JP7281901B2 - 基板処理装置、および基板処理方法 - Google Patents
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Description
基板と、複数のチップを含むチップ群とを有し、複数の前記チップは互いに間隔をおいてそれぞれ前記基板の接合面に接合されるチップ群付き基板を保持する保持部と、
前記保持部で前記基板を介して保持されている前記チップ群を薄化する加工部と、
前記チップ群の薄化中に、前記基板の前記接合面の露出部分に光を照射し前記露出部分で反射された光を受光すること、および前記チップ群を薄化する加工が施される加工面に光を照射し前記チップ群の前記加工面で反射された光を受光することにより、前記チップ群の厚さを測定する測定部と、
前記測定部の結果に基づき、前記加工部を制御する制御部とを有し、
前記測定部は、前記チップ群の薄化中に、前記基板の前記接合面の前記露出部分から前記測定部までの第1の距離を前記露出部分における複数点で測定し、前記第1の距離の移動平均を求めると共に、前記チップ群の前記加工面から前記測定部までの第2の距離を前記加工面における複数点で測定し、前記第2の距離の移動平均を求め、前記第1の距離の移動平均と前記第2の距離の移動平均との差を前記チップ群の厚さとして求める。
30 基板チャック(保持部)
40 加工部
90 制御部
100 チップ群付き基板
110 基板
115 接合面
117 露出部分
120 チップ群
121 チップ
122 基板
123 膜
125 加工面
Claims (12)
- 基板と、複数のチップを含むチップ群とを有し、複数の前記チップは互いに間隔をおいてそれぞれ前記基板の接合面に接合されるチップ群付き基板を保持する保持部と、
前記保持部で前記基板を介して保持されている前記チップ群を薄化する加工部と、
前記チップ群の薄化中に、前記基板の前記接合面の露出部分に光を照射し前記露出部分で反射された光を受光すること、および前記チップ群を薄化する加工が施される加工面に光を照射し前記チップ群の前記加工面で反射された光を受光することにより、前記チップ群の厚さを測定する測定部と、
前記測定部の結果に基づき、前記加工部を制御する制御部とを有し、
前記測定部は、前記チップ群の薄化中に、前記基板の前記接合面の前記露出部分から前記測定部までの第1の距離を前記露出部分における複数点で測定し、前記第1の距離の移動平均を求めると共に、前記チップ群の前記加工面から前記測定部までの第2の距離を前記加工面における複数点で測定し、前記第2の距離の移動平均を求め、前記第1の距離の移動平均と前記第2の距離の移動平均との差を前記チップ群の厚さとして求める、基板処理装置。 - 前記保持部は、回転中心線を中心に回転自在に構成され、
前記第1の距離の測定点と前記第2の距離の測定点は、前記保持部の回転速度、及び複数の前記チップの配置に応じて決められる、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記測定部は、前記チップ群の薄化中に、前記第1の距離の変動を監視しながら、前記第1の距離の移動平均と前記第2の距離の移動平均との差を前記チップ群の厚さとして求める、請求項1又は2に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記測定部で測定される前記チップ群の厚さが設定値に達するまで、前記加工部で前記チップ群を薄化する、請求項1~3のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記測定部は、前記チップ群の前記加工面に光を照射し前記チップ群の前記加工面で反射された光を受光することにより、前記チップ群の前記加工面の変位を測定し、
前記制御部は、前記チップ群の前記加工面の変位に基づき、前記チップ群の破損の有無を判断する、請求項1~4のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 一の前記チップと、他の一の前記チップとは、異なる積層構造を有する、請求項1~5のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 基板と、複数のチップを含むチップ群とを有し、複数の前記チップは互いに間隔をおいてそれぞれ前記基板の接合面に接合されるチップ群付き基板を保持部で保持する工程と、
前記保持部で前記基板を介して保持されている前記チップ群を薄化する工程と、
前記チップ群の薄化中に、前記基板の前記接合面の露出部分に光を照射し前記露出部分で反射された光を受光すること、および前記チップ群を薄化する加工が施される加工面に光を照射し前記チップ群の前記加工面で反射された光を受光することにより、前記チップ群の厚さを測定する工程とを有し、
前記チップ群を薄化する工程は、前記チップ群の厚さを測定する工程の測定結果に基づき行われ、
前記チップ群の厚さを測定する測定部は、前記チップ群の薄化中に、前記基板の前記接合面の前記露出部分から前記測定部までの第1の距離を前記露出部分における複数点で測定し、前記第1の距離の移動平均を求めると共に、前記チップ群の前記加工面から前記測定部までの第2の距離を前記加工面における複数点で測定し、前記第2の距離の移動平均を求め、前記第1の距離の移動平均と前記第2の距離の移動平均との差を前記チップ群の厚さとして求める、基板処理方法。 - 前記保持部は、回転中心線を中心に回転自在に構成され、
前記第1の距離の測定点と前記第2の距離の測定点は、前記保持部の回転速度、及び複数の前記チップの配置に応じて決められる、請求項7に記載の基板処理方法。 - 前記測定部は、前記チップ群の薄化中に、前記第1の距離の変動を監視しながら、前記第1の距離の移動平均と前記第2の距離の移動平均との差を前記チップ群の厚さとして求める、請求項7又は8に記載の基板処理方法。
- 前記チップ群を薄化する工程は、前記チップ群の厚さの測定値が設定値に達するまで行われる、請求項7~9のいずれか1項に記載の基板処理方法。
- 前記チップ群の厚さを測定する工程は、前記チップ群の前記加工面に光を照射し前記チップ群の前記加工面で反射された光を受光することにより、前記チップ群の前記加工面の変位を測定する工程を含み、
前記チップ群の前記加工面の変位に基づき、前記チップ群の破損の有無を判断する工程を有する、請求項7~10のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - 一の前記チップと、他の一の前記チップとは、異なる積層構造を有する、請求項7~11のいずれか1項に記載の基板処理方法。
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