KR101976997B1 - 프로브핀 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로브핀의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 금속 와이어의 첨단부를 연마하여, 프로브핀을 제조하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 와이어의 끝단을 연마하여 프로브핀을 제조하는 장치로서, X축, Y축 및 Z축 방향을 가지는 지지구조와, Z축 방향을 따라 직선이동 하도록 상기 지지구조에 설치되며, 상기 와이어를 고정하여 Z축과 나란한 축을 회전축으로 하여 회전시키도록 구성된 와이어 홀더와, Z축 방향과 각을 이루는 경사면인 연마면을 구비한 회전 숫돌과, 상기 와이어가 회전하면서 상기 회전 숫돌의 연마면을 향해 하강하도록, 상기 와이어 홀더를 제어하는 제어기를 포함하는 프로브핀 제조장치를 제공한다.

Description

프로브핀 제조장치 및 제조방법{Apparatus and Method for forming a probe pin}

본 발명은 프로브핀의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 금속 와이어의 첨단부를 연마하여, 프로브핀을 제조하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 플라스마표시패널(Plasma Display Panel, PDP)을 포함한 평판표시장치 또는 웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자의 성능 검사에 프로브 카드가 널리 사용되고 있다. 프로브 카드는 피검사체의 검사에 필요한 기능을 수행하는 검사장치(Probe Station)와 피검사체를 전기적으로 연결해 주는 것으로, 피검사체에 직접 접촉하는 프로브핀(Probe Pin)의 집합을 포함한다. 단순한 바(bar) 형태인 직선형 프로브핀은 형상이 단순하므로 정밀도 관리가 용이하고 제작시 제품의 재현성이 좋은 한편, 포토에칭 공정이나 포토리소그래피 공정 또는 프레스 금형 등을 이용하여 용이하게 제작할 수 있으므로 사용범위가 확대되고 있다.

프로브핀은 끝단이 날카롭게 테이퍼링(tapering)되어 있다. 프로브핀은 금속 와이어를 일정한 길이로 절단하고, 에칭이나 기계가공을 이용하여 끝 부분이 점점 가늘고 뾰족해지도록 테이퍼링 함으로써 완성된다.

그러나 반도체 칩의 패드들 사이의 거리가 점점 짧아짐에 따라서 프로브핀의 두께도 가늘어지고 있어서, 종래의 기계가공방법을 사용하기가 어렵다는 문제가 있다. 또한, 미세한 와이어를 자동으로 공급할 방법이 없어서, 작업자가 핀셋으로 하나씩 지그에 정렬한 후에 공급해야 한다는 문제도 있었다.

등록특허 10-1073829 일본공개특허 2006-234511

본 발명은 종래의 기계가공방법을 통한 프로브핀 제조방법의 문제점을 개선하기 위한 새로운 프로브핀 제조방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 종래의 기계가공방법에 비해서 가공속도가 빠른 새로운 프로브핀 제조방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 와이어의 끝단을 연마하여 프로브핀을 제조하는 장치로서, X축, Y축 및 Z축 방향을 가지는 지지구조와, Z축 방향을 따라 직선이동 하도록 상기 지지구조에 설치되며, 상기 와이어를 고정하여 Z축과 나란한 축을 회전축으로 하여 회전시키도록 구성된 와이어 홀더와, Z축 방향과 각을 이루는 경사면인 연마면을 구비한 회전 숫돌과, 상기 와이어가 회전하면서 상기 회전 숫돌의 연마면을 향해 하강하도록, 상기 와이어 홀더를 제어하는 제어기를 포함하는 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 상기 제어기는 상기 회전 숫돌의 회전속도와 상기 와이어 홀더의 회전속도의 비가 1:1 내지 1:50이 되도록 상기 와이어 홀더와 회전 숫돌을 제어하는 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 상기 와이어를 상기 와이어 홀더에 공급하는 와이어 분리 공급장치를 더 포함하는 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 상기 와이어 분리 공급장치는, 하단이 서로 만나는 한 쌍의 경사면을 구비하며, 경사면의 하단의 중앙부에 경사면을 따라서 미끄러지는 와이어들에 비해서 길이가 짧은 관통 슬롯이 형성된 와이어 수납통과, 상기 관통 슬롯을 통과하면서, 상기 관통 슬롯을 가로질러서 상기 경사면의 하단에 걸쳐있는 복수의 와이어들 중에서 하나를 지지하여 밀어올리도록 구성된 첨단부를 구비하는 서포터와, 상기 서포터를 상기 서포터의 첨단부가 상기 관통 슬롯을 통과하여 상기 와이어 수납통의 내부에 배치되는 제1 위치와, 상기 서포터의 첨단부가 상기 관통 슬롯 하부에 배치되는 제2 위치 사이에서 상하 이동시키는 승강장치를 포함하는 프로브핀 제조장치를 제공한다.

이러한 와이어 분리 공급장치를 사용하면, 와이어 수납통에 저장된 와이어 더미에서 와이어를 하나씩 분리하여 자동으로 공급할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 상기 서포터의 첨단부에는 오목한 홈이 형성된 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 상기 첨단부의 오목한 홈은 쐐기 형태이며, 모서리 부분이 절단된 한 쌍의 서포터 조각을 결합하여 상기 서포터를 제작하여 형성한 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 상기 서포터는 상기 첨단부가 상기 와이어 수납통의 관통 슬롯의 길이 방향 한쪽으로 치우치도록 설치된 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 상기 첨단부는 상기 와이어 수납통의 중심부를 향해 진행할수록 높이가 낮아지도록 경사진 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 상기 회전 숫돌은 원뿔대 또는 원뿔 형태이며, Z축과 나란한 회전축을 구비한 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 상기 회전 숫돌은 원판 형태이며, Z축 방향에 대해서 경사진 회전축을 구비한 프로브핀 제조장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 금속 와이어의 끝단을 연마하여 프로브핀을 제조하는 방법으로서, 경사면인 연마면을 구비한 회전 숫돌을 제공하는 단계와, 상기 회전 숫돌을 회전시키는 단계와, 상기 금속 와이어를 회전시키는 단계와, 상기 회전 숫돌의 연마면과 금속 와이어의 길이방향이 각을 이룬 상태로 금속 와이어의 첨단부가 회전 숫돌의 연마면에 접하도록 회전하는 금속 와이어를 하강시키는 단계를 포함하는 프로브핀 제조방법을 제공한다.

또한, 상기 한 쌍의 회전 숫돌의 회전속도와 상기 금속 와이어의 회전속도의 비는 1:1 내지 1:50인 프로브핀 제조방법을 제공한다.

본 발명에 따른 프로브핀 제조장치 및 제조방법은 프로브핀의 가공속도가 빠르다는 장점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브핀 제조장치의 일실시예의 개략도이다.
도 2와 3은 도 1에 도시된 와이어 분리 공급장치의 개략적인 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 와이어 분리 공급장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 프로브핀 제조장치의 다른 실시예의 일부 개략도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참고하여 본 발명의 일실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명의 실시예는 여러 가지 다른 형태들로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상 등은 더욱 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이며, 도면상에서 동일한 부호로 표시된 요소는 동일한 요소를 의미한다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브핀 제조장치의 일실시예의 개략도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브핀 제조장치의 일실시예는 지지구조(60)와, 지지구조(60)에 설치된 회전 숫돌(10)과, 와이어 홀더(20)와, 와이어 홀더(20)를 회전 및 직선 이동시키도록 구성된 와이어 홀더 구동부(30)와, 와이어 홀더(20)에 와이어(W)를 전달하는 와이어 분리 공급장치(50)를 포함한다.

지지구조(60)는, 도 1에 표시된 바와 같은 X축, Y축 및 Z축 방향을 가진다.

회전 숫돌(10)은 원뿔대 또는 원뿔 형태로서 경사면에 연마면(11)이 형성된다. 회전 숫돌(10)은 Z축과 나란한 회전축을 구비한다. 회전 숫돌(10)은 회전 숫돌(10)을 고속으로 회전시키기 위한 구동부인 스핀들(12)에 결합된다. 스핀들(12)은 지지구조(60)에 설치된다.

와이어 홀더(20)는 프로브핀 제조에 사용되는 와이어를 고정하는 역할을 한다. 프로브핀 제조에 사용되는 와이어의 지름은 30 ~ 500㎛ 정도일 수 있다. 와이어는 가압시에 부러지지 않도록 소정의 탄성을 가지며, 전도성이 있는 재질로 이루어진다. 예를 들어, 텅스텐, 레늄 텅스텐, 또는 팔라듐 합금 등의 금속 소재로 제작될 수 있다.

와이어 홀더(20)는 지지구조(60)에 설치된 와이어 홀더 구동부(30)에 의해서 구동된다. 와이어 홀더 구동부(30)는 와이어 홀더(20)를 지지구조(60)의 Z축을 따라 직선이동하고, Z축과 나란한 축을 회전축으로 회전하도록 한다. 또한, 와이어 홀더(20)를 Y축과 나란한 축을 회전축으로 90도 회전시킨다.

와이어 홀더 구동부(30)는 와이어 홀더(20)를 Z축 방향을 따라 와이어 홀더(20)를 승강시킬 수 있도록 구성된 승강장치(미도시)를 포함한다. 승강장치는 다양한 형태로 구성될 수 있다. 예를 들어, 승강장치는 Z축 리니어 액추에이터일 수 있다. Z축 리니어 액추에이터는 서보모터(Servo Motor), 리드스크루(Lead Screw), 볼너트(Ball Nut), 캐리지(Carriage)와 리니어모션 가이드(LM guide)로 구성될 수 있다.

또한, 와이어 홀더 구동부(30)는 와이어 홀더(20)를 Z축과 나란한 축을 회전축으로 하여 회전시키는 Z축 회전장치(미도시)를 포함한다. Z축 회전장치는 와이어 홀더(20)에 병렬로 결합하며, Z축과 나란한 구동축을 구비하는 모터와, 모터의 구동축과 나란한 회전축을 가지는 풀리와 구동축과 풀리에 설치된 벨트를 포함할 수 있다.

또한, 와이어 홀더 구동부(30)는 와이어 홀더(20)를 Y축과 나란한 축을 회전축으로 하여 90도 회전시키기 위한 Y축 회전장치(미도시)를 더 포함한다. Y축 회전장치는 스핀들일 수 있다. 와이어 홀더(20)는 Y축 회전장치에 결합하며, Y축 회전장치와 Z축 회전장치는 승강장치에 결합한다.

제어기(미도시)는 와이어가 회전하면서 회전 숫돌(10)의 연마면(11)을 향해 하강하도록, 와이어 홀더 구동구(30)를 구동시켜 와이어 홀더(20)를 제어한다.

또한, 제어기는 회전 숫돌(10)의 회전속도와 와이어 홀더(20)의 회전속도의 비가 1:1 내지 1:50이 되도록 와이어 홀더(20)와 회전 숫돌(10)을 제어한다. 예를 들어, 와이어 홀더(20)가 100 rpm 정도로 회전하는 경우에는 회전 숫돌(10)은 100 내지 5000 rpm 정도로 회전하는 것이 바람직하다. 회전 숫돌(10)의 회전속도와 와이어 홀더(20)의 회전속도의 비가 이 범위를 벗어나게 되면, 연마 효율이 떨어지기 때문이다.

와이어 분리 공급장치(50)는 와이어를 하나씩 집어서, 와이어 홀더(20)에 공급한다.

도 2와 3은 도 1에 도시된 와이어 분리 공급장치의 개략적인 단면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 와이어 분리 공급장치의 평면도이다.

도 1 내지 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 와이어 분리 공급장치(50)는 다수의 와이어(w)들이 수납되는 와이어 수납통(510), 와이어 수납통(510)에 수납된 와이어(w)들 중에서 하나를 밀어올리는 서포터(520) 및 서포터(520)를 상하로 이동시키는 승강장치(530)를 포함한다.

와이어 수납통(510)은 하단이 서로 만나는 한 쌍의 경사면(511)을 구비한다. 경사면(511)의 하단의 중앙부에는 관통 슬롯(512)이 형성된다. 관통 슬롯(512)의 길이는 와이어 수납통(510)에 수납되는 와이어(w)들의 길이에 비해서 길이가 짧다. 따라서 경사면(511)을 따라서 미끄러진 와이어(w)들은 관통 슬롯(512)을 통과하지 않으며, 관통 슬롯(512)을 가로질러서 경사면(511)의 하단에 걸쳐진다. 와이어(w)들의 길이는 예를 들어, 20 내지 130㎜ 정도일 수 있으며, 관통 슬롯(512)의 길이는 와이어(w)들의 길이에 비해서 5 내지 10㎜ 정도 짧은 것이 바람직하다.

도시하지 않았으나, 와이어 수납통(510)의 경사면(511)에는 마찰계수를 줄이기 위한 코팅층이 형성될 수 있다. 코팅층으로는 예를 들어, 불소 수지 층을 사용할 수 있다.

서포터(520)는 대체로 삼각기둥의 모서리 형태인 첨단부(521)를 구비한다. 첨단부(521)는 관통 슬롯(512)을 통과하여, 관통 슬롯(512)을 가로질러서 경사면(511)의 하단에 걸쳐있는 복수의 와이어(w)들 중에서 하나를 지지하여 밀어올리는 역할을 한다. 첨단부(521)에는 오목한 홈(522)이 형성될 수 있다. 오목한 홈(522)의 내면은 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 각을 이루며 만나는 두 평면일 수 있으며, 곡면일 수도 있다. 본 실시예에서는 모서리 부분이 직선으로 절단된 두 개의 서포터 조각을 결합하여 오목한 홈(522)을 형성하였으나, 프로파일링 금형 가공을 통해서 각을 이루는 쐐기 형태의 오목한 홈을 형성할 수도 있다.

또한, 도 1과 4에 도시된 바와 같이, 서포터(520)는 첨단부(521)가 와이어 수납통(510)의 관통 슬롯(512)의 길이 방향 한쪽으로 치우치도록 설치된다. 또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 첨단부(521)는 와이어 수납통(510)의 중심부를 향해 진행할수록 높이가 낮아지도록 경사진다.

승강장치(530)는 서포터(520)를 와이어 수납통(510)에 대해서 상하이동시키기 위한 것으로서, 공압 실린더, 랙과 피니언 메커니즘, 리드 스크루 리니어 액추에이터 등 다양한 장치가 승강장치(530)로 사용될 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 서포터(520)가 상승하면 하나의 와이어(w)만 서포터(520)의 첨단부(521)의 오목한 홈(522)에 끼워져 상승한다.

다시 도 1을 참고하여 하나의 와이어(w)가 와이어 홀더(20)에 공급되는 방법을 설명한다. 와이어(w) 더미로부터 분리된 하나의 와이어(w)는 헤드(55)로 집어서, 별도의 지그(57)에 적재하여 정렬한 후에 와이어 홀더(20)에 공급된다.

헤드(55)는 Z축과 나란한 회전축에 대해서 180도 회전이 가능하며, X축 및 Z축 방향으로 직선이동이 가능하도록 지지구조(60)에 설치된다. 헤드(55)는 X축 방향으로 일정한 간격으로 서로 떨어져서 나란하게 배치된 한 쌍의 그리퍼(551, 552)를 포함한다. 제1그리퍼(551)는 가공 전 와이어(w)를 집는 역할을 하며, 제2그리퍼(552)는 가공이 완료된 와이어(w)를 집는 역할을 한다.

이하, 상술한 장치의 작용에 대해서 설명한다.

와이어 분리 공급장치(50)의 승강장치(530)를 가동시키면, 서포터(520)가 상승하면서 와이어 수납통(510)에 적재된 와이어 더미 중에서 하나를 들어올려서 와이어 더미로부터 분리한다. 첨단부(521)가 한쪽으로 치우쳐 있으며, 경사져 있으므로, 와이어(w)의 한쪽 끝단만 첨단부(521)에 의해서 들리고, 반대쪽 끝단은 와이어 더미 속에 남아있는 상태가 된다.

다음, 제1그리퍼(551)로 와이어(w)의 일단을 잡아서 고정한 후 헤드(55)를 지그(57) 방향으로 수평으로 이동하여 와이어(w)를 지그(57)에 적재한 후에 정렬한다. 헤드(55)가 수평 이동하므로, 와이어(w)의 반대쪽 끝단이 와이어 더미로부터 쉽게 분리된다.

헤드(55)를 지그(57) 방향으로 이동시킨 후, 제1그리퍼(551)를 오므려 지그(57)에 정렬된 가공 전 와이어(w)를 다시 집는다. 그리고 헤드(55)를 와이어 홀더(20) 방향으로 이동시킨다.

와이어 홀더(20)와 제2그리퍼(552)가 서로 마주보도록 와이어 홀더(20)를 반시계방향으로 90도 회전시킨다. 이때, 와이어 홀더(20)에 고정되어 있는 가공이 완료된 와이어가 제2그리퍼(552)의 한 쌍의 핑거 사이에 위치한다.

제2그리퍼(552)가 오므려지면서, 가공이 완료된 와이어를 잡는다. 그리고 와이어 홀더(20)에 의한 와이어의 고정이 해제된다. 그리고 헤드(55)가 후퇴하면, 가공이 완료된 와이어(w)가 제2그리퍼(552)로 전달된다.

헤드(55)가 180도 회전하여, 제1그리퍼(551)와 와이어 홀더(20)가 서로 마주본다. 헤드(55)가 와이어 홀더(20) 방향으로 이동하여, 제1그리퍼(551)에 고정되어 있던, 가공 전 와이어(w)가, 와이어 홀더(20)에 끼워져 고정된다.

와이어 홀더(20)는 시계방향으로 90도 회전하여, 회전숫돌(10)과 마주본다. 그리고 헤드(55)가 후퇴하여, 제2그리퍼(552)가 잡고 있던, 가공이 완료된 와이어(w)를 적재한다.

와이어 홀더(20)는 회전숫돌(10)을 향해서 하강하면서 회전한다.

도 5는 본 발명에 따른 프로브핀 제조장치의 다른 실시예의 일부 개략도이다.

도 5에 도시된 실시예는 회전숫돌(110)의 구조만 도 1에 도시된 실시예와 차이가 있으므로, 여기에 대해서만 설명한다. 본 실시예의 회전숫돌(110)은 원판 형태이며, Z축 방향에 대해서 경사진 회전축을 구비한다. 회전숫돌(110)의 상면이 연마면(111)으로 작용한다.

이상에서 설명된 실시예들은 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환할 수 있을 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.

예를 들어, 와이어 홀더를 90도 회전시켰을 때 헤드가 와이어 홀더와 마주보도록 헤드를 배치하는 것으로 설명하였으나, 와이어 홀더를 180도 회전시켰을 때 헤드가 와이어 홀더와 마주보도록 헤드를 배치한 후, 헤드의 그리퍼들을 이용하여 가공 전 와이어를 와이어 홀더에 공급하고, 가공 후 와이어를 와이어 홀더로부터 회수할 수도 있다.

10: 회전 숫돌
20: 와이어 홀더
30: 와이어 홀더 구동부
50: 와이어 분리 공급장치
60: 지지구조
w: 와이어

Claims (12)

1. 와이어의 끝단을 연마하여 프로브핀을 제조하는 장치로서,
   X축, Y축 및 Z축 방향을 가지는 지지구조와,
   Z축 방향을 따라 직선이동 하도록 상기 지지구조에 설치되며, 상기 와이어를 고정하여 Z축과 나란한 축을 회전축으로 하여 회전시키도록 구성된 와이어 홀더와,
   Z축 방향과 각을 이루는 경사면인 연마면을 구비한 회전 숫돌과,
   상기 와이어가 회전하면서 상기 회전 숫돌의 연마면을 향해 하강하도록, 상기 와이어 홀더를 제어하는 제어기를 포함하는 프로브핀 제조장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제어기는 상기 회전 숫돌의 회전속도와 상기 와이어 홀더의 회전속도의 비가 1:1 내지 1:50이 되도록 상기 와이어 홀더와 회전 숫돌을 제어하는 프로브핀 제조장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 와이어를 상기 와이어 홀더에 공급하는 와이어 분리 공급장치를 더 포함하는 프로브핀 제조장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 와이어 분리 공급장치는,
   하단이 서로 만나는 한 쌍의 경사면을 구비하며, 경사면의 하단의 중앙부에 경사면을 따라서 미끄러지는 와이어들에 비해서 길이가 짧은 관통 슬롯이 형성된 와이어 수납통과,
   상기 관통 슬롯을 통과하면서, 상기 관통 슬롯을 가로질러서 상기 경사면의 하단에 걸쳐있는 복수의 와이어들 중에서 하나를 지지하여 밀어올리도록 구성된 첨단부를 구비하는 서포터와,
   상기 서포터를 상기 서포터의 첨단부가 상기 관통 슬롯을 통과하여 상기 와이어 수납통의 내부에 배치되는 제1 위치와, 상기 서포터의 첨단부가 상기 관통 슬롯 하부에 배치되는 제2 위치 사이에서 상하 이동시키는 승강장치를 포함하는 프로브핀 제조장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 서포터의 첨단부에는 오목한 홈이 형성된 프로브핀 제조장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 첨단부의 오목한 홈은 쐐기 형태이며, 모서리 부분이 절단된 한 쌍의 서포터 조각을 결합하여 상기 서포터를 제작하여 형성한 프로브핀 제조장치.
7. 제4항에 있어서,
   상기 서포터는 상기 첨단부가 상기 와이어 수납통의 관통 슬롯의 길이 방향 한쪽으로 치우치도록 설치된 프로브핀 제조장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 첨단부는 상기 와이어 수납통의 중심부를 향해 진행할수록 높이가 낮아지도록 경사진 프로브핀 제조장치.
9. 제1항에 있어서,
   상기 회전 숫돌은 원뿔대 또는 원뿔 형태이며, Z축과 나란한 회전축을 구비한 프로브핀 제조장치.
10. 제1항에 있어서,
    상기 회전 숫돌은 원판 형태이며, Z축 방향에 대해서 경사진 회전축을 구비한 프로브핀 제조장치.
11. 금속 와이어의 끝단을 연마하여 프로브핀을 제조하는 방법으로서,
    경사면인 연마면을 구비한 회전 숫돌을 제공하는 단계와,
    상기 회전 숫돌을 회전시키는 단계와,
    상기 금속 와이어를 회전시키는 단계와,
    상기 회전 숫돌의 연마면과 금속 와이어의 길이방향이 각을 이룬 상태로 금속 와이어의 첨단부가 회전 숫돌의 연마면에 접하도록 회전하는 금속 와이어를 하강시키는 단계를 포함하는 프로브핀 제조방법.
12. 제11항에 있어서,
    상기 회전 숫돌의 회전속도와 상기 금속 와이어의 회전속도의 비는 1:1 내지 1:50인 프로브핀 제조방법.

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