KR100671640B1 - 박막 트랜지스터 어레이 기판과 이를 이용한 표시장치와그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 기판과,상기 기판의 주사선과 데이터선의 교차영역에 형성되는 적어도 하나의 박막 트랜지스터를 가지는 다수의 화소를 포함하는 화상 표시부와,상기 각 화소의 영역을 분리하기 위해 상기 각 화소의 박막트랜지스터 상에 형성되는 분리막과,상기 기판에 형성되며 상기 데이터선에 접속되는 제 1 신호선과,상기 제 1 신호선에 전기적으로 접속된 테스트용 패드부와,상기 테스트용 패드부를 덮는 절연막을 포함하여 구성되며,상기 절연막은 상기 분리막과 동일한 물질로 형성됨을 특징으로 하는 표시장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판의 일측에 형성되며 외부로부터 주사 제어신호와, 데이터 신호 및 구동전원이 공급되는 패드부와;상기 기판에 형성되며 상기 주사 제어신호에 따라 상기 주사선을 구동시키기 위한 주사 구동회로와;상기 제 1 신호선에 전기적으로 접속됨과 동시에 상기 패드부에 전기적으로 접속되며 상기 데이터 신호를 상기 데이터선에 공급하는 데이터 구동부가 배치되는 칩 배치부를 더 구비하는 표시장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 칩 배치부는,상기 제 1 신호선의 끝단에 형성되는 제 1 단자와,상기 패드부에 전기적으로 접속되는 제 2 신호선과,상기 제 2 신호선의 끝단에 형성되는 제 2 단자를 구비하는 표시장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 테스트용 패드부는,상기 제 1 단자로부터 연장되는 더미 신호선과,상기 더미 신호선의 끝단에 형성되는 테스트용 패드를 구비하는 표시장치.
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 기판의 일측에 형성되며 외부로부터 주사 제어신호와, 데이터 신호 및 구동전원이 공급되는 패드부와;상기 기판에 형성되며 상기 주사 제어신호에 따라 상기 주사선을 구동시키기 위한 주사 구동회로와;상기 데이터 신호가 공급되는 상기 패드부의 패드들을 상기 데이터선에 접속시키기 위한 신호선을 더 구비하는 표시장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 신호선 상에는 테스트용 패드부에 구비된 태스트용 패드가 더 형성되는 표시장치.
- 기판과,상기 기판의 주사선과 데이터선의 교차영역에 형성되는 적어도 하나의 박막 트랜지스터와,상기 적어도 하나의 박막트랜지스터 상에 각각 형성되는 분리막과,상기 기판에 형성되며 상기 데이터선에 접속되는 제 1 신호선과,상기 제 1 신호선에 전기적으로 접속된 테스트용 패드부와,상기 테스트용 패드부를 덮는 절연막을 포함되어 구성되며,상기 절연막은 상기 분리막과 동일한 물질로 형성됨을 특징으로 하는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제 9 항에 있어서,상기 기판의 일측에 형성되며 외부로부터 주사 제어신호와, 데이터 신호 및 구동전원이 공급되는 패드부와;상기 기판에 형성되며 상기 주사 제어신호에 따라 상기 주사선을 구동시키기 위한 주사 구동회로와;상기 제 1 신호선에 전기적으로 접속됨과 동시에 상기 패드부에 전기적으로 접속되며 상기 데이터 신호를 상기 데이터선에 공급하는 데이터 구동부가 배치되는 칩 배치부를 더 구비하는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제 10 항에 있어서,상기 칩 배치부는,상기 제 1 신호선의 끝단에 형성되는 제 1 단자와,상기 패드부에 전기적으로 접속되는 제 2 신호선과,상기 제 2 신호선의 끝단에 형성되는 제 2 단자를 구비하는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제 11 항에 있어서,상기 테스트용 패드부는,상기 제 1 단자로부터 연장되는 더미 신호선과,상기 더미 신호선의 끝단에 형성되는 테스트용 패드를 구비하는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제 9 항에 있어서,상기 기판의 일측에 형성되며 외부로부터 주사 제어신호와, 데이터 신호 및 구동전원이 공급되는 패드부와;상기 기판에 형성되며 상기 주사 제어신호에 따라 상기 주사선을 구동시키기 위한 주사 구동회로와;상기 데이터 신호가 공급되는 상기 패드부의 패드들을 상기 데이터선에 접속시키기 위한 신호선을 더 구비하는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 제 13 항에 있어서,상기 신호선 상에는 테스트용 패드부에 구비된 태스트용 패드가 더 형성되는 박막 트랜지스터 어레이 기판.
- 기판을 마련하는 제 1 단계와,상기 기판 상에 주사선 및 데이터선과; 상기 주사선과 데이터선의 교차영역에 적어도 하나의 박막 트랜지스터 및 상기 박막트랜지스터 상에 각각 형성되는 분리막를 포함하는 다수의 화소회로를 형성함과 아울러 상기 데이터선에 접속되는 신호선과; 상기 신호선에 전기적으로 접속되는 테스트용 패드를 포함하는 테스트용 패드부를 형성하는 제 2 단계와,상기 테스트용 패드부를 이용하여 상기 박막 트랜지스터의 전기적인 특성을 검사하는 제 3 단계와,상기 테스트용 패드부를 덮도록 절연막을 형성하는 제 4 단계를 포함하며,상기 절연막은 상기 분리막과 동일한 물질로 형성됨을 특징으로 하는 표시장치의 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 박막 트랜지스터를 포함하는 화소회로를 형성하는 단계는,기판 상에 제 1 절연층을 형성하는 단계와,상기 제 1 절연층 상에 반도체층을 형성하는 단계와,상기 반도체층 상에 제 2 절연층을 형성하는 단계와,상기 반도체층 상에 게이트 전극을 형성함과 동시에 상기 주사선을 형성하는 단계와,상기 반도체층의 소스 영역과 드레인 영역에 이온을 도핑하는 단계와,상기 게이트 전극 상에 제 3 절연층을 형성하는 단계와,상기 제 3 절연층을 관통하는 컨택 홀을 통해 상기 반도체층의 소스 영역 및 드레인 영역에 접속되도록 소스/드레인 전극을 형성함과 동시에 상기 데이터선을 형성하는 단계와,상기 소스/드레인 전극이 형성된 상기 기판 상에 제 4 절연층을 형성하는 단계와,상기 제 4 절연층을 관통하는 컨택 홀을 통해 상기 소스/드레인 전극에 전기적으로 접속되는 제 1 전극을 형성하는 단계와;상기 제 1 전극의 일부를 제외한 영역을 덮는 제 5 절연층을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 테스트용 패드부는,상기 신호선에 전기적으로 접속되는 더미 신호선과,상기 더미 신호선의 끝단에 형성되는 테스트용 패드를 포함하는 표시장치의 제조방법.
- 삭제
- 삭제
- 제 16 항에 있어서,상기 제 1 전극 상에 발광소자를 형성하는 제 5 단계와,상기 표시소자 상에 제 2 전극을 형성하는 제 6 단계를 더 포함하는 표시장치의 제조방법.
- 제 15 항에 있어서,상기 테스트용 패드는 상기 신호선 상에 형성되는 표시장치의 제조방법.
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