JP7443141B2 - 産業用ロボットおよび産業用ロボットの制御方法 - Google Patents

Description

本発明は、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。また、本発明は、かかる産業用ロボットの制御方法に関する。

従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板等の長方形状のワークを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、たとえば、収容カセットからワークを搬出して、所定の処理装置までワークを搬送する。この産業用ロボットは、ワークが搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結される多関節アームと、多関節アームの基端側が回動可能に連結される基台とを備えている。また、この産業用ロボットは、多関節アームを伸縮させるアーム駆動機構と、基台を回動させる回動機構と、基台を水平方向に移動させる移動機構とを備えている。アーム駆動機構は、基台に対してハンドが一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアームを伸縮させる。

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、ハンドは、ワークが載置される２本の載置部を備えている。２本の載置部の先端側の上面には、アライメントセンサが取り付けられている。アライメントセンサは、反射型の光学式センサである。アームが伸縮するときに直線的に移動するハンドの移動方向を前後方向とすると、アライメントセンサは、収容カセットに収容されるワークの前後方向の一端面を下側から検知する。

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、収容カセットに収容されたワークをハンドに搭載する前に、収容カセットに収容されるワークの前後方向の一端面をアライメントセンサによって検知するとともに、アライメントセンサの検知結果に基づいて、収容カセットに収容されるワークの前後方向の位置および向き（水平面内での傾き）を特定する。また、特定されたワークの前後方向の位置および向きに基づいて、予め教示されているハンドの前後方向の位置および向きを補正し、前後方向の位置および向きが補正されたハンドにワークを搭載する。

特開２００６－２７２５２６号公報

近年、長方形状または正方形状の大型のパネルの上に多数のチップを並べて複数の半導体パッケージを一括で製造する工法（パネルレベルパッケージング（ＰＬＰ））が普及し始めており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで産業用ロボットが使用され始めている。ＰＬＰには、多数のチップが載置されたパネルの上面を樹脂でコーティング（封止）する工程等が含まれており、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルには、大きな反りが生じやすい。

また、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、収容カセットに置かれているワークの前後左右方向の位置（すなわち、水平方向の位置）および向きを適正な位置および向きに補正してから処理装置にワークを置くために、収容カセットからワークを搬出して処理装置にワークを搬入する動作を行うときに、ハンドの水平方向の位置および向きを補正することがある。この場合、たとえば、収容カセットから搬出されたワークの左右方向の位置を検知するためのセンサが基台に取り付けられている。

また、この場合には、収容カセットに置かれているワークの前後方向の位置および向きを補正するため、収容カセットに置かれているワークをハンドに搭載する前に、アライメントセンサの検知結果に基づいてハンドの前後方向の位置および向きを補正してから、補正後のハンドにワークを搭載するとともに、ワークの左右方向の位置を補正するため、基台に取り付けられるセンサの検知結果に基づいて、ハンドに搭載されたワークを処理装置に搬入して置くときにハンドの左右方向の位置を補正している。

本願発明者は、特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われるパネルのように大きな反りが生じている搬送対象物を、たとえば、収容カセットから搬出して処理装置に搬入する動作を行うときに、収容カセットに置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを補正してから処理装置に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを検討している。

しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットのように、ハンドの載置部の上面に取り付けられるアライメントセンサが反射型の光学式センサである場合には、搬送対象物に大きな反りが生じていると、アライメントセンサと搬送対象物の端面（前後方向の端面）との上下方向の距離が不安定になり、アライメントセンサから射出され搬送対象物の端面以外の箇所で反射された光がアライメントセンサに最初に入射するおそれがあることが本願発明者の検討によって明らかになった。すなわち、アライメントセンサが反射型の光学式センサである場合には、搬送対象物に大きな反りが生じていると、アライメントセンサによって搬送対象物の前後方向の端面を適切に検知することができない場合が生じることが本願発明者の検討によって明らかになった。

アライメントセンサによって搬送対象物の前後方向の端面を適切に検知することができないと、収容カセットに置かれている搬送対象物をハンドに搭載する前に、アライメントセンサの検知結果に基づいてハンドの前後方向の位置および向きを適切に補正することができなくなる。そのため、収容カセットに置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから処理装置に搬送対象物を置くことができなくなる。

そこで、本発明の課題は、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから引渡し部に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

また、本発明の課題は、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから引渡し部に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能となる産業用ロボットの制御方法を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、本体部に取り付けられる光学式の検知機構と、産業用ロボットを制御する制御部とを備えるとともに、所定の受取り部に置かれている搬送対象物をアームが伸びている状態でハンドに搭載して受け取るときのハンドの位置を受取り位置とし、アームが伸びている状態でハンドに搭載されている搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときのハンドの位置を引渡し位置とすると、受取り位置で搬送対象物を受け取ったハンドが本体部に近づくようにアームが縮むときの動作である第１動作と、第１動作後に、搬送対象物が搭載されたハンドが引渡し位置に移動するまでアームが伸びるときの動作である第２動作とを行い、ハンドは、産業用ロボットが第１動作を行うときに、本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる受光部と、上下方向において受光部との間に所定の間隔をあけた状態で受光部に対向配置される発光部とを有する透過型の検知機構であり、産業用ロボットが第１動作を行うときのハンドの移動方向を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する方向を左右方向とすると、産業用ロボットが第１動作を行うときに、搬送対象物の左右方向の一端面は、受光部と発光部との間を通り、制御部は、産業用ロボットが第１動作を行う際に、検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、検知機構が搬送対象物を検知した後、所定の第１測定位置までハンドが移動したときに検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、第１測定位置を通過したハンドが所定の第２測定位置まで移動したときに検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを取得するとともに、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする。

また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの制御方法は、長方形状または正方形状に形成される搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、本体部に取り付けられる光学式の検知機構とを備えるとともに、所定の受取り部に置かれている搬送対象物をアームが伸びている状態でハンドに搭載して受け取るときのハンドの位置を受取り位置とし、アームが伸びている状態でハンドに搭載されている搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときのハンドの位置を引渡し位置とすると、受取り位置で搬送対象物を受け取ったハンドが本体部に近づくようにアームが縮むときの動作である第１動作と、第１動作後に、搬送対象物が搭載されたハンドが引渡し位置に移動するまでアームが伸びるときの動作である第２動作とを行い、ハンドは、第１動作が行われるときに、本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる受光部と、上下方向において受光部との間に所定の間隔をあけた状態で受光部に対向配置される発光部とを有する透過型の検知機構であり、第１動作が行われるときのハンドの移動方向を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する方向を左右方向とすると、第１動作が行われるときに、搬送対象物の左右方向の一端面は、受光部と発光部との間を通る産業用ロボットの制御方法であって、第１動作を行う際に、検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、検知機構が搬送対象物を検知した後、所定の第１測定位置までハンドが移動したときに検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、第１測定位置を通過したハンドが所定の第２測定位置まで移動したときに検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを取得するとともに、第２動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする。

本発明では、産業用ロボットが第１動作を行う際に、検知機構が搬送対象物を検知したときのハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、検知機構が搬送対象物を検知した後、第１測定位置までハンドが移動したときに検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、第１測定位置を通過したハンドが第２測定位置まで移動したときに検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを取得しているが、検知機構は、受光部と、受光部に対向配置される発光部とを有する透過型の検知機構である。

そのため、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、検知機構によって、第１位置データ、第２位置データおよび第３位置データを適切に取得することが可能になる。したがって、本発明では、適切な第１位置データ、第２位置データおよび第３位置データに基づいて、受取り部に置かれているままの状態（位置および向き）でハンドに搭載された搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に特定することが可能になる。

また、本発明では、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正しているため、搬送対象物に大きな反りが生じていても、適切に特定された搬送対象物の水平方向の位置および向きに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

このように、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれているままの状態でハンドに搭載された搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に特定することが可能になるとともに、適切に特定された搬送対象物の水平方向の位置および向きに基づいて、引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。したがって、本発明では、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから引渡し部に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、ハンドとして、第１ハンドと第２ハンドとの２個のハンドを備えるとともに、第１ハンドが連結されるアームとしての第１アームと、第２ハンドが連結されるアームとしての第２アームと、第１アームおよび第２アームが連結される１個の本体部と、第１ハンドに搭載される搬送対象物を検知する検知機構としての第１検知機構と、第２ハンドに搭載される搬送対象物を検知する検知機構としての第２検知機構とを備え、第１ハンドに搭載される搬送対象物と第２ハンドに搭載される搬送対象物とは、上下方向でずれており、第１検知機構と第２検知機構とは、上下方向に重なった状態で本体部に取り付けられている。

この場合には、第１ハンドに搭載される搬送対象物を検知する第１検知機構と、第２ハンドに搭載される搬送対象物を検知する第２検知機構とが個別に設けられているため、第２ハンドに搬送対象物が搭載された状態で第２アームが縮んでいても、制御部は、第１ハンドに搭載された搬送対象物を第１検知機構が検知したときの第１ハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、第１測定位置まで第１ハンドが移動したときに第１検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、第１ハンドが第２測定位置まで移動したときに第１検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを適切に取得することが可能になる。

また、第１ハンドに搬送対象物が搭載された状態で第１アームが縮んでいても、制御部は、第２ハンドに搭載された搬送対象物を第２検知機構が検知したときの第２ハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、第１測定位置まで第２ハンドが移動したときに第２検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、第２ハンドが第２測定位置まで移動したときに第２検知機構によって検知される搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを適切に取得することが可能になる。

本発明において、産業用ロボットは、たとえば、本体部に対してハンドが一定方向に向いた状態で直線的に移動するようにアームを伸縮させるアーム駆動機構と、本体部を回動させる回動機構と、左右方向に本体部を移動させる水平移動機構とを備え、制御部は、産業用ロボットが第２動作を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、アーム駆動機構と回動機構と水平移動機構とを制御して引渡し位置に到達するときのハンドの水平方向の位置および向きを補正する。

以上のように、本発明では、所定の受取り部から搬送対象物を搬出して所定の引渡し部に搬送対象物を搬入する産業用ロボットにおいて、搬送対象物に大きな反りが生じていても、受取り部に置かれている搬送対象物の水平方向の位置および向きを適切に補正してから引渡し部に搬送対象物を置くために、ハンドの水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。 図１に示す産業用ロボットの背面図である。 図１に示す産業用ロボットの構成を説明するためのブロック図である。 図１に示す産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。 本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。 図５に示す産業用ロボットの側面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の背面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１の構成を説明するためのブロック図である。

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネルである。搬送対象物２は、長方形または正方形の平板状に形成されている。ロボット１は、たとえば、複数枚の搬送対象物２が収容される収容カセット３から、搬送対象物２に対して所定の処理を行う処理装置４まで搬送対象物２を搬送する。

すなわち、ロボット１は、たとえば、収容カセット３から搬送対象物２を搬出するとともに、収容カセット３から搬出した搬送対象物２を処理装置４に搬入する。収容カセット３には、複数枚の搬送対象物２が上下方向に間隔をあけた状態で重なるように収容されている。本形態の収容カセット３は、ロボット１が搬送対象物２を受け取る受取り部であり、処理装置４は、ロボット１が搬送対象物２を引き渡す引渡し部である。

なお、ロボット１は、処理装置４から収容カセット３まで搬送対象物２を搬送しても良い。すなわち、ロボット１は、処理装置４から搬送対象物２を搬出するとともに、処理装置４から搬出した搬送対象物２を収容カセット３に搬入しても良い。この場合には、処理装置４は、ロボット１が搬送対象物２を受け取る受取り部となり、収容カセット３は、ロボット１が搬送対象物２を引き渡す引渡し部となる。

ロボット１は、搬送対象物２が搭載される２個のハンド５、６と、ハンド５が先端側に回動可能に連結されるアーム７と、ハンド６が先端側に連結されるアーム８と、アーム７、８の基端側が回動可能に連結される本体部９と、本体部９の下側部分が収容されるケース体１０と、本体部９およびケース体１０を水平方向に移動可能に支持するベース１１とを備えている。本形態のハンド５は、第１ハンドであり、ハンド６は、第２ハンドである。また、本形態のアーム７は、第１アームであり、アーム８は、第２アームである。

ハンド５、６は、アーム７、８の先端側に回動可能に連結されるハンド基部１４と、上面側に搬送対象物２が載置される直線状の複数のフォーク１５とを備えている。本形態のハンド５、６は、２本のフォーク１５を備えている。２本のフォーク１５は、ハンド基部１４から水平方向の同方向へ突出している。また、２本のフォーク１５は、互いに平行に配置されている。ハンド５のフォーク１５とハンド６のフォーク１５とは、同じ方向に突出している。また、ハンド５のフォーク１５とハンド６のフォーク１５とは、上下方向でずれている。すなわち、ハンド５に搭載される搬送対象物２とハンド６に搭載される搬送対象物２とは、上下方向でずれている。本形態では、ハンド５のフォーク１５がハンド６のフォーク１５よりも上側に配置されている。

アーム７、８は、水平方向に伸縮する多関節アームである。アーム７、８は、第１アーム部１６と第２アーム部１７との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１６の基端側は、本体部９に回動可能に連結されている。第１アーム部１６の先端側には、第２アーム部１７の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１７の先端側には、ハンド５、６が回動可能に連結されている。

第１アーム部１６は、本体部９よりも上側に配置されている。第２アーム部１７は、第１アーム部１６よりも上側に配置されている。ハンド５、６は、第２アーム部１７よりも上側に配置されている。アーム７の第１アーム部１６の基端側とアーム８の第１アーム部１６の基端側とは、水平方向において互いに隣接した状態で本体部９に連結されている。また、アーム７とアーム８とは、互いに隣接した状態で配置されており、上下方向において同じ位置に配置されている。

水平方向において、本体部９に対する第１アーム部１６の回動中心と第１アーム部１６に対する第２アーム部１７の回動中心との距離と、第１アーム部１６に対する第２アーム部１７の回動中心と第２アーム部１７に対するハンド５、６の回動中心との距離とは等しくなっている。アーム７、８は、ハンド５、６の先端（フォーク１５の先端）が本体部９から離れるようにアーム７、８が伸びる位置と、ハンド５、６の先端が本体部９に近づくようにアーム７、８が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。アーム７、８の伸縮量が等しいときに、ハンド５のフォーク１５とハンド６のフォーク１５とは上下方向で重なっている。また、このときには、上下方向から見ると、アーム７とアーム８とは線対称に配置されている。

本体部９は、ケース体１０に対して上下方向を回動の軸方向として回動可能になっている。また、本体部９は、ケース体１０に対して昇降可能になっている。ケース体１０は、ベース１１に対して水平方向に直線的に移動可能となっている。以下の説明では、ベース１１に対するケース体１０の移動方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とし、左右方向と上下方向とに直交する図１等のＸ方向を「前後方向」とする。また、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とする。

本形態では、たとえば、複数の収容カセット３が左右方向に配列されている。また、たとえば、複数の収容カセット３は、前後方向においてロボット１の一方側に配置され、処理装置４は、前後方向においてロボット１の他方側に配置されている。たとえば、複数の収容カセット３は、ロボット１の前側に配置され、処理装置４は、ロボット１の後ろ側に配置されている。また、収容カセット３および処理装置４においてハンド５、６に搭載される搬送対象物２の端面は、前後方向または左右方向と略平行になっている。

また、ロボット１は、アーム７を伸縮させるアーム駆動機構２０と、アーム８を伸縮させるアーム駆動機構２１と、本体部９を回動させる回動機構２２と、本体部９を昇降させる昇降機構２３と、ケース体１０と一緒に本体部９を水平方向に移動させる水平移動機構２４と、ロボット１を制御する制御部２５とを備えている。また、ロボット１は、ハンド５に搭載される搬送対象物２を検知するための検知機構２６と、ハンド６に搭載される搬送対象物２を検知するための検知機構２７とを備えている。本形態の検知機構２６は、第１検知機構であり、検知機構２７は、第２検知機構である。

アーム駆動機構２０は、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム７およびハンド５に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構２０は、本体部９に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。アーム駆動機構２１は、アーム駆動機構２０と同様に、駆動源となるモータと、モータの動力をアーム８およびハンド６に伝達する動力伝達機構とを備えている。アーム駆動機構２１は、本体部９に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。アーム駆動機構２０、２１は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、アーム駆動機構２０、２１のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向としてケース体１０に対して本体部９を回動させる。すなわち、回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向として本体部９と一緒にアーム７、８を回動させる。回動機構２２は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部９に伝達する動力伝達機構とを備えている。回動機構２２は、ケース体１０に収容されている。回動機構２２は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２２のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

昇降機構２３は、ケース体１０に対して本体部９を昇降させる。すなわち、昇降機構２３は、本体部９と一緒にアーム７、８を昇降させる。また、昇降機構２３は、本体部９と一緒に回動機構２２を昇降させる。昇降機構２３は、ケース体１０に収容されている。昇降機構２３は、駆動源となるモータと、モータの動力を本体部９に伝達する動力伝達機構とを備えている。昇降機構２３は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、回動機構２３のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

水平移動機構２４は、ベース１１に対してケース体１０を左右方向に直線的に移動させる。すなわち、水平移動機構２４は、ケース体１０と一緒に本体部９およびアーム７、８を左右方向に直線的に移動させる。水平移動機構２４は、駆動源となるモータと、モータの動力をケース体１０に伝達する動力伝達機構とを備えている。水平移動機構２４は、制御部２５に電気的に接続されている。具体的には、水平移動機構２４のモータ等が制御部２５に電気的に接続されている。

検知機構２６、２７は、発光部３０と受光部３１とを有する光学式の検知機構である。また、検知機構２６、２７は、透過型の検知機構である。発光部３０は、上下方向において受光部３１との間に所定の間隔をあけた状態で受光部３１に対向配置されている。本形態の受光部３１は、ラインセンサである。受光部３１では、複数の受光素子が左右方向に一列で配列されている。なお、発光部３０から射出される光の光軸は、上下方向と平行であっても良いし、上下方向に対してわずかに傾いていても良い。

検知機構２６、２７は、本体部９に取り付けられている。具体的には、本体部９に固定されるセンサ固定部材３２に検知機構２６、２７が固定されており、検知機構２６、２７は、センサ固定部材３２を介して本体部９に取り付けられている。また、検知機構２６と検知機構２７とは、上下方向に重なった状態で、センサ固定部材３２を介して本体部９に取り付けられている。本形態では、検知機構２６は、検知機構２７の真上に配置されている。検知機構２６、２７は、ケース体１０に対して本体部９と一緒に回動するとともに昇降する。また、検知機構２６、２７は、本体部９と一緒に左右方向に移動する。検知機構２６、２７は、制御部２５に電気的に接続されている。

上述のように、ロボット１は、収容カセット３から処理装置４まで搬送対象物２を搬送する。また、上述のように、アーム７、８は、ハンド５、６の先端が本体部９から離れるようにアーム７、８が伸びる位置と、ハンド５、６の先端が本体部９に近づくようにアーム７、８が縮む位置との間で水平方向に伸縮可能となっている。本形態では、ロボット１が収容カセット３から搬送対象物２を受け取るとき、および、ロボット１が処理装置４に搬送対象物２を引き渡すときに、アーム７、８は伸びている状態となっている。

収容カセット３に置かれている搬送対象物２をアーム７が伸びている状態でハンド５に搭載して受け取るときのハンド５の位置（図１参照）を受取り位置５Ａとし、アーム７が伸びている状態でハンド５に搭載されている搬送対象物２を処理装置４に引き渡すときのハンド５の位置を引渡し位置５Ｂとすると、ロボット１は、受取り位置５Ａで搬送対象物２を受け取ったハンド５が本体部９に近づくようにアーム７が縮むときの動作である第１動作Ｍ１１と、第１動作Ｍ１１の後に、搬送対象物２が搭載されたハンド５が引渡し位置５Ｂに移動するまでアーム７が伸びるときの動作である第２動作Ｍ１２とを行う。第１動作Ｍ１１が完了した状態では、ハンド５に搭載される搬送対象物２、ハンド５およびアーム７を含めた本体部９の回動半径（旋回半径）が最小になる。

同様に、収容カセット３に置かれている搬送対象物２をアーム８が伸びている状態でハンド６に搭載して受け取るときのハンド６の位置を受取り位置６Ａとし、アーム８が伸びている状態でハンド６に搭載されている搬送対象物２を処理装置４に引き渡すときのハンド６の位置を引渡し位置６Ｂとすると、ロボット１は、受取り位置６Ａで搬送対象物２を受け取ったハンド６が本体部９に近づくようにアーム８が縮むときの動作である第１動作Ｍ２１と、第１動作Ｍ２１の後に、搬送対象物２が搭載されたハンド６が引渡し位置６Ｂに移動するまでアーム８が伸びるときの動作である第２動作Ｍ２２とを行う。第１動作Ｍ２１が完了した状態では、ハンド６に搭載される搬送対象物２、ハンド６およびアーム８を含めた本体部９の回動半径が最小になる。

上述のように、アーム駆動機構２０は、本体部９に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させ、アーム駆動機構２１は、本体部９に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。すなわち、ハンド５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、本体部９に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、ハンド６は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、本体部９に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動する。また、ハンド５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行うときに、本体部９に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、ハンド６は、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行うときに、本体部９に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動する。

本形態では、収容カセット３がロボット１の前側に配置され、かつ、処理装置４がロボット１の後ろ側に配置されているため、ハンド５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うとき、および、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行うときに、前後方向に直線的に移動する。また、ハンド６は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うとき、および、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行うときに、前後方向に直線的に移動する。

具体的には、ハンド５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、フォーク１５の先端が前側を向いた状態で後ろ側に直線的に移動し、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行うときに、フォーク１５の先端が後ろ側を向いた状態で後ろ側に直線的に移動する。また、ハンド６は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、フォーク１５の先端が前側を向いた状態で後ろ側に直線的に移動し、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行うときに、フォーク１５の先端が後ろ側を向いた状態で後ろ側に直線的に移動する。

ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときには、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、検知機構２６の発光部３０と検知機構２６の受光部３１との間を通る。すなわち、検知機構２６は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が検知機構２６の発光部３０と検知機構２６の受光部３１との間を通る位置に配置されている。また、検知機構２６は、受取り位置５Ａに配置されるハンド５に搭載された搬送対象物２の後端よりも後ろ側に配置されている。また、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行うときにも、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、検知機構２６の発光部３０と検知機構２６の受光部３１との間を通る。

同様に、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときには、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、検知機構２７の発光部３０と検知機構２７の受光部３１との間を通る。すなわち、検知機構２７は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が検知機構２７の発光部３０と検知機構２７の受光部３１との間を通る位置に配置されている。また、検知機構２７は、受取り位置６Ａに配置されるハンド６に搭載された搬送対象物２の後端よりも後ろ側に配置されている。また、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行うときにも、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面は、検知機構２７の発光部３０と検知機構２７の受光部３１との間を通る。

上述のように、受光部３１は、複数の受光素子が左右方向に一列で配列されるラインセンサであるため、検知機構２６によって、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置を検知することが可能になっている。同様に、検知機構２７によって、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置を検知することが可能になっている。

なお、ロボット１は、第１動作Ｍ１１と第２動作Ｍ１２との間に、本体部９を回動させる回動動作を行う。このときには、アーム８も縮んでいる。また、ロボット１は、第１動作Ｍ２１と第２動作Ｍ２２との間に、本体部９を回動させる回動動作を行う。このときには、アーム７も縮んでいる。また、ロボット１は、必要に応じて、第１動作Ｍ１１と第２動作Ｍ１２との間、および、第１動作Ｍ２１と第２動作Ｍ２２との間に、本体部９の昇降動作や本体部９の左右方向への移動動作を行う。また、ロボット１は、必要に応じて、第１動作Ｍ１１、Ｍ２１の際に、本体部９の昇降動作や本体部９の左右方向への移動動作を行ったり、第２動作Ｍ１２、Ｍ２２の際に、本体部９の昇降動作や本体部９の左右方向への移動動作を行ったりする。

（産業用ロボットの制御方法）
図４は、図１に示すロボット１の動作を説明するための平面図である。なお、図４では、ハンド６等の図示を省略している。

制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行う際に、検知機構２６が搬送対象物２を検知したとき（具体的には、ハンド５に搭載される搬送対象物２の後端を検知機構２６が検知したとき（すなわち、ハンド５に搭載される搬送対象物２を検知機構２６が最初に検知したとき）、図４（Ａ）参照）のハンド５の前後方向の位置のデータである第１位置データと、検知機構２６が搬送対象物２を検知した後、所定の第１測定位置までハンド５が移動したときに（図４（Ｂ）参照）検知機構２６によって検知される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、第１測定位置を通過したハンド５が所定の第２測定位置まで移動したときに（図４（Ｃ）参照）検知機構２６によって検知される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを取得する。

制御部２５は、第１位置データに基づいて、ハンド５に搭載される搬送対象物２の前後方向の位置を特定するとともに、第２位置データおよび第３位置データに基づいて、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の位置および向き（搬送対象物２の水平面内での傾き）を特定する。なお、第２位置データは、搬送対象物２の左右方向の一端面の、搬送対象物２の後端に比較的近い部分の左右方向の位置のデータであり（図４（Ｂ）参照）、第３位置データは、搬送対象物２の左右方向の一端面の、搬送対象物２の前端に比較的近い部分の左右方向の位置のデータである（図４（Ｃ）参照）。

また、制御部２５は、特定された搬送対象物２の前後左右方向の位置（水平方向の位置）および向きと、ロボット１に予め教示された搬送対象物２の水平方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行う際に、この比較結果に基づいて、引渡し位置５Ｂに到達するときのハンド５の水平方向の位置および向きを補正する。すなわち、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置５Ｂに到達するときのハンド５の水平方向の位置および向きを補正する。

具体的には、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、アーム駆動機構２０と回動機構２２と水平移動機構２４とを制御して引渡し位置５Ｂに到達するときのハンド５の水平方向の位置および向きを補正する。また、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ１２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、処理装置４に置かれる搬送対象物２の水平方向の位置が適切な位置になるとともに、処理装置４に置かれる搬送対象物２の向きが適切な向きになるように、引渡し位置５Ｂに到達するときのハンド５の水平方向の位置および向きを補正する。

同様に、制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行う際に、検知機構２７が搬送対象物２を検知したとき（具体的には、ハンド６に搭載される搬送対象物２の後端を検知機構２７が検知したとき）のハンド６の前後方向の位置のデータである第１位置データと、検知機構２７が搬送対象物２を検知した後、所定の第１測定位置までハンド６が移動したときに検知機構２７によって検知される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、第１測定位置を通過したハンド６が所定の第２測定位置まで移動したときに検知機構２７によって検知される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを取得する。

制御部２５は、第１位置データに基づいて、ハンド６に搭載される搬送対象物２の前後方向の位置を特定するとともに、第２位置データおよび第３位置データに基づいて、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の位置および向きを特定する。また、制御部２５は、特定された搬送対象物２の水平方向の位置および向きと、ロボット１に予め教示された搬送対象物２の水平方向の位置および向きとを比較するとともに、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行う際に、この比較結果に基づいて、引渡し位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。

すなわち、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。具体的には、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、アーム駆動機構２１と回動機構２２と水平移動機構２４とを制御して引渡し位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。

また、制御部２５は、ロボット１が第２動作Ｍ２２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、処理装置４に置かれる搬送対象物２の水平方向の位置が適切な位置になるとともに、処理装置４に置かれる搬送対象物２の向きが適切な向きになるように、引渡し位置６Ｂに到達するときのハンド６の水平方向の位置および向きを補正する。

なお、収容カセット３に置かれている搬送対象物２をハンド５に搭載するときには、予め教示された受取り位置５Ａにハンド５が移動するように、縮んでいるアーム７が伸びる。ハンド５には、収容カセット３に置かれているままの状態（位置および向き）の搬送対象物２が搭載される。同様に、収容カセット３に置かれている搬送対象物２をハンド６に搭載するときには、予め教示された受取り位置６Ａにハンド６が移動するように、縮んでいるアーム８が伸びる。ハンド６には、収容カセット３に置かれているままの状態の搬送対象物２が搭載される。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、制御部２５は、ロボット１が第１動作Ｍ１１、Ｍ２１を行う際に、検知機構２６、２７を用いて、第１位置データと第２位置データと第３位置データとを取得しているが、検知機構２６、２７は、受光部３１と、受光部３１に対向配置される発光部３０とを有する透過型の検知機構である。そのため、本形態では、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、検知機構２６、２７によって、第１位置データ、第２位置データおよび第３位置データを適切に取得することが可能になる。したがって、本形態では、適切な第１位置データ、第２位置データおよび第３位置データに基づいて、収容カセット３に置かれているままの状態（位置および向き）でハンド５、６に搭載された搬送対象物２の水平方向の位置および向きを適切に特定することが可能になる。

また、本形態では、ロボット１が第２動作Ｍ１２、Ｍ２２を行う際に、第１位置データと第２位置データと第３位置データとに基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の水平方向の位置および向きを補正しているため、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、適切に特定された搬送対象物２の水平方向の位置および向きに基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

このように、本形態では、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３に置かれているままの状態でハンド５、６に搭載された搬送対象物２の水平方向の位置および向きを適切に特定することが可能になるとともに、適切に特定された搬送対象物２の水平方向の位置および向きに基づいて、引渡し位置５Ｂ、６Ｂに到達するときのハンド５、６の水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。したがって、本形態では、搬送対象物２に大きな反りが生じていても、収容カセット３に置かれている搬送対象物２の水平方向の位置および向きを適切に補正してから処理装置４に搬送対象物２を置くために、ハンド５、６の水平方向の位置および向きを適切に補正することが可能になる。

本形態では、ハンド５に搭載される搬送対象物２を検知する検知機構２６と、ハンド６に搭載される搬送対象物２を検知する検知機構２７とが個別に設けられており、検知機構２６と検知機構２７とが上下方向に重なった状態で本体部９に取り付けられている。そのため、本形態では、ハンド６に搬送対象物２が搭載された状態でアーム８が縮んでいても、制御部２５は、ハンド５に搭載された搬送対象物２を検知機構２６が検知したときのハンド５の前後方向の位置のデータである第１位置データと、第１測定位置までハンド５が移動したときに検知機構２６によって検知される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、ハンド５が第２測定位置まで移動したときに検知機構２６によって検知される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを適切に取得することが可能になる。

また、ハンド５に搬送対象物２が搭載された状態でアーム７が縮んでいても、制御部２５は、ハンド６に搭載された搬送対象物２を検知機構２７が検知したときのハンド６の前後方向の位置のデータである第１位置データと、第１測定位置までハンド６が移動したときに検知機構２７によって検知される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、ハンド６が第２測定位置まで移動したときに検知機構２７によって検知される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを適切に取得することが可能になる。

（産業用ロボットの変形例）
図５は、本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図６は、図５に示す産業用ロボット１の側面図である。なお、図５、図６では、上述した形態と同様の構成には、同一の符号を付している。

上述した形態では、アーム７とアーム８とは、上下方向において同じ位置に配置されており、水平方向において互いに隣接しているが、図５、図６に示すように、アーム７とアーム８とが上下方向において互いにずれた位置に配置されていても良い。この場合には、本体部９は、アーム７、８の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート５７と、アームサポート５７を昇降可能に支持する支持フレーム５８と、本体部９の下端部分を構成する旋回フレーム５９とを備えている。

図６に示すように、アーム７の基端側は、アームサポート５７の上端側に回動可能に連結され、アーム８の基端側は、アームサポート５７の下端側に回動可能に連結されている。支持フレーム５８は、アームサポート５７を介してハンド５、６およびアーム７、８を昇降可能に保持している。支持フレーム５８の下端は、旋回フレーム５９に固定されている。旋回フレーム５９は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるように基台６０に連結されている。基台６０は、ベース１１に対して左右方向に直線的に移動可能となっている。

アーム駆動機構２０は、アームサポート５７に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。すなわち、アーム駆動機構２０は、本体部９に対してハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム７を伸縮させる。アーム駆動機構２１は、アームサポート５７に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。すなわち、アーム駆動機構２１は、本体部９に対してハンド６が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム８を伸縮させる。

回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向として基台６０に対して旋回フレーム５９を回動させる。すなわち、回動機構２２は、上下方向を回動の軸方向として基台６０に対して本体部９を回動させる。昇降機構２３は、支持フレーム５８に対してアームサポート５７を昇降させる。水平移動機構２４は、ベース１１に対して基台６０を左右方向に直線的に移動させる。すなわち、水平移動機構２４は、基台６０と一緒に本体部９を左右方向に直線的に移動させる。

検知機構２６、２７は、本体部９のアームサポート５７に取り付けられている。具体的には、アームサポート５７に固定されるセンサ固定部材（図示省略）に検知機構２６、２７が固定されており、検知機構２６、２７は、センサ固定部材を介して本体部９に取り付けられている。また、検知機構２６と検知機構２７とは、上下方向に重なった状態で本体部９に取り付けられている。

また、検知機構２６は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が検知機構２６の発光部３０と検知機構２６の受光部３１との間を通る位置に配置されている。検知機構２７は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が検知機構２７の発光部３０と検知機構２７の受光部３１との間を通る位置に配置されている。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態において、ロボット１は、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が発光部３０と受光部３１との間を通る位置に配置される検知機構２６に加えて、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の他端面が発光部３０と受光部３１との間を通る位置に配置される検知機構２６を備えていても良い。

この場合には、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、２個の検知機構２６を用いて、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の両端部の欠け（チッピング）の有無および欠けの大きさを検知することが可能になる。なお、この場合には、追加で設置される検知機構２６の受光部３１はラインセンサでなくても良い。また、この場合には、追加で設置される検知機構２６は、反射型の検知機構であっても良い。

同様に、ロボット１は、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が発光部３０と受光部３１との間を通る位置に配置される検知機構２７に加えて、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の他端面が発光部３０と受光部３１との間を通る位置に配置される検知機構２７を備えていても良い。

この場合には、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、２個の検知機構２７を用いて、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の両端部の欠けの有無および欠けの大きさを検知することが可能になる。なお、この場合には、追加で設置される検知機構２７の受光部３１はラインセンサでなくても良い。また、この場合には、追加で設置される検知機構２７は、反射型の検知機構であっても良い。

上述した形態において、ロボット１が備える検知機構の数は１個であっても良い。この場合には、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が１個の検知機構の発光部３０と受光部３１との間を通るとともに、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面が１個の検知機構の発光部３０と受光部３１との間を通る。また、この場合には、ロボット１が第１動作Ｍ１１を行うときに、アーム８は、伸びているか、または、ハンド６に搬送対象物２が搭載されていない状態で縮んでおり、ロボット１が第１動作Ｍ２１を行うときに、アーム７は、伸びているか、または、ハンド５に搬送対象物２が搭載されていない状態で縮んでいる。

上述した形態において、受光部３１は、複数の受光素子が二次元的に配列されるエリアセンサであっても良い。この場合であっても、検知機構２６によって、ハンド５に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置を検知することは可能である。同様に、検知機構２７によって、ハンド６に搭載される搬送対象物２の左右方向の一端面の左右方向の位置を検知することは可能である。

上述した形態において、ロボット１が備えるハンドおよびアームの数は１個であっても良い。たとえば、ロボット１は、１個のハンド５と１本のアーム７のみを備えていても良い。この場合には、検知機構２７が不要になる。また、ロボット１が備えるハンドおよびアームの数が１個である場合には、たとえば、ロボット１は、アーム駆動機構２０に代えて、本体部９に対して第１アーム部１６を回動させる第１アーム部駆動機構と、第１アーム部１６に対して第２アーム部１７を回動させる第２アーム部駆動機構と、第２アーム部１７に対してハンド５を回動させるハンド駆動機構とを備えていても良い。また、この場合には、ロボット１は、たとえば、回動機構２２および水平移動機構２４を備えていなくても良い。

また、ロボット１が備えるハンドおよびアームの数が１個である場合には、アーム７が備えるアーム部の数は、３個以上であっても良い。たとえば、特開２０１９－１７６０２９号公報に記載されているように、アーム７が備えるアーム部の数は、３個であっても良い。この場合には、ロボット１は、たとえば、回動機構２２および水平移動機構２４を備えていなくても良い。

上述した形態において、ハンド５、６が備えるフォーク１５の数は、３本以上であっても良い。また、上述した形態において、収容カセット３および処理装置４がロボット１の前側に配置されていても良い。さらに、上述した形態において、搬送対象物２は、ＰＬＰを用いた半導体パッケージの製造ラインで取り扱われる大型のパネル以外のものであっても良い。

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 搬送対象物
３ 収容カセット（受取り部）
４ 処理装置（引渡し部）
５ ハンド（第１ハンド）
６ ハンド（第２ハンド）
７ アーム（第１アーム）
８ アーム（第２アーム）
９ 本体部
２０、２１ アーム駆動機構
２２ 回動機構
２４ 水平移動機構
２５ 制御部
２６ 検知機構（第１検知機構）
２７ 検知機構（第２検知機構）
３０ 発光部
３１ 受光部
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向

Claims (4)

1. 長方形状または正方形状に形成される搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
   前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記本体部に取り付けられる光学式の検知機構と、前記産業用ロボットを制御する制御部とを備えるとともに、
   所定の受取り部に置かれている前記搬送対象物を前記アームが伸びている状態で前記ハンドに搭載して受け取るときの前記ハンドの位置を受取り位置とし、前記アームが伸びている状態で前記ハンドに搭載されている前記搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときの前記ハンドの位置を引渡し位置とすると、
   前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取った前記ハンドが前記本体部に近づくように前記アームが縮むときの動作である第１動作と、前記第１動作後に、前記搬送対象物が搭載された前記ハンドが前記引渡し位置に移動するまで前記アームが伸びるときの動作である第２動作とを行い、
   前記ハンドは、前記産業用ロボットが前記第１動作を行うときに、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、
   前記検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる受光部と、上下方向において前記受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記受光部に対向配置される発光部とを有する透過型の検知機構であり、
   前記産業用ロボットが前記第１動作を行うときの前記ハンドの移動方向を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する方向を左右方向とすると、
   前記産業用ロボットが前記第１動作を行うときに、前記搬送対象物の左右方向の一端面は、前記受光部と前記発光部との間を通り、
   前記制御部は、前記産業用ロボットが前記第１動作を行う際に、前記検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、前記検知機構が前記搬送対象物を検知した後、所定の第１測定位置まで前記ハンドが移動したときに前記検知機構によって検知される前記搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、前記第１測定位置を通過した前記ハンドが所定の第２測定位置まで移動したときに前記検知機構によって検知される前記搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを取得するとともに、前記産業用ロボットが前記第２動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボット。
2. 前記ハンドとして、第１ハンドと第２ハンドとの２個の前記ハンドを備えるとともに、前記第１ハンドが連結される前記アームとしての第１アームと、前記第２ハンドが連結される前記アームとしての第２アームと、前記第１アームおよび前記第２アームが連結される１個の前記本体部と、前記第１ハンドに搭載される前記搬送対象物を検知する前記検知機構としての第１検知機構と、前記第２ハンドに搭載される前記搬送対象物を検知する前記検知機構としての第２検知機構とを備え、
   前記第１ハンドに搭載される前記搬送対象物と前記第２ハンドに搭載される前記搬送対象物とは、上下方向でずれており、
   前記第１検知機構と前記第２検知機構とは、上下方向に重なった状態で前記本体部に取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
3. 前記本体部に対して前記ハンドが一定方向に向いた状態で直線的に移動するように前記アームを伸縮させるアーム駆動機構と、前記本体部を回動させる回動機構と、左右方向に前記本体部を移動させる水平移動機構とを備え、
   前記制御部は、前記産業用ロボットが前記第２動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記アーム駆動機構と前記回動機構と前記水平移動機構とを制御して前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
4. 長方形状または正方形状に形成される搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記本体部に取り付けられる光学式の検知機構とを備えるとともに、
   所定の受取り部に置かれている前記搬送対象物を前記アームが伸びている状態で前記ハンドに搭載して受け取るときの前記ハンドの位置を受取り位置とし、前記アームが伸びている状態で前記ハンドに搭載されている前記搬送対象物を所定の引渡し部に引き渡すときの前記ハンドの位置を引渡し位置とすると、
   前記受取り位置で前記搬送対象物を受け取った前記ハンドが前記本体部に近づくように前記アームが縮むときの動作である第１動作と、前記第１動作後に、前記搬送対象物が搭載された前記ハンドが前記引渡し位置に移動するまで前記アームが伸びるときの動作である第２動作とを行い、
   前記ハンドは、前記第１動作が行われるときに、前記本体部に対して一定方向を向いた状態で直線的に移動し、
   前記検知機構は、ラインセンサまたはエリアセンサからなる受光部と、上下方向において前記受光部との間に所定の間隔をあけた状態で前記受光部に対向配置される発光部とを有する透過型の検知機構であり、
   前記第１動作が行われるときの前記ハンドの移動方向を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する方向を左右方向とすると、
   前記第１動作が行われるときに、前記搬送対象物の左右方向の一端面は、前記受光部と前記発光部との間を通る産業用ロボットの制御方法であって、
   前記第１動作を行う際に、前記検知機構が前記搬送対象物を検知したときの前記ハンドの前後方向の位置のデータである第１位置データと、前記検知機構が前記搬送対象物を検知した後、所定の第１測定位置まで前記ハンドが移動したときに前記検知機構によって検知される前記搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第２位置データと、前記第１測定位置を通過した前記ハンドが所定の第２測定位置まで移動したときに前記検知機構によって検知される前記搬送対象物の左右方向の一端面の左右方向の位置のデータである第３位置データとを取得するとともに、前記第２動作を行う際に、前記第１位置データと前記第２位置データと前記第３位置データとに基づいて、前記引渡し位置に到達するときの前記ハンドの水平方向の位置および向きを補正することを特徴とする産業用ロボットの制御方法。

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