JP6032888B2 - 積み重ね状態のウエハの傾き補正方法およびウエハのスタッキング装置 - Google Patents
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Description
2 マガジン
3 ウエハ
4 底板
5 押し上げユニット
6 吸着ヘッド
7 吸着パッド
8 傾きセンサユニット 8a 投光器 8b 受光器
9 傾きセンサユニット 9a 投光器 9b 受光器
10 傾きセンサユニット 10a 投光器 10b 受光器
11 傾きセンサユニット 11a 投光器 11b 受光器
12 ゴニオユニット
13 ゴニオユニット
14 コントローラ
15 モータ
16 モータ
17 プーリ
18 ベルト
19 プーリ
20 プーリ
21 ベルト
22 プーリ
23 傾きセンサユニット 23a 投光器 23b 受光器
24 傾きセンサユニット 24a 投光器 24b 受光器
25 記憶装置
26 検出手段
27 押し上げ駆動手段
28 スリット
100 マガジン
101 スリット
102 ウエハ
103 底板
104 押し上げユニット
105 吸着パッド
106 ウエハ
107 吸着ヘッド
Claims (5)
- マガジン内の底板に多数のウエハを積み重ね、底板を押し上げユニットで上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハを吸着パッドにより1枚ずつ取り出すウエハのスタッキング装置において、
最初の積み重ね状態における一番上の1枚目のウエハの傾きをX方向およびY方向上の異なる2箇所の位置で傾きセンサユニットにより検出し、コントローラによって、検出した1枚目のウエハの傾きとウエハの基準姿勢とを比較し、その差から最初の傾き量を求め、求めた最初の傾き量に相当する最初の修正信号に基づいてX方向およびY方向のアクチュエータにより前記底板を傾けて、1枚目のウエハの傾きを基準姿勢に補正するとともに、2枚目以降のウエハの取り出し前に、前記コントローラによって、最初の積み重ね状態における2枚目以降の各ウエハの傾き量を前記最初の傾き量とウエハの積み重ね量との比例関係から予め求め、求めた2枚目以降の各ウエハの傾き量を記憶しておき、前記吸着パッドにより1枚目のウエハを取り出した後に、一番上となる2枚目以降のウエハの取り出し過程において、一番上となる2枚目以降のウエハの傾き量を読み出し、読み出した傾き量に相当する2枚目以降の修正信号に基づいてX方向およびY方向の前記アクチュエータにより前記底板を傾けて、一番上となる2枚目以降のウエハの傾きを基準姿勢に順次に補正する、ことを特徴とする積み重ね状態のウエハの傾き補正方法。 - マガジン内の底板に多数のウエハを積み重ね、底板を押し上げユニットで上昇させながら、積み重ね状態の一番上のウエハを吸着パッドにより1枚ずつ取り出すウエハのスタッキング装置において、
最初の積み重ね状態における一番上の1枚目のウエハの傾きを傾き方向上の異なる2箇所の同じ高さ位置で検出する傾きセンサユニットと、ウエハの積み重ね量を検出する検出手段と、前記傾きセンサユニットから1枚目のウエハの傾き、および前記検出手段からのウエハの積み重ね量を入力し、入力した1枚目のウエハの傾きとウエハの基準姿勢とを比較し、その差から最初の傾き量を求めるとともに、2枚目以降のウエハの取り出し前に、最初の積み重ね状態における2枚目以降の各ウエハの傾き量を前記最初の傾き量とウエハの積み重ね量との比例関係から予め求めて記憶し、2枚目以降の各ウエハの傾き量に対応する修正信号を発生するコントローラと、前記底板と前記押し上げユニットとの間に介在し、前記修正信号を入力としてX方向およびY方向のアクチュエータにより前記底板を傾けて、一番上となるウエハの傾きを基準姿勢に補正するゴニオユニットとを有し、
前記コントローラは、1枚目のウエハの取り出しにあたって、最初の傾き量に相当する最初の修正信号に基づいてX方向およびY方向の前記アクチュエータにより前記底板を傾けて、1枚目のウエハの傾きを基準姿勢に補正するとともに、2枚目以降のウエハの取り出し過程において、一番上となる2枚目以降のウエハの傾き量を読み出し、読み出た2枚目以降のウエハの傾き量に相当する修正信号に基づいてX方向およびY方向の前記アクチュエータにより前記底板を傾けて、一番上となる2枚目以降のウエハの傾きを基準姿勢に順次に補正する、ことを特徴とするウエハのスタッキング装置。 - 前記傾きセンサユニットは、投光器および受光器からなり、前記の投光器および受光器は、同じ高さ位置に設けられており、一番上の1枚目のウエハの高さを所定の高さ位置に設定するために、積み重ね状態の一番上の1枚目のウエハの高さ位置をX方向上の異なる2箇所およびY方向上の異なる2箇所の位置で測定するとともに、一番上の1枚目のウエハの傾き量を求めるために、X方向上の異なる2箇所で測定した高さの差から一番上の1枚目のウエハのX方向の傾きを検出し、Y方向上の異なる2箇所の位置で測定した高さの差から一番上の1枚目のウエハのY方向の傾きを検出する、ことを特徴とする請求項2に記載のウエハのスタッキング装置。
- 前記傾きセンサユニットの投光器および受光器は、X方向上の異なる2箇所の位置およびY方向上の異なる2箇所の位置にそれぞれ対向状態で設けられる、ことを特徴とする請求項3に記載のウエハのスタッキング装置。
- 前記傾きセンサユニットの投光器および受光器は、X方向上とY方向上とに一対ずつ対向状態で設けられ、それらをX方向またはY方向へ移動可能とし、異なる2箇所の位置でウエハの傾きを検出することを特徴とする請求項3に記載のウエハのスタッキング装置。
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