TW520463B

TW520463B - A chemical amplifying type positive resist composition

Info

Publication number: TW520463B
Application number: TW088114535A
Authority: TW
Inventors: Hiroaki Fujishima; Yasunori Kamiya; Ko Araki
Original assignee: Sumitomo Chemical Co
Priority date: 1998-08-26
Filing date: 1999-08-25
Publication date: 2003-02-11
Also published as: DE69933825T2; US6239231B1; DE69933825D1; CN1190706C; KR20000017485A; EP0982628B1; SG85129A1; KR100574574B1; CN1245910A; EP0982628A3; EP0982628A2

Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520463 A7 _______B7 __ 五、發明説明Ο ) 發明領域：本發明傺有鼸於一種化學放大型正阻體組成物，其可用於半導髏之微細加工中。辛前抟藝：一使用光阻組成物之光刻法，已經用於半導體之微細加工中。在光刻法中，根據Rayleigh繞射限制的表示法得知，原則上照射光源的波長越短，解析度越被改善。波長為436奈米之g -線，波長為365奈米之卜線，波長為248 奈米之KrF準分子雷射，均可作為半導體製造生産所用光刻法之曝光光源。因此近年來曝光光源的波長也逐漸變短。波長為193奈米之ArF準分子雷射被認為是下一代的曝光光源。

ArF準分子雷射曝光機器所用的透鏡，比起傳統使曝光源所用之透鏡壽命更短。據此，光刻法照射ArF準分子雷射光源的時問，希望越短越好，因此為了降低曝光時間，希望較高靈敏度的光阻是一定的趨勢。結果，使用所諝的化學放大型光阻，其利用曝光後産生的酸來引發催化反應，而且該光阻含有一種因酸作用而斷裂基團的樹脂。希望用在ArF準分子雷射曝光之光阻，其不含方&^，以確保光阻的透射率，但是含有脂環族，以賦予乾燥蝕刻抗性。各種樹脂已經被掲示，如D · C · Hof er所著之光聚合物之科學和技術雜誌（Journal 〇f Photopolyraer

Science and Technology)，第9 卷，第3 號，第387- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------------装-------ir------Φ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（>) 398頁（1996年），其中含有一些可用於ArF準分子雷射曝光之光阻的樹脂。但是，傳統已知的樹脂，因為顯影後黏附性不足，所以容易發生圖案剝離的問題。 S. Takechi等人所箸之光聚合物之科學和技術雜誌 (Journal of Photopo lyier Science and Technology) ，第9卷，第3號，第475 - 487頁（ 1996年），以及JP-§ - 9-731 73掲示的是一種高抗乾燥蝕刻以及高解析度、還有對基質有優良黏附性的化學放大型光阻，其包括2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯聚合物或共聚物為樹脂，其中2-甲基-2-金剛烷基會因酸的作用而斷裂，故此為正型。發明槪沭：本發明目的在於提供一種化學放大型正阻體組成物，其包括樹脂成分和酸發生劑，其適用於ArF、KrF之準分子雷射或其類似光源的光刻術，其中各種光阻效能，如靈敏度和解析度都是優良的，而且其對基質的黏附性也是相當優良的。本發明事先發現利用化學放大型正阻體組成物，其對基質的黏附性改良許多，而該組成物包括含有丁内酯殘基作為聚合單元部分的樹脂，或者包括含有烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯為聚合單元、或順丁烯二酸酧為聚合單元之樹脂，其掲示於專利申請案JP-A-10-12406 、JP-A- 1 0 - 1 9 1 559。本發明還進一步研究，結果發現含有金剛烷条列之特定結構的聚合單元，以及含有特定高本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---^---I-------裝--------訂-----L---，線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（々）極性聚合單元，對改善基質的黏附性特別有效。因此完成本發明。本發明提供一種化學放大型正阻體組成物，其包括一種樹脂（1)，具有2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合單元、及一種選自於3-羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯和（甲基）丙烯腈之單體聚合單元；及一種酸發生劑。在此提及之2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合單元，意指聚合形成2_烷基-2-金剛烷丙烯酸酯、或2-烷基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯之聚合物的單元。3-羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合單元，意指聚合形成3_羥基-卜金剛烷基丙烯酸酯，或3-羥基-卜金剛烷基甲基丙烯酸酯之聚合物的單元。此外，（甲基）丙烯腈聚合單元，意指聚合形成丙烯腈、或甲基丙烯腈之聚合物的單元。這些單元分別如下式（I)至（III)所示：

式中R1為氫原子或甲基，且R2為烷基。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------裝!!!訂·! — ----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 A7 _B7 五、發明說明（4 )

(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 式中R4為氲原子或甲基。因此，樹脂（1)具有如上式（I)之單元，以及上述式 (II)和（III)之一或兩種單元兼而有之。樹脂（1)也可以含有α -甲基丙烯醯氧基-7- 丁内酯之聚合單元，或順丁烯二酸酐之聚合單元。（X -甲基丙媚醯氣基-7-丁内酯之聚合單元，意指聚合形成α -甲基丙烯醯氧基-7 -丁内酯之聚合物的單元。順丁烯二酸酐之聚合單元，意指聚合形成順丁烯二酸酐之聚合物的單元。這些單元分經濟部智慧財產局員工消費合作社印製別

示 \)/ 17 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（π ) 如式（I)表示之2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯的聚合單元中，R1為甲基，且R2為乙基之聚合單元，即如式（la)2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯聚合單元是重要的。

如式（la)之2-G基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯的聚合單元，其至少與一種選自下列之聚合單元混合：如上述式（II)之3-羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯之聚合單元，如上述式（III)之（甲基）丙烯腈之聚合單元，如上述式（IV)之α-甲基丙烯醯氣基-7 _ 丁内酯之聚合單元，如上述式（V)之順丁烯二酸酐之聚合單元，以形成化學放大型正光阻。因此，本發明也提供一種化學放大型正阻體組成物，其包括：一種樹脂（2)，具有2-乙基_2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合單元和一種選自於羥基-1 -金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈、α -甲基丙烯醯氧基-7 - 丁内酯和順丁烯二酸酐之單體聚合單元；及一種酸發生劑。亦即，樹脂（2)含有式（la)之犟元，而且含有一種或多種式（II)、（In)、（IV)、和（V)之單兀〇 -7 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------；-------▼裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 A7 B7 五、發明說明（6 ) 齡住息膳審渝例的_細説明：樹脂（1)含有如式（I)之2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯的聚合單元，以及一種或兩種如式（II)之3 -羥基 -卜金酬烷基（甲基）丙烯酸酯之聚合單元，和如式（III) 之（甲基 > 丙烯腈之聚合單元。樹脂（1)也可視需要含有如式（IV)之a -甲基丙烯醯氧基-7 - 丁内酯之聚合單元，和/或如式（V)之順丁烯二酸酐之聚合單元。因此，樹脂 (1)可藉由2 -烷基-2 -金剛烷基（甲基）丙烯酸酯，和一種或兩種3-羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酷和（甲基）丙烯腈，以及視霈要選用之〇(-甲基丙烯醯氯基-7-丁内酯和/或順丁烯二酸酐，共聚合而製得。這些單體中，一般2-烷基-2-金酬烷基（甲基）丙烯酸酯，偽藉由2-烷基-2-金剛烷醇或由其所構成之金羼鹽，與丙烯酸齒化物或甲基丙烯酸鹵化物的反應而製得。 3-羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯，則藉由1,3-二溴金剛烷的水解得到1,3-二羥基金剛烷後，再與丙烯酸、甲基丙烯酸、或由其所構成之鹵化物的反應而製得。如式（1)2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯的聚合單元，由於含有金剛烷環，故可確保光阻的透射率以及抗乾燥蝕刻之改良。此外，單元之2 -烷基-2-金剛烷基，因酸的作用而斷裂，因此該單元在光阻膜曝光後，會強化鹸-溶解度。式（I)的R2為烷基。烷基例如約為1至至8値磺原子。一般有利的烷基為直鏈，但是也可以是 3痼或更多磺原子之支鐽。R2的例子包括甲基、乙基、本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---^----1-------裝--------訂-----1----線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（7 ) 正丙基、異丙基、和正丁基。這些例子中，以甲基或乙基，特別是R2為乙基較佳，此可確實改善光阻和基質間的黏附性以及解析度。光阻包括如式（I)之樹脂（1), 式中R 1為甲基，且R 2為乙基，特別對基質有高的黏附性。樹脂（2)具有式（la)之2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯的聚合單元，及至少一種選自下列之聚合單元：式 (II)之3-羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯之聚合犟元、式（III)之（甲基）丙烯腈之聚合單元、式（IV)之α-甲基丙烯醯氯基-7-丁内酯之聚合單元、式（V)之順丁烯二酸酐之聚合單元。因此樹脂（2)也可藉由2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯以及至少一種選自下列單體：3-羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈、ct-甲基丙烯醯氯基-7-丁内酯、順丁烯二酸酐之共聚合製得。 2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯，可藉由2-乙基-2 -金剛烷醇或由其所構成之金屬鹽，與甲基丙烯酸鹵化物反應而製得。例如乙基鋰用來與2 -金剛烷酮反_，製得 2-乙基-2-金刚烷醇化鋰。所得2-乙基-2-金剛烷醇化鋰與甲基丙烯酸鹵化物進行縮合反應，製得2_乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯。式（II)之3 -羥基_卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合單元、式（III)之（甲基）丙烯腈的聚合單元、式（IV)之-甲基丙烯醯氧基-7 _ 丁内酯的聚合單元、式（V)之順丁烯二酸酐的聚合單元，均具有高極性。任何上述樹脂（2) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------I----裝--------訂·!I-—---線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（，）之聚合單元的出現，都會改善含樹脂（2)之光阻對基質的黏附性。特別是式（1㈠之α -甲基丙焼酵氧基丁内酯聚合單元之黏附性更具有優良的改善成果。α-甲基丙烯醯氣基-7-丁内酯之聚合單元，與式（Ia)之2 一乙基-2_金剛烷基甲基丙靡酸醋的聚合單元的結合具有優異的效果。式（I)之2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙嫌酸酷聚合單元，與3 -羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯之聚合單元、或（甲基）丙烯腈之聚合單元的結合，也具有優異的效果。此外，上述單元中，3-羥基-卜金刚烷基（甲基）丙烯酸酯之聚合單元、（甲基）丙烯腈之聚合單元、和順丁烯二酸酐之聚合單元，對抗乾燥独刻也有改善效果。其中 3 -羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯之聚合箪元、和α -甲基丙烯醸氣基-7-丁内酯之聚合單元，對光阻的解析度也有貢獻。一般化學放大型正阻體本身所用的樹脂，為鹼不溶性、鹸微溶性。但是，其部分基團會因酸的作用而斷裂，而且該樹脂在斷裂後會變成鹼可溶性。本發明之樹脂（1) 或（2),式（I)之2-烷基-2-金剛烷基或式（la)之2-乙基 -2 -金剛烷基，均會因酸作用而斷裂。因此樹脂（1)和（2) 之式Π)或式（la)的聚合單元，會使含有樹脂（1)和（2 > 之光阻組成物屬於正阻髏。若有需要，該樹脂也可包括其他會因酸作用而斷裂之基團的聚合單元。含其他聚合單元的基圍，例子包括各種羧酸酯。羧酸本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---— — — — — — — —--- I 1 I ! I I 訂· — — — — — — I· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（？）酷的例子包活如第三丁酯之烷酯，如甲氧甲酯、乙氯甲酯、乙氯乙酯、卜異丁氧乙酯、卜異丙氣乙酯、1-乙氣丙酯、1-(2_甲氣乙氧）乙酯、1-(2-乙醯氧乙氣）乙酯、1-[2-(1-金栩烷氯）乙氧]乙酯、l-[2-U-金剛烷羰氧）乙氣]乙酯、四氫-2-呋喃酯、和四氫-2-峨喃酯之醋酸酯，以及如異冰Η酯之脂環酯。用來製造含有羧酸酯之單元的聚合物，使用的單體例子包括丙烯酸單體，如甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯，而且羧酸酯基偽鍵結至脂璟族單體上，該脂環族單體如羧酸冰Η烯酯、羧酸三環癸烯酯、以及羧酸四環癸烯酯。樹脂（1)或（2)較佳含有可因酸作用而斷裂之基團的聚合單元，雖然一般而言較佳用量可視成像曝光的輻射線種類、以及因酸斷裂之基圍種類不同而異，但是該聚合單元的含量一般為30至80奠耳％。式⑴之2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯的聚合單元的用量，式（la)之2-乙基-2_金剛烷基甲基丙烯酸酯的聚合單元的用量，基於樹脂總量，較佳為20奠耳％或更多。如式（I)之聚合單元以及其他因酸作用而斷裂之聚合單元的總用量，如上述基於樹脂總量，較佳為30至80 莫耳％。更佳為式（la)之2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯的聚合單元的用量為20莫耳％或更多，且式（I)之聚合單元的總用量，基於樹脂總量，為30至80奠耳％。式（II)之3-羥基-1_金剛烷基（甲基）丙烯酸酯之聚合單元、式（III)之（甲基）丙烯腈之聚合單元、如式（IV) -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---^--------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 A7 B7 五、發明說明（、。）之（X-甲基丙烯醯氯基-7-丁内酯之聚合簞元、式（〇之順丁烯二酸酐之聚合單元，其總用量較佳佔樹脂（1)或 (2)之20至70莫耳％。在樹脂（1)中，3-羥基-卜金剛院基（甲基）丙烯酸酯之聚合單元、和/或（甲基）丙烯腈之聚合單元的總用量，較佳為20莫耳％或更多。當α -甲基丙烯醯氣基丁内酯之聚合單元、和/或順丁烯-二酸酐之聚合單元，視需要而加入時，3-羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯之聚合單元Λ (甲基）丙烯腈之聚合單元、α-甲基丙烯醛氯基丁内酯之聚合單元、順丁烯二酸酐之聚合單元，其總用量較佳為70莫耳％或更少。樹脂（1)和樹脂（2)也可包括其他聚合犟元，如含有自由羧酸基之聚合單元，但其含量範圍不致於破壤本發明的效果。本發明光阻組成物之另一個成分為酸發生劑，其本身因光源照射而分解産生酸，或者光阻組成物包括了光和電子束之輻射線成分。酸發生劑對光阻組成物之光阻的作用，是使樹脂中的基團因酸作用而斷裂。該酸發生劑的例子包括鐳鹽、有機鹵素、δϋ、和磺酸酯。待別是下列提及的成分：二苯基碘鏺三氟甲烷磺酸酯； 4-甲氧苯基苯基碘鐵六氟銻酸鹽； 4-甲氧苯基苯基碘鑷三氣甲烷磺酸酯；雙（4-第三丁基苯基）碘鏺四氟硼酸鹽；雙（4-第三丁基苯基）碘鐵六氟磷酸鹽； - 12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------1------裝-------訂 -------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（u) 雙（4-第三丁基苯基）碘鐵六氟銻酸鹽；雙（4-第三丁基苯基）碘鏺三氟甲烷磺酸鹽；三苯基硫鏺六氟磷酸鹽；三苯基硫鏘六氟銻酸鹽；三苯基硫鐵三氟甲烷磺酸鹽； 4-甲氯基苯基二苯基硫鑷六氟銻酸鹽； 4 -甲氯基苯基二苯基硫鑰三氟甲烷磺酸鹽；對-甲苯基二苯基硫鐵三氟甲烷磺酸鹽；對-甲苯基二苯基硫鐵全氟辛烷磺酸鹽； 2,4,6 -三甲基苯基二苯基硫鐵三氟甲烷磺酸鹽； 4-對丁基苯基二苯基硫鐵三氟甲烷磺酸鹽； 4-苯基硫苯基二苯基硫鐵六氟磷酸鹽； 4-苯基硫苯基二苯基硫鐵六氟銻酸鹽； 1 -（2-萘醯基甲基）硫醇鏺六氟銻酸鹽； 1 -（2_萘醯基甲基）硫醇鐵三甲烷磺酸鹽； 4-羥基-1-萘基二甲基硫鐵六氟銻酸鹽； 4-羥基-卜萘基二甲基硫鐵三甲烷磺酸鹽； 2-甲基-4,6-雙（三氛甲基）_1,3,5-三阱； 2,4,6-三（三氛甲基）-1，3,5-三阱； 2-苯基-4,6-雙（三氯甲基）-1,3,5-三阱； 2-（4_氯苯基）-4,6_雙（三氯甲基）-1,3,5_三阱； 2 -（4 -甲氣基苯基）_4,6 -雙（三氯甲基）_1,3,5 -三阱； 2 -（4_甲氧基4-萘基）-4,6-雙（三氯甲基）-1,3,5-三阱； 2 -（苯并[d][l,3]二噁茂烷-5_基）-4,6-雙（三氯甲基）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------I------’裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_ 五、發明說明（P ) -1，3，5-三 _ ; 2 -（4 -甲氯基苯乙烯基）-4,6 -雙（三氯甲基）-1,3,5-三阱； 2-(3,4,5-三甲氣基苯乙烯基卜4,6-雙（三氯甲基）-1, 3，5-三阱； 2 -（3,4-二甲氧基苯乙烯基）-4,6-雙（三氯甲基）-1,3， 5-三阱； 2-(2,4-二甲氣基苯乙烯基），4,6-雙（三氛甲基）-1,3， 5 -三阱； 2 -（2-甲氣基苯乙烯基）-4,6 -雙（三氯甲基）-1,3,5 -三阱； 2 -（4-丁氧基苯乙烯基）-4, 6-雙（三氛甲基）-1,3,5-三阱； 2 -（4-戊氣基苯乙烯基）-4,6-雙（三氛甲基）-1,3,5_三阱；卜苯甲_基-卜苯甲基對_甲苯磺酸鹽（即所諝 benzointosylate)； 2-苯甲醯基-2-羥基-2-苯乙基對-甲苯磺酸鹽（即所諝 a -methylolbenzointosylate)； 1,2,3-苯-3-基甲烷磺酸鹽； 2,6-二硝苄基對-甲苯磺酸鹽； 2-硝苄基對-甲苯磺酸鹽； 4-硝苄基對_甲苯磺酸鹽；二苯基二_ ; 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----I-------裝--------訂----------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（θ) 二-對-甲苯基二碼；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷；雙（4-氛苯磺醯基）二偶氮甲烷；雙（對4-甲苯磺醯基）二偶氮甲烷；雙（4-第三丁基苯磺醯基）二偶氮甲烷；雙（2,4-二甲苯磺醯基）二偶氮甲烷；雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷； (苄氧基）（苯磺醯基）二偶氤甲烷； Η -（苯磺耱氧基）丁二醯胺； Ν-(三氟甲基磺醯氯基）丁二醯胺； Ν -（三氟甲基磺醯氣基）苯二甲醯胺； Ν-(三氟甲基磺醯氣基）_5 -冰Η烯-2,3 -二羧酸醯胺； Ν -（三氟甲基磺醯氯基）#二甲醯胺；樟腦磺醯氯基）#二甲醯胺；及其類似物。一般化學放大型正阻體組成物的效能，因光源照射使得參與的酸分離去活化而遭破壤，其效能因鹸性化合物加入而降低，特別是作為淬滅劑之含氮有機化合物，如胺。本發明較佳加入鹸性化合物。作為淬滅劑之驗性化合物的例子，包括如下式所示：一 15 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---^---------->裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 A7 B7 五、發明說明（Μ ) R13 n r15^W r12 〇12 rJJ R12 N N r13^J-a~^r13 r14 R15 r15 R14 R11 % r13

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 p11 p11R12^Va-<^R12 r13^=N N^pia 式中R 11、R 12、R 13、R 14、和R 15各獨立地代表氫、或烷基、環烷基、芳基、或烷氣基，其可視需要經羥基取代，且A表示亞烷基、羰基、或亞胺基。在此由R 11至 R 15所表示之烷基和烷氧基，每個約為1至6個磺原子，且環烷基可約為5至10値磺原子，並且芳基約為6至 10値磺原子。由A所表示之亞烷基約為1至6値磺原子 ,且其為直鏈或支鏈。 -16- -----I----------裝---------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 良紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 520463 Α7 Β7 五、發明說明（π ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明之光阻組成物，基於組成物固髏成分總重量而言，較佳樹脂的含量為80至99·9重量％,酸發生劑的含量為0. 1至20重量％。若加入鹸性化合物作為淬滅劑，刖基於光阻組成物固體成分總重量，較佳的含量範圍為 0.000 1至0. 1重量％。若有需要，該組成物還可包括各種添加_，如少量的敏感劑、溶解抑制劑、其他樹脂、界而活性劑、安定劑、和染料。本發明之光阻組成物於溶於溶劑中以産生樹脂溶液，其可塗覆至如矽晶圓之基質上。在此所用溶劑，可以溶解每種戒分，且具有適當的乾燥速度，並且在溶劑蒸發後提供一種均勻又平滑的塗層，該溶劑常用於本領域中。例子包括二醇醚酯，如乙基醋酸纖維素、甲基醋酸纖維素、和丙二醇單甲醚醋酸酯；醚，如二乙二醇二甲醚；酯，如乳酸乙酯、醋酸丁酯、醋酸戊酯、和丙_酸乙酯如丙酮、甲基異丁基酮、2-庚酮和環己酮；以及璟酯，如7 -丁内酯。這些溶劑可以單獨、或兩者或兩者以上混合使用。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製塗覆於基質並乾燥之光阻膜，其需接受成像曝光處理。因此，在促進保護解塊反應之曝光處理後，進行鹼性顯影劑的顯影。此處使用之鹸性顯影劑，可為本領域所用之各種鹸性水溶液。常用的有四甲基氫氧化銨、或（2-羥乙基）二甲基氫氧化銨（所諝的colline hydroxide)之水溶液。 «_Μ_ -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（4) 於下列實例詳細說明本發明，但該實例不應#㈣本發明。實例中除斧另有說明，否削所有的份均以重量計。重量平均分子暈僳利用聚苯乙烯為參考標準之膠凝層析法測得。壁磨会成例】(2„甲基-2-金®院甲基丙燦肩取83.1克2-甲基-2-金剛院醇和克二乙胺，以及 2〇〇克甲基異丁基_ 一起加入，製得溶液。接箸取78.4 克甲基丙嫌酸氮化物（相對於2_甲基_2_金阐院醇為I5 莫耳倍）逐滴加入，接箸在室溫下攪拌1〇小時。過滅後，用5重_碳酸氣納水溶液冲洗有機層•接帛再用水沖洗兩遍。錢有機雇，㈣在關下進㈣输，得到如下式所示之2-甲基金规院甲基丙稀酸醋’産率為75黑。

(2-乙基-2-金刚烷甲基丙烯酸酯的合成）取50克二***，加入31·1克金剛院綱，以製備丨容液接著，將含有乙基鋰之2〇〇毫升二乙酸溶液（濃度為 1.1 4奠耳/升），逐滴加A上述溶液中’加人的速率使得溶液溫度不超過10 C。在0¾下擾伴2小時後得到的溶液，再將26,2克甲基丙嫌酸氯化物（相對於2-金剛院_ 為12莫耳倍）逐滴加入上述溶液中，加入的速率使得溶液溫度不超過10C。逐滴加入完成後，將所得溶液在室溫下攪拌12小時。接箸，通濾分離得到沉織的無機鹽， -1 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -, -----I-----------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 520463 A7 B7 五、發明說明（π ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 並用5重量％磺酸氫鈉水溶液冲洗有機層，接箸再用水沖洗兩遍。濃縮有機層，接著在減壓下進行蒸餾，得到如下式所示之2 _乙基-2 -金剛烷甲基丙烯酸酯，産率為6 Ο ίί

重體合成例3 (oc -甲基丙烯醯氧基7 - 丁内酯的合成）取100克《-溴-7-丁内酯和104.4克甲基丙烯酸（相對於α -溴丁内酯為2.0莫耳倍）加入，再取α-溴7 -丁内酯之3重量倍的甲基異丁基酮一起加入，製得溶液。接著，取183,6克三乙胺（相對於ex-溴-7-丁内酯為 3.0莫耳倍）逐滴加入，接箸在室溫下約攪拌10小時。過濾後，用5重量SK磺酸氫鈉水溶液沖洗有機層，接著再用水冲洗兩遍。濃縮有機層，接箸在減壓下進行蒸餾，得到如下式所示之α -甲基丙烯醯氯基-7-丁内酯，産率為85%。 CH3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〇〇工樹脂合成例1 (樹脂A的合成）將2_甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3-羥基_1_金剛烷基（甲基 > 丙烯酸酯、和甲基丙烯醯氧基-7-丁内酯，以莫耳比為5:2.5: :2.5( 20.0克：10.1克：7.8克） -19 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）經濟部智慧財產局員Η消費合作社印制衣 520463 A7 B7 五、發明說明（j) 分別加人。接著，將基於單體總重量2倍之甲基異丁基顚加人，製得溶液。將基於單體總量的2莫耳ίί之偶氮雙異丁腈的起始劑加入，接著在85υ下加熱約8小時。然後將反應溶液倒進大量的己烷中，以産生沉澱，重複三次，茛到溶液被純化。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之莫耳比為50:25:25,且重量平均分子量約 4,500。所得共聚物被稱為樹脂Α。

將2-甲基-2_金剛烷基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯腈、和順丁烯二酸酐，以莫耳比為5 : 2 . 5 : 2 . 5 (2 0,0克： 3 . 1克：4.5克）分別加入。接箸，將基於單體總重量2 倍之四氫呋喃加入，製得溶液。將基於單體總量的2莫耳％之偶氮雙異丁腈的起始劑加入，接箸在60 °C下加熱約1 2小時。然後將反應溶液倒進大量的己烷中，以産生沉澱，重複三吹，直到溶液被純化。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之莫耳比為50: 25: 25,且重量平均分子量約8,000。所得共聚物被稱為樹脂B。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ★ - W ------I-------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7 五、發明說明（)

概脂」合_ 同樣地取2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯腈、和α -甲基丙烯醯氧基-7-丁内酯，共聚合得到分別之聚合單元的三元共聚物。樹脂合成例3 (樹脂C的合成）重複樹脂合成例1的相同步驟，除了 2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3-羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯和α -甲基丙烯醯氣基-7- 丁内酯，分別被替換成2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3_羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯和ot -甲基丙烯醯氧基-7-丁内酯外，其莫耳 (:ti 為 5 : 2 . 5 : 2 , 5 (20 . 0克：9·5^ : 7，3克），分別加入。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成物之莫耳比為 50: 25: 25，且重量平均分子量約9,200。所得共聚物被稱為樹脂C。 ------I------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 520463 A7 B7 五、發明說明（w 樹m—m樹脂d的合成）重複樹脂合成實例2的相同步驟，除了 2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯腈和順丁烯二酸酐分別被替換成2 -乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3 -羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、順丁烯二酸酐外，其莫耳比為 5: 2.5: 2.5(20,0克：9,5克：4.2克），分別加入。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之莫耳比為50: 25: 25，且重量平均分子量約17,000。所得共聚物被稱為樹脂D。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

樹樹脂E的合成）經濟部智慧財產局員工消費合作社印製重複樹脂合成例2的相同步驟，除了 2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯腈、和順丁烯二酸酐，分別被取代為2 -乙基2 -金剛烷基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯腈和順丁烯二酸酐外，其莫耳比為5: 2,5: 2,5(20.0克： 2 . 9克：4.2克），分別加入。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之奠耳比為50: 25: 25，且重量平均分子量約3,400。所得共聚物被稱為樹脂E。一 22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 520463 Α7 _Β7 五、發明說明（^)

樹(樹脂F的合成）重複樹脂合例1的相同步驟，除了 2_甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3-羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、和α -甲基丙烯醯氧基-7 - 丁内酯，分別被替換2-乙基 - 2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯腈和α-甲基丙烯醯氧基-7 - 丁内酯外，其莫耳比為5: 2.5: 2.5(20.0克 :2 . 9克：7 . 3克）分別加入。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之莫耳比為50:25 : 25,且重量平均分子量約6,000。所得共聚物被稱為樹脂F。

ο 25 重複樹脂合成例1的相同步驟，除了 2-甲基-2 _金剛完基甲基丙烯酸酯、3-羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸 - 2 3 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） r* ------I------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（》) 酯、和α -甲基丙烯醯氣基-7-丁内酯，分別被替換2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、和α -甲基丙烯醯氧基 -7 -丁内酯外，其莫耳比為5 : 5(40.0克：29.3克）分別加入。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之莫耳比為50 ·· 50，且重量乎均分子量約5,600。所得共聚物被稱為樹脂G。

樹__脂合成例8 (樹脂Η的合成）將2_乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3_羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、和甲基丙烯腈，以奠耳比為 5: 2,5: 2,5(20.0克：9,5克：2.9克）分別加入。接著，將基於單體總重量2倍之四氫呋喃加入，製得溶液。將基於單體總量的2莫耳％之偶氮雙異丁腈的起始劑加入 ,接著在65¾下加熱約12小時。然後將反應溶液倒進大量的己烷中，以産生沉澱，重複三次，直到溶液被純化。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之莫耳比為 50:25;25,且重量平均分子量約1 4,000。所得共聚物被稱為樹脂Η。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----I-------裝--------訂---------線_1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463

A7 B7

樹脂合成例9 (樹脂I的合成）將2_乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、2-甲基_2_金剛烷基甲基丙烯酸酯Λ和〇(-甲基丙烯醯氣基-7-丁内酯，以莫耳比為 2.5: 2.5: 5 (10.6 克：10·0 克：15,6克）分別加入。接著，將基於單體總重董2倍之甲基異丁基酮加入，製得溶液。將基於單體總量的2莫耳％之偶氮雙異丁睛的起始薄|加入，接箸在85¾下加熱約6小時。然後將反應溶液倒進大量的己烷中，以産生沉澱，重複三次，直到溶液被純化。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之莫耳比為25: 25:50，且重量平均分子量約 9,000。所得共聚物被稱為樹脂I。 r ^ ------I------^--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁j 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（4) 樹_脂_合__成__例__11(樹脂X的合成，比較用）重複樹脂合成例1的相同步驟，除了 2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3-羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、和a-甲基丙烯醯氣基-7-丁内酯，分別被替換成 2 -甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、和α -甲基丙烯醯氧基-7 - 丁内酯外，其莫耳比為5: 5(15.0克·· 11.7克），分別加人。結果，得到如下式之共聚物，其每種組成之莫耳比為5 0: 5 0,且重量平均分子量約10,000。所得共聚物被稱為樹脂X。

樹_脂合_1盤丄1_(樹脂J的合成）將2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3-羥基-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯、和甲基丙烯醯氧基-7-丁内酯 ,以莫耳比為5*〇:2.5:2*5(20.6克：8.9克：6.8克）分別加入。接著，將基於單體總重量2倍之甲基異丁基酮加人，製得溶液。將基於單體總量的2莫耳％之偶氮雙異丁腈的起始劑加入，接著在851C下加熱約5小時。然後將反應溶液倒進大量的己烷中，以産生沉澱，重複三次，直到溶液被純化。結果，得到如下式之共聚物，其一 26 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） r - -----I------^--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 7,500。所得共聚物被稱為樹脂^·。

Α7 Β7 五、發明說明（4 ) 每種組成之荑耳比為50 :25: 25,且重量平均分子量約

25 奮-例取10份樹脂D或E、0.2份作為酸發生劑之對-甲苯二苯基硫鐵三氟甲烷磺酸鹽（由MIDORI化學公司製造提供，型號MDS-205 )、以及0.015份作為淬滅劑之2,6-二異丙基苯胺，溶於45份2-庚酮中。利用製自氟樹脂之過濾器ί孔徑為0.2微米），過濾所得溶液，製得光阻溶液。將製得光阻溶液，塗覆在矽晶圓上（水的接觸角：50度），接著，在23¾下於六亞甲基矽氮烷進行處理20秒，再將有機抗反射膜塗覆在矽晶圓上，乾操後所得膜厚為0.5 微米。有機抗反射膜的形成，僳藉由Brewer公司製造之 DUV-42塗覆，並在215¾烘烤60秒後而得，所得厚度為 570Ϊ。塗覆光阻溶液後，於直接熱板上，進行120t! 60秒的預烘烤。經由線_與-間隙圖案，用KrF準分子雷射步進曝光器(由Nikon公司製诰，型號為 NSR 2205 EX12B, ΝΑ=0·55, σ=0·8), 逐步改變照射量以使所形成之晶圓（其上有光阻膜）曝光本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----I------裝-----I--訂·！II---線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（“）。利用兩種黑區圖案和亮區圖案之標度線（光罩），進行線-與-間隙圖案的曝光。此處所指黑區圖案的標度線，唯有光阻圖案的空隙部分製自玻璃表面，而其他部分均製自鉻表而。據此，整値線-與-間隙圔案的周圍仍維持曝光和顯影後的光阻層，因此得到了圔案。而亮區圖案的標度線，使得形成的圖案之外圍由鉻表面組成，光阻圆案的線部分_由鉻層構成，其利用玻璃表面作為遴緣的基底。據此，移走線-與-間隙圖案周圍的光阻層，則在曝光和顯影後，仍維持對應於外緣的光阻層，因此提供了所需圓案。在曝光後，在熱板上進行曝光後的烘烤 (P E B )，烘烤溫度如表1所列，烘烤時間6 0秒。此外，利用2^8重量％四甲基氫氧化銨水溶液進行葉輪式曝光 60秒。在有機抗反射膜基質上，提供之光阻膜所得圔案，可根據下列方法，藉由掃描電子顯徽鏡觀察，決定有效的靈敏度和解析度。有效靈敏度：當使用黑區圖案標度線及當使用亮區圖案標度線時，在1:1下，藉由照射量形成0.3徹米之線-與-間隙圖案。解析度：當使用黑區圖案標度及當使用亮區圖案標度線時，在有效靈敏之照射量下，顯示線-與-間隙圖案間分隔之最小尺寸。有機抗反射之基質圖案，並未供做評估黏箸性。主要基質上形成的光阻膜，不含有機抗反射膜，其在光源照射有效靈敏度後，才得到上述有機抗反射膜。因此可藉本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----—-------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 A7 B7 五、發明說明（V ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由掃描電子顯撤鏡，觀察顯影後的圖案。若對應於亮區園案外緣之光阻膜，仍維持標度線的圖案，則基質的黏著性為” Ο ”。甚至對應於外緣之部分光阻膜剝離後且破碎，則基質的黏著性為” X ”。使用每種樹脂，進行上述測試，得到結果列於表1。表1 實例樹脂 PEB 有效靈敏度 (m j / c » 2 ) 解析度 (微米）黏著性黑區亮區黑區売區 1 D 120 V 22 22 0 . 22 0.21 〇 2 E 100V 46 44 0,19 0,18 〇實ja 1_至1_和_比較例丄_„和_2_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製如實例1相同方法製得光阻溶液，除了使用樹脂E替換10份如表2所列樹脂，而且其中不包含順丁烯二酸酐單元，且溶劑也換成是47.5份丙二醇單甲醚醋酸酯和2.5 份7 -丁内酯之混合溶劑。基本利用上述光阻溶液，則重複實例1的步驟，但是如下文所述形成有機抗反射膜，且進行如表2之溫度進行P E B。如實例3、5、和6以及比較例1，其中” DUV-42”傺由Brewer公司製造，而且本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明如實例1和2,於215 °C進行60秒烘烤，製得塗覆厚度為 5 7 0 ^如實例4、7和8和比較例2 ,其中” D U V - 3 0 - 1 6 ” 僳由Brewer公司製造，於215t!進行60秒烘烤，製得塗厚度為1 600Ϊ。所得結果列於表2 ,其包括使用各種樹脂a某些圖案顯示的結果為”x”，而線-與-間隙圖案明顯地剝離了。表2

1 實例樹脂抗反射膜 PEB 有效靈敏度 (mj/cm 2 ) 解析度 (徹米）黏著性黑區亮區黑區亮區 3 A DUV-42 1201C 38 36 0.24 0,21 〇 4 C DUV-30-16 120V 20 20 0.22 0.21 〇 5 F DUV-42 loot： 42 44 0.22 0.18 〇 6 G DUV-42 80¾ 24 24 0.20 0-20 〇 7 Η DUV-30-16 120V 32 30 0.21 0.19 〇 8 I DUV-30-16 που 22 22 0.22 0,21 〇比較例 1 X DUV-42 120t! 26 28 0,24 0.21 X 1 比較例 2 X DDV-30-16 120°C 26 24 0.24 0.21 X 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） -----I------^--裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（θ) to表1和表2得知，利用本發明之光阻，在顯影期間 $會造成_案的剝離，而且對基質的黏附性優異。解析 & tfe很優異。特別是實例1和2、4和8的光阻，像利用 #有2 -乙基-2 -金剛烷基甲基丙烯酸酯單元的樹脂，其較例光阻的解析度更佳。本發明光阻在不駸重損及 ^敏度的情況下，抗乾燥蝕刻性也很優良。 1复9革1 1和hh較例2 如表3所列，取10份樹脂、0.2份作為酸發生劑之對 -甲笨二苯基硫鐵全氟辛烷磺酸酯，以及0.0075份作為淬滅爾之2,6 -二異丙基苯胺，溶於57份丙二醇單甲継醋酸_和3份之混合溶劑中。利用製自氟樹脂之過濾器（孔徑為0 . 2徼米），過濾所得溶液，製得光阻溶液。將製得光阳溶液，塗覆在業已經有機抗反射膜塗覆之矽晶圓上，乾燥後所得膜厚為0.39微米。有機抗反射膜的形成，像藉由Brewer公司製造之DUV-30-16塗覆，並在21510烘烤60秒後而得，所得厚度為1600&。塗覆光阻溶液後，於直接熱板上，進行如表3所列溫度6 0秒的預烘烤。經由線-與-間隔圖案，用ArF準分子雷射步進曝光器 (由 Hifcon 公司·製造，型號為 HSRArF, ΝΑ=0·55, σ = 0.6)逐步改變照射量以使所形成之晶圓（其上有光阻膜）曝光。在曝光後，在熱板上進行曝光後的烘烤（ΡΕΒ), 烘烤溫度如表1所列，烘烤時間60秒。此外，利用2. 38 重量％四甲基氫氯化銨水溶液進行葉輸式曝光60秒。在有機抗反射膜基質上，提供之光阻膜所得圖案，可根本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------I-------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 520463 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（w ) 據下列方法，藉由掃描電子顯徹鏡觀察，決定有效的靈敏度和解析度。有效敏度：當在1: 1下，藉由照射量形成0.18徽米之線-輿-間隙圖案。解析度：在有效靈敏之照射量下，顯示線-與-間隙圖案間分隔之最小尺寸。表3 實例樹脂預烘烤溫度 ΡΕΒ 溫度有效褰敏度 (mj/cm 2 ) 解析度 (微米） 9 J not： 115°C 25 0.15 10 C 130¾ 130¾ 21 0.15 11 A 150¾ 150¾ 24 0.15 比較例3 X 130^ 130¾ 32 0.16 如表3所示，利用本發明之光阻，其較比較例3 光阻靈敏度和解析度均優。本發明顯示，甚至利用ArF準分子雷射曝光機器進行曝光，仍顯示本發明光阻組成物有發良的效能。本發明化學放大型正阻體組成物，其對基質有優異的黏著性，而且還有光阻之優良效能，如乾燥抗蝕刻性、靈敏度、和解析度。據此，本發明組成物適用於KrF準分子雷射、ArF準分子雷射、或類似光源的照射，且藉此可提供高效能的光阻圖案。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） --------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁)

Claims

六、申請專利範圍 Α8 Β8 C8 D8 .一種化學放大型正阻體組成物，其包括樹脂（1)，具有一由下式（I)表示之聚合簞元：

I ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〔式中自於3-烯腈之 2 .如申請其中樹 80奠耳至70奠 (甲基） 3 .如申請其中樹基- 7 _ τϋ 〇 4 .如申請其中樹 80奠耳 R1為氫原子或甲基，且R2為烷基〕，及一選羥基-1-金酬烷基（甲基 > 丙烯酸酯和（甲基）丙單體聚合單元；及發生劑。專利範圍第1項之化學放大型正阻體組成物，脂（1)係由單體共聚合而得，該單體包括30至 %的2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯及20 耳％的3_羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯與丙烯腈之混合物。專利範圍第1項之化學放大型正阻體組成物，脂（1)更具有至少一種選自於α -甲基丙烯醯氣丁内酯之聚合單元，或順丁烯二酸酐之聚合單專利範圍第3項之化學放大型正阻體組成物，脂（1)傺由單體共聚合而得，該單體包括30至 %的2-烷基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯及 - 33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------ 裝----I---訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 520463 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 20至70莫耳％的3-羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯睛、α-甲基丙烯醯氣基-7 _ 丁内酯和順丁烯二酸酐之混合物。 5. 如申請專利範圍第3項之化學放大型正阻體組成物，其中樹脂（1)具有2 -烷基-2 -金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合單元、3 -羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合單元及α-甲基丙烯醯氣基-7 -丁内酯聚合單元。 6. 如申請專利範圍第1項之化學放大型正阻體組成物，其中R1為甲基，且R2為乙基。 7 . —種化學放大型正阻體組成物，其包括樹脂（2),具有2 -乙基-2-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合犟元及一選自於3-羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈、α-甲基丙烯醯氣基-7-丁内酯和順丁烯二酸酐之單體聚合單元；及酸發生劑。 8. 如申請專利範圍第7項之化學放大型正阻體組成物，其中樹脂（2)傺由單體共聚合而得，該單體包括30至80 莫耳％的2~乙基-2-金剛烷（甲基）丙烯酸酯及20至70 莫耳％的3-羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈、a -甲基丙烯醯氯基丁内酯和順丁烯二酸酢之混合物。 9. 如申請專利範圍第7項之化學放大型正阻體組成物，其中樹脂（2)含有2 -乙基-2-金剛烷甲基丙烯酸酯之聚合單元、和3-羥基-1-金剛烷基（甲基）丙烯酸酯之聚本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝------ 訂---------線' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 520463 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍合單元。 10. 如申請專利範圍第7項之化學放大型正阻體組成物，其中樹脂（2)具有2 -乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯聚合單元及α -甲基丙烯醯氧基-7 - 丁内酯聚合單元。 11. 如申請專利範圍第10項之化學放大型正阻體組成物，其中樹脂（2)更具有3-羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯聚合單元。 12. 如申請專利範圍第7項之化學放大型正阻體組成物，其中樹脂（2)更具有一由下式（I)表示之聚合單元：

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製式中R1為氫原子或甲基，且R2為烷基•限制條件為式（I)表示之聚合單元不是2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯聚合單元。 1 3 .如申請專利範圍第1 2項之化學放大型正阻體組成物，其中樹脂（2)僳由單體共聚合而得，該單體包括30至 80莫耳％的2 -烷基-2 -金剛烷基（甲基）丙烯酸酯，其中2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯的存在量為20莫耳％或更多，及20至70莫耳羥基-卜金剛烷基（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈、ct -甲基丙烯醯氧基 -35- -----I-----1 裝·--I----訂---— II---線 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 520463 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍物合混之酐酸二烯丁順和酯内丁 4 組 sβ 阻正型大放學化之項 7 和 11 第圍範利專請劑滅淬為作胺括包更其物成 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝-------訂---------線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）