KR100817131B1 - 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법 - Google Patents

액정 패널의 검사 장치 및 그 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100817131B1
KR100817131B1 KR1020020014194A KR20020014194A KR100817131B1 KR 100817131 B1 KR100817131 B1 KR 100817131B1 KR 1020020014194 A KR1020020014194 A KR 1020020014194A KR 20020014194 A KR20020014194 A KR 20020014194A KR 100817131 B1 KR100817131 B1 KR 100817131B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid crystal
crystal panel
unit
panel
camera
Prior art date
Application number
KR1020020014194A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030075087A (ko
Inventor
신상선
김호균
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020020014194A priority Critical patent/KR100817131B1/ko
Priority to US10/322,422 priority patent/US7271903B2/en
Priority to JP2003032284A priority patent/JP3971318B2/ja
Priority to CNB03103196XA priority patent/CN100343658C/zh
Publication of KR20030075087A publication Critical patent/KR20030075087A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100817131B1 publication Critical patent/KR100817131B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N17/00—Diagnosis, testing or measuring for television systems or their details
    • H04N17/04—Diagnosis, testing or measuring for television systems or their details for receivers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Abstract

본 발명은 카메라를 통해 기준 패널의 끝단에 대한 기준화상을 촬영하고, 단위 액정 패널의 끝단에 대한 실제화상을 촬영하여 기준화상과 실제화상의 차이값을 통해 단위 액정 패널의 절단면에 찌꺼기의 잔류여부나 홈의 발생여부를 검사할 수 있고, 카메라의 이동거리를 통해 단위 액정 패널의 장변 및 단변 길이를 측정함으로써, 단위 액정 패널의 크기를 검사할 수 있는 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법을 제공한다.

Description

액정 패널의 검사 장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD FOR TESTING LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL}
도1은 액정 표시장치의 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판이 대향하여 합착된 단위 액정 패널의 개략적인 평면구조를 보인 예시도.
도2는 도1에 있어서, 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제1모기판과 컬러필터 기판들이 형성된 제2모기판이 합착되어 다수의 액정 패널들을 이루는 단면 구조를 보인 예시도.
도3은 종래 단위 액정 패널의 검사 장치를 보인 예시도.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 검사 장치를 보인 예시도.
도5a는 도4의 카메라를 통해 촬영된 기준화상의 일 예를 보인 예시도.
도5b는 도4의 카메라를 통해 촬영된 실제화상의 일 예를 보인 예시도.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***
201:카메라 202:제1메모리부
203:제2메모리부 204:비교연산부
205:디스플레이부
본 발명은 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대면적 유리기판 상에 제작된 액정 패널들이 개별적인 단위 액정 패널로 절단된 다음 그 절단면의 상태를 검사하기 위한 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시장치는 매트릭스(matrix) 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여, 그 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써, 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.
상기 액정 표시장치는 대면적의 모 기판에 박막 트랜지스터 어레이 기판들을 형성하고, 별도의 모 기판에 컬러필터 기판들을 형성한 다음 두 개의 모 기판을 합착함으로써, 액정 패널들을 동시에 형성하여 수율 향상을 도모하고 있으므로, 단위 액정 패널로 절단하는 공정이 요구된다.
통상, 상기 단위 패널의 절단은 유리에 비해 경도가 높은 휠로 모 기판의 표면에 절단 예정홈을 형성하고, 그 절단 예정홈을 따라 크랙이 전파되도록 하는 공정을 통해 실시된다. 이와같은 단위 패널의 절단공정을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도1은 액정 표시장치의 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판이 대향하여 합착된 단위 액정 패널의 개략적인 평면구조를 보인 예시도이다.
도1을 참조하면, 액정패널(10)은 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열되는 화상표시부(13)와, 그 화상표시부(13)의 게이트 배선들과 접속되는 게이트 패드부(14) 및 데이터 배선들과 접속되는 데이터 패드부(15)로 구성된다. 이때, 게이트 패드부(14)와 데이터 패드부(15)는 컬러필터 기판(2)과 중첩되지 않는 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)의 가장자리 영역에 형성되며, 게이트 패드부(14)는 게이트 드라이버 집적회로로부터 공급되는 주사신호를 화상표시부(13)의 게이트 배선들에 공급하고, 데이터 패드부(15)는 데이터 드라이버 집적회로로부터 공급되는 화상정보를 화상표시부(13)의 데이터 배선들에 공급한다.
여기서, 도면상에 상세히 도시하지는 않았지만, 화상표시부(13)의 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)에는 화상정보가 인가되는 데이터 배선들과 주사신호가 인가되는 게이트 배선들이 서로 수직교차하여 배치되고, 그 교차부에 액정 셀들을 스위칭하기 위한 박막 트랜지스터와, 그 박막 트랜지스터에 접속되어 액정 셀을 구동하는 화소전극과, 이와같은 전극과 박막 트랜지스터를 보호하기 위해 전면에 형성된 보호막이 구비된다.
또한, 상기 화상표시부(13)의 컬러필터 기판(2)에는 블랙 매트릭스에 의해 셀 영역별로 분리되어 도포된 칼러필터들과, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)에 형성된 화소전극의 상대전극인 공통 투명전극이 구비된다.
상기한 바와같이 구성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)과 컬러필터 기판(2)은 대향하여 일정하게 이격되도록 셀-갭(cell-gap)이 마련되고, 화상표시부(13)의 외곽에 형성된 실링부(도면상에 도시되지 않음)에 의해 합착되 며, 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)과 컬러필터 기판(2)의 이격된 공간에 액정층(도면상에 도시되지 않음)이 형성된다.
도2는 상기한 바와같은 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 형성된 제1모기판과 컬러필터 기판(2)들이 형성된 제2모기판이 합착되어 다수의 액정 패널들을 이루는 단면 구조를 보인 예시도이다.
도2를 참조하면, 단위 액정 패널들은 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 일측이 컬러필터 기판(2)들에 비해 돌출되도록 형성된다. 이는 상기 도1을 참조하여 설명한 바와같이 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들의 컬러필터 기판(2)들과 중첩되지 않는 가장자리에 게이트 패드부(14)와 데이터 패드부(15)가 형성되기 때문이다.
따라서, 제2모기판(30) 상에 형성된 컬러필터 기판(2)들은 제1모기판(20) 상에 형성된 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 돌출되는 면적에 해당하는 더미영역(dummy region, 31) 만큼 이격되어 형성된다.
또한, 각각의 단위 액정 패널들은 제1,제2모기판(20,30)을 최대한 이용할 수 있도록 적절히 배치되며, 모델(model)에 따라 다르지만, 일반적으로 단위 액정 패널들은 더미영역(32) 만큼 이격되도록 형성된다.
상기 박막 트랜지스터 어레이 기판(1)들이 형성된 제1모기판(20)과 컬러필터 기판(2)들이 형성된 제2모기판(30)이 합착된 후에는 액정 패널들을 개별적으로 절단하는데, 이때 제2모기판(30)의 컬러필터 기판(2)들이 이격된 영역에 형성된 더미영역(31)과 단위 액정 패널들을 이격시키는 더미영역(32)이 동시에 제거된다.
도3은 종래 단위 액정 패널의 검사장치를 보인 예시도로서, 이에 도시한 바와같이 단위 액정 패널(100)의 장변(즉, 데이터 패드부가 형성된 변 및 그와 마주보는 변)에 대응하여 절단된 상태를 검사하는 제1,제2검사바(101,102)와; 단위 액정 패널(100)의 단변(즉, 게이트 패드부가 형성된 변 및 그와 마주보는 변)에 대응하여 절단된 상태를 검사하는 제3,제4검사바(103,104)가 구비된다.
상기 제1,제2검사바(101,102)는 터치(touch) 방식을 통해 절단된 단위 액정 패널(100)의 장변에 찌꺼기(burr)가 잔류하는지를 검사하고, 상기 제3,제4검사바(103,104)는 제1,제2검사바(101,102)와 동일하게 절단된 단위 액정 패널(100)의 단변에 찌꺼기가 잔류하는지를 검사한다.
한편, 상기 단위 액정 패널(100)은 모델에 따라 크기가 달라지므로, 제1,제2검사바(101,102)와 제3,제4검사바(103,104)를 단위 액정 패널(100)의 크기가 가장 큰 모델의 장변 및 단변과 동일한 길이로 제작하여 단위 액정 패널(100)의 모든 모델에 대하여 장변 및 단변에 찌꺼기가 잔류하는지를 검사할 수 있도록 한다.
또한, 상기 단위 액정 패널(100)은 박막 트랜지스터 어레이 기판(110) 상에 컬러필터 기판(120)이 합착되고, 박막 트랜지스터 어레이 기판(110)의 일측이 컬러필터 기판(120)에 비해 돌출되도록 형성된다. 이는 상기 도1을 참조하여 설명한 바와같이 박막 트랜지스터 어레이 기판(110)의 컬러필터 기판(120)과 중첩되지 않는 가장자리에 게이트 패드부와 데이터 패드부가 형성되기 때문이다.
따라서, 상기 단위 액정 패널(100)의 장변과 단변의 일측은 계단 형상의 단차를 갖게 되고, 이와같은 단위 액정 패널(100)의 장변을 검사하기 위해서는 데이 터 패드부가 형성된 단위 액정 패널(100)의 장변에 대응하는 제1검사바(101)를 계단 형상의 단차를 갖는 단위 액정 패널(100)의 장변과 맞물리도록 형성하며, 게이트 패드부가 형성된 단위 액정 패널(100)의 단변에 대응하는 제3검사바(103)를 계단 형상의 단차를 갖는 단위 액정 패널(100)의 단변과 맞물리도록 형성한다.
상기한 바와같이 제1∼제4검사바(101∼104)를 이용하여 터치 방식으로 단위 액정 패널(100)의 장변과 단변에 찌꺼기가 잔류하는지를 검사하여 양/불 판정을 한 다음에 작업자는 소정의 주기로 양품 판정을 받은 단위 액정 패널(100)을 생산라인에서 추출하여 별도로 마련된 측정장비를 통해 단위 액정 패널(100)의 절단된 크기가 적절한지 검사한다.
상술한 바와같이 종래 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법은 제1∼제4검사바가 단위 액정 패널의 장변 및 단변을 터치하는 물리적인 방식으로 단위 액정 패널의 장변과 단변에 찌꺼기가 잔류하는지를 검사한다.
따라서, 검사의 신뢰도가 저하될 뿐만 아니라 단위 액정 패널의 장변 및 단변의 일부가 뜯겨져 홈이 형성된 경우에 대해서는 불량을 검출할 수 없는 문제점이 있다.
또한, 종래 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법은 찌꺼기 잔류여부를 검사한 다음 소정의 주기로 양품의 단위 액정 패널을 생산라인에서 추출하여 별도의 측정장비를 통해 절단된 단위 액정 패널의 크기 검사를 수행한다.
따라서, 절단된 단위 액정 패널의 크기 검사를 위해 작업자가 단위 액정 패 널을 생산라인에서 측정장비로 이송하고, 측정장비에서 크기 검사를 수행하는 작업이 번거롭고 불편한 문제점이 있으며, 절단된 단위 액정 패널의 크기 검사에 소요되는 시간이 길어짐에 따라 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
그리고, 고가의 측정장비가 별도로 요구됨에 따라 생산라인의 설비 비용 및 유지보수 비용이 증가되어 제품의 원가 상승이 불가피한 문제점이 있었다.
또한, 소정의 주기로 단위 액정 패널을 샘플링하여 크기 검사를 수행함에 따라 검사의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있으며, 불량으로 판정될 경우에 작업을 중단하고, 이전에 샘플링된 단위 액정 패널부터 이후에 샘플링될 단위 액정 패널까지의 모든 단위 액정 패널들을 검사하고, 양/불 판정을 하여야 함에 따라 후속 공정이 진행된 단위 액정 패널들이 폐기될 수 있으며, 이로 인한 재료 낭비 및 시간 소요가 매우 큰 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 바와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 발명의 목적은 대면적 유리기판 상에 제작된 액정 패널들이 개별적인 단위 액정 패널로 절단된 다음 그 절단면의 상태 검사 및 단위 액정 패널의 크기 검사를 간편하게 수행할 수 있는 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.
먼저, 상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 액정 패널의 검사 장치에 대한 일 실시예는 카메라를 통해 기준 패널의 끝단에 대한 기준화상을 촬영하여 저장하는 제1메모리부와; 상기 카메라를 통해 단위 액정 패널의 끝단에 대한 실제화상을 촬영하여 저장하는 제2메모리부와; 상기 제1,제2메모리부의 기준화상과 실제화상을 비교하여 차이값을 연산하는 비교연산부와; 상기 비교연산부의 차이값을 표시하는 디스플레이부를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 액정 패널의 검사 방법에 대한 일 실시예는 기준 패널의 끝단을 따라 기준화상을 촬영하는 단계와; 단위 액정 패널의 끝단을 따라 실제화상을 촬영하는 단계와; 상기 기준화상과 실제화상을 비교하여 차이값을 연산한 다음 그 차이값을 표시하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와같은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 검사 장치에 대한 예시도이다. 도4를 참조하면, 카메라(201)를 통해 기준 패널의 끝단에 대한 기준화상을 촬영하여 저장하는 제1메모리부(202)와; 상기 카메라(201)를 통해 실제로 절단된 단위 액정 패널의 끝단에 대한 실제화상을 촬영하여 저장하는 제2메모리부(203)와; 상기 제1,제2메모리부(202,203)의 기준화상과 실제화상을 비교하여 차이값을 연산하는 비교연산부(204)와; 상기 비교연산부(204)의 차이값을 작업자에게 표시하는 디스플레이부(205)가 구비된다. 이때, 카메라(201)는 예를 들어 씨씨디(charge coupled device : CCD) 카메라가 적용될 수 있다.
상기 단위 액정 패널은 박막 트랜지스터가 형성된 제1기판과 컬러필터가 형성된 제2기판을 합착한 후, 액정 주입방식으로 액정층을 형성한 액정 패널이 적용되거나 또는 상기 제1기판 또는 제2기판 중의 하나의 기판에 액정을 적하한 후, 진 공합착한 액정 패널이 적용될 수 있다.
또한, 상기 액정이 적하된 기판에 제1,제2기판을 합착하기 위한 씨일재를 형성하거나 또는 액정이 적하되지 않은 기판에 씨일재를 형성할 수 있다.
도5a와 도5b는 상기 기준화상과 실제화상의 일 예를 보인 예시도이다.
먼저, 도5a를 참조하면, 카메라(201)를 통해 기준 패널(210)의 끝단을 촬영한 기준화상(IMAGE1)이 도시되어 있다. 이때, 기준 패널(210)은 절단된 단위 액정 패널에 요구되는 이상적인 크기를 갖도록 사전에 정밀하게 제작되며, 상기 기준 패널(210)의 모서리에 카메라(201)와 기준 패널(210)을 정렬시키기 위한 정렬 마크(211)가 구비된다.
따라서, 상기 카메라(201)는 정렬 마크(211)를 통해 기준 패널(210)과 정렬된 다음 기준 패널(210)의 가장자리를 따라 스캔하면서, 기준 패널(210)의 끝단을 촬영하여 기준화상(IMAGE1)을 추출하고, 그 기준화상(IMAGE1)의 정보를 상기 제1메모리부(202)에 저장한다.
한편, 도5b를 참조하면, 카메라(201)를 통해 실제로 절단된 단위 액정 패널(220)의 끝단을 촬영한 실제화상(IMAGE2)이 도시되어 있다. 이때, 단위 액정 패널(220)은 대면적의 모 기판 상에 다수의 액정 패널들이 제작된 이후에 개별적으로 절단됨에 따라 단위 액정 패널(220)의 절단면에는 찌꺼기(221)가 부분적으로 잔류하거나 또는 절단면의 일부가 뜯겨져 홈(222)이 형성될 수 있다.
상기 단위 액정 패널(220)의 절단면에 형성된 찌꺼기(221)나 홈(222)은 액정 패널의 구동에 불량을 유발하게 되므로, 이를 사전에 검사하여 해당 단위 액정 패 널(220)을 추출하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 단위 액정 패널(220)에는 카메라(201)와 단위 액정 패널(220)을 정렬시키기 위한 정렬마크(223)가 상기 기준 패널(210)과 동일한 위치에 구비된다.
따라서, 상기 카메라(201)는 정렬 마크(223)를 통해 단위 액정 패널(220)과 정렬된 다음 단위 액정 패널(220)의 가장자리를 따라 스캔하면서, 단위 액정 패널(220)의 끝단을 촬영하여 실제화상(IMAGE2)을 추출하고, 그 실제화상(IMAGE2)의 정보를 상기 제2메모리부(203)에 저장한다.
상기한 바와같이 제1,제2메모리부(202,203)에 저장된 기준화상(IMAGE1)의 정보와 실제화상(IMAGE2)의 정보는 비교연산부(204)에서 차이값이 연산되고, 그 차이값은 디스플레이부(205)를 통해 작업자에게 표시된다.
상기 기준화상(IMAGE1)과 실제화상(IMAGE2)의 차이값은 카메라(201)의 픽셀 단위로 연산된다. 즉, 카메라(201)의 배율이 결정되면, 해상도에 따라 픽셀 1개의 크기가 정해지는데, 찌꺼기(221)나 홈(222)이 촬영된 실제화상(IMAGE2)과 기준 패널(210)의 끝단이 촬영된 기준화상(IMAGE1)이 몇개의 픽셀 만큼 차이나는지에 대한 정보를 추출하고, 그 픽셀수와 크기를 곱하여 차이값을 연산하게 된다.
이때, 실제화상(IMAGE2)에 찌꺼기(221)가 촬영되었을 경우에는 해당 차이값을 양수(+)로 표시하고, 홈(222)이 촬영되었을 경우에는 음수(-)로 표시하여 작업자가 보다 쉽게 판별할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
따라서, 작업자는 디스플레이부(205)에 표시된 차이값을 통해 절단된 단위 액정 패널의 절단면에 찌꺼기나 홈의 형성여부를 간편하게 알 수 있고, 허용 범위 내에 있는지를 판단할 수 있게 된다.
한편, 상기 카메라(201)가 정렬 마크(223)를 통해 단위 액정 패널(220)과 정렬된 다음 단위 액정 패널(220)의 가장자리를 따라 스캔하면서, 절단된 단위 액정 패널(220)의 끝단을 촬영하여 실제화상(IMAGE2)을 추출할 때, 카메라(201)의 이동거리를 통해 단위 액정 패널(220)의 장변 및 단변 길이를 측정하여 제2메모리(203)에 저장하고, 이를 디스플레이부(205)를 통해 작업자에게 표시할 수 있도록 함으로써, 단위 액정 패널(220)의 절단면에 찌꺼기(221)가 잔류하거나 홈(222)이 형성되는지 여부를 검사하면서, 동시에 단위 액정 패널(220)의 크기 검사도 수행할 수 있게 된다.
상술한 바와같이 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법은 카메라를 통해 기준 패널의 끝단을 촬영한 기준화상과 실제로 절단된 단위 액정 패널의 끝단을 촬영한 실제화상을 비교하여, 그 차이값을 작업자에게 표시함으로써, 단위 액정 패널의 절단면 검사를 수행한다.
따라서, 종래의 검사바를 이용한 물리적인 터치 방식에 비해 카메라를 이용한 광학 방식을 적용하여 검사의 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과가 있으며, 단위 액정 패널의 절단면에 찌꺼기가 잔류하는 경우의 불량을 검사할 수 있을 뿐만 아니라 종래에 검사할 수 없었던 단위 액정 패널의 절단면에 홈이 형성된 경우에 대해서도 검사할 수 있게 되므로, 제품의 불량 발생을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법은 카 메라의 이동거리를 통해 단위 액정 패널의 장변 및 단변 길이를 측정하여 단위 액정 패널의 크기 검사를 수행할 수 있게 된다.
따라서, 종래에서와 같이 단위 액정 패널의 크기 검사를 위해 생산라인에서 단위 액정 패널을 추출하여 별도로 마련된 측정장비로 이송해야 하는 작업의 번거로움과 불편함을 해소하고, 단위 액정 패널의 크기 검사에 소요되는 시간을 줄일 수 있게 되어 생산성을 향상시킬 수 있으며, 별도의 측정장비가 요구되지 않기 때문에 생산라인의 설비 비용 및 유지보수 비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 모든 단위 액정 패널에 대해서 크기 검사를 간편하게 실시할 수 있기 때문에 종래에서와 같이 소정의 주기로 단위 액정 패널을 추출하여 크기 검사를 수행하는 샘플링 방식에 비해 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
그리고, 종래에는 불량으로 판정될 경우에 작업을 중단하고, 이전에 샘플링된 단위 액정 패널부터 이후에 샘플링될 단위 액정 패널까지의 모든 단위 액정 패널들을 검사하고, 양/불 판정을 하여야 함에 따라 후속 공정이 진행된 단위 액정 패널들이 폐기될 수 있으며, 이로 인한 재료 및 시간 소요가 매우 큰 문제가 있었으나, 본 발명에서는 모든 단위 액정 패널에 대하여 크기 검사를 실시할 수 있기 때문에 이를 방지할 수 있게 된다.

Claims (13)

  1. 기준패널의 모서리에 구비된 제1 정렬마크에 의해 상기 기준패널과 정렬된 카메라를 통해 상기 기준 패널의 끝단에 대한 기준화상을 촬영하여 저장하는 제1메모리부와;
    단위액정패널의 모서리에 구비된 제2 정렬마크에 의해 상기 단위액정패널과 정렬된 상기 카메라를 통해 상기 단위 액정 패널의 끝단에 대한 실제화상을 촬영하여 저장하는 제2메모리부와;
    상기 제1,제2메모리부의 기준화상과 실제화상을 비교하여 차이값을 연산하는 비교연산부와;
    상기 비교연산부의 차이값을 표시하는 디스플레이부를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 카메라는 씨씨디 카메라가 적용된 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 제2메모리부는 상기 카메라의 이동거리를 추가로 저장한 다음 디스플레이부를 통해 표시하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 장치.
  5. 기준 패널의 가장자리에 구비된 정렬 마크를 통해 상기 기준 패널과 카메라를 정렬하는 단계와;
    상기 카메라가 상기 기준 패널의 가장자리를 따라 스캔하면서, 상기 기준패널의 끝단을 촬영하여 기준화상을 추출하는 단계와;
    단위 액정 패널의 끝단을 따라 실제화상을 촬영하는 단계와;
    상기 기준화상과 실제화상을 비교하여 차이값을 연산한 다음 그 차이값을 표시하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 방법.
  6. 삭제
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 실제화상을 촬영하는 단계는 상기 단위 액정 패널의 가장자리에 구비된 정렬 마크를 통해 상기 단위 액정 패널과 카메라를 정렬하는 단계와; 상기 카메라가 상기 단위 액정 패널의 가장자리를 따라 스캔하면서, 상기 단위 액정 패널의 끝단을 촬영하여 실제화상을 추출하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 방법.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 실제화상에 찌꺼기가 촬영되었을 경우에는 기준화상과의 차이값을 양수(+)로 표시하고, 홈이 촬영되었을 경우에는 기준화상과의 차이값을 음수(-)로 표시하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 방법.
  9. 제 5 항에 있어서, 상기 단위 액정 패널의 끝단을 따라 실제화상을 촬영하는 단계는 카메라의 이동거리를 통해 단위 액정 패널의 장변 및 단변 길이를 측정하여 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 방법.
  10. 제1기판과 제2기판을 합착하는 단계와; 상기 합착된 제1,제2기판을 단위 액정 패널로 절단하는 단계와; 카메라를 통해 상기 단위 액정 패널의 끝단에 대한 실제화상을 촬영하는 단계와; 상기 실제화상과 기준패널의 끝단에 대한 기준화상을 비교하여 차이값을 표시하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 제1기판과 제2기판을 합착한 후, 액정층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 방법.
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 제1기판과 제2기판을 합착하기 전에 상기 제1기판과 제2기판 중의 하나의 기판에 액정을 적하하여 액정층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 방법.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 실제화상과 기준화상의 차이값은 단위 액정 패널의 절단면 상태에 대한 정보인 것을 특징으로 하는 액정 패널의 검사 방법.
KR1020020014194A 2002-03-15 2002-03-15 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법 KR100817131B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020014194A KR100817131B1 (ko) 2002-03-15 2002-03-15 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법
US10/322,422 US7271903B2 (en) 2002-03-15 2002-12-19 Apparatus and method for testing liquid crystal display panel
JP2003032284A JP3971318B2 (ja) 2002-03-15 2003-02-10 液晶表示パネルの検査装置及び検査方法
CNB03103196XA CN100343658C (zh) 2002-03-15 2003-02-11 测试液晶显示器面板的装置和方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020014194A KR100817131B1 (ko) 2002-03-15 2002-03-15 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030075087A KR20030075087A (ko) 2003-09-22
KR100817131B1 true KR100817131B1 (ko) 2008-03-27

Family

ID=28036079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020014194A KR100817131B1 (ko) 2002-03-15 2002-03-15 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7271903B2 (ko)
JP (1) JP3971318B2 (ko)
KR (1) KR100817131B1 (ko)
CN (1) CN100343658C (ko)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7289201B2 (en) 2003-03-04 2007-10-30 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. Inspection device for transparent substrate end surface and inspection method therefor
TW200523538A (en) * 2003-11-13 2005-07-16 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Substrate inspection device, substrate inspection method, and program
KR100579322B1 (ko) * 2003-11-28 2006-05-12 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 커팅면 검사장치
KR100586032B1 (ko) * 2004-07-26 2006-06-01 삼성전자주식회사 기판 정렬 방법 및 장치, 이를 이용한 기판의 패턴 검사방법 및 장치
TW200700799A (en) * 2005-06-24 2007-01-01 Innolux Display Corp Testing system of liquid crystal display
KR101498607B1 (ko) * 2008-09-19 2015-03-05 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 패턴의 검사대상부분을 선정하는 방법
JP2011021999A (ja) * 2009-07-15 2011-02-03 Kyodo Design & Planning Corp 基板検査装置
CN102313741B (zh) * 2010-07-06 2013-08-14 州巧科技股份有限公司 自动光学检测***
KR101830679B1 (ko) * 2010-07-29 2018-02-22 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 검사 장치 및 그 방법
KR101304577B1 (ko) 2011-09-22 2013-09-05 삼성중공업 주식회사 판넬의 오차 계측장치 및 계측방법
CN102722048B (zh) * 2012-06-20 2015-05-06 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板的制作装置及方法
CN102929005B (zh) * 2012-09-26 2016-03-30 深圳市华星光电技术有限公司 Tft-lcd基板的探测装置
CN104391390B (zh) 2014-12-18 2017-05-10 合肥鑫晟光电科技有限公司 基板检查装置及方法
JP6524803B2 (ja) * 2015-06-02 2019-06-05 三星ダイヤモンド工業株式会社 ブレイクシステム
CN107024476A (zh) * 2016-03-10 2017-08-08 上海帆声图像科技有限公司 显示面板检测***及其检测装置与检测方法
CN108387586A (zh) * 2018-02-06 2018-08-10 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 刀轮检测装置及刀轮检测方法
KR102326955B1 (ko) * 2020-04-10 2021-11-16 주식회사 뷰웍스 디스플레이 장치 분석 시스템 및 그것의 색상 분석 방법
JP2022187282A (ja) * 2021-06-07 2022-12-19 日本電気硝子株式会社 検査装置、検査方法、ガラス板の製造方法、および検査プログラム
KR20240011923A (ko) * 2022-07-19 2024-01-29 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이 장치의 절단선 검출방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0444493A (ja) * 1990-06-11 1992-02-14 Sharp Corp カラー液晶パネルの欠陥検出装置

Family Cites Families (82)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3978580A (en) * 1973-06-28 1976-09-07 Hughes Aircraft Company Method of fabricating a liquid crystal display
JPS5165656A (ko) 1974-12-04 1976-06-07 Shinshu Seiki Kk
US4094058A (en) * 1976-07-23 1978-06-13 Omron Tateisi Electronics Co. Method of manufacture of liquid crystal displays
JPS5738414A (en) 1980-08-20 1982-03-03 Showa Denko Kk Spacer for display panel
JPS5788428A (en) 1980-11-20 1982-06-02 Ricoh Elemex Corp Manufacture of liquid crystal display body device
JPS5827126A (ja) 1981-08-11 1983-02-17 Nec Corp 液晶表示パネルの製造方法
JPS5957221A (ja) 1982-09-28 1984-04-02 Asahi Glass Co Ltd 表示素子の製造方法及び製造装置
JPS59195222A (ja) 1983-04-19 1984-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造法
JPS60111221A (ja) 1983-11-19 1985-06-17 Nippon Denso Co Ltd 液晶充填方法および装置
JPS60164723A (ja) 1984-02-07 1985-08-27 Seiko Instr & Electronics Ltd 液晶表示装置
JPS60217343A (ja) 1984-04-13 1985-10-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置およびその製造方法
JPS617822A (ja) 1984-06-22 1986-01-14 Canon Inc 液晶素子の製造方法
JPS6155625A (ja) 1984-08-24 1986-03-20 Nippon Denso Co Ltd 液晶素子製造方法
US4775225A (en) * 1985-05-16 1988-10-04 Canon Kabushiki Kaisha Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment
JP2616761B2 (ja) 1985-07-15 1997-06-04 株式会社 半導体エネルギー研究所 液晶表示装置の作製方法
JPS6254228A (ja) 1985-07-15 1987-03-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置の作製方法
US4691995A (en) * 1985-07-15 1987-09-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal filling device
JPS6289025A (ja) 1985-10-15 1987-04-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルの製造方法
JPS6290622A (ja) 1985-10-17 1987-04-25 Seiko Epson Corp 液晶表示装置
US4653864A (en) * 1986-02-26 1987-03-31 Ovonic Imaging Systems, Inc. Liquid crystal matrix display having improved spacers and method of making same
JPH0668589B2 (ja) 1986-03-06 1994-08-31 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子
US5963288A (en) * 1987-08-20 1999-10-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device having sealant and spacers made from the same material
US5379139A (en) * 1986-08-20 1995-01-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal device and method for manufacturing same with spacers formed by photolithography
JPS63109413A (ja) 1986-10-27 1988-05-14 Fujitsu Ltd 液晶デイスプレイの製造方法
JPS63110425A (ja) 1986-10-29 1988-05-14 Toppan Printing Co Ltd 液晶封入用セル
JPS63128315A (ja) 1986-11-19 1988-05-31 Victor Co Of Japan Ltd 液晶表示素子
JPS63311233A (ja) 1987-06-12 1988-12-20 Toyota Motor Corp 液晶セル
US4870357A (en) * 1988-06-03 1989-09-26 Apple Computer, Inc. LCD error detection system
DE3825066A1 (de) * 1988-07-23 1990-01-25 Roehm Gmbh Verfahren zur herstellung von duennen, anisotropen schichten auf oberflaechenstrukturierten traegern
US4964078A (en) 1989-05-16 1990-10-16 Motorola, Inc. Combined multiple memories
US5081687A (en) * 1990-11-30 1992-01-14 Photon Dynamics, Inc. Method and apparatus for testing LCD panel array prior to shorting bar removal
US5175772A (en) * 1991-01-02 1992-12-29 Motorola, Inc. Automated test for displays using display patterns
JPH0536425A (ja) 1991-02-12 1993-02-12 Tokyo Electric Power Co Inc:The 固体電解質型燃料電池用合金セパレータ及びその製造 方法
DE69226998T2 (de) * 1991-07-19 1999-04-15 Sharp Kk Optisches Modulationselement und Vorrichtungen mit einem solchen Element
JP3068264B2 (ja) 1991-07-31 2000-07-24 三菱重工業株式会社 固体電解質燃料電池
JPH05107533A (ja) 1991-10-16 1993-04-30 Shinetsu Eng Kk 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法及びその貼り合せ装置
JPH05127179A (ja) 1991-11-01 1993-05-25 Ricoh Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JP2609386B2 (ja) 1991-12-06 1997-05-14 株式会社日立製作所 基板組立装置
JP3159504B2 (ja) * 1992-02-20 2001-04-23 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
JPH05265011A (ja) 1992-03-19 1993-10-15 Seiko Instr Inc 液晶表示素子の製造方法
JPH05281562A (ja) 1992-04-01 1993-10-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶パネルの製造方法
JP2939384B2 (ja) 1992-04-01 1999-08-25 松下電器産業株式会社 液晶パネルの製造方法
US5507323A (en) * 1993-10-12 1996-04-16 Fujitsu Limited Method and dispenser for filling liquid crystal into LCD cell
JP2604090B2 (ja) 1992-06-30 1997-04-23 信越エンジニアリング株式会社 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ装置
JPH0651256A (ja) 1992-07-30 1994-02-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶吐出装置
JPH0664229A (ja) 1992-08-24 1994-03-08 Toshiba Corp 光プリンタヘッド
JP3084975B2 (ja) 1992-11-06 2000-09-04 松下電器産業株式会社 液晶表示用セルの製造装置
JPH06160871A (ja) 1992-11-26 1994-06-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよびその製造方法
JPH06235925A (ja) 1993-02-10 1994-08-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子の製造方法
JPH06265915A (ja) 1993-03-12 1994-09-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶充填用吐出装置
JP3210126B2 (ja) * 1993-03-15 2001-09-17 株式会社東芝 液晶表示装置の製造方法
JP3170773B2 (ja) 1993-04-28 2001-05-28 株式会社日立製作所 基板組立装置
US5539545A (en) * 1993-05-18 1996-07-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method of making LCD in which resin columns are cured and the liquid crystal is reoriented
JP2957385B2 (ja) * 1993-06-14 1999-10-04 キヤノン株式会社 強誘電性液晶素子の製造方法
JP3260511B2 (ja) 1993-09-13 2002-02-25 株式会社日立製作所 シール剤描画方法
CA2108237C (en) * 1993-10-12 1999-09-07 Taizo Abe Method and dispenser for filling liquid crystal into lcd cell
JPH07318511A (ja) * 1994-05-23 1995-12-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 周期性パターン検査装置
DE69526894T2 (de) * 1994-09-26 2003-01-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd Flüssigkristallanzeigetafel, Verfahren und Vorrichtung zu ihrer Herstellung
JP3216869B2 (ja) * 1995-02-17 2001-10-09 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
US6001203A (en) * 1995-03-01 1999-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Production process of liquid crystal display panel, seal material for liquid crystal cell and liquid crystal display
JPH08292406A (ja) * 1995-04-24 1996-11-05 Advantest Corp Ｌｃｄパネル検査装置
JP3787185B2 (ja) * 1995-04-28 2006-06-21 アヴェンティス・リサーチ・ウント・テクノロジーズ・ゲーエムベーハー・ウント・コー・カーゲー 配線基板の配線の欠陥を検出する装置
KR100189178B1 (ko) * 1995-05-19 1999-06-01 오우라 히로시 패널 화질 검사 장치 및 화질 보정 방법
JPH0980447A (ja) * 1995-09-08 1997-03-28 Toshiba Electron Eng Corp 液晶表示素子
JP3358935B2 (ja) * 1995-10-02 2002-12-24 シャープ株式会社 液晶表示素子およびその製造方法
US6236445B1 (en) * 1996-02-22 2001-05-22 Hughes Electronics Corporation Method for making topographic projections
KR100208475B1 (ko) * 1996-09-12 1999-07-15 박원훈 자기장 처리에 의한 액정배향막의 제조방법
EP0829748A3 (en) * 1996-09-13 1999-12-15 Sony Corporation Reflective guest-host liquid-crystal display device
JPH10153785A (ja) * 1996-09-26 1998-06-09 Toshiba Corp 液晶表示装置
KR100207506B1 (ko) * 1996-10-05 1999-07-15 윤종용 액정 표시 소자의 제조방법
JP3472422B2 (ja) * 1996-11-07 2003-12-02 シャープ株式会社 液晶装置の製造方法
JPH10274768A (ja) * 1997-03-31 1998-10-13 Denso Corp 液晶セルおよびその製造方法
JP4028043B2 (ja) * 1997-10-03 2007-12-26 コニカミノルタホールディングス株式会社 液晶光変調素子および液晶光変調素子の製造方法
US5875922A (en) * 1997-10-10 1999-03-02 Nordson Corporation Apparatus for dispensing an adhesive
US6055035A (en) * 1998-05-11 2000-04-25 International Business Machines Corporation Method and apparatus for filling liquid crystal display (LCD) panels
US6337730B1 (en) * 1998-06-02 2002-01-08 Denso Corporation Non-uniformly-rigid barrier wall spacers used to correct problems caused by thermal contraction of smectic liquid crystal material
JP3828670B2 (ja) 1998-11-16 2006-10-04 松下電器産業株式会社 液晶表示素子の製造方法
US6219126B1 (en) * 1998-11-20 2001-04-17 International Business Machines Corporation Panel assembly for liquid crystal displays having a barrier fillet and an adhesive fillet in the periphery
TWI255934B (en) * 1998-12-04 2006-06-01 Samsung Electronics Co Ltd A substrate and a liquid crystal display panel capable of being cut by using a laser and a method for manufacturing the same
JP3568862B2 (ja) * 1999-02-08 2004-09-22 大日本印刷株式会社 カラー液晶表示装置
JP2001215459A (ja) * 2000-02-02 2001-08-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示素子製造装置
GB2368635B (en) * 2000-11-01 2004-12-22 Nokia Mobile Phones Ltd Testing an image display device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0444493A (ja) * 1990-06-11 1992-02-14 Sharp Corp カラー液晶パネルの欠陥検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
US7271903B2 (en) 2007-09-18
JP3971318B2 (ja) 2007-09-05
CN100343658C (zh) 2007-10-17
US20030174214A1 (en) 2003-09-18
KR20030075087A (ko) 2003-09-22
JP2003270170A (ja) 2003-09-25
CN1445532A (zh) 2003-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100817131B1 (ko) 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법
KR100798320B1 (ko) 액정 패널의 검사 장치 및 그 방법
EP2378484B1 (en) Inspection system
JP3948522B2 (ja) 液晶パネルの偏光板貼付け精度検査方法
US20120105092A1 (en) Defect inspecting apparatus and defect inspecting method
KR20080098852A (ko) 얼룩 결함 검사 장치와 방법, 및 평판 디스플레이 패널의제조 방법
US7872727B2 (en) Liquid crystal display panel transferring apparatus having a main body with an area corresponding to a LCD panel that fixes and then cuts the panel from a processed substrate by a plural pin impact applying unit for then transferring
WO2017181567A1 (zh) 液晶扩散检测设备和方法以及液晶面板制作设备
KR20150000580A (ko) 엘이디 백라이트 시스템을 이용한 액정 디스플레이 패널의 광학영상검사시스템
KR20070006480A (ko) 실 라인 검사 장치 및 이를 이용한 실 라인 검사 방법
JP3984150B2 (ja) 液晶表示パネルの研磨量判断表示器及びこれを利用した研磨不良検出方法
KR101034923B1 (ko) 오토 프로브 검사장비 및 이를 이용한 검사방법
JP2019158442A (ja) 表示パネル検査システムおよび表示パネル検査方法
KR20140058710A (ko) 표시장치용 비전검사 시스템 및 이의 검사방법
JP2004195647A (ja) 液晶表示パネルの研磨量測定装置及びその方法
JPWO2005085938A1 (ja) 基板の検査方法、アレイ基板の検査方法、及びアレイ基板の検査装置
JP2008304832A (ja) 点欠陥修正装置、液晶装置の製造方法
KR20090006456A (ko) 액정패널 검사장치 및 검사방법
KR101073330B1 (ko) 액정 패널의 오토 프로브 검사 장치 및 검사 방법
KR100960453B1 (ko) 액정패널
JP2006250895A (ja) 表示パネルの製造方法及び表示パネルの検査装置
KR101009043B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
JP2007033976A (ja) 液晶表示装置の製造方法
KR101232158B1 (ko) 액정표시장치의 검사공정
KR101268389B1 (ko) 액정표시장치의 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121228

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131227

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150227

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160226

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180213

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200219

Year of fee payment: 13