KR20150027053A

KR20150027053A - 마그네트론 스퍼터링 장치, 마그네트론 스퍼터링 방법 및 기억 매체

Info

Publication number: KR20150027053A
Application number: KR1020147032117A
Authority: KR
Inventors: 간토 나카무라; 도루 기타다; 아츠시 고미; 데츠야 미야시타
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2012-05-31
Filing date: 2013-04-11
Publication date: 2015-03-11
Also published as: US20150136596A1; WO2013179548A1; TW201408807A; JPWO2013179548A1

Abstract

본 발명은, 마그네트론 스퍼터링에 의해 기판의 면 내에 균일성 높게 성막을 행할 수 있는 기술을 제공하는 것이다. 진공 용기 내의 적재부에 적재된 기판을 향하도록 배치된 타깃과, 이 타깃의 배면측에 설치되고, 마그네트를 배열하여 이루어지는 마그네트 배열체를 구비한 마그네트론 스퍼터링 장치에 있어서, 상기 진공 용기 내에 플라즈마 발생용 가스를 공급하기 위한 가스 공급부와, 상기 적재부를 회전시키기 위한 회전 기구와, 상기 타깃에 전압을 인가하는 전원부와, 상기 마그네트 배열체를, 제1 영역과 이 제1 영역보다 타깃의 외측 테두리부측으로 치우친 제2 영역의 사이에서 이동시키기 위한 이동 기구와, 상기 마그네트 배열체의 평균 이동 속도가 상기 제1 영역과 제2 영역의 사이에서 상이하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하도록 장치를 구성한다.

Description

마그네트론 스퍼터링 장치, 마그네트론 스퍼터링 방법 및 기억 매체{MAGNETRON SPUTTERING DEVICE, MAGNETRON SPUTTERING METHOD, AND STORAGE MEDIUM}

본 발명은 기판에 성막을 행하는 마그네트론 스퍼터링 장치, 마그네트론 스퍼터링 방법 및 당해 방법을 실행하는 프로그램을 포함하는 기억 매체에 관한 것이다.

반도체 디바이스의 금속 박막을 성막하는 장치의 하나인 마그네트론 스퍼터링 장치는, 기판의 상방에 설치된 금속으로 이루어지는 타깃과 이 타깃의 배면측에 배치된 마그네트를 구비하고 있다. 타깃의 하면 근방에는, 마그네트로부터의 누설 자장에 의해, 타깃의 하면에 수평한 자장이 형성된다. 그리고 타깃에 예를 들어 마이너스 전위의 직류 전력 또는 고주파 전력을 제공하면, 진공 용기 내에 도입된 아르곤(Ar) 가스 등의 불활성 가스가 전계에 의해 가속된 전자와 충돌해서 전리한다. 전리에 의해 발생된 전자는, 상기 자장과 전계에 의해 드리프트하여, 고밀도의 플라즈마를 발생시키고, 이 플라즈마 중의 아르곤 이온이 타깃을 스퍼터링하여 금속 입자를 두드려 내보낸다.

타깃은, 장치에 따라서 기판에 대하여 평행하게 배치되는 경우나, 일본 특허 공개 제2009-1912 공보에 개시되어 있는 바와 같이 비스듬히 배치되는 경우가 있다. 마그네트는, 타깃의 면 전체를 침식하기 위해 예를 들어 일본 특허 공개 제2002-136189 공보에 기재되어 있는 바와 같이 자전하거나, 또는 일본 특허 공개 제2002-220663 공보에 기재되어 있는 바와 같이 공전하는 것으로 알려져 있다. 또한 타깃으로부터의 스퍼터링 입자의 방출 각도의 분포는 타깃의 재료마다 상이하므로, 일반적으로 상기 마그네트론 스퍼터링 장치는, 타깃에 대하여 스테이지를 승강시키는 높이 조정 기구를 구비하고 있다. 타깃의 재료에 따라서 스테이지의 높이의 조정을 행함으로써, 막 두께 분포의 균일성의 저하를 방지할 수 있다. 상기 높이 조정 기구는 벨로즈를 포함하고, 이 벨로즈에 의해 진공 용기와 당해 스테이지의 사이의 기밀을 유지하고 있다.

그러나, 스테이지의 상하의 가동 거리는, 상기 벨로즈의 신축 가능한 범위 등, 장치의 구성 부품에 의한 요인으로 제한되므로, 반드시 적절한 위치에 스테이지를 배치할 수 있다고는 할 수 없다. 스테이지의 상하의 가동 범위를 크게 하도록 장치를 구성함으로써 대처하는 것을 생각할 수 있지만, 상기 높이 조정 기구의 제조 비용이 높아지고, 진공 용기의 높이가 커짐으로써 장치가 대형화되는 문제가 있다. 한편, 성막 시의 압력(프로세스 압력)을 조정함으로써 막 두께 분포를 조정할 수 있지만, 압력의 조정으로는 해결할 수 없는 경우가 있다. 즉, 디바이스의 종별에 따라, 성막 대상인 박막에 대하여 적절한 막질, 응력 또는 막 특성 등이 요구되는 경우가 있는데, 이러한 인자는 프로세스 압력에 의해 바뀌는 경우가 있으므로, 막 두께 분포에 착안한 프로세스 압력과 상기 인자에 착안한 프로세스 압력이 상이한 경우에는, 트레이드 오프가 된다.

이러한 문제가 염려되는 반도체 디바이스의 일례로서, 종래의 RAM의 과제를 해결할 수 있는 기억 소자로서 기대되고 있는 MRAM(Magnetic Random Access Memory)을 들 수 있다. 이 MRAM은, 절연막을 강자성체인 자성체막 사이에 끼워 넣고, 자성체막의 자화 방향이 동일한지 역방향인지에 따라 소자의 저항값이 변화하는 TMR(터널 자기 저항) 소자를 이용한 기억 소자이며, 자성체막에 대하여 적절한 자기 특성이 요구되고 있다.

자성체막의 자기 특성은 프로세스 압력에 따라서 변화하기 때문에, 자성체막에 대하여 원하는 자기 특성이 얻어지는 압력 범위와 막 두께의 균일성을 확보하기 위한 압력 범위가 상이한 경우에는, 프로세스 압력의 조정만으로는 대응할 수 없다. 막 두께 분포는 이미 설명한 바와 같이 상기 스테이지의 높이로 어느 정도 조정할 수 있지만, 장치 구성의 관점에서 높이 조정 가능한 범위가 제한되는 경우에는, 적절한 위치에 스테이지를 배치할 수 없는 경우가 있고, 가령 광범위하게 높이 조정을 할 수 있었다고 해도, 높이 조정만으로는 막 두께의 균일성이 불충분할 가능성이 있다.

본 발명은 이러한 사정 하에 이루어진 것이며, 그 목적은, 마그네트론 스퍼터링에 의해 기판의 면 내에 균일성 높게 성막을 행할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.

본 발명의 마그네트론 스퍼터링 장치는, 진공 용기 내의 적재부에 적재된 기판을 향하도록 배치된 타깃과, 이 타깃의 배면측에 설치되고, 마그네트를 배열하여 이루어지는 마그네트 배열체를 구비한 마그네트론 스퍼터링 장치에 있어서, 상기 진공 용기 내에 플라즈마 발생용의 가스를 공급하기 위한 가스 공급부와, 상기 적재부를 회전시키기 위한 회전 기구와, 상기 타깃에 전압을 인가하는 전원부와, 상기 마그네트 배열체를, 제1 영역과 이 제1 영역보다 타깃의 외측 테두리부측의 제2 영역의 사이에서 이동시키기 위한 이동 기구와, 상기 마그네트 배열체의 평균 이동 속도가 상기 제1 영역과 제2 영역의 사이에서 상이하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하고, 상기 마그네트 배열체의 배열 영역 전체의 면적은 타깃의 면적의 2/3 이하인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 구체적인 형태로서는 예를 들어 하기와 같다.

(a) 상기 이동 기구는 상기 마그네트 배열체를 상기 타깃의 중심부에 대하여 대칭으로 이동시킨다.

(b) 상기 제1 영역에서의 마그네트 배열체의 평균 이동 속도는 상기 제2 영역에서의 마그네트 배열체의 평균 이동 속도보다 빠르다.

(c) 상기 이동 기구는 마그네트 배열체를 왕복 운동시키도록 구성되어 있다.

(d) 상기 이동 기구는 마그네트 배열체를 주회 운동시키도록 구성되어 있다.

(e) 상기 제어부는, 상기 마그네트 배열체의 이동 패턴과 처리 종별을 대응지어서 기억하는 기억부를 구비하고, 처리 종별에 대응하는 이동 패턴에 기초하여 마그네트 배열체를 이동시키도록 제어 신호를 출력하는 것이다.

본 발명에 따르면, 마그네트 배열체를, 제1 영역과 이 제1 영역보다 타깃의 외측 테두리부측으로 치우친 제2 영역의 사이에서 이동시키고, 마그네트 배열체의 평균 이동 속도가 상기 제1 영역과 제2 영역의 사이에서 상이하다. 그로 의해, 회전하는 기판에 균일성 높게 성막 처리를 행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 마그네트론 스퍼터링 장치의 종단면도이다.
도 2는 상기 스퍼터링 장치에 설치되는 마그네트 배열체, 타깃 및 스테이지의 사시도이다.
도 3은 상기 마그네트 배열체의 하면도이다.
도 4는 다른 마그네트 배열체의 하면도이다.
도 5는 상기 타깃 및 상기 마그네트 배열체의 치수를 도시하는 평면도이다.
도 6은 상기 스퍼터링 장치에 설치되는 제어부의 구성도이다.
도 7은 상기 마그네트 배열체의 이동 패턴을 나타내는 그래프이다.
도 8은 상기 마그네트 배열체의 다른 이동 패턴을 나타내는 그래프이다.
도 9는 스퍼터링에 의해 성막이 행해지는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 10은 스퍼터링에 의해 성막이 행해지는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 11은 스퍼터링에 의해 성막이 행해지는 모습을 나타내는 설명도이다.
도 12는 마그네트 배열체의 다른 이동 패턴을 도시하는 평면도이다.
도 13은 상기 이동 패턴을 도시하는 평면도이다.
도 14는 상기 이동 패턴을 도시하는 평면도이다.
도 15는 마그네트 배열체, 타깃 및 스테이지의 구성의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 16은 시뮬레이션에 의해 얻어진 막 두께 분포를 나타내는 그래프이다.
도 17은 실시예에서의 마그네트 배열체의 이동 패턴을 나타내는 그래프이다.
도 18은 시트 저항 분포를 나타내는 그래프이다.
도 19는 실시예에서의 마그네트 배열체의 이동 패턴을 나타내는 그래프이다.
도 20은 막 두께 분포를 나타내는 그래프이다.
도 21은 시트 저항 분포를 나타내는 그래프이다.

본 발명의 일 실시 형태에 따른 마그네트론 스퍼터링 장치(1)에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 상기 마그네트론 스퍼터링 장치(1)의 종단 측면도이다. 도면 중 11은 예를 들어 알루미늄(Al)에 의해 구성되고, 접지된 진공 용기이다. 도면 중 12는 진공 용기(11)의 측벽에 개구된 기판인 웨이퍼(W)의 반송구이며, 개폐 기구(13)에 의해 개폐된다.

진공 용기(11) 내에는 적재부인 원형의 스테이지(21)가 설치되고, 웨이퍼(W)가 당해 스테이지(21)의 표면에 수평하게 적재된다. 스테이지(21)의 이면 중앙부에는 수직 방향으로 신장되는 축부(22)의 일단이 접속되어 있다. 축부(22)의 타단은 진공 용기(11)의 저부에 형성되는 개구부(14)를 통해 진공 용기(11)의 외부로 연장되어, 회전 기구(23)에 접속되어 있다. 이 회전 기구(23)에 의해 축부(22)를 개재하여 스테이지(21)가 연직축 주위로 회전 가능하게 구성된다. 축부(22)의 주위에는, 진공 용기(11)의 외측으로부터 상기 진공 용기(11)와 축부(22)의 간극을 막도록 통 형상의 회전 시일(24)이 설치되어 있다. 도면 중 25는 회전 시일에 설치되는 베어링이다.

스테이지(21)의 내부에는 도시하지 않은 히터가 설치되어, 성막 처리 시에 있어서 웨이퍼(W)가 소정의 온도로 가열된다. 또한, 이 스테이지(21)에는 당해 스테이지(21)와 진공 용기(11)의 외부 반송 기구(도시하지 않음)의 사이에서 웨이퍼(W)를 주고 받기 위한 돌출 핀(도시하지 않음)이 설치되어 있다.

진공 용기(11)의 하방에는 배기구(31)가 개구되어 있다. 이 배기구(31)에는 배기관(32)의 일단이 접속되고, 배기관(32)의 타단은 배기 펌프(33)에 접속되어 있다. 도면 중 34는 배기관(32)에 개재 설치된 배기량 조정 기구이며, 진공 용기(11) 내의 압력을 조정하는 역할을 한다. 진공 용기(11)의 측벽의 상부측에는 플라즈마 발생용의 가스 공급부인 가스 노즐(35)이 설치되어 있고, 가스 노즐(35)은 예를 들어 Ar 등의 불활성 가스가 저류된 가스 공급원(36)에 접속되어 있다. 도면 중 37은 매스 플로우 컨트롤러로 이루어지는 유량 조정부이며, 가스 공급원(36)으로부터 가스 노즐(35)로의 Ar 가스의 공급량을 제어한다.

진공 용기(11)의 천장에는 직사각 형상의 개구부(41)가 형성되어 있고, 진공 용기(11)의 내부측의 상기 개구부(41)의 테두리부에는 이 테두리부를 따라 절연 부재(42)가 설치되어 있다. 이 절연 부재(42)를 따라 보유 지지부(43)가 설치되어 있다. 이 보유 지지부(43)의 내주에 있어서, 상기 개구부(41)를 막도록 평면에서 보아 직사각 형상의 타깃 전극(44)이, 당해 보유 지지부(43)에 보유 지지되어 있다. 상기 절연 부재(42)에 의해, 타깃 전극(44)은 진공 용기(11)로부터 절연되어 있다. 타깃 전극(44)은 처리에 따라서 교환가능하게 구성된다.

이 타깃 전극(44)은, 예를 들어 Cu나 Fe로 이루어지는 도전성의 직사각 형상의 베이스판(45)과, 성막 재료를 이루는 타깃(46)으로 이루어진다. 타깃(46)은 예를 들어 MRAM의 소자를 구성하기 위한 Co-Fe-B(코발트-철-붕소) 합금, Co-Fe 합금, Fe, Ta(탄탈륨), Ru, Mg, IrMn, PtMn 등의 어느 하나의 재질에 의해 구성되어 있고, 베이스판(45)의 하방측에 적층되어 설치되어 있다. 또한, 이 예에서는 타깃 전극(44)에는 전원부(47)에 의해 마이너스의 직류 전압이 인가되지만, 직류 전압 대신에 교류 전압을 인가해도 된다.

도 2는 타깃 전극(44)의 사시도이다. 이 예에서는, 타깃 전극(44)은, 짧은 변이 수평이 되도록, 또한 긴 변의 웨이퍼(W)측의 단부가 다른 쪽의 단부보다 높아지도록 스테이지(21) 위의 웨이퍼(W)에 대하여 비스듬히 배치되어 있다. 타깃(46)의 중심은 상기 웨이퍼(W)의 중심보다 외측에 위치하고 있다.

이렇게 타깃(46)을 비스듬히, 또한 웨이퍼(W)에 대하여 가로 방향으로 비켜서 배치하는 것은, 스퍼터링 입자를 웨이퍼(W) 위에 균일성 높게 퇴적시키기 위해서이다. 타깃(46)이 합금인 경우에는, 웨이퍼(W) 위에 성막된 막의 합금 조성의 균일성을 높게 할 수 있다. 타깃(46)으로부터의 스퍼터링 입자는 코사인 법칙에 따라 방출된다. 즉, 스퍼터링 입자가 사출되는 타깃(46)의 면의 법선에 대한, 스퍼터링 입자가 사출하는 방향의 각도의 코사인 값에 비례한 양의 스퍼터링 입자가 사출된다. 타깃(46)을 수평하게 배치하거나, 웨이퍼(W)의 상부에 배치하는 경우보다 타깃(46)의 면적을 억제하면서, 타깃(46)의 면 내에 있어서 웨이퍼(W)에 스퍼터링 입자를 방사 가능한 영역을 향상시킬 수 있다. 단, 본 발명을 실시함에 있어서, 타깃(46)을 수평하게 배치하거나, 웨이퍼(W)에 겹치도록 당해 웨이퍼(W)의 상부에 배치해도 된다.

도 1 중에서 웨이퍼(W)의 법선(두께 방향의 선)과 타깃(46)의 중심 축선이 이루는 각(θ1)은, 예를 들어 0도 내지 45도로 설정된다. 이 타깃(46)의 중심과, 상기 스테이지(21) 위의 웨이퍼(W)의 중심의 가로 방향의 거리(L1)(오프셋 거리라 함)는, 예를 들어 150mm 내지 350mm로 설정된다. 스테이지(21)에 적재되는 웨이퍼(W)로부터 타깃 전극(44)의 중심까지의 거리를 TS 거리(L2)라 하면, 이 TS 거리(L2)는 예를 들어 150mm 내지 350mm로 설정된다.

계속해서, 타깃 전극(44) 위에 설치되는 마그네트 배열체(51)에 대하여 설명한다. 설명함에 있어서, 상기 타깃(46)의 길이 방향을 X 방향, 타깃(46)의 폭 방향을 Y 방향으로 한다. 마그네트 배열체(51)는, 타깃(46)에 병행한 직사각형의 지지판(52)과, 자기 회로를 구성하는 복수의 마그네트(53)를 구비하고 있다. 지지판(52)의 하면에 상기 마그네트(53)의 일단이 지지되고, 그 타단이 타깃 전극(44)에 근접하고 있다. 도 3은 지지판(52)의 하면을 나타내고 있다. 지지판(52)의 4변을 따라 연장되는 4개의 마그네트(53)가 지지판(52)의 중앙부를 둘러싸도록 배열되어 있다. 그리고, 이 4개의 마그네트(53)로부터 이격하여, 지지판(52)의 중앙부를 Y 방향으로 신장되도록 1개의 마그네트(53)가 설치되어 있다. 상기 4변에 따라 설치되는 마그네트(53)의 타깃(46)측의 극성과, 상기 중앙부에 설치되는 마그네트(53)의 타깃(46)측의 극성은 서로 상이하다. 이렇게 마그네트(53)가 배치됨으로써 형성되는 자력선을, 도면 중에 곡선의 화살표로 모식적으로 나타내고 있다. 도 3의 마그네트 구성은 일례이며, 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 도 4에서는 다른 마그네트(53)의 구성예를 나타내고 있다. 도 3의 구성과의 차이점을 설명하면, 도 4의 구성에서는 마그네트(53)에 비해 Y 방향의 길이가 짧은 마그네트(50)를 당해 Y 방향으로 다수 배치하고 있는 것이다. 또한 다른 차이점은, 그렇게 Y 방향으로 다수 배치된 마그네트(50)로 이루어지는 마그네트 군과, X 방향으로 신장하는 마그네트(53)가 이격되어 있는 것이다.

도 1에 도시한 바와 같이 지지판(52)의 상부에는 브래킷(54)이 설치되고, 이동 기구(55)에 접속되어 있다. 이동 기구(55)는, 예를 들어 상기 X 방향으로 신장되는 볼 나사(56)와, 이 볼 나사(56)를 축 주위로 회전시키는 모터(57)에 의해 구성된다. 볼 나사(56)는 브래킷(54)에 나사 결합하여, 모터(57)가 정회전 및 역회전함으로써, 마그네트 배열체(51)가 X 방향을 따라, 타깃(46)의 일단부측(상단부측)과 타단부측(하단부측)의 사이에서 왕복 이동하여, 타깃(46)의 면 내 스퍼터링 양의 분포를 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 타깃(46)의 국소적인 스퍼터링을 억제하기 위해서, 타깃(46)의 중심에서 타깃(46)의 일단부측, 타단부측을 보았을 때에, 마그네트 배열체(51)가 그리는 궤적은 서로 대칭이 되도록 당해 마그네트 배열체(51)가 이동한다. 즉, 마그네트 배열체(51)는, 타깃(46)의 중심부로부터, 일단부측, 타단부측으로 각각 등거리 이동한다.

도 5는 타깃(46)과, 지지판(52)에서의 마그네트(53)의 배열 영역(58)을 도시하는 평면도이다. 타깃(46)의 X 방향의 길이를 M1, 배열 영역(58)의 X 방향의 길이를 M2로 하면, 상기 왕복 이동을 행하기 위해서, M2/M1는 예를 들어 2/3 이하로 설정된다. 또한, 타깃(46)의 면적을 M3, 배열 영역(58)의 면적을 M4로 하면, M4/M3는 2/3 이하로 설정된다.

이 마그네트론 스퍼터링 장치(1)는 제어부(6)를 구비하고 있다. 도 6에 제어부(6)의 구성을 나타내고 있으며, 제어부(6)는, 프로그램(61)과, 상기 프로그램(61)의 명령을 실행하기 위한 CPU(62)와, 메모리(63)와, 입력부(64)를 구비하고 있다. 도면 중 65는 버스이다. 프로그램(61)은 전원부(47)로부터 타깃 전극(44)으로의 전력 공급 동작, 유량 조정부(37)에 의한 Ar 가스의 유량 조정, 구동 기구(54)에 의한 마그네트 배열체(51)의 이동, 배기량 조정 기구(34)에 의한 진공 용기(11) 내의 압력 조정, 회전 기구(23)에 의한 스테이지(21)의 회전 등을 제어한다. 그에 의해 후술하는 바와 같이 웨이퍼(W)에 처리를 실시할 수 있도록 스텝 군이 짜여져 있다. 이 프로그램(61)은 예를 들어 하드 디스크, 콤팩트 디스크, 마그네트 옵티컬 디스크, 메모리 카드 등의 기억 매체에 저장되어, 이로부터 컴퓨터에 인스톨된다.

메모리(63)에는, 타깃(46)의 재질과, 성막 처리 시에 있어서의 진공 용기(11) 내의 압력과, 마그네트 배열체(51)의 이동 패턴의 종류와, 처리 레시피의 번호가 서로 대응지어져서 기억되어 있다. 상기 이동 패턴에 대해서는 후술한다. 입력부(64)는, 예를 들어 마우스, 키보드, 터치 패널 등에 의해 구성되며, 장치(1)의 유저는 이 입력부(64)로부터 상기 처리 레시피의 번호를 선택한다. 상기 번호를 선택함으로써, 웨이퍼(W)의 처리 시에 있어서 진공 용기(11) 내가 이 처리 레시피에 대응하는 압력이 되도록 배기량 조정 기구(34)의 동작이 제어된다. 그리고, 이 처리 레시피에 대응하는 이동 패턴으로 마그네트 배열체(51)가 동작하도록 모터(57)에 제어 신호가 송신된다. 상기한 바와 같이 각 성막 재료에 대해서, 처리 시의 진공 용기(11) 내의 압력에 의해 형성되는 막의 응력이나 자기 특성이 결정되므로, 유저는 원하는 응력 및 자기 특성이 얻어지는 압력이 되는 처리 레시피의 번호를 선택한다. 이 처리 레시피의 설정은 예를 들어 웨이퍼(W)의 로트마다 행할 수 있고, 로트와 선택한 처리 레시피가 대응지어져서 메모리(63)에 기억된다.

계속해서 마그네트 배열체(51)의 이동 패턴에 대하여 설명한다. 상기와 같이 마그네트 배열체(51)는, 타깃(46)의 길이 방향을 따라 왕복 이동하는데, 이 예에서는 타깃(46)의 각 부에서의 평균 이동 속도가 서로 다른 이동 패턴 A 또는 이동 패턴 B로 이동한다. 마그네트 배열체(51)가 타깃(46) 위를 1 왕복할 때, 즉 타깃(46)의 일단부측으로부터 타단부측을 향하고, 타단부측으로부터 일단부측으로 복귀될 때의 이동 패턴의 그래프를 도 7, 8에 나타내었다. 도 7의 그래프가 이동 패턴 A의 동작, 도 8의 그래프가 이동 패턴 B의 동작을 각각 나타내고 있다. 각 그래프의 종축은 마그네트 배열체(51)의 이동 속도, 횡축은 시간을 각각 나타내고 있다. 마그네트 배열체(51)가 일단부측으로부터 타단부측을 향할 때의 속도를 플러스로 나타내고 있고, 타단부측으로부터 일단부측을 향할 때의 속도를 그래프에서는 편의상, 마이너스로 나타내고 있다. 이동 패턴 A, B 모두 이동 속도가 0일 때는, 마그네트 배열체(51)가 타깃(46)의 일단부 위 또는 타단부 위에 위치하고 있다.

이동 패턴 A는 그래프의 파형이 정현파 형상으로 되어 있다. 이동 패턴 B는, 타깃(46) 위를 일단부측으로부터 타단부측 및 타단부측으로부터 일단부측을 향할 때에 이동 속도의 절대값이 상승한 후, 하강할 때까지의 동안에 당해 속도의 절대값이 일정해지는 시간이 있다. 이 일정해졌을 때의 속도가 이동 패턴 B에서의 최대 속도이며, 도 8의 그래프 중에 점선으로 나타내는 이동 패턴 A의 최대 속도보다 늦다. 이러한 이동 패턴 A, B에서는, 마그네트 배열체(51)가 타깃(46)의 양단부(제2 영역)를 통과할 때의 평균 이동 속도보다, 마그네트 배열체(51)가 타깃(46)의 중앙부(제1 영역)를 통과할 때의 평균 이동 속도가 더 빠르다.

마그네트 배열체(51)의 평균 이동 속도와, 타깃(46)으로부터 비산되는 스퍼터링 입자의 관계를 설명한다. 타깃(46)에 있어서 자장 강도가 강한 부위에서는 플라즈마 밀도가 높아지고, 당해 부위의 스퍼터링 레이트가 높아진다. 바꿔 말하면, 타깃(46)에 있어서 마그네트 배열체(51)가 체류하고 있는 부위로부터 스퍼터링 입자가 많이 방출된다. 또한, 타깃(46)에 있어서 마그네트 배열체(51)가 체류하는 시간이 긴 부위에 대해서는, 플라즈마의 체류 시간이 길어지므로, 스퍼터링 입자의 방출량이 많아진다. 즉, 타깃(46)의 면 내에 있어서 마그네트 배열체(51)의 평균 이동 속도가 느린 부위일수록, 당해 부위에서의 스퍼터링 레이트가 크다. 그것과는 반대로 마그네트 배열체(51)의 평균 이동 속도가 빠른 부위일수록, 당해 부위에서의 스퍼터링 레이트가 작다.

본 발명은 마그네트 배열체의 평균 이동 속도가 제1 영역과, 제1 영역보다 타깃(46)의 외측 테두리부측의 제2 영역의 사이에서 상이한 것을 요건으로 하는데, 이것은 상기 마그네트 배열체(51)의 상기 제1 영역에서의 체류 시간이 제2 영역에서의 체류 시간과 상이하다는 것이다. 그리고, 상기 제1 영역에서의 마그네트 배열체(51)의 평균 이동 속도가, 상기 제2 영역에서의 마그네트 배열체(51)의 평균 이동 속도보다 빠른 것은, 상기 제1 영역에서의 마그네트 배열체의 체류 시간이, 상기 제2 영역에서의 마그네트 배열체(51)의 체류 시간보다 짧은 것이다.

이동 패턴 A에 대해서, 타깃(46)이 스퍼터되는 모습을 모식적으로 도 9, 10, 11에 각각 나타냈다. 이들, 도 9, 10, 11은 도 7의 그래프 중에서의 구간 t1, t2, t3의 마그네트 배열체(51)를 나타내고 있으며, 이들 각 구간에서, 마그네트 배열체(51)는 타깃(46)의 일단부 위, 중앙부 위, 타단부 위를 각각 이동하고 있다. 각 구간 t1 내지 t3의 크기는 서로 동등하다. 도 9, 10, 11에서는 화살표의 개수가 많을수록, 타깃(46)의 스퍼터링 레이트가 큰 것을 나타내고 있다. 상기와 같이 마그네트 배열체(51)의 평균 이동 속도의 차이에 의해, 타깃(46)의 중앙부의 스퍼터링 레이트가, 일단부 및 타단부의 스퍼터링 레이트에 비해 작다.

이동 패턴 B에 대해서는, 이동 패턴 A보다 타깃(46)의 중앙부에서의 마그네트 배열체(51)의 평균 이동 속도가 느리기 때문에, 이동 패턴 A보다 상기 중앙부의 스퍼터링 레이트가 커진다. 후술하는 시뮬레이션에서 나타내는 바와 같이 이동 패턴 A, B를 선택함으로써, 웨이퍼(W)의 막 두께 분포를 제어할 수 있다.

진공 용기(11) 내의 압력 및 타깃(46)의 재질에 따라, 타깃(46)으로부터 방출된 스퍼터링 입자가 비산되는 방향이 변화한다. 따라서, 마그네트 배열체(51)를 처리 레시피마다 동일한 이동 패턴으로 이동시키는 경우에는, 막 두께 분포에 변동이 발생한다. 이 압력이나 타깃(46)의 재질에 기인하는 막 두께 분포의 변동이 고르게 되어 균일성 높은 막 두께 분포가 얻어지도록, 각 처리 레시피에서 이동 패턴 A, B 중 어느 패턴으로 처리를 행할지가 미리 설정되어, 상기 메모리(63)에 기억되어 있다.

계속해서, 상술한 마그네트론 스퍼터링 장치(1)의 작용에 대하여 설명한다. 장치(1)의 유저는, 진공 용기(11) 내에 배치된 타깃(46)의 재질과, 성막 처리 시의 원하는 압력에 따라, 장치(1)에 반입되는 웨이퍼(W)의 로트마다 처리 레시피를 결정하고, 입력부(64)로부터 결정한 처리 레시피의 번호를 로트마다 입력한다. 그 후, 진공 용기(11)의 반송구(12)를 개방하여, 도시하지 않은 외부의 반송 기구 및 푸시업 핀의 협동 작업에 의해, 스테이지(21)에 웨이퍼(W)를 주고 받는다. 계속해서, 반송구(12)가 폐쇄되고, 진공 용기(11) 내에 Ar 가스가 공급됨과 함께, 배기량 조정 기구(34)에 의해 배기량이 제어되어, 진공 용기(11) 내가 상기 웨이퍼(W)의 처리 레시피의 압력으로 유지된다.

그리고, 스테이지(21)가 연직축 주위로 회전함과 함께 이동 기구(55)에 의해 마그네트(53)가, 결정된 처리 레시피의 이동 패턴으로 타깃(46) 위를, 그 길이 방향을 따라서 왕복 이동한다. 그리고, 전원부(47)로부터 타깃 전극(44)에 마이너스의 직류 전압이 인가되어, 타깃 전극(44)의 주위에 전계가 발생하고, 이 전계에 의해 가속된 전자가 Ar 가스에 충돌함으로써 Ar 가스가 전리한다. Ar 가스가 전리함으로써 새로운 전자가 발생한다. 한편, 마그네트(53)에 의해, 당해 마그네트(53)가 위치하는 타깃(46)의 표면을 따라 자장이 형성된다.

그리고, 타깃(46) 근방의 전계와 상기 자장에 의해 상기 전자는 가속되어, 드리프트한다. 그리고, 가속에 의해 충분한 에너지를 가진 전자가, 또한 Ar 가스와 충돌하여, 전리를 일으켜서 플라즈마를 형성하고, 플라즈마 중의 Ar 이온이 타깃(46)을 스퍼터링한다. 또한, 이 스퍼터링에 의해 생성된 2차 전자는 상기 수평 자장에 포착되어 다시 전리에 기여하고, 이렇게 하여 전자 밀도가 높아져서, 플라즈마가 고밀도화된다. 이때 마그네트 배열체(51)가 타깃(46)의 배면을 설정한 이동 패턴 A 또는 B로 이동하고 있다. 상기와 같이 이동 패턴 B의 경우, 마그네트 배열체(51)는, 타깃(46)의 길이 방향에 있어서 중앙부의 평균 이동 속도가 이동 패턴 A보다 느리므로, 중심부에서의 플라즈마의 체류 시간이 길어져, 스퍼터링 레이트가 높아진다.

이렇게 타깃(46)의 면 내에서 스퍼터링 레이트의 구배를 변경함으로써, 웨이퍼(W)의 주위 방향으로 입사되는 스퍼터링 입자의 양을 조정할 수 있고, 웨이퍼(W)가 회전함으로써, 스퍼터링 입자가 입사하는 위치가 당해 웨이퍼(W)의 주위 방향으로 어긋나, 웨이퍼(W)에 균일성 높게 성막이 행하여진다.

전원부(47)의 전원이 온으로 되고 나서 소정의 시간 경과하면, 이 전원이 오프가 되어 플라즈마의 발생이 정지되고, Ar 가스의 공급이 정지되고, 진공 용기(11) 내가 소정의 배기량으로 배기되어, 웨이퍼(W)가 반입 시와는 역 동작으로 진공 용기(11) 내로부터 반출된다. 그리고, 후속의 웨이퍼(W)가 앞의 웨이퍼(W)와 마찬가지로 처리된다. 그리고, 스퍼터링 장치(1)에 반송되는 웨이퍼(W)의 로트가 변하면, 그 로트에 대하여 설정된 이동 패턴으로 마그네트 배열체(51)가 이동한다. 또한 타깃 전극(44)을 교환하여, 타깃(46)의 재질이 변경된 경우에는, 유저는 이 변경된 타깃(46) 및 압력에 따라서 처리 레시피를 선택하고, 처리를 행한다.

이 마그네트론 스퍼터링 장치(1)에 의하면, 성막 처리 중에 마그네트 배열체(51)가, 회전하는 스테이지(21)에 대하여 비스듬히 설치된 타깃(46) 위를, 평균 이동 속도를 바꾸면서 당해 타깃(46)의 일단부측과 타단부측의 사이에서 왕복 이동한다. 이에 의해, 타깃(46)의 스퍼터링 양의 분포를 제어하여, 웨이퍼(W)의 면 내에 균일성 높게 성막 처리를 행할 수 있다. 또한, 성막 처리 시의 압력 및 타깃(46)의 재질에 따라, 마그네트 배열체(51)의 이동 패턴이 결정된다. 그에 의해 웨이퍼(W)의 면 내에, 보다 균일성 높은 막 두께 형성을 행할 수 있다.

예를 들어, 상기 회전 기구(23)에 상기 TS 거리(L2)를 조정할 수 있도록 스테이지(21)의 승강 기구를 설치하고, 처리 레시피에 따라 상기 TS 거리를 변경하여 막 두께의 분포를 제어하여, 웨이퍼(W) 면 내에서의 막 두께의 균일성을 보다 높여도 된다. 이렇게 승강 기구를 설치하는 경우, 상기와 같이 마그네트 배열체(51)의 이동에 의해 막 두께 분포를 제어할 수 있으므로, 승강에 필요한 가동 거리가 길어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 이와 같이 승강 기구를 설치하는 경우나 설치하지 않은 경우도, 장치의 제조 비용을 억제함과 함께 장치의 대형화를 방지할 수 있다.

상기의 예에서는 타깃(46)의 양단부의 스퍼터링 레이트가, 중앙부의 스퍼터링 레이트보다 크지만, 이렇게 제어하는 것에 한정되지는 않는다. 예를 들어 마그네트 배열체(51)의 타깃의 중앙부의 평균 이동 속도를 양단부의 평균 이동 속도보다 늦게 해서, 상기 양단부의 스퍼터링 레이트가, 중앙부의 스퍼터링 레이트보다 작아지도록 해도 된다. 이를 위해, 타깃(46)의 일단부 및 타단부 중 한쪽으로부터 다른 쪽으로 마그네트 배열체(51)가 이동할 때에, 예를 들어 타깃(46)의 중앙부에서 일단 마그네트 배열체(51)를 정지시켜도 된다.

이동 기구(55)에 의한 마그네트 배열체(51)의 이동 패턴으로서는 상기의 왕복 이동에 한정되지 않는다. 예를 들어 도 12, 도 13 및 도 14는 그 밖의 이동 패턴을 나타내고 있다. 이 예에서는, 도면 중 쇄선의 화살표로 그 궤적을 나타낸 바와 같이 마그네트 배열체(51)가, 평면에서 보아 타깃(46)의 변을 따라서 주회 운동한다. 이렇게 주회 운동하는 경우도, 왕복 운동하는 경우와 마찬가지로, 도 7, 8에 나타낸 이동 패턴에 따라서 마그네트 배열체(51)가 동작한다. 즉, 마그네트 배열체(51)가 타깃(46)의 양단부를 이동할 때의 평균 이동 속도가, 중앙부를 이동할 때의 평균 이동 속도보다 빠르다. 도 12, 도 13 및 도 14는, 마그네트 배열체(51)가 이동 패턴 A로 이동할 때의 상기 구간 t1, t2, t3 내에서의 소정의 시각의 마그네트 배열체(51)의 위치를 나타내고 있다. 또한, 이렇게 마그네트 배열체(51)를 주회시키는 경우도, 타깃(46)의 양단부를 이동할 때의 평균 이동 속도가, 중앙부를 이동할 때의 평균 이동 속도보다 느려지도록 할 수 있다.

그런데, 타깃(46)의 형상으로서는 직사각형에 한정되지 않고, 타원형이나 긴원형이어도 되고, 사각형 이외의 다각형이어도 된다. 또한, 이동 패턴으로서도 2종류에 한정되지 않는다. 예를 들어 이동 패턴 B보다 타깃의 중앙부를 이동할 때의 속도가 더 느린 이동 패턴 C를 준비하여, 이동 패턴 A, B, C 중에서 실시할 패턴을, 처리 레시피에 따라 선택해도 된다. 또한, 상기의 예에서는 처리 레시피에서의 처리 파라미터인 압력과, 타깃(46)의 재질에 따라 이동 패턴을 변경하고 있지만, 타깃(46)으로부터 방출되는 스퍼터링 입자의 각도는, 처리 파라미터인 타깃(46)에 대한 인가 전압에 따라서도 변화한다. 따라서, 이 처리 파라미터에 의해 이동 패턴을 변경하도록 해도 된다.

그런데, 상기의 예에서는 타깃(46)의 중앙부에서 보아, 타깃(46)의 일단부측, 타단부측에 대칭이 되도록 마그네트 배열체(51)를 이동시키고 있다. 그에 의해 일단부측, 타단부측의 스퍼터링 양을 균일하게 하여, 침식의 치우침을 방지함과 함께 웨이퍼(W)의 면 내에서 막 두께 분포의 균일성이 높아지도록 성막을 행하고 있는데, 이러한 기술적인 사상을 일탈하지 않는 한 본 발명의 권리 범위에 포함된다. 예를 들어 마그네트 배열체(51)를 왕복 이동시키는 경우, 타깃(46)의 중앙부에서 보아 마그네트 배열체(51)의 일단부측으로의 이동 거리, 타단부측으로의 이동 거리가 서로 수 mm 정도 상이해도 이 기술적 사상을 일탈하는 것이 아니며, 대칭으로 이동시키는 것에 포함된다.

또한, 예를 들어 마그네트 배열체(51)를 왕복 이동시킴에 있어서, 타깃(46)의 중앙부에서 보아 마그네트 배열체(51)를 일단부측으로 50mm, 타단부측으로 40mm 이동시킨 후, 계속해서 일단부측으로 40mm, 타단부측으로 50mm 이동시킨다. 이러한 이동이 반복해서 행하여진다. 이러한 이동 패턴의 경우, 마그네트 배열체(51)가 타깃(46)의 중앙부→일단부측→타단부측→중앙부측의 경로로 이동하는 동작을 1 왕복 이동으로 하면, n(n은 정수)회째의 왕복 이동만을 보면 마그네트 배열체(51)는 대칭으로 이동하고 있지 않다. 이 때문에 일단부측과 타단부측에서 스퍼터링 양에 편차가 생기지만, n+1회째의 왕복 이동에서 이 편차가 상쇄된다. 즉, 장기적으로 보면 마그네트 배열체(51)는 일단부측, 타단부측으로 동일한 궤적으로 대칭으로 이동하고 있다. 이러한 이동 패턴으로 했을 경우도 본 발명의 권리 범위에 포함된다. 또한 마그네트 배열체(51)는, 일단부측으로 50mm, 타단부측으로 50mm 이동한 후, 계속해서 일단부측으로 40mm, 타단부측으로 40mm 이동하고, 이러한 이동이 반복해서 행하여지는 구성이어도 된다. 이러한 이동 패턴의 경우에도 마그네트 배열체(51)는 일단부측, 타단부측으로 동일한 궤적으로 대칭으로 이동하게 되기 때문에, 마찬가지의 효과가 얻어진다.

또한 다른 실시 형태로서, 타깃(80) 위를 마그네트 배열체(81)가 수평 방향으로 이동하도록 구성해도 된다. 도 15는 이러한 실시 형태를 나타내고 있으며, 이 예에서는 타깃(80)은 웨이퍼(W)의 상방에서, 긴 변이 수평이 되도록 배치되고, 그 짧은 변은 웨이퍼(W)의 중앙측의 단부가 외측의 단부보다 높아지도록 경사져서 배치되어 있다. 그리고 타깃(80)은 중심부에서의 법선(타깃(80)의 하면과 직교하는 선)이, 웨이퍼(W)의 하방측에서 웨이퍼(W)의 중심선과 교차하도록 위치하고 있다. 또한 마그네트 배열체(81)는, 도 1 내지 도 3에 도시한 마그네트 배열체(51)와 동일한 구조이며, 지지판(82)의 하면에 상기 마그네트(83)의 일단이 지지판(82)에 지지되고, 그 타단이 타깃(80)에 근접하고 있다. 따라서 도 1 및 도 2에 도시한 마그네트론 스퍼터링 장치(1)의 타깃(46) 및 마그네트 배열체(51)를 타깃(46)의 중심을 통과하는 법선을 중심으로 90도 회전시킨 배치가 된다. 또한 이동 기구는, 도면에서는 생략하고 있지만, 예를 들어 도 15 중의 타깃(80)의 길이 방향(Y 방향)으로 신장되는 볼 나사와 모터에 의해 구성되어, 마그네트 배열체(81)가 타깃(80)의 길이 방향 일단부측으로부터 타단부측과의 사이를 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 따라서 마그네트 배열체(81)는 타깃(80)에 대하여 평행한 자세로 Y 방향으로 수평 이동 가능하게 된다.

도 15에 도시하는 실시 형태에서의 마그네트 배열체(81)의 이동 패턴은, 도 1에 도시한 실시 형태에서의 이동 패턴을 적용할 수 있고, 이 경우 도 7 및 도 8에 나타내는 이동 패턴의 종축의 +측 및 -측이, 각각 도 15에 도시하는 Y 방향으로의 일단부측 및 타단부측과 치환된다. 즉, 도 12에 나타내는 실시 형태에서의 마그네트 배열체(81)는 타깃(80)에서의 수평 방향의 일단부측과 타단부측의 사이를 예를 들어 이미 설명한 이동 패턴 A 또는 B에 따라서 이동하게 된다.

[실시예]

본 발명을 평가하기 위하여 마그네트 배열체의 이동 패턴을 설정하고, 성막을 행했을 때의 웨이퍼(W)에 형성되는 막의 막 두께 분포를 시뮬레이션(실시예 1) 및 확인 시험(실시예 2 내지 4)에 의해 구하였다. 시뮬레이션 및 확인 시험에서는, 도 15에 도시하는 장치를 상정, 또는 사용하고, 상기 각도(θ1), 오프셋 거리(L1), TS 거리(L2)의 값에 대해서는, 최초의 실시 형태에 기재한 구체예의 범위에서 선택하였다.

(실시예 1)

도 7 및 도 8에 나타낸 이동 패턴 A, B로 각각 성막을 행한 경우의 시뮬레이션을 행하였다. 도 16의 그래프는, 각각의 이동 패턴으로 성막 처리를 행했을 때의 웨이퍼(W)의 막 두께 분포를 나타내며, 점선의 그래프가 이동 패턴 A로 처리를 행했을 때의 막 두께 분포를, 실선의 그래프가 이동 패턴 B로 처리를 행했을 때의 막 두께 분포를 각각 나타내고 있다. 그래프의 종축은 소정의 막 두께의 값을 1로서 규격화한 것이며, 횡축이 웨이퍼(W)의 중심으로부터의 거리를 나타내고 있다. 이동 패턴 A로 막 두께 분포 시뮬레이션을 행한 결과, 막 두께 분포(막 두께의 최대값과 최소값의 차/평균 막 두께)가 7.1％이었던 것에 반해, 이동 패턴 B에서는 2.3％가 되었다.

그래프에 도시한 바와 같이 이동 패턴 B로 성막한 경우, 이동 패턴 A로 성막한 경우에 비해 웨이퍼(W)의 중앙부 부근에서의 막 두께가 크다. 이것은 타깃(80)의 중앙부에서의 마그네트 배열체(81)의 평균 이동 속도가 느리기 때문에, 당해 중앙부의 스퍼터링 레이트가 높아지고, 웨이퍼(W) 중심 부근에 퇴적되는 스퍼터링 입자의 양이 증가했기 때문이다. 이 시뮬레이션에 의해, 마그네트 배열체(81)의 이동 패턴을 변경함으로써 막 두께 분포가 변경되는 것으로 나타났다.

(실시예 2)

이동 패턴 B와 같이, 어떤 시간대를 정속도로 이동하도록 설정한 이동 패턴에 있어서, 가감속을 행하는 시간과, 정속도 이동 시의 설정 속도의 2개의 파라미터를 변경했을 때의 웨이퍼(W)에 형성되는 막의 막 두께 분포를 확인하였다. 또한 타깃(80)의 재료에는 Ta를 사용하였다.

도 17은, 마그네트 배열체(81)의 이동 패턴 P1 내지 P3을 나타내는 그래프이며, 그래프의 종축은 마그네트 배열체(81)의 이동 속도, 횡축은 시간을 각각 나타내고 있다. 각각의 이동 패턴에 가감속 시간과 정속도가 할당되어 있다.

이동 패턴 P1: 가감속 시간 249m초, 정속도 112mm/초

이동 패턴 P2: 가감속 시간 99m초, 정속도 103mm/초

이동 패턴 P3: 가감속 시간 369m초, 정속도 120mm/초

도 18의 그래프는, 이동 패턴 P1 내지 P3을 적용하여, 각각 성막을 행했을 때의 웨이퍼(W)에 형성된 막의 시트 저항 분포를 나타내고 있다. 그래프의 종축은 소정의 시트 막 두께의 값을 1로서 규격화한 것이며, 횡축이 웨이퍼(W)의 중심으로부터의 거리를 나타내고 있다. 또한, 이동 패턴 P1 내지 P3으로 성막을 행한 결과의 시트 저항 분포(시트 저항의 최대값과 최소값의 차/평균 시트 저항)는, 이동 패턴 P1에서는, 2.8％, 이동 패턴 P2에서는, 3.5％, 이동 패턴 P3에서는 2.0％가 되었다.

도 18의 그래프에 도시한 바와 같이 웨이퍼(W)의 중앙부 부근에서의 시트 저항은, 이동 패턴 P3으로 성막한 경우가 가장 크고, 이동 패턴 P2로 성막한 경우가 가장 작게 되었다. 이 실험 결과에 의해, 마그네트 배열체(81)의 이동 패턴의 가감속을 행하는 시간이나 정속도 이동 시의 설정 속도를 조정함으로써, 시트 저항의 분포가 변경되는 것으로 나타났다.

(실시예 3)

타깃(80)이 되는 재료를 변경한 경우에도, 이동 패턴을 조정함으로써 양호한 막 두께 분포가 얻어지는 것의 확인 시험을 행하였다. 실시예 3-1은, 타깃(80)의 재료로서 Ta를 사용하여, 이동 패턴 P1에 의해 성막 처리를 행하였다. 실시예 3-2는, 타깃(80)의 재료로서 70CoFe를 사용하여, 이동 패턴 P4(가감속 시간 759m초, 정속도 120mm/초)에 의해 성막 처리를 행하였다. 도 19는, 마그네트 배열체(81)의 이동 패턴 P1, P4를 나타내는 그래프이며, 그래프의 종축은 마그네트 배열체(81)의 이동 속도, 횡축은 시간을 각각 나타내고 있다. 각각의 이동 패턴에 가감속 시간과 정속도가 할당되어 있다.

도 20의 그래프는 실시예 3-1 및 3-2에 의해 각각 성막 처리를 행했을 때의 웨이퍼(W)에 형성된 막의 막 두께 분포를 나타내고 있다. 그래프의 종축은 소정의 막 두께의 값을 1로서 규격화한 것이며, 횡축이 웨이퍼(W)의 중심으로부터의 거리를 나타내고 있다. 실시예 3-1, 3-2 모두 균일성이 높은 평탄한 막이 성막되어 있으며, 막 두께 분포(막 두께의 최대값과 최소값의 차/평균 막 두께)는, 실시예 3-1에서는, 1.9％, 실시예 3-2에서는, 1.6％로 낮게 되어 있었다. 이 실험 결과에 의해, 타깃(80)의 재료를 변경한 경우에도, 마그네트 배열체(81)의 이동 패턴을 조정함으로써, 균일한 막 두께로 성막되는 것으로 나타났다.

(실시예 4)

마그네트 배열체(81)를 왕복 이동시킴에 있어서, 타깃(80)의 중앙부에서 보아 마그네트 배열체(81)를, 예를 들어, 일단부측으로 αmm, 타단부측으로 αmm 이동시킨 후, 계속해서 일단부측으로 α과 다른 βmm, 타단부측으로 βmm 이동시키는 패턴을 1 사이클로 한다. 이러한 사이클이 반복해서 행하여졌을 때에 성막되는 막에 관한 확인 시험을 행하였다. 실시예 4에서는, 마그네트 배열체(81)를 타깃(80)의 일단부측으로 98mm, 타단부측으로 98mm 이동시킨 후, 계속해서 일단부측으로 88mm, 타단부측으로 88mm 이동시키고, 이 사이클을 반복해서 행하였다. 또한 마그네트 배열체(81)를 타깃(80)의 양단부측으로 98mm 균등하게 이동을 반복하여 성막을 행한 경우를 비교예 4로 한다. 또한 타깃(80)의 재료로서는 PtMn을 사용하였다.

도 21의 그래프는, 실시예 4 및 비교예 4에서, 각각 성막 처리를 행했을 때의 웨이퍼(W)에 형성된 막의 시트 저항 분포를 나타내고 있다. 그래프의 종축은 소정의 시트 저항의 값을 1로서 규격화한 것이며, 횡축이 웨이퍼(W)의 중심으로부터의 거리를 나타내고 있다. 실시예 4, 비교예 4 모두 평탄한 막이 성막되어 대략 마찬가지의 시트 저항의 프로파일이 얻어졌다. 또한 시트 저항 분포(시트 저항의 최대값과 최소값의 차/평균 시트 저항)도 실시예 4, 비교예 4 모두 2.0％이었다.

Claims

진공 용기 내의 적재부에 적재된 기판을 향하도록 배치된 타깃과, 이 타깃의 배면측에 설치되고, 마그네트를 배열하여 이루어지는 마그네트 배열체를 구비한 마그네트론 스퍼터링 장치에 있어서,
상기 진공 용기 내에 플라즈마 발생용 가스를 공급하기 위한 가스 공급부와,
상기 적재부를 회전시키기 위한 회전 기구와,
상기 타깃에 전압을 인가하는 전원부와,
상기 마그네트 배열체를, 제1 영역과 이 제1 영역보다 타깃의 외측 테두리부측의 제2 영역의 사이에서 이동시키기 위한 이동 기구와,
상기 마그네트 배열체의 평균 이동 속도가 상기 제1 영역과 제2 영역의 사이에서 상이하도록 제어 신호를 출력하는 제어부를 구비하고,
상기 마그네트 배열체의 배열 영역 전체의 면적은 타깃의 면적의 2/3 이하인 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 장치.
제1항에 있어서,
상기 이동 기구는 상기 마그네트 배열체를 상기 타깃의 중심부에 대하여 대칭으로 이동시키는 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 영역에서의 마그네트 배열체의 평균 이동 속도는 상기 제2 영역에서의 마그네트 배열체의 평균 이동 속도보다 빠른 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이동 기구는 마그네트 배열체를 왕복 운동시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이동 기구는 마그네트 배열체를 주회 운동시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 마그네트 배열체의 이동 패턴과 처리 종별을 대응지어서 기억하는 기억부를 구비하고, 처리 종별에 대응하는 이동 패턴에 기초하여 마그네트 배열체를 이동시키도록 제어 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 장치.
진공 용기 내의 적재부에 적재된 기판을 향하도록 배치된 타깃과, 이 타깃의 배면측에 설치되고, 마그네트를 배열하여 이루어지는 마그네트 배열체를 구비한 마그네트론 스퍼터링 장치를 사용하고,
상기 적재부를 회전시키는 공정과,
상기 타깃에 전압을 인가하는 공정과,
상기 진공 용기 내에 플라즈마 발생용 가스를 공급하는 공정과,
상기 마그네트 배열체를, 제1 영역과 이 제1 영역보다 타깃의 외측 테두리부측의 제2 영역의 사이에서, 상기 마그네트 배열체의 평균 이동 속도가 상기 제1 영역과 제2 영역의 사이에서 상이하도록 이동시키는 공정을 포함하고,
상기 마그네트 배열체의 배열 영역 전체의 면적은 타깃의 면적의 2/3 이하인 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 방법.
제7항에 있어서,
상기 마그네트 배열체를 이동시키는 공정은 당해 타깃의 중심부에 대하여 대칭이 되도록 당해 마그네트 배열체를 이동시키는 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 방법.
제7항 또는 제8항에 있어서,
상기 제1 영역에서의 마그네트 배열체의 평균 이동 속도는 상기 제2 영역에서의 마그네트 배열체의 평균 이동 속도보다 빠른 것을 특징으로 하는, 마그네트론 스퍼터링 방법.
진공 용기 내의 적재부에 적재된 기판을 향하도록 배치된 타깃과, 이 타깃의 배면측에 설치되고, 마그네트를 배열하여 이루어지는 마그네트 배열체를 구비한 마그네트론 스퍼터링 장치에 사용되는 컴퓨터 프로그램을 기억하는 기억 매체로서,
상기 컴퓨터 프로그램은, 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 마그네트론 스퍼터링 방법을 실시하도록 스텝 군이 짜여져 있는 것을 특징으로 하는 기억 매체.