KR101892894B1 - 리드 프레임 표면 연마 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리드 프레임 표면 연마 장치에 관한 것이고, 구체적으로 반도체의 리드 프레임에 코팅된 에폭시 몰딩 화합물(Epoxy Molding Compound: EMC)을 연마하여 균일한 코팅 면이 형성되도록 하는 리드 프레임 표면 연마 장치에 관한 것이다. 리드 프레임 표면 연마 장치는 연마가 되는 코팅 면을 가진 리드 프레임의 이송을 위한 이송 유닛(12); 이송 유닛(12)의 아래쪽에 배치되어 상기 리드 프레임의 표면에 접촉 가능하도록 배치되는 균형 스핀들 모듈(11); 이송 유닛(12)의 위쪽에 배치되는 접촉 스핀들 유닛(14); 접촉 스핀들 유닛(14)의 상하 이동을 위한 Z축 모듈(17); 및 접촉 스핀들 유닛(14)에 의하여 회전되는 연마 벨트를 포함한다.

Description

리드 프레임 표면 연마 장치{An Apparatus for Grinding a Surface of a Lead Frame}
본 발명은 리드 프레임 표면 연마 장치에 관한 것이고, 구체적으로 반도체의 리드 프레임에 코팅된 에폭시 몰딩 화합물(Epoxy Molding Compound: EMC)을 연마하여 균일한 코팅 면이 형성되도록 하는 리드 프레임 표면 연마 장치에 관한 것이다.
리드 프레임은 반도체 칩을 외부 회로와 연결시키는 전도체 기능을 하고 이와 동시에 반도체 패키지를 전자회로기판에 고정시키는 프레임 기능을 한다. 리드 프레임 또는 리드 프레임에 배치되는 반도체 칩을 외부 환경으로부터 보호하기 위하여 에폭시 몰딩 화합물(EMC)이 코팅될 수 있다. 코팅 과정에서 리드 프레임은 부분적으로 오버 코팅(Coating)이 될 수 있다. 이러한 오버 코팅이 된 부분은 리드 프레임 표면의 표면 균일 수준을 감소시키고 이로 인하여 반도체 패키지의 불량을 발생시킬 수 있으므로 오버 코팅된 부분이 연마될 필요가 있다.
반도체 리드 프레임과 관련된 선행기술로 특허공개번호 제10-1999-0002969호가 있다. 상기 선행기술은 마스크를 이용하여 전해 연마될 코이닝부를 노출시키는 제1 단계; 상기 코이닝부와 가공 전극 사이에 일정한 전위를 인가하는 제2 단계; 상기 노출된 코이닝부에 전해 연마 액을 분사하여 전해 연마시키는 제3 단계; 및 상기 코이닝부에 전해 연마 실시된 이후 리드 프레임에서 마스크를 분리시키는 제4 단계를 포함하는 리드 프레임의 전해 연마 방법에 대하여 개시한다.
특허공개번호 제10-2006-0112307호는 준비된 기저 소재에 다수의 리드 및 상기 리드의 선단을 상호 연결하는 선단 연결 부분을 일체로 형성하는 패턴 공정; 및 상기 리드 프레임을 일정 형상을 가진 금형을 이용하여 가압하는 공정으로, 상기 선단 연결 부분을 절단하는 커팅 가공 및 리드 프레임 일부에 대하여 상하로 단차를 형성하는 세팅 가공이 일 단위의 리드 프레임에 대해 동시에 수행되는 리드 프레임 타발 성형 공정을 포함하는 리드 프레임의 제조 방법에 대하여 개시한다.
상기 선행기술에서 개시된 리드 프레임과 관련된 기술은 리드 프레임의 표면을 균일하게 만들 수 있는 방법에 대하여 개시하지 않거나, 복잡한 공정 조건이 요구된다는 문제점을 가진다. 리드 프레임의 두께는 예를 들어 100 내지 300 ㎛가 될 수 있고, EMC 코팅 두께는 60 내지 70 ㎛가 될 수 있다. 이와 같은 두께 수준을 가진 리드 프레임의 코팅 두께 면을 균일하도록 형성하기 위하여 신뢰성이 높으면서 공정 과정에 복잡하지 않고 이와 동시에 정밀하게 조도가 조절될 수 있도록 하는 그라인딩 방법이 요구된다. 상기 선행기술은 이와 같은 조건에 적합한 기술 또는 방법에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행기술1: 특허공개번호 제10-1999-0002969호(삼성항공산업주식회사, 1999년01월15일 공개) 리드프레임 및 리드프레임 전해연마방법 선행기술2: 특허공개번호 제10-2006-0112307호(삼성테크윈 주식회사, 2006년10월31일 공개) 리드 프레임의 제조방법 및 이에 적용되는 리드 프레임용 프레스 가공장치
본 발명의 목적은 연마 벨트의 연마 조건이 자동으로 설정되는 것에 의하여 리드 프레임의 균일 코팅 면 형성이 가능하도록 하는 리드 프레임 표면 연마 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 리드 프레임 표면 연마 장치는 연마가 되는 코팅 면을 가진 리드 프레임의 이송을 위한 이송 유닛; 이송 유닛의 아래쪽에 배치되어 상기 리드 프레임의 표면에 접촉 가능하도록 배치되는 균형 스핀들 모듈; 이송 유닛의 위쪽에 배치되는 접촉 스핀들 유닛; 접촉 스핀들 유닛의 상하 이동을 위한 Z축 모듈; 및 접촉 스핀들 유닛에 의하여 회전되는 연마 벨트를 포함한다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 연마 벨트의 장력을 조절하는 장력 유닛 및 접촉 스핀들 유닛을 회전시키는 구동 롤러 유닛을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 연마 벨트의 사행 및 장력 측정을 위한 탐지 유닛을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 연마 벨트는 축 블록에 결합되는 이동 블록에 의하여 상하 이동이 되고, 육면체 형상의 축 블록의 네 개의 모서리에 배치되는 선형 가이드를 따라 이동 블록이 상하 이동이 된다.
본 발명에 따른 리드 프레임 표면 연마 장치는 리드 프레임의 코팅 면의 오버 코팅이 제거될 수 있도록 하면서 기계적 연마 및 가공에 의하여 신뢰성이 높아지도록 한다. 또한 본 발명에 따른 리드 프레임 표면 연마 장치는 빌트 인(built-in) 방식의 스핀들이 적용되는 것에 의하여 작동 정밀성이 높아지도록 한다. 본 발명에 따른 리드 프레임 표면 연마 장치는 장력 또는 사행이 자동으로 조절될 수 있도록 하면서 정속 및 가변속이 가능하다. 추가로 본 발명에 따른 리드 프레임 표면 장치는 하나 또는 그 이상의 벨트의 적용이 가능하다는 이점을 가진다.
도 1a, 1b 및 도 1c는 본 발명에 따른 표면 연마 장치의 실시 예에 대한 정면도, 평면도 및 측면도를 각각 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 표면 연마 장치에 적용되는 이송 유닛의 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 표면 연마 장치에 적용되는 수직 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 표면 연마 장치에 적용되는 연마 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 표면 연마 장치에서 연마 모듈의 위치 조절 과정을 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1a, 1b 및 도 1c는 본 발명에 따른 표면 연마 장치의 실시 예에 대한 정면도, 평면도 및 측면도를 각각 도시한 것이다.
도 1a, 1b 및 도 1c를 참조하면, 표면 연마 장치(10)는 연마가 되는 코팅 면을 가진 리드 프레임의 이송을 위한 이송 유닛(12); 이송 유닛(12)의 아래쪽에 배치되어 상기 리드 프레임의 표면에 접촉 가능하도록 배치되는 균형 스핀들 모듈(11); 이송 유닛(12)의 위쪽에 배치되는 접촉 스핀들 유닛(14); 접촉 스핀들 유닛(14)의 상하 이동을 위한 Z축 모듈(17); 및 접촉 스핀들 유닛(14)을 따라 회전되는 연마 벨트(GV)를 포함한다.
본 발명에 따른 표면 연마 장치(10)는 리드 프레임의 코팅 면의 두께를 조절하는 기능을 가질 수 있고, 두께 조절은 코팅 면의 평균 두께를 조절하는 것과 평균 조도(roughness)와 같은 표면 균일 수준을 조절하는 것을 포함한다. 리드 프레임의 표면은 예를 들어 에폭시 몰딩 화합물(EMC)과 같은 합성수지 소재의 보호 코팅으로 이루어질 수 있다. 리드 프레임의 표면에 다양한 보호 코팅 또는 다른 목적을 가진 코팅 면이 형성될 수 있고, 본 발명에 따른 표면 연마 장치(10)에 의하여 리드 프레임 표면에 형성된 다양한 코팅 면의 두께가 조절되거나 조도가 균일하게 만들어질 수 있다.
본 발명에 따른 표면 연마 장치(10)는 메인 프레임(F)에 배치될 수 있고, 작동을 위한 다양한 제어 유닛 또는 디스플레이 유닛을 가질 수 있다. 표면 연마 장치(10)는 예를 들어 프로그램으로 미리 정해진 조건에 따라 작동될 수 있고, 작동 상태가 디스플레이 유닛에 표시될 수 있다. 또한 작동 조건이 입력 유닛을 통하여 입력되고, 그에 따라 표면 연마 장치(10)가 작동될 수 있다. 그러므로 본 발명에 따른 표면 연마 장치는 작동 방법 또는 작동을 위한 추가적인 장치의 설치 여부에 의하여 제한되지 않는다.
반도체 패키지를 위한 리드 프레임은 이송 유닛(12)에 의하여 작동되는 컨베이어를 통하여 이송 라인(SL)을 따라 이송될 수 있고, 이송 유닛(12)은 예를 들어 구동 유닛(M)의 작동에 의하여 회전되는 다수 개의 서로 마주보는 롤러 유닛 및 롤러 유닛이 수용되는 하우징으로 이루어질 수 있다. 이송 유닛(12)은 예를 들어 롤러 유닛을 포함하는 입 롤러(Nip Roller) 또는 핀치 롤러(pinch roller)와 유입 유닛(13) 및 유입 유닛(13)을 통하여 유입된 리드 프레임의 이동을 위한 다수 개의 롤러 유닛을 포함할 수 있다. 롤러 유닛은 서로 마주보도록 배치될 수 있고, 롤러 유닛의 사이를 통하여 리드 프레임이 이송될 수 있다. 서로 마주보는 롤러 유닛의 간격 및 압력이 조절될 수 있고, 롤러 유닛은 모터와 같은 구동 유닛(M)에 의하여 작동될 수 있다.
균형 스핀들 모듈(11)은 실린더 형상으로 길이 방향을 따라 회전축이 배치된 회전 롤러 구조를 가질 수 있고, 실린더 형상의 둘레 면은 DLC(Diamond Like Carbon)와 같은 소재로 코팅될 수 있다. DLC 코팅은 비결정계의 탄소 계통의 소재를 말하고, 높은 경도, 높은 부식 저항성 및 마모 저항성을 가질 수 있다. 균형 스핀들 모듈(11)은 표면 경도가 높으면서 낮은 마찰 계수 및 화학적 안정성을 가진 소재로 코팅될 수 있다. 또한 비정질 소재로 코팅이 되어 예를 들어 표면 조도(Ra)가 0.8 ㎚ 이하가 될 수 있고, 예를 들어 경면 코팅이 될 수 있다. 균형 스핀들 모듈(11)의 표면에 코팅되는 소재의 마찰 계수는 낮은 마찰 계수를 가지면서 연마 벨트(GV)의 표면 코팅을 위한 코팅 소재와 동일하거나 높은 마찰 계수를 가질 수 있다. 이로 인하여 연마 벨트에 의하여 안정적으로 리드 프레임의 코팅 면이 연마될 수 있다. 균형 스핀들 모듈(11)의 표면은 리드 프레임을 안정적으로 지지하면서 이와 동시에 리드 프레임에 가해지는 압력에 의하여 변형이 되지 않는 소재로 코팅될 필요가 있다. DLC 코팅은 예시적인 것으로 이와 유사한 물리적 특성을 가지는 임의의 소재로 균형 스핀들 모듈(11)의 표면에 코팅될 수 있고, 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
균형 스핀들 모듈(11)의 위쪽에 연마 벨트(GV)의 작동을 위한 연마 모듈이 배치될 수 있고, 연마 모듈은 균형 스핀들 모듈(11)과 마주보도록 배치되는 접촉 스핀들 유닛(14), 접촉 스핀들 유닛(14)의 위쪽에 배치되어 연마 벨트(GV)의 장력을 조절하는 장력 유닛(15) 및 장력 유닛(15)의 위쪽에 배치되는 구동 롤러 유닛(16)으로 이루어질 수 있다. 연마 벨트(GV)는 판 형상을 가질 수 있고 실린더 형상의 접촉 스핀들 유닛(14)의 둘레 면을 따라 회전될 수 있다. 연마 벨트(GV)에 의하여 리드 프레임의 표면이 연마 또는 그라인딩이 될 수 있다. 연마 모듈은 서보 모터와 같은 구동 유닛(M1)에 의하여 작동되는 Z축 모듈(17)을 따라 상하 이동이 가능하게 배치될 수 있다. 연마 모듈의 상하 이동에 따라 연마 벨트(GV)가 아래쪽으로 이동되어 균형 스핀들 모듈(11)과 접촉될 수 있다. 구체적으로 리드 프레임이 이송 유닛(12)에 의하여 이송 라인(SL)을 따라 이동되어 균형 스핀들 모듈(11)의 방향으로 이동되면 이와 동시에 연마 벨트(GV)가 아래쪽으로 이동되어 균형 스핀들 모듈(11)의 표면에 인접하여 리드 프레임의 표면과 접촉될 수 있는 위치로 이동될 수 있다. 이후 리드 프레임이 균형 스핀들 모듈(11)에 의하여 지지된 상태에서 연마 벨트(GV)에 의하여 연마될 수 있다.
연마 벨트(GV)가 리드 프레임의 코팅 면에 접촉되는 면은 연마 소재로 코팅될 수 있다. 연마 소재는 예를 들어 다이아몬드와 같은 것이 될 수 있고, 연마 소재는 연마 벨트(GV)의 표면에 균일한 두께로 코팅이 될 수 있다. 위에서 설명된 것처럼, 연마 소재의 마찰 계수는 균형 스핀들 모듈(11)의 코팅 소재의 마찰 계수에 비하여 작을 수 있다. 이로 인하여 리드 프레임은 균형 스핀들 모듈(11)의 둘레 면에서 안정적으로 유지되면서 연마 벨트(GV)에 의하여 그라인딩이 될 수 있다. 균형 스핀들 모듈(11)의 회전 방향과 연마 벨트(GV)의 회전 방향은 서로 반대 방향이 될 수 있다. 예를 들어 균형 스핀들 모듈(11)은 리드 프레임의 배출 방향에 해당하는 반시계 방향으로 회전되고, 연마 벨트(GV)는 시계 방향으로 회전될 수 있다. 그리고 연마 벨트(GV)의 코팅 면에 의하여 리드 프레임의 EMC 코팅 면이 연마될 수 있다.
연마 벨트(GV)에 의한 리드 프레임의 연마 과정에서 마찰열이 발생될 수 있고, 리드 프레임의 냉각을 위하여 냉각수 공급 유닛(WS1, WS2)이 이송 유닛(12)의 앞쪽 및 뒤쪽에 배치될 수 있다. 냉각수 공급 유닛(WS1, WS2)으로부터 리드 프레임으로 분사된 냉각수는 균형 스핀들 모듈(11)의 아래쪽에 이송 유닛(12)을 따라 배출 유닛(WD)으로 배출될 수 있고, 냉각수 공급 유닛(WS1, WS2)에 냉각수를 공급하는 냉각기(18)가 케이싱(UP)의 내부 또는 외부에 배치될 수 있다. 냉각수의 공급과 함께 공기가 분사될 수 있고, 냉각수와 공기는 연마 과정에서 발생되는 칩 또는 슬러지를 배출하는 기능을 가질 수 있다.
본 발명에 따른 연마 장치(10)는 메인 프레임(F) 및 메인 프레임(F)의 위쪽에 배치되는 케이싱(UP)으로 이루어질 수 있다. 작업자(WO)의 작동 지시 또는 작동 관찰을 위한 다양한 입력 수단, 모니터 또는 관찰 창이 케이싱(UP)에 배치될 수 있다. 그리고 작업자(WO)의 작업 개시 신호의 입력에 따라 리드 프레임이 이송 유닛(12)을 따라 입력되면 연마 공정이 진행될 수 있다.
도 2는 본 발명에 따른 표면 연마 장치에 적용되는 이송 유닛(12)의 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 이송 유닛(12)은 구동 유닛(M)에 의하여 작동하는 상하로 마주보도록 배치된 1 롤러 열(R1) 및 2 롤러 열(R2)을 포함하고, 리드 프레임은 1 롤러 열(R1)과 2 롤러 열(R2) 사이로 이송되어 균형 스핀들 모듈(11)로 이송될 수 있다. 그리고 잎 롤러(nip roller)와 같은 리드 프레임의 유입을 위한 유입 유닛이 롤러 브래킷(211)에 의하여 고정될 있다. 그리고 위에서 설명된 냉각수 공급 유닛을 형성하는 노즐 유닛(212)이 이송 유닛(12)의 입구 및 출구에 각각 배치될 수 있고, 공기를 공급하는 에어 노즐이 노즐 유닛(212)과 함께 또는 별도로 배치될 수 있다. 예를 들어 노즐 유닛(212)은 리드 프레임의 상하로 배치되는 한 쌍의 노즐로 이루어지고 하나의 노즐에서 냉각수가 분무되고 나머지 하나의 노즐에서 공기가 분무될 수 있다. 저장 탱크(22)에 저장된 냉각수는 공급 팬(214)에 의하여 노즐 유닛(212)으로 공급될 수 있다. 그리고 노즐 유닛(212)을 통하여 리드 프레임에 분무된 냉각수는 배출 튜브(23)를 통하여 칩 또는 슬러지와 함께 수집되어 위에서 설명된 배출 유닛을 통하여 외부로 배출될 수 있다.
모터와 같은 구동 유닛(M)은 벨트와 같은 동력 전달 수단(V)을 통하여 1 롤러 열(R1) 또는 2 롤러 열(R2)과 연결될 수 있고, 구동 유닛(M)과 롤러 열(R1, R2)의 연결은 다양한 방법으로 이루어질 수 있다. 균형 스핀들 모듈(11)은 중심축을 기준으로 회전 가능한 드럼 형상 또는 실린더 형상이 될 수 있고, 독립적으로 구동되거나 위에서 설명된 연마 벨트의 회전에 의하여 회전될 수 있다.
노즐 유닛(212) 또는 균형 스핀들 모듈(11)은 다양한 구조를 가질 수 있고, 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 3은 본 발명에 따른 표면 연마 장치에 적용되는 수직 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
위에서 설명된 것처럼, 연마 모듈은 Z축 모듈의 작동에 의하여 상하로 이동될 수 있고 Z축 모듈은 서보 모터와 같은 구동 유닛(M1)에 의하여 작동되는 볼 스크루(32); 볼 스크루(32)의 회전에 따라 상하로 이동되는 이동 블록(33); 이동 블록(33)의 상하 이동을 유도하는 선형 가이드(331, 332); 및 이동 블록(33)의 작동 상태를 탐지하는 탐지 유닛(36)을 포함할 수 있다.
구동 유닛(M1)은 회전 각도의 조절이 용이한 서보 모터와 같은 것이 될 수 있고, 수직 방향으로 연장되는 볼 스크루(32)의 회전을 조절할 수 있다. 볼 스크루(32)의 회전에 의하여 박스 형상의 이동 블록(33)이 정밀하게 조절되어 상하로 이동될 수 있다. 그리고 이동 블록(33)의 이동은 선형 가이드(331, 332)에 의하여 유도되고, 이동 블록(33)의 이동 위치 또는 균형 상태는 탐지 유닛(36)에 의하여 탐지될 수 있다. 장치의 작동에 필요한 전력을 공급하기 위한 케이블 체인(35)이 적절한 위치에 배치될 수 있고 Z축 모듈은 적절한 고정 프레임(31)에 의하여 지지될 수 있다.
수직 모듈 또는 Z축 모듈에 의하여 연마 모듈이 상하로 이동될 수 있고, 연마 모듈은 결합 브래킷(CB)에 의하여 Z축 모듈에 결합될 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 표면 연마 장치에 적용되는 연마 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 접촉 스핀들 유닛(14), 장력 유닛(15) 및 구동 롤러 유닛(16)은 삼각형 형상으로 수직이 되는 방향으로 배치될 수 있고, 각각 드럼 또는 실린더 형상으로 만들어질 수 있다. 연마 벨트(41)는 평면 형상으로 만들어질 수 있고, 구동 롤러 유닛(16), 장력 유닛(15) 및 접촉 스핀들 유닛(14)의 둘레 면을 접촉하면서 회전될 수 있다.
접촉 스핀들 유닛(14)은 리드 프레임의 위쪽 면과 접촉될 수 있고, 장력 유닛(15)은 장력 조절 프레임(43)에 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 구체적으로 장력 유닛(15)은 장력 조절 프레임(43)에 형성된 이동 홈(431)을 따라 연마 벨트(41)의 이동 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 이동될 수 있다. 장력 유닛(15)은 장력 조절 구동 유닛(42)의 작동에 의하여 이동될 수 있다. 또한 구동 롤러 유닛(16)은 구동 액추에이터(45)에 의하여 회전될 수 있고, 구동 액추에이터(45)의 회전력은 동력 전달 수단에 의하여 구동 롤러(16)의 축으로 전달될 수 있다.
본 발명에 따르면, 연마 벨트(41)의 사행 조정을 위하여 레이저 유닛과 같은 사행 탐지 유닛이 배치되고, 연마 벨트(41)의 장력 측정을 위하여 로드 셀과 같은 장력 탐지 유닛이 배치될 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 표면 연마 장치에서 연마 모듈의 위치 조절 과정을 실시 예를 도시한 것이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 메인 프레임(F)의 위쪽에 배치되는 이송 유닛에 의하여 리드 프레임(CF)이 이송될 수 있고, 리드 프레임(CF)의 아래쪽에 균형 스핀들 모듈(11)이 회전 가능하도록 배치될 수 있다. 그리고 리드 프레임(CF)의 위쪽으로 접촉 스핀들 유닛(14), 장력 유닛(15) 및 구동 롤러 유닛(16)이 차례대로 배치된 연마 모듈이 위치할 수 있다. 또한 연마 벨트(41)가 구동 롤러 유닛(16)에 의하여 리드 프레임(CF)과 접촉 가능하도록 회전될 수 있다.
연마 모듈은 결합 브래킷(CB)에 의하여 이동 블록(33)에 고정되어 축 블록(VA)을 따라 상하로 이동될 수 있다. 축 블록(VA)은 위에서 설명된 Z축 모듈이 될 수 있다. 축 블록(VA)은 직육면체 형상이 될 수 있고 이동 블록(33)은 축 블록(VA)을 둘러싸는 속이 빈 박스 형상이 될 수 있다. 이동 블록(33)은 위에서 설명된 것처럼, 구동 유닛(M1)의 작동에 의하여 회전되는 볼 스크루의 회전에 의하여 상하 이동이 될 수 있다. 그리고 장력 유닛(15)의 한쪽 끝에 연마 벨트(41)의 장력 및 사행을 측정하기 위한 탐지 유닛(36)이 배치될 수 있다.
도 5b를 참조하면, 이동 블록(33)은 육면체 형상의 축 블록(VA)의 4개의 모서리에 배치된 선형 가이드(331, 332)에 의하여 상하로 이동될 수 있다. 사행 측정을 위하여 레이저 센서가 설치될 수 있고, 레이저 센서는 목표 지점에서 5 내지 20 ㎜의 빔 폭을 가지도록 설정될 수 있고, 연마 벨트(41)의 정해진 모서리가 목표 지점이 될 수 있다. 위에서 제시된 빔 폭을 가진 레이저가 목표 지점으로 조사되고 반사파를 수신하는 것에 의하여 연마 벨트의 사행이 측정될 수 있다. 만약 연마 벨트(41)에 사행이 발생되었다면 4개의 선형 가이드(331, 332)에 대한 이동 블록(33)의 상대적인 위치를 조정하는 것에 의하여 사행이 조절될 수 있다. 사행 조절을 위한 서보 모터와 같은 사행 조절 모터가 설치될 수 있고, 사행 조절 모터에 의하여 상대적인 위치가 조절되는 것에 의하여 연마 벨트(41)의 사행이 조정될 수 있다.
연마 벨트(41)의 장력은 로드 셀에 의하여 측정될 수 있고, 만약 미리 결정된 장력 범위를 벗어나면 장력 유닛(15)의 회전축이 연마 벨트(41)의 이동 방향에 대하여 수직이 되는 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어 장력 유닛(15)의 회전축이 조절 브래킷(55)에 이동 가능하도록 결합되고, 회전축이 구동 유닛에 의하여 이동되는 것에 의하여 연마 벨트(41)의 장력이 조절될 수 있다. 조절 브래킷(55)은 위에서 설명된 조절 프레임과 유사한 기능을 할 수 있다. 장력 조절을 위한 장력 조절 유닛이 배치될 수 있고, 장력 조절 유닛에 의한 회전축의 이동에 의하여 연마 벨트(41)의 장력이 조절될 수 있다.
연마 벨트(41)의 사행 또는 장력은 다양한 센서에 의하여 측정될 수 있고, 다양한 방법으로 조정될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. 또한 탐지 유닛(36)에 의하여 측정된 탐지 정보는 주기적으로 제어 유닛으로 전송될 수 있고, 제어 유닛은 연마 벨트(41)에 작동과 관련된 조절 테이블을 가질 수 있다. 그리고 연마 벨트(41)의 사행 또는 장력 조절이 요구되는 경우 각각의 조절 구동 유닛을 작동시켜 사행 또는 장력이 조절되도록 할 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 표면 연마 장치는 사행 또는 장력의 자동 조절이 가능하도록 한다.
본 발명에 따른 리드 프레임 표면 연마 장치는 리드 프레임의 코팅 면의 오버 코팅이 제거될 수 있도록 하면서 기계적 연마 및 가공에 의하여 신뢰성이 높아지도록 한다. 또한 본 발명에 따른 리드 프레임 표면 연마 장치는 빌트 인(built-in) 방식의 스핀들이 적용되는 것에 의하여 작동 정밀성이 높아지도록 한다. 본 발명에 따른 리드 프레임 표면 연마 장치는 장력 또는 사행이 자동으로 조절될 수 있도록 하면서 정속 및 가변속이 가능하다. 추가로 본 발명에 따른 리드 프레임 표면 장치는 하나 또는 그 이상의 벨트의 적용이 가능하다는 이점을 가진다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
10: 표면 연마 장치 11: 균형 스핀들 모듈
12: 이송 유닛 13: 유입 유닛
14: 접촉 스핀들 유닛 15: 장력 유닛
16: 구동 롤러 유닛 17: Z축 모듈
18: 냉각기 22: 저장 탱크
23: 배출 튜브 31: 고정 프레임
32: 볼 스크루 33: 이동 블록
35: 케이블 체인 36: 탐지 유닛
41: 연마 벨트 42: 장력 조절 구동 유닛
43: 장력 조절 프레임 45: 구동 엑추에이터
55: 조절 브래킷 211: 롤러 브래킷
212: 노즐 유닛 214: 공급 팬
331, 332: 선형 가이드 431: 이동 홈
CB: 결합 브래킷 CF: 리드 프레임
F: 메인 프레임 GV: 연마 벨트
M: 구동 유닛 M1: 구동 유닛
R1: 1 롤러 열 R2: 2 롤러 열
SL: 이송 라인 UP: 케이싱
V: 동력 전달 수단 VA: 축 블록
WD: 배출 유닛 WO: 작업자
WS1, WS2: 냉각수 공급 유닛

Claims (2)

  1. 연마가 되는 코팅 면을 가진 리드 프레임의 이송을 위한 이송 유닛(12);
    이송 유닛(12)의 아래쪽에 배치되어 리드 프레임의 표면에 접촉 가능하도록 배치되는 균형 스핀들 모듈(11);
    이송 유닛(12)의 위쪽에 배치되고 균형 스핀들 모듈(11)과 마주보도록 배치되는 실린더 형상의 접촉 스핀들 유닛(14), 상기 접촉 스핀들 유닛(14)의 위쪽에 배치되어 상기 접촉 스핀들 유닛(14)에 의하여 회전되는 연마 벨트의 장력을 조절하는 장력 유닛(15) 및 상기 장력 유닛(15)의 위쪽에 배치되는 구동 롤러 유닛(16)으로 이루어진 연마 모듈; 및
    상기 연마 모듈의 상하 이동을 위한 Z축 모듈(17)을 포함하고,
    상기 균형 스핀들 모듈(11)의 실린더 형상의 둘레 면은 DLC 코팅(Diamond Like Carbon)이 되면서 연마 벨트(GV)의 코팅 소재는 균형 스핀들 모듈(11)의 코팅 소재에 비하여 작은 마찰 계수를 가지고, Z축 모듈(17)을 따른 상기 연마 모듈의 상하 이동에 따라 상기 연마 벨트가 아래쪽으로 이동되어 균형 스핀들 모듈(11)과 접촉되며,
    상기 Z축 모듈은 직육면체 형상의 축 블록(VA) 및 상기 축 블록(VA)을 둘러싸는 속이 빈 박스 형상의 이동 블록(33)으로 이루어지고 상기 연마 모듈은 결합 브래킷(CB)에 의하여 상기 이동 블록(33)에 고정되어 상기 축 블록(VA)을 따라 상하로 이동되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 표면 연마 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 연마 벨트의 사행이 레이저 센서에 의하여 측정이 되고, 상기 축 블록(VA)의 4개의 모서리에 배치된 선형 가이드(331, 332)에 대한 상기 이동 블록(33)의 상대적인 위치를 조정하여 상기 연마 벨트의 사행이 조절되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 표면 연마 장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012000697A (ja) * 2010-06-15 2012-01-05 Takeya Co Ltd 研磨ベルト移動制御システム
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