專幻乾圍 測器。據此,可在廣範圍正確檢測出而工ζ感測山器為線型感 【發明之實施形態】 、件的知緣。 成^丁令、如、Η式,詳細說明本發明之最佳實施形態的構 f 1至圖5顯示適用本發明之機 置對準裝置),係為將可今洛士 士 Μ 下間稱為位 器手!從前後方向=移:且可旋轉的 機器手之位置對準f置nt!或下方進行位置對準之 抓晋的一斜笛其於機器手1具有左右方向並行 緣2a或後端賴^ ^ # = i件=端 傾斜角0 ,根據一對筮]汚.目,丨&于件2的左右方向的 後端緣2b,根據第2^ =二檢測工件2的前端緣2a或 T1 ^ ^ , . ^ 則頭B頒不圖中的左右方向。 方向隔開y定^° 1件2係於問盒内上下 重瑩收納方;未圖示的閘盒内。在機器手
第10頁 C:\2D-CODE\91-10\91117654.ptd 五、發明說明(8) 1進入閘盒内的工件 吸著工件2。機器手丨步F方後,使機器手1上升藉由負壓 安裝有機器手1ίΛι/战如又子形狀。 第1機械手臂6與第2機,機構5,係利用相互逆方向旋轉 此外,自動臂機構5伤,手臂7沿前後方向移動機器手1。 上,利用左右移私#二可沿左右方向移動地載置於架台8 利用上下移動第丨機料^^手1左右移動。又,自動臂機構5 機構5係由電腦=ί f臂6使;器手;上下移動。自動臂 ^ 、、= 〇構成的控制器(未圖示)所控制。 弟忍、/、3為測工件2的前端緣2 a或是後端緣2 b者, 例如’如於機器手1的與工件2的前端緣2a或是後端緣2b對 向的。卩位面向上方而設。由於本實施形態中,藉由第1感 測裔3檢測工件2的後端緣2b,因而,第1感測器3係設於與 工件2的後端緣2b對應的部位、亦即左右的叉ia、ib的叉 根部。 苐1感测為、3為例如光學式地檢測工件2的後端緣2 b的感 測器。第1感測器3具備如面向上方發光的發光部;及接收 發光部發出、且由工件2反射的光的受光部。受光部的受 光量係根據工件2的有無進行變化,因而,根據該受光量 可檢測出是否與工件2對向、亦即可檢測出工件2的有無的 境界的端緣。 第2感測器4為檢測工件2的側緣者,係於機器手1的與工 件2的侧緣對向的部位面向上方而設。由於本實施形態 中,藉由第2感測器3檢測工件2的左側緣2c,因而第2感測 器4係設於與工件2的左側緣2 c對應的部位、例如、形成於
C:\2D-CODE\91-10\91 117654 .pm 第11頁 559584 ——^ 五、發明說明(9) 左侧叉1 a的〇 第2感測哭^ 部2e。 . 測器。第2 i,、則學式地檢測工件2的左側緣2c的感 發光部發出*' 4具備如面向上方發光的發光部;及接收 光量係根據工i〇由工件2反射的光的受光部。受光部的受 可檢測出是不,.的有無進行變化,因而,根據該受光量 境界的端緣:與工件2對向、亦即可檢測出工件2的有無的 對準方法)計進對:幾,、器手1的位置對準方法(以下’簡稱為位置 法。該位取斜丁:兄明。圖6顯示適用本發明的位置對準方 工件2的上'準方法係為將自動機器手1從前後方向進入 法’其具備如\下」方進行位置對準之機器手之位置對準方 一對第1感測器3 U器j 具有左右方向並行配置的 從前後方向進入工件&的第2感測器4,將機器手! (SU);根據機界手丨 或下方的機器手進入步驟 端緣h或後端緣;第1Λ測器3檢測工件的前 的傾斜角Θ的傾斜角叶’求仔工件2的左右方向 方沿左右方向使機器年;"從%,;(S12) ’·於工件2的上方或下 驟(S1 3 );在沿乂 、斜傾斜角β的傾斜角對準步 緣為止的第〗左右位置V準手二^ 機裔手1僅傾斜傾斜角0 在沿左右方向使 傾斜角β的方向移動機手:z,f從前後方向僅傾斜 的前端緣2 a或後端綠9 / 對第1感剩器3檢測工件2 為止的第】前後位置對準步驟 __
IK C:\2D-O0DE\9J-10\9JJJ7654.ptci 559584 五、發明說明(ίο) (S15)。 機器手進入步驟(S11)中,使機器手1前行進入工件2的 下方(圖1 )。此時,若工件2向左側僅傾斜傾斜角Θ,最 初,左側的第1感測器3檢測出工件2的後端緣2b。自動臂 機構5的控制器常時把握機器手1的現在位置的座標。控制 器根據左側的第1感測器3檢測出工件2的後端緣2b的瞬間 的機器手1的位置座標,計算出從第1機械手臂6的旋轉中 心〇 1至左側的第1感測器3的前後方向的距離X1。 於是,當機器手1再度前行時,右側的第1,感測器3檢測 出工件2的後端緣2b (圖2 )。控制器根據右側的第1感測器3 檢測工件2的後端緣2 b的瞬間的機器手1的位置座標,計算 出從第1機械手臂6的旋轉中心01至右側的第1感測器3的前 後方向的距離X2。 在傾斜角計算步驟(S1 2 )中,求得工件2的左右方向的傾 斜角θ。若假設左右的第]感測器3的間隔為以時,則傾斜 =Θ=Μγτ1((Χ2-Χ1)/ L1)。控制器係計算該程式求得傾斜 角0 。 步驟(S13” ’首先,求得最初沿左右方 =二;…2的支持位置的 械手臂6的旋轉中心…工置;=二=1機 ^ ^Y1=L2 χ tan , 0 ^ ^ ^ ^ 向的移動距離Y1。於是,若使=二私式求仵向左右方 動距離Y1 ’同時,使自動臂機動#機構5向右方向僅移 向左方向僅旋轉傾斜角
559584 五、發明說明(11) ㊀ 機☆手1成為以閘盒的設置位置的中心02為中心向左 方向僅傾斜角度0 ,使得工件2的傾斜與機器手1的傾斜一 致。 德ί g第左ΐ位置對準步驟(S1 4 )中’沿左方向移動自動臂 / ^ ,第2感測器4檢測工件2的左側緣2c的位置停止 " 籍此’可調整工件2與機器手1的左右方向的位置 關係。 1 π在^後位置對準步驟(S1 5 )中’從前後方向使機器手 1僅傾斜傾斜尚A & +, ,的方向、亦即沿工件2的側緣2c、2d的方 ^ t , 丁弟1感測器3檢測工件2的後端緣2b的位置 停止(圖 5 ) 。Μ ,|·μ _ > $ „ ^ ^此’可調整工件2與機器手1的前後方向的 位置關係。 ^就=a兄’使機器手1的傾斜角0、前後左右的位置對 收1 ^ 2 /隨後上升機器手1吸著工件2。如此,由於在 :俨為手1對準工件2後吸著工件2,因而,例如工件2的置 ^位置即使相/對於問盒多少存在—些偏差,機器手工與工 ^的位1關仏仍成為正確,自動臂機構5可正確將工件2 搬運至下業場所的承接位置。 $ ’上述貫施形態為本發明的一例較佳形態,但是,並 不僅限於此,只I太丁 種種的變形。要在不起出本發明之要旨的範圍,即可作 r ς iD由圖:t位置對準方法中’在第1左右位置對準步驟 置對VWrii方向移動機器手1 ,隨後,在第1前後位 ,y Ηκ 中’從前後方向使機器手1僅傾斜傾斜角
___ 苐14頁 559584 五、發明說明(]2) 0的方向移動,但本發明並 在第2前後位置對爭步驟(s丨6 ) ^ ^ πί,圖7所不, 器手1,隨後,在第2左右位晋射准士可耵後方向移動機 右方向使機器手1僅傾斜傾斜角> 乂驟s 17)中,沿從左 左右侧緣2 c、2 d的方向移動。的方向、亦即沿工件2的 =是說’該位置對準方法係為將自動 方”入工件2的上方或下方進行位置對:之。機心= 置對準方法其還可具備如下步驟,機器手!且; 向並行配置的一對第1感測器3, /、有左右方 4,將機器手i從前後方向進入工;上側方部士的第2感測器 ^ #,,usi 1) ; ^ ^ ^ n ^ ΓΛ Λ .T! 測工件2的前端緣23或後端緣孔的機械座標差,= 的左右方向的傾斜角β的傾斜角計算步驟(S12).=工二 的上方或下方沿左右方向使機器手丨僅傾斜傾斜角0 斜角對準步驟(S13);在沿左右方向使機器手1僅傾斜傾斜 角0的狀態下,沿前後方向移動機器手1至一對第i感測哭 3檢測工件2的前端緣2a或後端緣2b為止的第2前後位*置'對& 準步驟(S1 6);及在沿左右方向使機器手!僅傾斜傾斜角θ 的狀態下’沿從左右方向僅傾斜傾斜角0的方向移動機哭 手1至第2感測器4檢測工件2側緣為止的第2左右位置對準 步驟(S1 7 )。 < 該位置對準方法也與圖1之位置對準方法相同,可使機 器手1的傾斜角0、前後左右的位置對準於工件2。藉此, 例如工件2的置放位置即使相對於閘盒多少存在一些偏
| SI ιβρβι II I 1 1 11 C:\2D-CODE\9MO\91117654.pid 559584 五、發明說明(13) 差,機器手1與工件2的位置關係仍成為正確,自動臂機構 5可正確將工件2搬運至下一作業場所的承接位置。 此外,上述說明中,係藉由一對第1感測器3檢測工件2 的後端緣2 b,但是,也可藉由一對第1感測器3檢測工件2 的别端緣2 a。 此外’上述說明中’係措由第2感測4檢測工件2的左 側緣2 c,但是,也可藉由第2感測器4檢測工件2的右側緣 2 d 〇 又,上述說明中,機器手1上安裝有檢測工件2的後端緣 2b的一對第1感測器3,及檢測工件2的左側緣2c的第2感測 器4,但也可增加安裝的感測器數。例如,圖8所示,除安 裝檢測工件2的後端緣2b的一對第1感測器3,及檢測工件2 的左側緣2 c的第2感測器4外,還可安裝檢測工件2的前端 緣2a的一對第1感測器3,及檢測工件2的右側緣2d的第2感 測器4。利用增加感測器數可提高機器手1的位置定位精 度。此外,即使工件2的尺寸公差大的情況,也可握持工 件2的中心部分。 此外,上述說明中,係藉由感測器3、4檢測工件2的端 緣2a〜2d,在將感測器3、4的位置對準於工件2的端緣2a 〜2d的狀態下吸著工件進行握持,但是,並非一定要將感 測器3、4的位置對準於工件2的端緣2 a〜2 d。例如,也可 將感測器3、4的位置對準於遠離開工件2的端緣2a〜2d的 落在指定偏差尺寸之内側的位置。 另一方面,上述實施形態中,機器手1上至少安裝1第2
C:\2D-CODE\91-10\9ni7654.ptcl 第16頁 乃584 五、發明說明(】4) 感測器4,但B 、, 2感測器4,ϋ ’並不僅限於此,也可於機器手1不設置第 安裝機器手^是,如圖9所示,於可上下方向移動地支持 藉由該:緣感的機械手臂6的臂柱部18設置端緣感測器〗9, 方向的位置t ^為1 9檢測吸著於機器手1上的工件2的左右 的左右方向礒情況,由於利用端緣感測器1 9檢測工件2 特別設於自f,置,因而,與習知將左右位置檢測感測器 化。藉此,^臂機構5的情況比較,可使裝置全體小型 此外,該情小了所需無塵室的空間,可降低製造成本。 2移動至與自| ^中’無必要如習知般將從閘盒取出的工件 器,而且、,妒力臂機構5不同位置設置的左右位置檢測感測 移動,因而:緣感測器19與機械手臂6、7同時向上下方向 又,端緣感:Ϊ短生產節拍時間,提高生產性。 緣感測器1 9間的态1 9係设於臂柱部1 8,因而,工件2與端 此,與如習知妒1動部僅為機器手1及機械手臂6、7。因 動臂機構5及架\^工t2與左右位置檢測感測器間存在自 的活動部極少、的h况比車乂,由於工件2與感測器1 9間 在此,機可減小測定誤差。 L3。於*,於機具器有手一對第1感測器 件2的前端緣2a或後入日;^對弟1感測器3、3檢測工 方向的傾斜角θ後/ 4 b,同蚪,據此求得工件2的左右 此外,端緣感準機器!1與卫件2的面向。 廣範圍正確檢;:二:型感測器構成。因此,可在 2d。 出件的立而緣、亦即左側緣2c或右側緣
第17頁 559584 五、發明說明(15) __ 線型感測器1 9具備發光部與受光部,同時, 置為如圖1 〇所示相對工件2呈傾斜狀。因此',x光軸係設 部的光線由工件2反射返回原來的方向等 2抑制發光 產生。又,圖10中,元件編號Γ 、6,、7,八°、力作-的原因 機器手及機械手臂。 刀1頌不第2個 又,線型感測器19係設於圖9所示機械手臂6、 方向的相反側。因此,機械手臂6 /的言曲 不會干擾,也不會阻礙操作性。W線型感測器Π相互 針對該實施形態之機器手〗之位 該位置對準方法係為將自動機界 ^方法進行說明。 的上方或下方保持且取出工件\ ^別後方向進入工件2 機器手之位置對準方法。於是,> 5妆將工件2位置對準之 示,具備如下步驟,將機器手〃二/立置對準方法如圖Π所 方或下方的機器手進入步驟 ^刖後方向進入工件2的上 對前後感測器3、3檢測工件2 二根據機器手1進入時一 械座標差,求得工件2的左古則端緣2a或後端緣2b的機 算步驟(S1 2 );於工件2的上方/向的傾斜角Θ的傾斜角計 1僅傾斜傾斜角Θ的傾斜角 或下方沿左右方向使機器手 機器手1僅傾斜傾斜角0 ,二步驟(S1 3);沿左右方向使 點保持且取出工件2的取出牛二後感測器3、3導通的起始 測定工件2的端緣2c、2d的二^(Sl8);藉由端緣感測器19 右偏差量將工件2對準於指=右測定步驟(S1 9);及修正左 機器手進入步驟(SI 1 )與:^置的位置對準步驟(S20)。 及圖7所示者相同省略詳細說/角計算步驟(S1 2 )因與圖6 °兄明。又,將收納工件2的閘盒 C: \2D-CODE\9] -]〇\9] ] 17654. pic! 第18頁 559584 五、發明說明(16) 的設置位置的中心〇2與第1機械手臂6的旋轉中心01處於最 短距離的臂柱部18的位置(圖9所示狀態)作為自動臂機構5 的假設原始位置。 在傾斜角對準步驟(S13)中,首先,求得最初沿左右方 向移動自動臂機構5的距離Y2。距此求得工件2的前後方向 的中心0 3。假設從工件2的础後方向的中心〇 3至第1機械手 臂6的旋轉中心〇 1的距離為L 3,則L 3由如下數式算出。 L3=Xl+tan Θ x (Ll/2)+cos θ χ (b/2) 又,向左右方向的移動距離為Υ 2 == L 3 χ t a η 0。控制器計 算該試求得向左右方向的移動距離Υ2。於是,如圖丨3所° 示,邊將自動臂機構5向右方向的僅移動距離γ2,同時邊 將自動臂機構5旋轉僅傾斜角<9,即可使機器手1以工件2 的中心03為中心向左方向僅傾斜角度0 ,使工件2的傾斜 與機器手1的傾斜一致。 在取出步驟(S18)中,如圖13所示,使機器手1向左方向 僅傾斜角度Θ,同時,使自動臂機構5僅移動距離Υ2,在 前後感測器33導通的起始點保持且取出工件2。隨後, 如圖1 4所示,使自動臂機構5僅返回距離Υ2,同時,使機 器手1僅返回傾斜角Θ。藉此,使自動臂機構5位於假設的 原始位置。 .在左右測定步驟(s 1 9 )中,如圖1 5所示,藉由端緣感測 器1 9測定工件2的端緣2c。於是,在位置對準步驟(S2〇)中 修正左右偏差量使工件2對準於指示位置。 如上所述,根據本實施形態由於將前後感測器3、3搭載 第19頁 C: \2D-OODE\9] · 】】7654 .ptd 559584 五、發明說明(]7) 於機器手1上’因而’可相對機器手!筆 此,可防止在從儲存庫取出工件2時因工y的=件2。因 莫名其妙的飛落或缺口的情況發生。 ’角部而造成 哭,上述實施形態中,雖將前後感測器3、3捉并 的手上,但並不限於此,也可不搭载。該愔。裁於機 緣感測器1 9決定工件2的位置。也就是說,保持工僅由端 需進行測定即進行保持。於是,只要於保持後、件2時不 ,器Π進行工件2的左右側緣2c、2d與前後端緣側^緣感 中至少3部位的測定,測定對於自動臂機構5的工、2b 置’再搭載於下一正禮位置即可。 、位 、,又,上述實施形態中,僅設置1個端緣感測器丨9,作θ 並不僅限於此,也可設置2個以上的端緣感測器。如=是 自動⑤機構5的左右部位各設置1個端緣感測器丨9,= 測工〃件2 ^左右側緣2C、2d。該情況,藉由前後移動機^十 手1等,藉以檢測出工件2的傾斜角0且予以修正即。斋 【發明效果】 ° 、如上所述,申請專利範圍第丨項之機器手之位置對準 法中1,於具備如下步驟,機器手具有左右方向並行配置 ^ 對苐1感測器,及設於側部的第2感測器,將機器手從 3,方向進入工件的上方或下方的機器手進入步驟;°根二 2為手進入時一對第1感測器檢測工件的前端緣或後端緣 白、機械座標差,求得工件的左右方向的傾斜角0的傾斜角 計算步驟;於工件的上方或下方沿左右方向使機器手僅傾 斜傾斜角0的傾斜角對準步驟;在沿左右方向使機器手僅
C:\2D- C〇DE\9]-l〇\9]117654.ptd 第20頁 559584 1五、發明說明(18) ^ ί=,向使機器手僅傾斜傾斜角θ的=對準步驟;及在 向僅傾斜傾斜角0的方向移 狹態下’沿從前後 ,工件的前端緣或後端緣為止對第1感測器 騄,因而,僅藉由設於機器手上:】:後位置對準步 :;:ΐ對準。因此,,無將:Ξ;Γ可進行機器手 臂機構的肋等上的必要,可=測益個別地安裝於自動 所必要的空間。此夕卜,由於可u型化’也可減窄設置 ,至下一作業場所,可縮短搬運二二二後直接將工件搬 郎拍時間。又,藉由設於機哭二守間,也可縮短生產 的位置對準,目而,可減小誤差要:測器直接進行機器手 此外,申請專利範圍第2項之機哭。 中’由於具備如下步⑩,機哭手具;手之位置對準方法 1第1感測器,及設於側部的方配置的 後方向進入工件的上方或下方的機二丰:冬機态手從前 器手進入時-對第1感測器檢測工件D°的吁二步、驟;根據機 機械座標差,求得工件的乂 、月11而‘或後端緣的 算步驟;於工件的上方或;;=傾斜角Θ的傾斜角計 傾斜角0的傾斜角對準步驟.$ 方向使機器手僅傾斜 :傾斜角“㈣T,沿前後;器手僅傾 2器檢測工件的前端緣或後端緣為對第1 > V称,及在沿左右方向使機器手僅_ 引後位置對 下,沿從左右方向僅傾斜傾斜角θ方Θ 、知角Θ的狀態 勺方向淨夕動機器手至第
559584 五、發明說明(]9) 2感測器檢測工件側緣為止的第2左右位 而,僅藉由設於機器手上的感測器即可 =
的空間…卜,由於可於握持工件後直接將工 斤G -作業場所’彳縮短搬運所需時間,也可縮短生產節拍日: :m:機器手的感測器直接進行機器手的位置 對準,因而,可減小誤差要因。 此外,根據申請專利範圍第3項之機器手之位置 法,可僅藉由設於機器手及臂柱部的感測器即可進 手的位置對準。因Η彳如,無將感測器個別地安裝^ 動臂機構的肋等上的必要,可使裝置小型<匕 ;卜 置所必要的空間。此外,由於不需經由與自動臂機 ::,握持工件後直接將工件搬運至下:二 :琢所’ gp可紕短搬運所需時間,也可縮短生產節拍 ,。又,端緣感測器係設置於臂柱部,0此, =議活動部僅為機器手及機械手臂。因此斑Ϊ: 工件興左右位置檢測咸:目丨丨口口日日士 士 A /、白知 ,,ώ仏Π α測益間存在自動臂機構及架台的情 差。乂 m興感測器間的活動部極少可減少測定誤 此夕:’:請專利範圍第4項之機器 中,由於機器手具有左 了早裝置 器,及嗖於機尹主,,Γ 设置的一對第1感測 二對ί Γ感t Λ 1部:第2感測器^ ΰσ k J件的前端緣或後端緣的機械座標
第22頁 C:\2D-CODE\91-10\91117654.ptd 559584 五、發明說明(20) __ 差,求得工件的左右方向的傾斜角^, 測器檢測工件的前端緣或後 =艮據一對第1感 件側緣,僅藉由設於機器手^苐2感測器檢測工 位置對準。因此,例如 即可進行機器手的 機構的肋等上的必要,可使別;臂 必要的空間。此外,由於可也了減乍設置所 至下一作業場所,可縮短搬運二兩士後直接將工件搬運 拍時間。X ’藉由設於機器;;^直=可縮紐生產節 位置對準,因而,可減小誤1 =測益直接進行機器手的 中此夕U請專利範圍第5項之機器手之位置對準裝置 :邊K一 Γ1感測二及第2感測器輪學式地檢則工 件者,因而可以#接觸方式檢測工件的邊緣。 置,由於3據申請專利範圍第6項之機器手之位置對準裝 $ :於利用端緣感測器檢測工件的左右方向的位 二兄:知將左右位置檢測感測器特別設於自動 = Lb;,可使裝置全f小型化。“,減小了所需無Ϊ ηϋ 降低製造本。此外,$必要如習知般將從 Γ ϋ ΐ 工件移動裘與機械手臂部不同位置設置的左右 ^測感測器,而真,端緣感測器與機械手臂同時向上 二移動,因而,玎縮紐生產節拍時間,提高生產性。 Ρ3 ·5Λ二、水感'則器係設於臂柱部,因而,工件與端緣感測器 曰杜/動部僅為機器手及機械手臂。因此,與如習知般於 =7,左右位置檢測感測器間存在自動臂機構及架台的情 况比較,由於工件與感測器間的活動部極少而可減小測定
C:\2D-CODE\9l-10\9lii7654.ptd 第23頁 559584 五、發明說明(21) 誤差。 此外,根據申請專利範圍第7項之機器手之位置對準裝 置,由於端緣感測器為線型感測器,因而,可在廣範圍正 確檢測出工件的端緣。 【元件編號之說明】 1 機器手 la 左側叉 lb 右側叉 2 工件 2a 工件的前端緣 2b 工件的後端緣 2c 工件的左側緣 2d 工件的右側緣 2e 突出部 3 第1感測器 4 第2感測器 5 自動臂機構 6 第1機械手臂 7 第2機械手臂 8 架台 18 臂柱部 19 端緣感測器(e 1, 第2個機器手 6, 機械手臂
C:\2D-00DE\9M0\91117654.ptd 第24頁 559584 五、發明說明(22) 7 ’ 機械手臂 Θ 傾斜角 S1 1 機器手進入步驟 S12 傾斜角計算步驟 S 1 3 傾斜角對準步驟 S 1 4 第1左右位置對準步驟 S1 5 第1前後位置對準步驟 S1 6 第2前後位置對準步驟 S1 7 第2左右位置對準步驟 S 1 8 取出步驟 S1 9 左右測定步驟 S20 位置對準步驟
C:\2D-CODE\91-10\91117654.ptd 第 25 頁 559584 圖式簡單說明 圖1為顯示適用本發明之機器手之位置對準裝置的一例 實施形態的概略構成圖。 圖2顯示同一位置對準裝置,為從圖1之狀態進一步使機 器手進入的狀態的概略構成圖。 圖3顯示同一位置對準裝置,為使機器手的傾斜角與工 件的傾斜角一致的狀態的概略構成圖。 圖4顯示同一位置對準裝置,為進行左右方向的位置對 準的狀態的概略構成圖。 ’ 圖5顯示同一位置對準裝置,為進行前後方向的位置對 準的狀態的概略構成圖。 圖6為顯示適用本發明之機器手之位置對準方法的一例 實施形態的流程圖。 圖7為顯示適用本發明之機器手之位置對準方法的又一 例實施形態的流程圖。 圖8為顯示適用本發明之機器手之位置對準裝置的又一 例實施形態的概略構成圖。 圖9為顯示適用本發明之機器手之位置對準裝置的再一 例實施形態的概略構成圖。 圖1 0為顯示同一位置對準裝置的側視圖。 圖1 1為顯示適用本發明之機器手之位置對準方法的再一 例實施形態的流程圖。 圖1 2顯示本發明之機器手之位置對準裝置,為從圖9的 狀態使機器手進一步進入的狀態的概略構成圖。 圖1 3顯示同一位置對準裝置,為使機器手·的傾斜角與工
C:\2D-CODE\91-10\911]765^.ptd 第26頁 559584 圖式簡單說明 件的傾斜角一致的狀態的概略構成圖。 圖14顯示同一位置對準裝置,為使機器手的傾斜角相對 於臂柱部垂直的狀態的概略構成圖。 圖1 5顯示同一位置對準裝置,為進行左右方向的位置對 準的狀態的概略構成圖。
C: \2D-CODE\91 -10\911176-54.ptd 第27頁
Claims (1)
- 559584 六、申請專利範圍 1. 一種機器手之位置對準方法,係為將自動機器手從前 後方向進入工件的上方或下方進行位置對準之機器手之位 置對準方法,其特徵為:具備如下步驟, 上述機器手具有左右方向並行配置的一對第1感測器, 及設於側部的第2感測器,將上述機器手從前後方向進入 上述工件的上方或下方的機器手進入步驟; 根據上述機器手進入時上述一對第1感測器檢測上述工 件的前端緣或後端緣的機械座標差,求得上述工件的左右 方向的傾斜角Θ的傾斜角計算步驟; 於上述工件的上方或下方沿左右方向使上述機器手僅傾 斜傾斜角θ的傾斜角對準步驟; 在沿左右方向使上述機器手僅傾斜傾斜角<9的狀態下, 沿左右方向移動上述機器手至上述第2感測器檢測上述工 件的側緣為止的第1左右位置對準步驟;及 在沿左右方向使上述機器手僅傾斜傾斜角/9的狀態下, 沿從前後方向僅傾斜傾斜角0的方向移動上述機器手至上 述一對第1感測器檢測上述工件的前端緣或後端緣為止的 第1前後位置對準步驟。 2. —種機器手之位置對準方法,係為將自動機器手從前 後方向進入工件的上方或下方進行位置對準之機器手之位 置對準方法,其特徵為:具備如下步驟, 上述機器手具有左右方向並行配置的一對第1感測器, 及設於側部的第2感測器,將上述機器手從前後方向進入 上述工件的上方或下方的機器手進入步驟;C:\2D-CODE\91-10\91117654.pld 第28頁 559584 六、申請專利範圍 根據上述機器手進入時上述一對第1感測器檢測上述工 件的前端緣或後端緣的機械座標差,求得上述工件的左右 方向的傾斜角0的傾斜角計算步驟; 於上述工件的上方或下方沿左右方向使上述機器手僅傾 斜傾斜角0的傾斜角對準步驟; 在沿左右方向使上述機器手僅傾斜傾斜角<9的狀態下, 沿前後方向移動上述機器手至上述一對第1感測器檢測上 述工件的前端緣或後端緣為止的第2前後位置對準步驟; 及 在沿左右方向使上述機器手僅傾斜傾斜角0的狀態下, 沿從左右方向僅傾斜傾斜角Θ的方向移動上述機器手至上 述第2感測器檢測上述工件側緣為止的第2左右位置對準步 驟。 3. —種機器手之位置對準方法,係為將自動機器手從前 後方向進入工件的上方或下方保持且取出工件、同時進行 位置對準之機器手之位置對準方法,其特徵為:具備如下 步驟, 上述機器手具有左右方向並行配置的一對前後感測器, 同時,支持為可上下方向移動安裝上述機器手的機械手臂 的臂柱部具有端緣感測器,同樣再將上述機器手從前後方 向進入上述工件的上方或下方的機器手進入步驟; 根據上述機器手進入時上述一對前後感測器檢測上述工 件的前端緣或後端緣的機械座標差,求得上述工件的左右 方向的傾斜角(9的傾斜角計算步驟;C:\2D-CODE\91-10\911]7654 .ptd 第29頁 六、申請專利範® —____ 於^ 上述 74- λα ! -ί- -4-' 斜傾钭/〇 、 ,下方沿左右方向使上述機哭+ # ‘:角Θ的傾斜角對準步驟; U僅傾 感滴丨ί Ξ ί向使上述機器手僅傾斜傾斜角Θ,在上# 1 藉=通的起始點保持且取出上述工件的4二後 驟;及述端緣感測器測定上述工件的端緣的左右測定步 修"fp 步顿。偏差量將上述工件對準於指示位置的位置對準 且4开—種機器手之位置對準裝置,係為將可 ;旋轉的自動機器手從前後方向進 f :移動 礎:位置對準之機器手之位置對準裝i,其=或下方 器,'^3器手具有左右方向並行設置的一對第1残測 手及狄於上述機器手側部的第2感測器,根據上π 端鈐入時上述一對第1感測器檢測上述工件的前端二或= Θ、:的機械座標差’求得上述工件的左右方向的傾-或後 根據上述一對第1感測器檢測上述工件的前緣、'角 而緣,根據上述第2感測器檢測上述工件的側緣。、’水或後 •如申咕專利範圍第4項之機器手之位置對準 ,上述一對第1感測器及第2感測器係為光、置,其 述工件邊緣者。 勹尤予式地檢測上 6· —種機器手之位置對準裝置,係為將可前 且可旋轉的自動機器手從前後方向進入工件的 右移動 進行位置對準之機器手之位置對準裝置,1特I或下方 尤于澤的C:\2D-OODE\91-10\91117654.ptd 於可上下方向移動地支持安裝上述機器;的機^ 559584 六、申請專利範圍 臂柱部設置端緣感測器,藉由該端緣感測器檢測上述機器 手所吸著的工件的左右方向的位置。 7.如申請專利範圍第6項之機器手之位置對準裝置,其 中,上述端緣感測器為線型感測器。C:\2D-CODE\91-10\91117654.ptcl 第31頁
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001239166 | 2001-08-07 | ||
JP2002177148A JP3955499B2 (ja) | 2001-08-07 | 2002-06-18 | ハンドの位置合わせ方法およびその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW559584B true TW559584B (en) | 2003-11-01 |
Family
ID=26620097
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW091117654A TW559584B (en) | 2001-08-07 | 2002-08-06 | Method and device for adjusting position of hand |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3955499B2 (zh) |
KR (1) | KR100503013B1 (zh) |
CN (1) | CN1283427C (zh) |
TW (1) | TW559584B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI382903B (zh) * | 2007-11-23 | 2013-01-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 機械手 |
TWI644389B (zh) * | 2016-09-20 | 2018-12-11 | 圓益Ips股份有限公司 | 基板移送裝置及其控制方法 |
TWI717860B (zh) * | 2018-10-28 | 2021-02-01 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 退火設備與方法 |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100716301B1 (ko) | 2006-02-06 | 2007-05-09 | 삼성전자주식회사 | 패널반송로봇 |
JP4688739B2 (ja) * | 2006-05-02 | 2011-05-25 | 株式会社ソニー・コンピュータエンタテインメント | 情報表示装置 |
KR101239821B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2013-03-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판이송로봇 및 이의 정렬방법 |
JP5491731B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2014-05-14 | 川崎重工業株式会社 | ロボット、及びロボットの教示位置の直進開始位置の較正方法 |
CN101491403B (zh) * | 2009-02-18 | 2011-06-15 | 苏州艾隆科技有限公司 | 自动化药房的快速盘点方法 |
JP4837116B2 (ja) * | 2010-03-05 | 2011-12-14 | ファナック株式会社 | 視覚センサを備えたロボットシステム |
WO2012008321A1 (ja) * | 2010-07-14 | 2012-01-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット、産業用ロボットの制御方法および産業用ロボットの教示方法 |
JP5578973B2 (ja) * | 2010-07-16 | 2014-08-27 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
JP5665417B2 (ja) * | 2010-08-20 | 2015-02-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
US8768513B2 (en) * | 2011-08-08 | 2014-07-01 | Applied Materials, Inc. | Systems having multi-linkage robots and methods to correct positional and rotational alignment in multi-linkage robots |
KR101337563B1 (ko) * | 2012-03-30 | 2013-12-06 | 한국생산기술연구원 | 감지유닛을 이용하여 매니퓰레이터의 위치를 조절하는 이송장치 |
JP2014008578A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Daihen Corp | 基板搬送装置 |
JP6035063B2 (ja) * | 2012-06-29 | 2016-11-30 | 株式会社ダイヘン | 基板搬送装置 |
CN103552083A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-02-05 | 上海华力微电子有限公司 | 调整机械臂位置的方法 |
JP6499826B2 (ja) * | 2014-01-29 | 2019-04-10 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
CN105590878B (zh) * | 2014-10-23 | 2019-02-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种机械手偏移监测*** |
CN105417066B (zh) * | 2015-11-09 | 2017-12-01 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运*** |
CN105329642B (zh) * | 2015-11-09 | 2017-11-21 | 合肥欣奕华智能机器有限公司 | 基板位置偏移检测及校正方法和基板搬运***的控制方法 |
KR102066044B1 (ko) * | 2016-06-30 | 2020-02-11 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치, 인덱스 로봇 및 기판 이송 방법 |
CN106956290B (zh) * | 2017-04-17 | 2019-09-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 机械臂及其操作方法、机械臂装置及显示面板生产设备 |
CN109877822A (zh) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种双取纠偏双臂机器人及其纠偏方法 |
CN109877824A (zh) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种单取纠偏机器人及其纠偏方法 |
CN109877823A (zh) * | 2017-12-06 | 2019-06-14 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种双放纠偏双臂机器人及其纠偏方法 |
CN109523580B (zh) * | 2018-12-13 | 2021-01-26 | 法兰泰克重工股份有限公司 | 一种图像采集模块的计算方法、图像采集模块及分拣*** |
JP7219106B2 (ja) * | 2019-02-12 | 2023-02-07 | 日本電産サンキョー株式会社 | 基板搬送システムおよび基板搬送システムの制御方法 |
JP7303686B2 (ja) * | 2019-07-26 | 2023-07-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | ロボットにおけるワーク位置検出方法 |
JP7443141B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
JP7443142B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-03-05 | ニデックインスツルメンツ株式会社 | 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09162257A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Metsukusu:Kk | 薄型基板の搬送装置 |
JPH10277986A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-20 | Mecs:Kk | 薄型基板のアライメント装置 |
JPH10335420A (ja) * | 1997-06-04 | 1998-12-18 | Mecs:Kk | ワークのアライメント装置 |
JP2000040735A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-08 | Mecs Corp | 基板搬送装置 |
JP2000071187A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Komatsu Ltd | ワーク搬送ロボット |
JP2001144165A (ja) * | 1999-11-16 | 2001-05-25 | Assist Japan Kk | ガラス基板用非接触アライメント装置 |
-
2002
- 2002-06-18 JP JP2002177148A patent/JP3955499B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-29 KR KR10-2002-0044554A patent/KR100503013B1/ko active IP Right Grant
- 2002-08-06 TW TW091117654A patent/TW559584B/zh not_active IP Right Cessation
- 2002-08-06 CN CNB021298092A patent/CN1283427C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI382903B (zh) * | 2007-11-23 | 2013-01-21 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 機械手 |
TWI644389B (zh) * | 2016-09-20 | 2018-12-11 | 圓益Ips股份有限公司 | 基板移送裝置及其控制方法 |
TWI717860B (zh) * | 2018-10-28 | 2021-02-01 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 退火設備與方法 |
US11587807B2 (en) | 2018-10-28 | 2023-02-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Annealing apparatus and method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100503013B1 (ko) | 2005-07-25 |
JP2003117862A (ja) | 2003-04-23 |
CN1283427C (zh) | 2006-11-08 |
CN1401461A (zh) | 2003-03-12 |
KR20030013250A (ko) | 2003-02-14 |
JP3955499B2 (ja) | 2007-08-08 |
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