KR101802845B1 - 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101802845B1
KR101802845B1 KR1020110016049A KR20110016049A KR101802845B1 KR 101802845 B1 KR101802845 B1 KR 101802845B1 KR 1020110016049 A KR1020110016049 A KR 1020110016049A KR 20110016049 A KR20110016049 A KR 20110016049A KR 101802845 B1 KR101802845 B1 KR 101802845B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
data
dummy
electrode
pad
gate
Prior art date
Application number
KR1020110016049A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120096760A (ko
Inventor
모상문
이미선
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020110016049A priority Critical patent/KR101802845B1/ko
Priority to US13/168,498 priority patent/US9263434B2/en
Publication of KR20120096760A publication Critical patent/KR20120096760A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101802845B1 publication Critical patent/KR101802845B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345—Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • G02F1/13452—Conductors connecting driver circuitry and terminals of panels
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362—Active matrix addressed cells
    • G02F1/136286—Wiring, e.g. gate line, drain line
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
    • H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
    • H01L27/0251—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices
    • H01L27/0288—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices using passive elements as protective elements, e.g. resistors, capacitors, inductors, spark-gaps
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
    • G09G2300/04—Structural and physical details of display devices
    • G09G2300/0404—Matrix technologies
    • G09G2300/0413—Details of dummy pixels or dummy lines in flat panels
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • H01L27/124—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
    • H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
    • H01L27/1251—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs comprising TFTs having a different architecture, e.g. top- and bottom gate TFTs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

어레이 기판은 베이스 기판, 더미 패드 및 구동 신호 출력 배선을 포함한다. 상기 베이스 기판은 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분된다. 상기 더미 패드는 상기 베이스 기판 상의 주변 영역에서 제1 방향으로 연장되고, 끝단에서 상기 제1 방향으로 돌출된 제1 돌출부를 갖는다. 상기 구동 신호 출력 배선은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 더미 패드에 인접하고 외부 신호를 제공한다. 따라서, 상기 구동 신호 출력 배선으로 유입된 정전기가 상기 제1 돌출부를 갖는 더미 패드로 용이하게 유입되어 표시 영역으로 유입되는 것을 방지할 수 있다.

Description

어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법{ARRAY SUBSTRAETE, DISPLAY DEVICE HAVING THE SAME AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 특히, 칩-온-글래스(COG) 형태의 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 표시 장치는 어레이 기판 및 상기 어레이 기판에 대향하는 대향 기판을 포함하는 표시 패널을 포함한다. 상기 표시 패널은 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분된다. 상기 표시 영역에는 스위칭 소자 및 화소 전극이 형성되고, 상기 주변 영역에는 상기 스위칭 소자 및 상기 화소 전극을 구동하는 데이터 및 게이트 드라이버들 및 상기 스위칭 소자와 상기 데이터 및 게이트 드라이버들 사이에 형성된 정전기 방지용 다이오드 또는 트랜지스터가 형성된다.
상기 데이터 및 게이트 드라이버들은 상기 어레이 기판 상의 주변 영역에 칩-온-필름(COF) 또는 칩-온-글라스(COG)의 형태로 실장된다. 상기 데이터 및 게이터 드라이버들이 상기 어레이 기판 상의 주변 영역에 칩-온-글래스(COG)의 형태로 실장될 경우, 칩(chip)뿐만 아니라, 드라이버 구동 배선이 상기 어레이 기판 상에 직접 실장된다. 상기 드라이버 구동 배선은 전원 배선, 데이터 구동 배선, 데이터 구동 배선 등을 포함할 수 있다.
특히, 전원 배선이 상기 어레이 기판 상에 형성되면, 전압 강하가 테이프 상에 형성될 때보다 크기 때문에, 상기 전원 배선의 폭을 넓게 형성하여 전압 강하를 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 전원 배선을 상기 칩의 입력 범프 및 출력 범프 사이에 형성하여 상기 표시 패널의 공간을 효율적으로 이용할 수 있다.
하지만, 상기 전원 배선이 상기 칩의 입력 범프 및 출력 범프 사이의 영역에 넓은 폭을 갖고 배치되므로, 공정 중에 상기 전원 배선을 통해 정전기 유입이 용이해진다. 유입된 정전기는 상기 어레이 기판 상에 형성된 데이터 패드 또는 게이트 패드를 통해 데이터 라인 또는 게이트 라인으로 제공되어 상기 주변 영역의 정전 다이오드를 파괴할 수 있다. 상기 정전 다이오드의 파괴는 상기 표시 영역의 라인 결함을 유발하게 된다.
이에, 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로 본 발명의 목적은 구동 신호 출력 배선을 통한 정전기의 유입을 방지하는 어레이 기판을 제공한다.
본 발명의 다른 목적은 상기 어레이 기판을 포함하는 표시 장치를 제공한다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 어레이 기판의 제조 방법을 제공한다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 어레이 기판은 베이스 기판, 더미 패드 및 구동 신호 출력 배선을 포함한다. 상기 베이스 기판은 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분된다. 상기 더미 패드는 상기 베이스 기판 상의 주변 영역에서 제1 방향으로 연장되고, 끝단에서 상기 제1 방향으로 돌출된 제1 돌출부를 갖는다. 상기 구동 신호 출력 배선은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 더미 패드에 인접하고 외부 신호를 제공한다.
일 실시예에 있어서, 상기 어레이 기판은 신호 패드 및 정전기 커패시터를 더 포함할 수 있다. 상기 신호 패드는 상기 더미 패드와 평행하게 형성될 수 있다. 상기 정전기 커패시터는 신호 패드 및 상기 더미 패드와 상기 신호 패드 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드에 전기적으로 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 어레이 기판은 신호 패드, 정전기 방지부 및 정전기 유도 다이오드를 더 포함할 수 있다. 상기 신호 패드는 상기 더미 패드와 평행하게 형성될 수 있다. 상기 정전기 방지부는 상기 더미 패드와 상기 신호 패드 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 신호 패드에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 정전기 유도 다이오드는 상기 구동 신호 출력 배선 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드 및 상기 정전기 방지부에 전기적으로 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부는 쐐기 형상일 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 다른 실시예에 따른 표시 장치는 어레이 기판 및 구동 드라이버를 포함한다. 상기 어레이 기판은 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분되는 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상의 주변 영역에서 제1 방향으로 연장되고, 끝단에서 상기 제1 방향으로 돌출된 제1 돌출부를 갖는 더미 패드 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 더미 패드에 인접하게 연장되어 외부 신호를 제공하는 구동 신호 출력 배선을 포함한다. 상기 구동 드라이버는 상기 더미 패드 상에 배치되어 상기 더미 패드와 연결된다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치는 신호 패드 및 정전기 커패시터를 더 포함할 수 있다. 상기 신호 패드는 상기 구동 드라이버에 전기적으로 연결되고, 상기 더미 패드와 평행할 수 있다. 상기 정전기 커패시터는 상기 구동 드라이버 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 더미 패드는 상기 신호 패드들 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치는 신호 패드 및 정전기 커패시터를 더 포함할 수 있다. 상기 신호 패드는 상기 구동 드라이버에 전기적으로 연결되고, 상기 더미 패드와 평행할 수 있다. 상기 정전기 커패시터는 인접하는 구동 드라이버들 간의 상기 구동 신호 출력 배선 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 더미 패드는 상기 신호 패드 가장자리에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 표시 장치는 신호 패드, 정전기 방지부 및 정전기 유도 다이오드를 더 포함할 수 있다. 상기 신호 패드는 상기 구동 드라이버에 전기적으로 연결되고, 상기 더미 패드와 평행할 수 있다. 상기 정전기 방지부는 인접하는 구동 드라이버들 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 신호 패드에 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 정전기 유도 다이오드는 상기 구동 신호 출력 배선 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드 및 상기 정전기 방지부에 전기적으로 연결될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1 돌출부는 쐐기 형상일 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 또 다른 실시예에 따른 어레이 기판의 제조 방법에서, 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분되는 베이스 기판 상의 주변 영역에서 제1 방향으로 연장되고, 끝단에서 상기 제1 방향으로 돌출된 제1 돌출부를 갖는 제1 더미 전극을 포함하는 더미 패드 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되고 상기 더미 패드에 인접하여 외부 신호를 제공하는 제1 출력 배선을 포함하는 구동 신호 출력 배선이 형성된다.
이와 같은 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법에 따르면, 신호 패드들에 인접하게 배치되는 더미 패드들 중 적어도 하나가 상기 신호 패드 및 상기 더미 패드에 인접하게 배치된 구동 신호 출력 배선을 향해 돌출된 제1 돌출부를 가짐으로써, 상기 구동 신호 출력 배선으로 유입된 정전기를 더미 패드에 전기적으로 연결된 정전기 커패시터로 유도함으로써, 표시 영역의 스위칭 소자의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 상기 구동 신호 출력 배선이 상기 더미 패드의 제1 돌출부와 마주하는 제2 돌출부를 가짐으로써, 상기 구동 신호 출력 배선으로 유입된 정전기를 더미 패드에 전기적으로 연결된 정전기 커패시터로 유도함으로써, 표시 영역의 스위칭 소자의 파손을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.
도 2a는 도 1의 A영역의 확대 평면도이고, 도 2b는 도 1의 B영역의 확대 평면도이다.
도 3a 내지 도 3i는 도 2a 또는 도 2b의 데이터 더미 패드 및 게이트 더미 패드의 예시도들이다.
도 4a는 도 2a의 I-I' 및 II-II'를 따라 절단한 단면도이고, 도 4b는 도 2b의 III-III'을 따라 절단한 단면도이다.
도 5a 내지 도 7b는 도 1의 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 9a 내지 도 9c는 도 8의 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 11a 내지 도 11c는 도 10의 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.
도 14는 도 13의 B영역의 확대 평면도이다.
도 15는 도 14의 IV-IV', V-V' 및 VI-VI'를 따라 절단한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다. 도 2a는 도 1의 A영역의 확대 평면도이고, 도 2b는 도 1의 B영역의 확대 평면도이다. 도 3a 내지 도 3i는 도 2a 또는 도 2b의 데이터 더미 패드 및 게이트 더미 패드의 예시도들이다. 도 4a는 도 2a의 I-I' 및 II-II'를 따라 절단한 단면도이고, 도 4b는 도 2b의 III-III'을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 내지 도 4b를 참조하면, 표시 장치(1000)는 표시 패널(DP)을 포함한다. 상기 표시 패널(DP)은 어레이 기판(100), 상기 어레이 기판(100)에 대향하는 대향 기판(200) 및 상기 어레이 기판(100) 및 상기 대향 기판(200) 사이에 개재되는 액정층(미도시)을 포함한다. 상기 표시 패널(DP)은 영상을 표시하는 표시 영역(DA) 및 상기 표시 영역(DA)을 둘러싸는 주변 영역(PA)으로 구분된다.
상기 어레이 기판(100)은 베이스 기판(110), 게이트 절연층(120), 보호층(130), 상기 표시 영역(DA)에 형성된 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 스위칭 소자(SW) 및 화소 전극(PE) 및 상기 주변 영역(PA)에 형성된 팬아웃부(FO), 정전기 방지부(300), 구동 드라이버들(400), 신호 패드부, 더미 패드부(500), 제1 정전기 커패시터(600a), 제2 정전기 커패시터(600b), 제1 구동 신호 출력 배선(701) 및 제2 구동 신호 출력 배선(702)을 포함한다. 상기 어레이 기판(100)은 투명 전극(TE)을 더 포함할 수 있다.
상기 데이터 라인(DL)은 상기 제1 방향(D1)으로 연장되고, 상기 게이트 라인(GL)은 상기 베이스 기판(110) 상에서 제1 방향(D1)과 교차하는 제2 방향(D2)으로 연장된다. 상기 게이트 라인(GL) 및 상기 데이터 라인(DL)은 서로 다른 층에 형성되어 서로 전기적으로 절연된다. 상기 게이트 라인(GL) 및 상기 데이터 라인(DL)은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo) 또는 이들의 합금 등을 포함할 수 있다. 상기 게이트 라인(GL) 및 상기 데이터 라인은 동일한 물질을 포함할 수 있다. 이와 다르게, 상기 게이트 라인(GL) 및 상기 데이터 라인은 서로 다른 물질을 포함할 수 있다. 상기 스위칭 소자(SW)는 상기 게이트 라인(GL) 및 상기 데이터 라인(DL)에 전기적으로 연결된다. 상기 스위칭 소자(SW)는 상기 게이트 라인(GL)으로부터 분기된 게이트 전극(GE), 상기 데이터 라인(DL)으로부터 분기된 소스 전극(SE), 상기 소스 전극(SE)과 이격된 드레인 전극(DE), 반도체층(SL) 및 오믹 컨택층(OCL)을 포함한다. 상기 화소 전극(PE)은 상기 드레인 전극(DE)에 전기적으로 연결된다.
상기 팬아웃부(FO)는 상기 데이터 라인(DL)으로부터 연장되어 상기 구동 드라이버들(400)의 데이터 드라이버(410)에 전기적으로 연결된 데이터 팬아웃부(DFO) 및 상기 게이트 라인(GL)으로부터 연장되어 상기 구동 드라이버(400)의 게이트 드라이버(420)에 연결된 게이트 팬아웃부(GFO)를 포함한다. 상기 데이터 및 게이트 팬아웃부(DFO, GFO) 각각은 복수의 데이터 팬아웃 라인들(DFOL) 및 복수의 게이트 팬아웃 라인들(GFOL)을 포함한다.
상기 정전기 방지부(300)는 상기 팬아웃부(FO)에 전기적으로 연결된다. 상기 정전기 방지부(300)는, 도시되진 않았지만, 서로 전기적으로 연결된 정전기 방지 다이오드, 정전기 방지 트랜지스터 및 정전기 방지 커패시터를 포함할 수 있다. 상기 정전기 방지부(300)는 상기 팬아웃부(F0)를 통해 유입되는 정전기를 분산하고 축적하여 상기 정전기가 상기 표시 영역(DA)으로 유입되는 것을 방지한다.
상기 구동 드라이버들(400)은 상기 데이터 팬아웃부(DFO)에 전기적으로 연결된 데이터 드라이버(410) 및 상기 게이트 팬아웃부(GFO)에 전기적으로 연결된 게이트 드라이버(420)를 포함한다. 상기 데이터 및 게이트 드라이버들(410, 420)은 구동 칩들(chips)로 이루어진다. 상기 데이터 및 게이트 드라이버들(410, 420)은 상기 베이스 기판(110) 상에 칩-온-글래스(COG) 또는 어드밴스드 칩-온-글래스(ACOG) 형태로 직접 실장된다. 이와 다르게, 상기 데이터 및 게이트 드라이버들(400, 500) 중 하나는 칩-온-필름(COF)의 형태로 실장될 수도 있다.
상기 신호 패드부는 데이터 신호 패드들(DSP) 및 게이트 신호 패드들(GSP)을 포함한다. 상기 데이터 신호 패드들(DSP)는 상기 데이터 팬아웃부(DFO)의 끝단으로부터 상기 제2 방향(D2)으로 연장되고, 상기 데이터 드라이버(410)의 출력 범프에 전기적으로 연결되어, 상기 데이터 드라이버(410)를 통해 제공되는 데이터 신호를 상기 표시 영역(DA)으로 제공한다. 상기 게이트 신호 패드들(GSP)은 상기 게이트 팬아웃부(GFO)의 끝단으로부터 상기 제1 방향(D1)으로 연장되고, 상기 게이트 드라이버(420)의 출력 범프에 전기적으로 연결되어, 상기 게이트 드라이버들(420)을 통해 제공되는 게이트 신호를 상기 표시 영역(DA)으로 제공한다. 상기 신호 패드부는 상기 데이터 및 게이트 드라이버들(410, 420)을 구동하는 구동 신호를 상기 데이터 및 게이트 드라이버들(410, 420)에 입력하는 구동 신호 패드들을 더 포함할 수 있다.
상기 데이터 신호 패드들(DSP)은 공간을 효율적으로 이용하기 위해 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 상대적으로 인접하게 배치된 제1 열의 제1 데이터 신호 패드들(DSP1)과 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 상대적으로 멀게 배치된 제2 열의 제2 데이터 신호 패드들(DSP2)을 포함할 수 있다. 상기 제1 데이터 신호 패드들(DSP1)과 상기 제2 데이터 신호 패드들(DSP2)은 지그재그(zigzag) 형태로 배치된다. 즉, 상기 제1 데이터 신호 패드들(DSP1) 각각은 인접하는 제2 데이터 신호 패드들(DSP2) 간에 배치된다. 이와 다르게, 상기 데이터 신호 패드들(DSP)은 단일 열로 배치되거나, 3개 이상의 열들로 배치될 수 있다. 또한, 상기 데이터 신호 패드들(DSP)는 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 물질을 포함한다.
상기 게이트 신호 패드들(GSP)은 공간을 효율적으로 이용하기 위해 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 상대적으로 인접하게 배치된 제1 열의 제1 게이트 신호 패드들(GSP1)과 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 상대적으로 멀게 배치된 제2 열의 제2 게이트 신호 패드들(GSP2)을 포함할 수 있다. 상기 제1 게이트 신호 패드들(GSP1)과 상기 제2 게이트 신호 패드들(GSP2)은 지그재그(zigzag) 형태로 배치된다. 즉, 상기 제1 게이트 신호 패드들(GSP1) 각각은 인접하는 제2 게이트 신호 패드들(GSP2) 간에 배치된다. 이와 다르게, 상기 게이트 신호 패드들(GSP)은 단일 열로 배치되거나, 3개 이상의 열들로 배치될 수 있다. 또한, 상기 게이트 신호 패드들(GSP)는 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 물질을 포함한다.
상기 더미 패드부(500)는 상기 데이터 신호 패드들(DSP)에 평행하게 형성된 데이터 더미 패드들을 포함하는 데이터 더미 패드부(DDM) 및 상기 게이트 신호 패드들(GSP)에 평행하게 형성된 게이트 더미 패드들을 포함하는 게이트 더미 패드부(GDM)을 포함할 수 있다. 상기 데이터 더미 패드부(DDM)는 하나의 데이터 드라이버(410)에 전기적으로 연결된 데이터 신호 패드들(DSP) 사이에 형성되어 상기 데이터 신호 패드들(DSP)을 상기 데이터 드라이버(410)에 균일하게 접촉함으로써, 상기 표시 패널(DP)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 게이트 더미 패드부(GDM)는 하나의 게이트 드라이버(410)에 전기적으로 연결된 게이트 신호 패드들(GSP) 사이에 형성되어, 상기 게이트 신호 패드들(GSP)을 상기 게이트 드라이버(420)에 균일하게 접촉함으로써, 상기 표시 패널(DP)의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
따라서, 상기 데이터 더미 패드부(DDM)는 상기 제1 및 제2 데이터 신호 패드들(DSP1, DSP2)과 동일하게 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 상대적으로 인접하게 배치된 상기 제1 열의 제1 데이터 더미 패드들(510) 및 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 상대적으로 멀게 배치된 상기 제2 열의 제2 데이터 더미 패드들(520)을 포함할 수 있다. 상기 제1 데이터 더미 패드들(510)과 상기 제2 데이터 더미 패드들(520)은 지그재그 형태로 배치될 수 있다. 상기 제1 데이터 더미 패드들(510) 각각은 인접하는 제2 데이터 더미 패드들(520) 간에 배치된다. 이와 다르게, 상기 데이터 더미 패드들은 단일 열로 배치되거나, 3개 이상의 열들로 배치될 수 있다.
또한, 상기 게이트 더미 패드부(GDM)는 상기 제1 및 제2 게이트 신호 패드들(GSP1, GSP2)과 동일하게 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 상대적으로 인접하게 배치된 상기 제1 열의 제1 게이트 더미 패드들(530) 및 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 상대적으로 멀게 배치된 상기 제2 열의 제2 게이트 더미 패드들(540)을 포함할 수 있다. 상기 제1 게이트 더미 패드들(530)과 상기 제2 게이트 더미 패드들(540)은 지그재그 형태로 배치될 수 있다. 상기 제1 게이트 더미 패드들(530) 각각은 인접하는 제2 게이트 더미 패드들(540) 간에 배치된다. 이와 다르게, 상기 게이트 더미 패드들은 단일 열로 배치되거나, 3개 이상의 열들로 배치될 수 있다.
상기 더미 패드부(500)는 상기 데이터 신호 패드들(DSP) 및 상기 게이트 신호 패드들(GSP)와 같이 상기 데이터 팬아웃부(DFO) 및 상기 게이터 팬아웃부(GFO)에 전기적으로 연결되어 상기 표시 영역(DA)에 데이터 신호 및 게이트 신호를 제공할 필요가 없으므로, 상기 데이터 팬아웃부(DFO) 및 상기 게이트 팬아웃부(GFO)에 전기적으로 절연되는 것이 바람직하다.
상기 제1 데이터 더미 패드들(510) 중 적어도 하나는 상기 구동 신호 출력 배선(700)과 마주보는 제1 단이 상기 구동 신호 출력 배선(700)을 향해 돌출된 제1 데이터 돌출부(511)를 갖는다. 상기 제1 데이터 돌출부(511)는 적어도 하나의 제1 데이터 돌기들을 포함한다. 예를 들어, 상기 제1 데이터 돌기는 도 3a 내지 3c에 도시된 바와 같이, 삼각 형상 또는 쐐기(wedge) 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 데이터 돌기는 도 3d 및 3f에 도시된 바와 같이 라운드(round) 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 제1 데이터 돌기는 도 3g 내지 3i에 도시된 바와 같이 사각 또는 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 상기 제1 데이터 돌기들은 도 3a 및 3d에 도시된 바와 같이 서로 연속할 수 있다. 반면, 상기 제1 데이터 돌기들은 도 3b, 3e, 3g 및 3h에 도시된 바와 같이 서로 이격될 수 있다. 반면, 상기 제1 데이터 돌기는 도 3c, 3f 및 3i로부터 상기 구동 신호 출력 배선(700)으로 연장되어 상기 데이터 신호 패드(DSP)보다 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 인접하게 배치될 수 있다.
상기 제1 데이터 돌출부(511)는 상기 제1 데이터 더미 패드들(510)을 상기 데이터 신호 패드(DSP)보다 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 인접하게 배치되도록 한다. 상기 제1 데이터 돌출부(511)는 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 발생된 정전기가 유입되도록 유도한다. 상기 제1 단에 반대되는 상기 제1 데이터 돌출부(511)를 갖는 제1 데이터 더미 패드들(510)의 제2 단은 상기 정전기 커패시터(600)의 제1 전극(610)에 전기적으로 연결된다. 상기 데이터 더미 패드들(510)은 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 물질을 포함한다.
상기 제1 게이트 더미 패드들(530) 중 적어도 하나는 상기 구동 신호 출력 배선(700)과 마주보는 제1 단이 상기 구동 신호 출력 배선(700)을 향해 돌출된 제1 게이트 돌출부(531)를 갖는다. 상기 제1 게이트 돌출부(531)는 적어도 하나의 제1 게이트 돌기들을 포함한다. 예를 들어, 상기 제1 게이트 돌기는 도 3a 내지 3i에 도시된 바와 같이, 상기 제1 데이터 돌기와 동일한 형상을 가질 수 있다.
이에 따라, 상기 제1 게이트 돌출부(531)는 상기 제1 게이트 더미 패드들(530)을 상기 게이트 신호 패드(GSP)보다 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 인접하게 배치되도록 한다. 상기 제1 게이트 돌출부(531)는 상기 구동 신호 출력 배선(700)에 발생된 정전기가 유입되도록 유도한다. 상기 제1 단에 반대되는 상기 제1 R게이트 돌출부(531)를 갖는 제1 게이트 더미 패드들(530)의 제2 단은 상기 정전기 커패시터(600)의 제1 전극(610)에 전기적으로 연결된다. 상기 게이트 더미 패드들(530)은 상기 게이트 라인(DL)과 동일한 물질을 포함한다.
상기 제1 및 제2 정전기 커패시터(600a, 600b)는 상기 더미 패드부(500) 및 상기 표시 영역(DA) 사이의 주변 영역(PA)에 배치된다. 상기 제1 정전기 커패시터(600a)는 상기 제1 데이터 더미 패드들(510)과 전기적으로 연결되고, 상기 제2 정전기 커패시터(600b)는 상기 제1 게이터 더미 패드들(530)과 전기적으로 연결된다. 상기 제1 정전기 커패시터(600a)는 상기 제1 데이터 돌출부(511)를 갖는 제1 데이터 더미 패드들(510)의 제2 단에 전기적으로 연결된 제1 전극(610a) 및 상기 제1 전극(610a)의 하부에 형성된 제2 전극(620a)을 포함한다. 상기 제1 전극(610a)은 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 물질을 포함한다. 반면, 상기 제2 전극(620a)은 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 물질을 포함한다. 상기 제1 정전기 커패시터(600a)는 상기 제1 데이터 돌출부(511)를 통해 유입된 정전기를 축적한다.
상기 제2 정전기 커패시터(600b)는 상기 제1 게이트 돌출부(531)를 갖는 제1 게이트 더미 패드들(530)의 제2 단에 전기적으로 연결된 제3 전극(610b) 및 상기 제3 전극(610b)의 하부에 형성된 제4 전극(620b)을 포함한다. 상기 제3 전극(610b)은 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 물질을 포함한다. 반면, 상기 제4 전극(620b)은 상기 게이트 라인(DL)과 동일한 물질을 포함한다. 상기 제2 정전기 커패시터(600b)는 상기 제1 게이트 돌출부(531)를 통해 유입된 정전기를 축적한다.
상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)은 상기 데이터 드라이버(410)에 전기적으로 연결되어 연성회로기판(미도시)을 통해 제공되는 외부 신호를 상기 데이터 드라이버들(410)에 제공한다. 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)은 상기 게이트 드라이버(420)에 전기적으로 연결되어 연성회로기판(미도시)을 통해 제공되는 외부 신호를 상기 게이트 드라이버들(420)에 제공한다. 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702) 각각은 전원 배선, 데이터 구동 신호 출력 배선, 게이트 구동 신호 출력 배선 중 하나일 수 있다. 도 1 내지 도 3에 도시된 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)은 전원 배선인 것을 예로서 설명한다.
상기 데이터 및 게이트 드라이버들(410, 420)이 상기 베이스 기판(110) 상에 직접 실장되므로, 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)도 상기 베이스 기판(110) 상에 직접 실장된다. 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)은 공간을 효율적으로 이용하기 위해 상기 데이터 및 게이트 신호 패드들(DSP, GSP)에 인접하게 배치되어, 복수의 데이터 및 게이트 드라이버들(410, 420)에 캐스케이드(cascade) 방식으로 전원 전압을 제공한다. 이와 다르게, 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)은 상기 복수의 데이터 및 게이트 드라이버들(410, 420)에 각각 전원 전압을 제공할 수도 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)은 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo) 또는 이들의 합금 등을 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)이 상기 베이스 기판(110) 상에 직접 실장되면 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)이 테이프에 실장될 때보다 저항이 커져 전압 강하가 발생한다. 상기 전압 강하는 상기 표시 패널(DP)이 화상을 균일하게 표시하는 것을 방해하므로, 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)의 폭을 넓게 형성하여 상기 전압 강하를 방지할 수 있다.
상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)은 상기 제1 데이터 돌출부(511)를 향해 돌출된 제2 데이터 돌출부(711)를 갖고, 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)은 상기 제1 게이트 돌출부(531)를 향해 돌출된 제2 게이트 돌출부(731)를 갖는다. 상기 제2 데이터 돌출부(711)는 상기 제1 데이터 돌출부(511)와 마주보고, 상기 제2 게이터 돌출부(731)는 상기 제1 게이트 돌출부(531)과 마주본다. 따라서, 상기 제2 데이터 돌출부(711)는 상기 구동 신호 출력 배선(700)의 폭이 넓게 형성됨으로써, 상기 표시 패널(DP)의 공정 중에 상기 구동 신호 출력 배선(700)을 통해 유입된 정전기를 상기 데이터 신호 패드들(DSP)이 아닌 상기 제1 데이터 돌출부(511)를 갖는 제1 데이터 더미 패드(510)로 유도한다. 또한, 상기 제2 게이트 돌출부(731)는 상기 구동 신호 출력 배선(700)의 폭이 넓게 형성됨으로써, 상기 표시 패널(DP)의 공정 중에 상기 구동 신호 출력 배선(700)을 통해 유입된 정전기를 상기 게이트 신호 패드들(GSP)이 아닌 상기 제1 게이트 돌출부(531)를 갖는 제1 게이트 더미 패드(530)로 유도한다.
이와 다르게, 상기 제2 데이터 돌출부(711) 및 상기 제2 게이트 돌출부(731)는 생략될 수도 있다. 이와 같이 상기 제2 데이터 돌출부(711) 및 상기 제2 게이트 돌출부(731)가 생략되더라도, 상기 제1 데이터 돌출부(511) 및 상기 제1 게이트 돌출부(531)에 의해 상기 구동 신호 출력 배선(700)을 통해 유입된 정전기는 상기 제1 데이터 더미 패드(510) 및 상기 제1 게이트 더미 패드(530)로 유도될 수 있다.
상기 투명 전극(TE)은 상기 데이터 신호 패드들(DSP), 상기 게이트 신호 패드들(GSP), 상기 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510, 520) 및 상기 제1 및 제2 게이트 더미 패드들(530, 540) 상에 배치되어, 상기 데이터 신호 패드들(DSP), 상기 게이트 신호 패드들(GSP), 상기 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510, 520) 및 상기 제1 및 제2 게이트 더미 패드들(530, 540)에 전기적으로 연결된다. 상기 투명 전극(TE)은 상기 데이터 및 게이트 드라이버들(410, 420)의 출력 범프와 상기 데이터 신호 패드들(DSP), 상기 게이트 신호 패드들(GSP), 상기 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510, 520) 및 상기 제1 및 제2 게이트 더미 패드들(530, 540) 간의 접촉 면적을 증가시킨다. 상기 투명 전극(TE)는 상기 화소 전극(PE)과 동일한 산화 인듐 주석(ITO)를 포함할 수 있다.
도 5a 내지 도 7b는 도 1의 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 상기 베이스 기판(110) 상에 게이트 금속층을 증착하고, 상기 게이트 금속층을 패터닝하여 게이트 패턴을 형성한다. 상기 게이트 패턴은 게이트 전극(GE), 게이트 라인(GL), 제1 정전기 커패시터(600a)의 제2 전극(620a), 게이트 정전기 커패시터(600b)의 제4 전극(620b), 상기 제4 전극(620b)에 전기적으로 연결된 제1 게이트 더미 패드(530), 상기 제1 게이트 더미 패드(530)에 인접하게 형성된 게이트 신호 패드(GSP), 상기 게이트 신호 패드들(GSP)에 인접하게 형성된 제2 구동 신호 출력 배선(702) 등을 포함할 수 있다. 상기 게이트 패턴이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에 게이트 절연층(120)을 증착한다.
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 상기 게이트 절연층(120) 상에 반도체층(SL) 및 오믹 컨택층(OCL)을 증착하여 패터닝한다. 상기 반도체층(SL) 및 상기 오믹 컨택층(OCL)이 형성된 상기 게이트 절연층(120) 상에 데이터 금속층을 증착하고, 상기 데이터 금속층을 패터닝하여 데이터 패턴을 형성한다. 상기 데이터 패턴은 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 데이터 라인(DL), 제1 정전기 커패시터(600a)의 제1 전극(610a), 제2 정전기 커패시터(600b)의 제3 전극(630b), 상기 제1 전극(610)에 전기적으로 연결된 제1 데이터 더미 패드(510), 상기 데이터 더미 패드부에 인접하게 형성된 데이터 신호 패드들(DSP), 상기 제1 데이터 더미 패드(510) 및 상기 데이터 신호 패드들(DSP)에 인접하게 형성된 제1 구동 신호 출력 배선(701) 등을 포함할 수 있다.
상기 데이터 더미 패드부는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)에 상대적으로 인접하게 형성된 제1 데이터 더미 패드(510) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)에 상대적으로 멀게 형성된 제2 데이터 더미 패드(520)를 포함한다. 상기 데이터 더미 패드들(DDM)의 제1 데이터 더미 패드(510)는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)과 동일한 층에 형성되어 상기 제1 데이터 더미 패드(510)의 제1 단이 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)에 마주보도록 형성된다. 상기 제1 데이터 더미 패드(510)의 제1 단에 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)을 향해 돌출한 제1 데이터 돌출부(511)를 형성하고, 상기 제1 데이터 돌출부(511)와 마주하는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)에는 제2 데이터 돌출부(711)를 형성한다.
상기 게이트 더미 패드들(GDM)은 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)에 상대적으로 인접하게 형성된 제1 게이트 더미 패드(530) 및 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)에 상대적으로 멀게 형성된 제2 게이트 더미 패드(540)를 포함한다. 상기 게이트 더미 패드들(GDM)의 제1 게이트 더미 패드(530)는 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)과 동일한 층에 형성되어 상기 제1 게이트 더미 패드(530)의 제1 단이 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)에 마주보도록 형성된다. 상기 제2 게이트 더미 패드(530)의 제1 단에 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)을 향해 돌출한 제1 게이트 돌출부(531)를 형성하고, 상기 제1 게이트 돌출부(531)와 마주하는 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)에는 제2 게이트 돌출부(731)를 형성한다.
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 상기 데이터 패턴이 형성된 상기 게이트 절연층(120) 상에 보호막(130)을 증착한다. 상기 보호막(130)은 단일층일 수 있다. 이와 다르게, 상기 보호막(130)은 복수의 층일 수 있다. 상기 보호층(130)이 형성된 베이스 기판(110) 상에 투과부와 차단부를 갖는 마스크를 배치하고, 광을 조사하여 상기 보호층(130)을 패터닝한다. 상기 보호층(130)이 포지티브형(positive type)인 경우, 상기 투과부는 상기 드레인 전극들(DE), 데이터 신호 패드들(DSP), 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510, 520), 게이트 신호 패드들(GSP) 및 제1 및 제2 게이트 더미 패드들(530, 540)에 대응된다. 이와 다르게, 상기 보호층(130)이 네거티브형(negative type)인 경우, 상기 차단부는 상기 드레인 전극들(DE), 데이터 신호 패드들(DSP), 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510, 520), 게이트 신호 패드들(GSP) 및 제1 및 제2 게이트 더미 패드들(530, 540)에 대응된다. 상기 보호층(130)을 패터닝하여, 상기 드레인 전극들(DE), 데이터 신호 패드들(DSP), 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510, 520), 게이트 신호 패드들(DSP) 및 제1 및 제2 게이트 더미 패드들(530, 540)을 노출시킨다.
다시 도 4를 참조하면, 상기 드레인 전극들(DE), 데이터 신호 패드들(DSP), 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510, 520), 게이트 신호 패드들(DSP) 및 제1 및 제2 게이트 더미 패드들(530, 540)을 노출하는 상기 보호층(130) 상에 산화 인듐 주석(ITO)과 같은 투명 도전성 물질을 증착한다. 증착된 투명 도전성 물질층을 패터닝하여 상기 드레인 전극(DE)에 전기적으로 연결된 화소 전극(PE) 및 상기 데이터 신호 패드(DSP), 상기 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510, 520), 게이트 신호 패드들(DSP) 및 제1 및 제2 게이트 더미 패드들(530, 540)에 전기적으로 연결된 투명 전극(TE)을 형성하여, 표시 패널(DP)의 어레이 기판(100)을 형성한다.
도 1 내지 도 7b에 도시된 실시예에 따른 표시 장치 및 상기 표시 장치의 어레이 기판의 제조방법에 따르면, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)에 인접하게 형성된 제1 데이터 더미 패드(510)가 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)을 향해 돌출된 제1 데이터 돌출부(511)를 갖고, 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)에 인접하게 형성된 제1 게이트 더미 패드(530)가 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)을 향해 돌출된 제2 게이트 돌출부(731)를 가짐으로써, 상기 제1 및 제2 구동 신호 출력 배선(701, 702)을 통해 유입된 정전기가 상기 제1 데이터 더미 패드(510) 및 상기 제2 게이트 더미 패드(530)로 유입되도록 유도할 수 있다. 따라서, 상기 데이터 및 게이트 신호 패드들(DSP, GSP)에 전기적으로 연결된 상기 표시 영역(DA)의 스위칭 소자(SW)를 파손을 방지할 수 있다.
또한, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701)이 상기 제1 데이터 돌출부(511)에 마주하는 제2 데이터 돌출부(711)를 가짐으로써, 상기 정전기가 상기 제1 데이터 돌출부(511)를 갖는 제1 데이터 더미 패드(510)로 용이하게 유입될 수 있다.
또한, 상기 제2 구동 신호 출력 배선(702)이 상기 제1 게이트 돌출부(531)에 마주하는 제2 게이트 돌출부(731)를 가짐으로써, 상기 정전기가 상기 제1 게이트 돌출부(531)를 갖는 제1 게이트 더미 패드(530)로 용이하게 유입될 수 있다. 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 8에 도시된 실시예 따른 표시 장치는 제1 돌출부 및 구동 신호 출력 배선을 제외하고, 도 1 내지 도 4b에 도시된 실시예에 따른 표시 장치와 실질적으로 동일하므로, 도 1 내지 도 4b에 도시된 실시예에 따른 표시 장치와 동일한 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복되는 설명은 생략한다.
도 8을 참조하면, 표시 장치의 어레이 기판(100a)은 베이스 기판(110), 상기 표시 영역(DA)에 형성된 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 스위칭 소자(SW) 및 화소 전극(PE) 및 상기 주변 영역(PA)에 형성된 팬아웃부(FO), 정전기 방지부(300), 구동 드라이버들(400), 신호 패드부(SP), 데이터 더미 패드부, 제1 정전기 커패시터(600a) 및 제1 구동 신호 출력 배선(701a)을 포함한다. 상기 어레이 기판(100a)은 투명 전극(TE)을 더 포함할 수 있다.
상기 데이터 더미 패드부는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)에 상대적으로 인접하게 배치되는 제1 데이터 더미 패드들(510a) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)에 상대적으로 멀게 배치되는 제2 데이터 더미 패드들을 포함한다. 상기 제1 데이터 더미 패드(510a) 및 제2 데이터 더미 패드 각각은 제1 데이터 더미 전극(513) 및 제2 데이터 더미 전극(514)을 포함한다. 상기 제1 데이터 더미 전극(513)은 상기 제2 데이터 더미 전극(514) 상에 배치되어, 상기 제1 데이터 더미 패드(510a) 및 제2 데이터 더미 패드는 2층 구조를 갖는다. 상기 제1 데이터 더미 전극(513)은 상기 스위칭 소자(SW)의 소스 및 드레인 전극들(SE, DE) 및 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 데이터 금속을 포함하고, 상기 제2 데이터 더미 전극(514)은 상기 스위칭 소자(SW)의 게이트 전극(GE) 및 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 게이트 금속을 포함한다.
상기 제1 데이터 더미 패드들(510a)의 제1 데이터 더미 전극들(513)은 상기 제1 정전기 커패시터(600a)의 제1 전극(610)에 전기적으로 연결된다.
상기 제1 데이터 더미 패드들(510a)의 제2 데이터 더미 전극들(514) 중 적어도 하나는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)과 마주보는 제1 단이 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)을 향해 돌출된 제1 데이터 돌출부(511a)를 갖는다. 상기 제1 데이터 돌출부(511a)는 적어도 하나의 제1 돌기들을 포함한다. 상기 제1 돌기는 도 3a 내지 도 3i에 도시된 바와 같이 다양한 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 데이터 돌출부(511a)는 상기 데이터 신호 패드(DSP)보다 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)에 인접하게 배치되어 제1 상기 구동 신호 출력 배선(701a)에 발생된 정전기가 상기 제1 데이터 더미 패드들(510a)로 유입되도록 유도한다. 상기 제1 단에 반대되는 상기 제1 데이터 돌출부(511a)를 갖는 제2 데이터 더미 전극(514)의 제2 단은 상기 제1 정전기 커패시터(600a)의 제2 전극(620)에 전기적으로 연결된다.
상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)은 상기 제1 데이터 돌출부(511a)를 향하여 돌출된 제2 데이터 돌출부(711a)를 갖는다. 상기 제2 데이터 돌출부(711a)는 상기 제1 데이터 돌출부(511a)와 마주본다. 상기 제2 데이터 돌출부(711a)는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)의 폭이 넓게 형성되어 상기 표시 패널(DP)의 공정 중에 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)을 통해 용이하게 유입된 정전기를 상기 데이터 신호 패드들(DSP)이 아닌 상기 제1 데이터 돌출부(511a)를 갖는 제1 데이터 더미 패드(510a)로 유도한다. 이와 다르게, 상기 제2 데이터 돌출부(711a)는 생략될 수도 있다. 이와 같이 상기 제2 데이터 돌출부(711a)가 생략되더라도, 상기 제1 데이터 돌출부(511a)에 의해 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)을 통해 유입된 정전기는 상기 제1 데이터 더미 패드(510a)로 유도될 수 있다.
상기 투명 전극(TE)은 상기 데이터 신호 패드들(DPS) 및 상기 제1 데이터 더미 패드(510a) 및 제2 데이터 더미 패드 상에 배치되어, 상기 데이터 신호 패드들(DPS) 및 상기 제1 데이터 더미 패드(510a) 및 제2 데이터 더미 패드에 전기적으로 연결된다. 도 5에 도시된 실시예에 따르면, 상기 투명 전극(TE)은 상기 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510a, 520a)의 제1 데이터 더미 전극들(513)에 전기적으로 연결된다.
도 8에 도시된 실시예에서는 상기 데이터 더미 패드들이 2층 구조를 갖는 것만 도시하고 있으나, 상기 데이터 더미 패드들에 인접한 상기 데이터 신호 패드들(DSP) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)도 2층 구조를 가질 수 있다. 상기 데이터 신호 패드들(DSP) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)이 2층 구조를 가짐으로써, 상기 데이터 신호 패드들(DSP) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)의 전압 강하를 방지할 수 있다.
도 9a 내지 도 9c는 도 8의 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 9a를 참조하면, 상기 베이스 기판(110) 상에 게이트 금속층을 증착하고, 상기 게이트 금속층을 패터닝하여 게이트 패턴을 형성한다. 상기 게이트 패턴은 게이트 전극(GE), 게이트 라인(GL), 제1 정전기 커패시터(600a)의 제2 전극(620a), 상기 제2 전극(620a)에 전기적으로 연결된 제1 데이터 더미 패드(510a)의 제2 전극(514), 상기 제2 전극(514)에 인접하게 형성된 제1 구동 신호 출력 배선(701a), 게이트 신호 패드(GSP) 등을 포함할 수 있다. 상기 게이트 패턴이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에 게이트 절연층(120)을 증착한다.
도 9b를 참조하면, 상기 게이트 절연층(120) 상에 반도체층(SL) 및 오믹 컨택층(OCL)을 증착하여 패터닝한다. 상기 반도체층(SL) 및 상기 오믹 컨택층(OCL)이 형성된 상기 게이트 절연층(120) 상에 데이터 금속층을 증착하고, 상기 데이터 금속층을 패터닝하여 데이터 패턴을 형성한다. 상기 데이터 패턴은 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 데이터 라인(DL), 제1 정전기 커패시터(600a)의 제1 전극(610a), 상기 제1 전극(610a)에 전기적으로 연결된 제1 데이터 더미 패드(510a)의 제1 데이터 더미 전극(513), 상기 제1 데이터 더미 패드(510a)에 인접하게 형성된 데이터 신호 패드들(DSP) 등을 포함할 수 있다. 상기 제1 데이터 더미 패드(510a)의 제2 데이터 더미 전극(514)은 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)과 동일한 층에 형성되어 상기 제1 데이터 더미 패드(510a)의 제2 데이터 더미 전극(514)의 제1 단이 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)에 마주보도록 형성된다. 상기 제1 데이터 더미 패드(510a)의 제2 데이터 더미 전극(514)의 제1 단에 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)을 향해 돌출한 제1 데이터 돌출부(511a)를 형성하고, 상기 제1 데이터 돌출부(511a)와 마주하는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)에는 제2 데이터 돌출부(711a)를 형성한다.
도 9c를 참조하면, 상기 데이터 패턴이 형성된 상기 게이트 절연층(120) 상에 보호막(130)을 증착한다. 상기 보호층(130)을 패터닝하여, 상기 드레인 전극들(DE), 데이터 신호 패드들(DSP) 및 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510a, 520a)의 제1 데이터 더미 전극들(513)을 노출시킨다.
다시 도 8을 참조하면, 상기 보호층(130)이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에 상기 드레인 전극들(DE)에 전기적으로 연결되는 화소 전극(PE) 및 상기 데이터 신호 패드들(DSP) 및 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510a, 520a)의 제1 데이터 더미 전극들(513)에 전기적으로 연결되는 투명 전극(TE)을 형성하여, 표시 패널의 어레이 기판(100a)을 형성한다.
도 8 내지 도 9c에 도시된 실시예에 따른 표시장치 및 상기 표시장치의 어레이 기판의 제조방법에 의하면, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)에 인접하게 형성된 제1 데이터 더미 패드(510a)의 제2 데이터 더미 전극(514)이 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)을 향해 돌출된 제1 데이터 돌출부(511a)를 가짐으로써, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)을 통해 유입된 정전기가 상기 제1 데이터 더미 패드(510a)로 유입되도록 유도함으로써, 상기 정전기가 상기 데이터 신호 패드들(DSP)로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 데이터 신호 패드들(DSP)에 전기적으로 연결된 상기 표시 영역(DA)의 스위칭 소자(SW)를 파손을 방지할 수 있다.
또한, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)이 상기 제1 데이터 돌출부(511a)에 마주하는 제2 돌출부 돌출부(711a)를 가짐으로써, 상기 정전기가 상기 제1 데이터 돌출부(511a)를 갖는 제1 데이터 더미 패드(510a)로 용이하게 유입될 수 있다.
본 실시예에서는 데이터 더미 패드들에 대해서만 설명하였지만, 게이트 더미 패드도 상기 데이터 더미 패드와 같이 형성될 수 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 단면도이다.
도 10에 도시된 실시예 따른 표시 장치는 제1 돌출부 및 구동 신호 출력 배선을 제외하고, 도 1 내지 도 4b에 도시된 실시예에 따른 표시 장치와 실질적으로 동일하므로, 도 1 내지 도 4b에 도시된 실시예에 따른 표시 장치와 동일한 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복되는 설명은 생략한다.
도 10을 참조하면, 표시 장치의 어레이 기판(100b)은 베이스 기판(110), 상기 표시 영역(DA)에 형성된 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 스위칭 소자(SW) 및 화소 전극(PE) 및 상기 주변 영역(PA)에 형성된 팬아웃부(FO), 정전기 방지부(300), 구동 드라이버들(400), 신호 패드부(SP), 더미 패드부, 제1 정전기 커패시터(600a) 및 제1 구동 신호 출력 배선(701b)을 포함한다. 상기 어레이 기판(100)은 투명 전극(TE)을 더 포함할 수 있다.
상기 더미 패드부는 데이터 더미 패드부(DDM) 및 게이트 더미 패드부(GDM)를 포함한다. 상기 데이터 더미 패드부(DDM)는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)에 상대적으로 인접하게 배치되는 제1 데이터 더미 패드들(510b) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)에 상대적으로 멀게 배치되는 제2 데이터 더미 패드들을 포함한다. 상기 제1 데이터 더미 패드(510b) 및 제2 데이터 더미 패드 각각은 제1 데이터 더미 전극(515) 및 제2 데이터 더미 전극(516)을 포함한다. 상기 제1 데이터 더미 전극(515)은 상기 제2 데이터 더미 전극(516) 상에 배치되어, 상기 제1 데이터 더미 패드(510a) 및 제2 데이터 더미 패드는 2층 구조를 갖는다. 상기 제1 데이터 더미 전극(515)은 상기 스위칭 소자(SW)의 소스 및 드레인 전극들(SE, DE) 및 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 데이터 금속을 포함하고, 상기 제2 데이터 더미 전극(516)은 상기 스위칭 소자(SW)의 게이트 전극(GE) 및 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 게이트 금속을 포함한다.
상기 제1 데이터 더미 패드들(510b)의 제1 데이터 더미 전극들(515) 중 적어도 하나는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)의 제1 출력 배선(710b)과 마주보는 제1 단이 상기 제1 출력 배선(710b)을 향해 돌출된 제1 데이터 돌출부(511b)를 갖는다. 상기 제1 데이터 돌출부(511b)는 적어도 하나의 제1 돌기들을 포함하고, 상기 제1 돌기는 도 3a 내지 도 3i에 도시된 바와 같이 다양한 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 데이터 돌출부(511b)는 상기 데이터 신호 패드(DSP)보다 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)에 인접하게 배치되어, 상기 제1 출력 배선(710b)에 발생된 정전기가 상기 제1 데이터 더미 패드들(510b)로 유입되도록 유도한다. 상기 제1 단에 반대되는 상기 제1 데이터 돌출부(511b)를 갖는 제1 데이터 더미 전극(515)의 제2 단은 상기 제1 정전기 커패시터(600a)의 제1 전극(610)에 전기적으로 연결된다.
상기 제1 데이터 더미 패드들(510a)의 제2 데이터 더미 전극들(516) 중 적어도 하나는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701a)의 제2 출력 배선(720b)과 마주보는 제1 단이 상기 제2 출력 배선(720b)을 향해 돌출된 제2 데이터 돌출부(511c)를 갖는다. 상기 제2 데이터 돌출부(511c)는 적어도 하나의 제1 돌기들을 포함한다. 상기 제1 돌기는 도 3a 내지 도 3i에 도시된 바와 같이 다양한 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 데이터 돌출부(511c)는 상기 데이터 신호 패드(DSP)보다 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)에 인접하게 배치되어 상기 제2 출력 배선(720b)에 발생된 정전기가 상기 제1 데이터 더미 패드들(510b)로 유입되도록 유도한다. 상기 제1 단에 반대되는 상기 제2 데이터 돌출부(511c)를 갖는 제2 데이터 더미 전극(516)의 제2 단은 상기 제1 정전기 커패시터(600a)의 제2 전극(620)에 전기적으로 연결된다.
상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)은 상기 제1 출력 배선(710b) 및 상기 제2 출력 배선(720b)을 포함한다. 상기 제1 출력 배선(710b)은 상기 제2 출력 배선(720b) 상에 배치되어, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)은 2층 구조를 갖는다. 상기 제1 출력 배선(710b)은 상기 제1 데이터 더미 전극(515)과 동일하게 상기 스위칭 소자(SW)의 소스 및 드레인 전극들(SE, DE) 및 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 데이터 금속을 포함하고, 상기 제2 출력 배선(720b)은 상기 제2 데이터 더미 전극(516)과 동일하게 상기 스위칭 소자(SW)의 게이트 전극(GE) 및 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 게이트 금속을 포함한다.
상기 제1 출력 배선(710b)은 상기 제1 데이터 돌출부(511b)를 향해 돌출된 제3 데이터 돌출부(711b)를 갖고, 상기 제2 출력 배선(720b)은 상기 제2 데이터 돌출부(511c)를 향해 돌출된 제4 데이터 돌출부(721b)를 갖는다. 상기 제3 및 제4 데이터 돌출부들(711b, 721b)은 상기 제1 및 제2 출력 배선들(710b, 720b)의 폭이 넓게 형성되어 상기 표시 패널(DP)의 공정 중에 상기 제1 및 제2 출력 배선들(710b, 720b)을 통해 용이하게 유입된 정전기를 상기 데이터 신호 패드들(DSP)이 아닌 상기 제1 및 제2 데이터 돌출부들(511b, 511c)을 갖는 제1 데이터 더미 패드(510b)로 유도한다.
이와 다르게, 상기 제3 및 제4 데이터 돌출부들(711b, 721b)은 생략될 수도 있다. 이와 같이 상기 제3 및 제4 데이터 돌출부들(711b, 721b)이 생략되더라도, 상기 제1 및 제2 데이터 돌출부들(511b, 511c)에 의해 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)을 통해 유입된 정전기는 상기 제1 데이터 더미 패드(510b)로 유도될 수 있다.
상기 투명 전극(TE)은 상기 데이터 신호 패드들(DPS) 및 상기 제1 데이터 더미 패드(510b) 및 제2 데이터 더미 패드 상에 배치되어, 상기 데이터 신호 패드들(DPS) 및 상기 제1 데이터 더미 패드(510b) 및 제2 데이터 더미 패드에 전기적으로 연결된다. 도 10에 도시된 실시예에 따르면, 상기 투명 전극(TE)은 상기 제1 데이터 더미 패드(510b) 및 제2 데이터 더미 패드의 제1 데이터 더미 전극들(515)에 전기적으로 연결된다.
도 11a 내지 도 11c는 도 10의 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.
도 11a를 참조하면, 상기 베이스 기판(110) 상에 게이트 금속층을 증착하고, 상기 게이트 금속층을 패터닝하여 게이트 패턴을 형성한다. 상기 게이트 패턴은 게이트 전극(GE), 게이트 라인(GL), 제1 정전기 커패시터(600a)의 제2 전극(620a), 상기 제2 전극(620a)에 전기적으로 연결된 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제2 더미 전극(516), 상기 제2 더미 전극(516)에 인접하게 형성된 제1 구동 신호 출력 배선(701b)의 제2 출력 배선(720b), 게이트 신호 패드(GSP) 등을 포함할 수 있다.
상기 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제2 더미 전극(516)은 상기 제2 출력 배선(720b)과 동일한 층에 형성되어 상기 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제2 데이터 더미 전극(516)의 제1 단이 상기 제2 출력 배선(720b)에 마주보도록 형성된다. 상기 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제2 데이터 더미 전극(516)의 제1 단에 상기 제1 출력 배선(720b)을 향해 돌출한 제2 데이터 돌출부(511c)를 형성하고, 상기 제2 데이터 돌출부(511c)와 마주하는 상기 제2 출력 배선(720b)에는 제4 데이터 돌출부(721b)를 형성한다. 상기 게이트 패턴이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에 게이트 절연층(120)을 증착한다.
도 9b를 참조하면, 상기 게이트 절연층(120) 상에 반도체층(SL) 및 오믹 컨택층(OCL)을 증착하여 패터닝한다. 상기 반도체층(SL) 및 상기 오믹 컨택층(OCL)이 형성된 상기 게이트 절연층(120) 상에 데이터 금속층을 증착하고, 상기 데이터 금속층을 패터닝하여 데이터 패턴을 형성한다. 상기 데이터 패턴은 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 데이터 라인(DL), 제1 정전기 커패시터(600a)의 제1 전극(610a), 상기 제1 전극(610a)에 전기적으로 연결된 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제1 데이터 더미 전극(515), 상기 제1 데이터 더미 전극(515)에 인접하게 형성된 제1 구동 신호 출력 배선(701b)의 제1 출력 배선(710b), 상기 제1 데이터 더미 패드(510b)에 인접하게 형성된 데이터 신호 패드들(DSP) 등을 포함할 수 있다.
상기 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제1 데이터 더미 전극(515)은 상기 제1 출력 배선(710b)과 동일한 층에 형성되어 상기 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제1 데이터 더미 전극(515)의 제1 단이 상기 제1 출력 배선(710b)에 마주보도록 형성된다. 상기 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제1 데이터 더미 전극(515)의 제1 단에 상기 제1 출력 배선(710b)을 향해 돌출한 제1 데이터 돌출부(511b)를 형성하고, 상기 제1 데이터 돌출부(511b)와 마주하는 상기 제1 출력 배선(710b)에는 제3 데이터 돌출부(711b)를 형성한다.
도 11c를 참조하면, 상기 데이터 패턴이 형성된 상기 게이트 절연층(120) 상에 보호막(130)을 증착한다. 상기 보호층(130)을 패터닝하여, 상기 드레인 전극들(DE), 데이터 신호 패드들(DSP) 및 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510b, 520b)의 제1 데이터 더미 전극들(515)을 노출한다.
다시 도 10을 참조하면, 상기 보호층(130)이 형성된 상기 베이스 기판(110) 상에 상기 드레인 전극들(DE)에 전기적으로 연결되는 화소 전극(PE) 및 상기 데이터 신호 패드들(DSP) 및 제1 및 제2 데이터 더미 패드들(510b, 520b)의 제1 데이터 더미 전극들(515)에 전기적으로 연결되는 투명 전극(TE)을 형성하여, 표시 패널의 어레이 기판(100b)을 형성한다.
도 10 내지 도 11c에 도시된 실시예에서는 상기 데이터 더미 패드들 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(7001)이 2층 구조를 갖는 것만 도시하고 있으나, 상기 데이터 더미 패드들에 인접한 상기 데이터 신호 패드들(DSP)도 2층 구조를 가질 수 있다. 상기 데이터 신호 패드들(DSP)이 2층 구조를 가짐으로써, 상기 데이터 신호 패드들(DSP)의 전압 강하를 방지할 수 있다.
도 10 내지 도 11c에 도시된 실시예에 따른 표시장치 및 상기 표시장치의 어레이 기판의 제조방법에 의하면, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)에 인접하게 형성된 제1 데이터 더미 패드(510b)의 제1 및 제2 데이터 더미 전극들(515, 516)이 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)을 향해 돌출된 제1 및 제2 데이터 돌출부들(511b, 511c)을 가짐으로써, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)을 통해 유입된 정전기가 상기 제1 데이터 더미 패드(510b)로 유입되도록 유도함으로써, 상기 정전기가 상기 데이터 신호 패드들(DSP)로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 데이터 신호 패드들(DSP)에 전기적으로 연결된 상기 표시 영역(DA)의 스위칭 소자(SW)를 파손을 방지할 수 있다.
또한, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701b)이 상기 제1 및 제2 데이터 돌출부들(511b, 511c)에 마주하는 제3 및 제4 데이터 돌출부들(711b, 721b)을 가짐으로써, 상기 정전기가 상기 제1 및 제2 데이터 돌출부들(511b, 511c)을 갖는 제1 데이터 더미 패드(510b)로 용이하게 유입될 수 있다.
본 실시예에서는 데이터 더미 패드들에 대해서만 설명하였지만, 게이트 더미 패드도 상기 데이터 더미 패드와 같이 형성될 수 있다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다.
도 12에 도시된 실시예 따른 표시 장치 및 상기 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법은 더미 패드부 및 정전기 커패시터의 위치를 제외하고, 도 1 내지 도 7b에 도시된 실시예에 따른 표시 장치 및 상기 표시 장치의 어레이 기판의 제조 방법과 실질적으로 동일하므로, 도 1 내지 도 7b에 도시된 실시예에 따른 표시 장치와 동일한 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복되는 설명은 생략한다.
도 12를 참조하면, 표시 장치의 어레이 기판(100c)은 베이스 기판(110), 상기 표시 영역(DA)에 형성된 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 스위칭 소자(SW) 및 화소 전극(PE) 및 상기 주변 영역(PA)에 형성된 팬아웃부(FO), 정전기 방지부(300), 구동 드라이버들(400), 신호 패드부(SP), 데이터 더미 패드부(500c), 제1 정전기 커패시터(600c) 및 제1 구동 신호 출력 배선(701c)을 포함한다. 상기 어레이 기판(100c)은 투명 전극(TE)을 더 포함할 수 있다.
상기 데이터 더미 패드부(500c)는 하나의 데이터 드라이버(410)에 전기적으로 연결된 데이터 신호 패드들(DSP)의 가장자리에 상기 데이터 신호 패드들(DSP)과 평행하게 형성된다. 다르게 말하자면, 상기 데이터 더미 패드부(500c)는 인접하는 데이터 드라이버들(410)에 전기적으로 연결된 데이터 신호 패드들(DSP) 사이에 형성된다. 또는, 상기 데이터 더미 패드부(500c)는 상기 데이터 신호 패드들(DSP) 및 구동 신호를 제공하는 구동 신호 패드들(DRSP) 사이에 형성된다.
도 12에 도시된 실시예에 따르면, 상기 데이터 더미 패드부(500c)는 상기 데이터 신호 패드들(DSP)이 2열로 형성되면, 표시 패널의 신뢰성을 향상시키기 위해 2열로 형성될 수 있다. 이와 다르게, 상기 데이터 더미 패드부(500c)는 상기 데이터 신호 패드들(DSP)이 열 개수에 따라, 열 개수를 변경할 수 있다. 따라서, 상기 데이터 더미 패드부(500c)는 제1 열의 제1 데이터 더미 패드들(510c) 및 제2 열의 제2 데이터 더미 패드들(520c)을 포함한다. 상기 제1 데이터 더미 패드들(510c)은 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)에 상대적으로 인접하게 배치되고, 상기 제2 데이터 더미 패드들(520c)은 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)에 상대적으로 멀게 배치된다.
상기 제1 데이터 더미 패드들(510c) 중 적어도 하나는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)과 마주보는 제1 단이 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)을 향해 돌출된 제1 데이터 돌출부(511d)를 갖는다. 상기 제1 데이터 돌출부(511d)는 적어도 하나의 제1 돌기들을 포함한다. 상기 제1 돌기는 도 3a 내지 도 3i에 도시된 바와 같이 다양한 형상을 가질 수 있다. 상기 제1 데이터 돌출부(511d)는 상기 데이터 신호 패드(DSP)보다 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)에 인접하게 배치되어, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)에 발생된 정전기가 상기 제1 데이터 더미 패드들(510c)로 유입되도록 유도한다. 상기 제1 단에 반대되는 상기 제1 데이터 돌출부(511d)를 갖는 제1 데이터 더미 패드들(510c)의 제2 단은 상기 제1 정전기 커패시터(600c)의 제1 전극(610c)에 전기적으로 연결된다.
상기 제1 정전기 커패시터(600c)는 상기 데이터 신호 패드들(DSP)에 전기적으로 연결된 데이터 팬아웃 라인들(DFOL), 상기 더미 패드들 및 상기 구동 신호 패드(DRSP)에 전기적으로 연결된 외부 신호 출력 라인(OSOL)에 의해 둘러싸인 영역에 형성된다. 즉, 상기 제1 정전기 커패시터(600c)는 하나의 데이터 드라이버(410)에 전기적으로 연결되는 데이터 팬아웃 라인들(DFOL)의 외각의 공간을 이용한다. 상기 제1 정전기 커패시터(600c)는 상기 제1 데이터 돌출부(511d)를 갖는 제1 데이터 더미 패드들(510c)의 제2 단에 전기적으로 연결된 제1 전극 및 상기 제1 전극의 하부에 형성된 제2 전극을 포함한다. 상기 제1 정전기 커패시터(600c)는 상기 제1 데이터 돌출부(511d)를 통해 유입된 정전기를 저장한다.
상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)은 상기 제1 데이터 돌출부(511d)를 향해 돌출된 제2 데이터 돌출부(711c)를 갖는다. 상기 제2 데이터 돌출부(711c)는 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)의 폭이 넓게 형성됨으로써, 상기 표시 패널(DP)의 공정 중에 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)을 통해 유입된 정전기를 상기 데이터 신호 패드들(DSP)이 아닌 상기 제1 데이터 돌출부(511d)를 갖는 제1 데이터 더미 패드(510c)로 유도한다.
이와 다르게, 상기 제2 데이터 돌출부(711c)는 생략될 수도 있다. 이와 같이 상기 제2 데이터 돌출부(711c)가 생략되더라도, 상기 제1 데이터 돌출부(511d)에 의해 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)을 통해 유입된 정전기는 상기 제1 데이터 더미 패드(510c)로 유도될 수 있다.
상기 데이터 더미 패드들(500c) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)은, 도 4a에 도시된 바와 같이, 상기 스위칭 소자(SW)의 소스 및 드레인 전극들(SE, DE) 및 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 데이터 금속을 포함할 수 있다.
이와 다르게, 상기 데이터 더미 패드들(500c)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 층의 제1 데이터 더미 전극 및 제2 층의 제2 데이터 더미 전극을 갖는 2층 구조를 가질 수 있다. 따라서, 상기 제1 데이터 더미 전극은 상기 스위칭 소자(SW)의 게이트 전극(GE) 및 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 게이트 금속을 포함하고, 상기 제2 데이터 더미 전극은 상기 데이터 금속을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)은 상기 데이터 금속을 포함하는 것이 바람직하다.
이와 다르게, 상기 데이터 더미 패드들(500c) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c) 각각은, 도 10에 도시된 바와 같이, 2층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 더미 패드들은 제1 층의 제1 데이터 더미 전극 및 제2 층의 제2 데이터 더미 전극을 포함하고, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)은 제1 층의 제1 출력 배선 및 제2 층의 제2 출력 배선을 포함할 수 있다. 상기 제1 데이터 더미 전극 및 제1 데이터 출력 배선은 상기 게이트 금속을 포함하고, 상기 제2 데이터 더미 전극 및 제2 출력 배선은 상기 데이터 금속을 포함하는 것이 바람직하다.
본 실시예에서는 데이터 더미 패드들에 대해서만 설명하였지만, 게이트 더미 패드도 상기 데이터 더미 패드와 같이 형성될 수 있다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 평면도이다. 도 14는 도 13의 B영역의 확대 평면도이다. 도 15는 도 11의 IV-IV', V-V' 및 VI-VI'를 따라 절단한 단면도이다.
도 13 내지 도 15에 도시된 실시예 따른 표시 장치는 정전기 유도부를 제외하고, 도 12에 도시된 실시예에 따른 표시 장치와 실질적으로 동일하므로, 도 12에 도시된 실시예에 따른 표시 장치와 동일한 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복되는 설명은 생략한다.
도 13 내지 도 15를 참조하면, 표시 장치(2000)의 어레이 기판(100d)은 베이스 기판(110), 상기 표시 영역(DA)에 형성된 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 스위칭 소자(SW) 및 화소 전극(PE) 및 상기 주변 영역(PA)에 형성된 팬아웃부(FO), 제1 정전기 유도 라인(SL1), 제2 정전기 유도 라인들(SL2), 정전기 유도부(800), 정전기 방지부(300), 구동 드라이버들(400), 신호 패드부(SP), 데이터 더미 패드부(500c) 및 제1 구동 신호 출력 배선(701c)을 포함한다. 상기 어레이 기판(100d)은 투명 전극(TE)을 더 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 정전기 유도 라인들(SL1, SL2)은 주변 영역(PA)에서 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 층에 상기 게이트 라인(GL)과 평행하게 배열된다. 상기 제2 정전기 유도 라인들(SL2)은 서로 전기적으로 연결된다.
상기 정전기 유도부(800)는 상기 제1 더미 패드(510c) 및 정전기 방지부(300) 사이에 배치된다. 상기 정전기 유도부(800)는 더미 라인(DML)을 통해 상기 제1 더미 패드(510c)에 전기적으로 연결되고, 상기 제1 정전기 유도 라인(SL1)을 통해 상기 정전기 방지부(300)의 정전기 방지 다이오드(310)에 전기적으로 연결된다. 상기 정전기 유도부(800)는 제1 정전기 유도 다이오드(810) 및 제2 정전기 유도 다이오드(850)를 포함한다. 상기 제1 정전기 유도 다이오드(810)는 상기 구동 신호 출력 배선(700c)의 제2 돌출부(711c)를 통해 상기 제1 더미 패드(510c)의 제1 돌출부(511d)로 유입된 정전기를 상기 정전기 방지 다이오드들(310)로 제공한다. 따라서, 상기 정전기 방지 다이오드들(310)은 상기 정전기를 분산할 수 있다.
상기 제1 정전기 유도 다이오드(810)는 제1 트랜지스터(820) 및 제2 트랜지스터(830)를 포함한다. 상기 제1 트랜지스터(820)는 제1 게이트 전극(821), 제1 소스 전극(822), 제1 드레인 전극(823), 제1 반도체층(824) 및 제1 오믹 콘택층(825)을 포함한다.
상기 제1 게이트 전극(821)은 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 물질을 포함하고, 상기 더미 라인(DML)에 제1 연결 전극(CE1)을 통해 전기적으로 연결된다. 상기 제1 소스 전극(822)은 상기 더미 라인(DML)으로부터 분기된다. 상기 제1 드레인 전극(822)은 상기 제1 소스 전극(822)과 이격되고, 상기 제2 드레인 전극(833)에 전기적으로 연결된다. 상기 제1 드레인 전극(823)은 제2 연결 전극(CE2)을 통해 상기 제1 정전기 유도 라인(SL1)에 전기적으로 연결된다. 상기 제1 소스 전극(SE1) 및 상기 제2 드레인 전극(DE1)은 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 물질을 포함한다. 상기 제1 게이트 전극(821)과 상기 제1 소스 전극(822) 및 제1 드레인 전극(823) 사이에는 상기 제1 반도체층(824) 및 상기 제1 오믹 콘택층(825)이 형성된다.
상기 제2 트랜지스터(830)는 제2 게이트 전극(831), 제2 소스 전극(832), 제2 드레인 전극(833), 제2 반도체층(834) 및 제2 오믹 콘택층을 포함한다. 상기 제2 게이트 전극(831)은 상기 제1 정전기 유도 라인(SL1)의 일부이다. 상기 제2 소스 전극(832)은 상기 더미 라인(DML)으로부터 분기된다. 상기 제2 트랜지스터(830)에 포함된 제2 게이트 전극(831)이 상기 제1 정전기 유도 라인(SL1)의 일부이므로, 상기 제2 소스 전극(832)이 상기 제1 소스 전극(821)보다 상기 제1 정전기 유도 라인(SL1)에 인접하게 형성되는 것이 바람직하다. 상기 제2 드레인 전극(833)은 상기 제2 소스 전극(832)과 이격되고, 상기 제1 드레인 전극(823)에 전기적으로 연결된다. 또한, 상기 제2 드레인 전극(833)은 상기 제2 연결 전극(CE2)을 통해 상기 제1 정전기 유도 라인(SL1)에 전기적으로 연결된다. 상기 제2 게이트 전극(831)과 상기 제2 소스 전극(832) 및 제2 드레인 전극(833) 사이에는 상기 제2 반도체층(834) 및 상기 제2 오믹 콘택층이 형성된다.
따라서, 상기 제1 및 제2 트랜지스터들(820, 830)은 서로 전기적으로 연결되어 정전기 방지 다이오드를 형성한다. 여기서, 상기 제1 및 제2 연결 전극들(CE1, CE2)은 상기 화소 전극(PE) 및 상기 투명 전극(TE)과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상기 제2 정전기 유도 다이오드(850)는 상기 구동 신호 출력 배선(700c) 외에 다른 외부 신호를 제공하는 외부 신호 출력 배선들(OSOL) 및 상기 정전기 방지부(300)의 정전기 방지 트랜지스터(350)에 사이에 배치된다. 상기 제2 정전기 유도 다이오드(850)는 상기 제2 정전기 유도 라인(SL2)을 통해 상기 정전기 방지 트랜지스터(350)에 전기적으로 연결된다. 상기 제2 정전기 유도 다이오드(850)는 상기 외부 신호 출력 배선들(OSOL)을 통해 유입된 정전기를 상기 정전기 방지 트랜지스터(350)로 제공할 수 있다. 따라서, 상기 외부 신호 출력 배선들(OSOL)을 통해 상기 정전기 방지 트랜지스터(350)로 유입된 정전기는 상기 정전기 방지부(300)의 정전기 방지 커패시터(370)에 저장될 수 있다.
상기 제2 정전기 유도 다이오드(850)는 제3 트랜지스터(860) 및 제4 트랜지스터(870)를 포함한다. 상기 제3 트랜지스터(860)는 제3 게이트 전극, 제3 소스 전극, 제3 드레인 전극, 제3 반도체층 및 제3 오믹 콘택층을 포함한다. 상기 제4 트랜지스터(870)는 제4 게이트 전극, 제4 소스 전극, 제4 드레인 전극, 제4 반도체층 및 제4 오믹 콘택층을 포함한다. 상기 제3 소스 전극 및 제4 소스 전극이 외부 신호 출력 배선(OSOL)으로부터 분기되고, 상기 제4 게이트 전극이 상기 제2 정전기 유도 라인(SL2)의 일부인 것을 제외하고, 상기 제2 정전기 유도 다이오드(850)는 상기 제1 정전기 유도 다이오드(810)와 실질적으로 동일하므로, 반복되는 설명을 생략한다.
상기 정전기 방지부(300)는 상기 주변 영역(PA)에서 상기 신호 패드부와 상기 게이트 라인(GL) 사이에 형성된다. 상기 정전기 방지부(300)는 상기 팬아웃부(FO)의 데이터 및 게이트 팬아웃 라인에 전기적으로 연결된다. 도 10 내지 도 12에 도시된 실시예에 따르면, 상기 정전기 방지부(300)는 데이터 팬아웃 라인(DFOL)에 전기적으로 연결된다. 상기 정전기 방지부(300)는 정전기 방지 다이오드들(310), 정전기 방지 트랜지스터들(350) 및 정전기 방지 커패시터(370)를 포함할 수 있다.
상기 정전기 방지 다이오드들(310) 각각은 제5 트랜지스터(320) 및 제6 트랜지스터(330)를 포함한다. 상기 제5 트랜지스터(320)는 제5 게이트 전극, 제5 소스 전극, 제5 드레인 전극, 제5 반도체층 및 제5 오믹 콘택층를 포함한다. 상기 제6 트랜지스터(330)는 제6 게이트 전극, 제6 소스 전극, 제6 드레인 전극, 제6 반도체층 및 제6 오믹 콘택층을 포함한다. 상기 제5 소스 전극 및 제 6 소스 전극 상기 데이터 팬아웃 라인(DFOL)으로부터 분기되는 것을 제외하고, 상기 정전기 방지 다이오드(310)는 상기 제1 정전기 유도 다이오드(810)와 실질적으로 동일하므로, 반복되는 설명을 생략한다.
상기 정전기 방지 트랜지스터들(350) 각각은 제7 게이트 전극(351), 제7 소스 전극(352), 제7 드레인 전극(353), 제7 반도체층(354) 및 제7 오믹 콘택층(355)을 포함한다. 상기 제7 게이트 전극(351)은 상기 제2 정전기 유도 라인(SL2)의 일부이다. 상기 제7 소스 전극(352)은 상기 데이터 팬아웃 라인(DFOL)으로부터 분기된다. 상기 제7 드레인 전극(353)은 상기 제7 소스 전극(352)과 이격되고, 상기 정전기 방지 커패시터(370)의 제2 전극(372)과 전기적으로 연결된다. 상기 제7 드레인 전극(353)은 상기 데이터 팬아웃 라인(DFOL)을 따라 인접하는 정전기 방지 트랜지스터(350)의 제7 드레인 전극(353)과 전기적으로 연결된다. 상기 제7 게이트 전극(351)과 상기 제7 소스 전극(352) 및 제 드레인 전극(353) 사이에는 제7 반도체층(354) 및 제7 오믹 콘택층(355)이 형성된다.
상기 정전기 방지 커패시터(370)는 제1 전극(371) 및 제2 전극(372)을 포함한다. 상기 제1 전극(371)은 상기 제2 정전기 유도 라인(SL2)의 일부이고, 상기 제2 전극(372)은 상기 제1 전극(371) 상에 형성되어 상기 제3 드레인 전극(353)에 전기적으로 연결된다.
상기 데이터 더미 패드부(500c) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)은 도 9에 도시된 실시예에 따른 데이터 더미 패드부 및 제1 구동 신호 출력 배선과 실질적으로 동일하므로, 도 9에 도시된 실시예에 따른 데이터 더미 패드부 및 제1 구동 신호 출력 배선과 동일한 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복되는 설명은 생략한다.
상기 데이터 더미 패드들(500c) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
이와 다르게, 상기 데이터 더미 패드들(500c)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 층의 제1 데이터 더미 전극 및 제1 데이터 돌출부를 갖는 제2 층의 제2 데이터 더미 전극을 갖는 2층 구조를 가질 수 있다. 따라서, 상기 제1 데이터 더미 전극은 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 물질을 포함하고, 상기 제2 데이터 더미 전극은 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 이때, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)은 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 물질을 포함하는 것이 바람직하다.
이와 다르게, 상기 데이터 더미 패드들(500c) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c) 각각은, 도 8에 도시된 바와 같이, 2층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 데이터 더미 패드들(500c)은 제1 데이터 돌출부를 갖는 제1 층의 제1 데이터 더미 전극 및 제2 데이터 돌출부를 갖는 제2 층의 제2 데이터 더미 전극을 포함하고, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)은 제1 층의 제1 출력 배선 및 제2 층의 제2 출력 배선을 포함할 수 있다. 상기 제1 데이터 더미 전극 및 제1 출력 배선은 상기 데이터 라인(DL)과 동일한 물질을 포함하고, 상기 제2 데이터 더미 전극 및 제2 출력 배선은 상기 게이트 라인(GL)과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
도 13 내지 도 15에 도시된 실시예에 따르면, 상기 제1 데이터 더미 패드(510c) 및 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c) 각각이 서로 마주보는 제1 및 제2 데이터 돌출부들(511d, 711c)을 가짐으로써, 상기 제1 구동 신호 출력 배선(701c)을 통해 유입된 정전기가 상기 제1 데이터 더미 패드(510c)에 전기적으로 연결된 제1 정전기 유도 다이오드(810) 및 정전기 방지 다이오드(310)로 유입되도록 유도함으로써, 상기 정전기가 상기 데이터 신호 패드들(DSP)로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 데이터 신호 패드들(DSP)에 전기적으로 연결된 상기 표시 영역(DA)의 스위칭 소자(SW)의 파손을 방지할 수 있다.
본 실시예에서는 데이터 더미 패드들에 대해서만 설명하였지만, 게이트 더미 패드도 상기 데이터 더미 패드와 같이 형성될 수 있다.
본 발명에 따르면, 신호 패드들에 인접하게 배치되는 더미 패드들 중 적어도 하나가 상기 신호 패드 및 상기 더미 패드에 인접하게 배치된 구동 신호 출력 배선을 향해 돌출된 제1 돌출부를 가짐으로써, 상기 구동 신호 출력 배선으로 유입된 정전기를 더미 패드에 전기적으로 연결된 정전기 커패시터로 유도함으로써, 표시 영역의 스위칭 소자의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 상기 구동 신호 출력 배선이 상기 더미 패드의 제1 돌출부와 마주하는 제2 돌출부를 가짐으로써, 상기 구동 신호 출력 배선으로 유입된 정전기를 더미 패드에 전기적으로 연결된 정전기 커패시터로 유도함으로써, 표시 영역의 스위칭 소자의 파손을 방지할 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1000, 2000: 표시 장치
100, 100a, 100b, 100c, 100d: 어레이 기판
200: 대향 기판 300: 정전기 방지부
400: 구동 드라이버 SP: 신호 패드부
500, 500a, 500b, 500c: 더미 패드부 600, 600c: 정전기 커패시터
700, 700a, 700b, 700c: 구동 신호 출력 배선
800: 정전기 유도부

Claims (24)

  1. 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분되는 베이스 기판;
    상기 베이스 기판 상의 주변 영역에서 제1 방향으로 연장되고, 끝단에서 상기 제1 방향으로 돌출된 제1 돌출부를 갖는 더미 패드;
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 더미 패드에 인접하고 외부 신호를 제공하는 구동 신호 출력 배선; 및
    상기 베이스 기판 상의 표시 영역에서 상기 제1 방향으로 연장되는 데이터 라인 및 상기 제2 방향으로 연장되는 게이트 라인을 포함하고,
    상기 더미 패드는 상기 데이터 라인과 동일한 물질로 형성되며,
    상기 구동 신호 출력 배선은 상기 데이터 라인과 동일한 물질로 형성되고 상기 제1 돌출부와 마주보는 제2 돌출부를 갖는 어레이 기판.
  2. 제1항에 있어서, 상기 더미 패드와 평행하게 형성되는 신호 패드; 및
    상기 더미 패드와 상기 신호 패드 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드에 전기적으로 연결되는 정전기 커패시터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  3. 제1항에 있어서, 상기 더미 패드와 평행하게 형성되는 신호 패드;
    상기 더미 패드와 상기 신호 패드 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 신호 패드에 전기적으로 연결된 정전기 방지부; 및
    상기 구동 신호 출력 배선 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드 및 상기 정전기 방지부에 전기적으로 연결된 정전기 유도 다이오드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  4. 제3항에 있어서, 상기 정전기 유도 다이오드는,
    상기 더미 패드에 전기적으로 연결된 더미 라인에 전기적으로 연결된 제1 게이트 전극, 상기 더미 라인으로부터 분기된 제1 소스 전극 및 상기 제1 소스 전극과 이격된 제1 드레인 전극을 포함하는 제1 트랜지스터; 및
    상기 정전기 방지부에 전기적으로 연결된 제2 게이트 전극, 상기 더미 라인으로부터 분기된 제2 소스 전극 및 상기 제2 소스 전극과 이격되고 상기 제1 드레인 전극 및 상기 제2 게이트 전극과 전기적으로 연결된 제2 드레인 전극을 포함하는 제2 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 더미 패드에 전기적으로 연결된 제1 전극 및 상기 제1 전극 하부에 배치되는 제2 전극을 포함하는 정전기 커패시터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 돌출부들은 쐐기 형상인 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  9. 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분되는 베이스 기판;
    상기 베이스 기판 상의 주변 영역에서 제1 방향으로 연장되고, 끝단에서 상기 제1 방향으로 돌출된 제1 돌출부를 갖는 더미 패드;
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되어 상기 더미 패드에 인접하고 외부 신호를 제공하는 구동 신호 출력 배선; 및
    상기 베이스 기판 상의 표시 영역에서 상기 제1 방향으로 연장되는 데이터 라인 및 상기 제2 방향으로 연장되는 게이트 라인을 포함하고,
    상기 더미 패드는 상기 데이터 라인과 동일한 물질로 형성되는 제1 더미 전극 및 상기 게이트 라인과 동일한 물질로 형성되고 상기 제1 돌출부를 갖는 제2 더미 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1 더미 전극에 전기적으로 연결된 제1 전극 및 상기 제2 더미 전극에 전기적으로 연결된 제2 전극을 포함하는 정전기 커패시터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  11. 제9항에 있어서, 상기 구동 신호 출력 배선은 상기 게이트 라인과 동일한 물질로 형성되고, 상기 제1 돌출부와 마주보는 제2 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  12. 제9항에 있어서, 상기 제1 더미 전극은 상기 제1 돌출부 상부에 배치된 제3 돌출부를 갖고,
    상기 구동 신호 출력 배선은 상기 데이터 라인과 동일한 물질로 형성되는 제1 출력 배선 및 상기 게이트 라인과 동일한 물질로 형성되는 제2 출력 배선을 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  13. 제12항에 있어서, 상기 제2 출력 배선은 상기 제1 돌출부와 마주보는 제2 돌출부를 가지며,
    상기 제1 출력 배선은 상기 제3 돌출부와 마주보는 제4 돌출부를 갖는 것을 특징으로 하는 어레이 기판.
  14. 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분되는 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상의 주변 영역에서 제1 방향으로 연장되고, 끝단에서 상기 제1 방향으로 돌출된 제1 돌출부를 갖는 더미 패드, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 더미 패드에 인접하게 연장되어 외부 신호를 제공하는 구동 신호 출력 배선, 및 상기 베이스 기판 상의 표시 영역에서 상기 제1 방향으로 연장되는 데이터 라인 및 상기 제2 방향으로 연장되는 게이트 라인을 포함하는 어레이 기판; 및
    상기 더미 패드 상에 배치되어 상기 더미 패드와 연결되는 구동 드라이버를 포함하고,
    상기 더미 패드는 상기 데이터 라인과 동일한 물질로 형성되며,
    상기 구동 신호 출력 배선은 상기 데이터 라인과 동일한 물질로 형성되고 상기 제1 돌출부와 마주보는 제2 돌출부를 갖는 표시 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 구동 드라이버에 전기적으로 연결되고, 상기 더미 패드와 평행한 신호 패드; 및
    상기 구동 드라이버 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드에 전기적으로 연결되는 정전기 커패시터를 더 포함하고,
    상기 더미 패드는 상기 신호 패드들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  16. 제14항에 있어서, 상기 구동 드라이버에 전기적으로 연결되고, 상기 더미 패드와 평행한 신호 패드; 및
    인접하는 구동 드라이버들 간의 상기 구동 신호 출력 배선 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드에 전기적으로 연결되는 정전기 커패시터를 더 포함하고,
    상기 더미 패드는 상기 신호 패드 가장자리에 배치되는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  17. 제14항에 있어서, 상기 구동 드라이버에 전기적으로 연결되고, 상기 더미 패드와 평행한 신호 패드;
    인접하는 구동 드라이버들 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 신호 패드에 전기적으로 연결된 정전기 방지부; 및
    상기 구동 신호 출력 배선 및 상기 표시 영역 사이의 상기 주변 영역에 배치되고, 상기 더미 패드 및 상기 정전기 방지부에 전기적으로 연결된 정전기 유도 다이오드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  18. 제14항에 있어서, 상기 제1 및 제2 돌출부들은 쐐기 형상인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 삭제
  22. 삭제
  23. 삭제
  24. 삭제
KR1020110016049A 2011-02-23 2011-02-23 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법 KR101802845B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110016049A KR101802845B1 (ko) 2011-02-23 2011-02-23 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법
US13/168,498 US9263434B2 (en) 2011-02-23 2011-06-24 Array substrate, display apparatus having the same and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110016049A KR101802845B1 (ko) 2011-02-23 2011-02-23 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120096760A KR20120096760A (ko) 2012-08-31
KR101802845B1 true KR101802845B1 (ko) 2017-11-30

Family

ID=46652022

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110016049A KR101802845B1 (ko) 2011-02-23 2011-02-23 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9263434B2 (ko)
KR (1) KR101802845B1 (ko)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101971164B1 (ko) * 2011-11-08 2019-08-14 삼성디스플레이 주식회사 터치 기판 및 이를 포함하는 표시 장치
KR101984199B1 (ko) * 2012-10-08 2019-05-31 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판 및 이를 포함하는 표시 장치
KR101931248B1 (ko) * 2012-12-27 2019-03-13 엘지디스플레이 주식회사 표시장치 및 그 제조방법
KR102051628B1 (ko) * 2013-04-04 2019-12-03 삼성전자주식회사 정전기 방전 회로를 포함하는 소스 구동 집적 회로 및 소스 구동 집적 회로의 레이아웃 방법
KR102085367B1 (ko) 2013-05-27 2020-03-06 삼성디스플레이 주식회사 게이트 구동부 및 그것을 포함하는 표시 장치
CN104253134B (zh) * 2013-06-28 2017-11-10 上海天马微电子有限公司 一种像素单元静电防护结构及图像传感器
KR102227208B1 (ko) * 2014-12-26 2021-03-12 엘지디스플레이 주식회사 디스플레이 장치
KR102483894B1 (ko) * 2016-04-05 2023-01-02 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20180007738A (ko) 2016-07-13 2018-01-24 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR102567483B1 (ko) * 2016-09-09 2023-08-16 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR102502796B1 (ko) * 2017-11-22 2023-02-24 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN208422916U (zh) * 2018-08-07 2019-01-22 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及显示装置
KR20210000778A (ko) * 2019-06-25 2021-01-06 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN115016159B (zh) * 2022-06-01 2023-10-17 上海天马微电子有限公司 基板模组、显示装置和液晶天线
WO2024044946A1 (zh) * 2022-08-30 2024-03-07 京东方科技集团股份有限公司 显示面板、电路板以及显示装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003215621A (ja) 2002-01-21 2003-07-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよび液晶表示パネルの製造方法
JP2006322959A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Sony Corp 表示装置及び電子機器

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970707464A (ko) * 1995-09-11 1997-12-01 요트. 에스. 슈루페 액정 디스플레이 장치(Liquid crystal disaplay device)
TW561297B (en) * 1997-11-25 2003-11-11 Toshiba Corp Electrode wiring board subjected to counter measure against static electricity and display device using the same
KR100577779B1 (ko) 1999-04-22 2006-05-11 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 액정 표시 소자의 티에프티 어레이 기판
KR100878271B1 (ko) 2002-08-14 2009-01-13 삼성전자주식회사 구동칩이 내장되어 있는 필름 및 액정 표시 장치
KR100532087B1 (ko) * 2003-06-20 2005-11-30 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치
KR100671640B1 (ko) * 2004-06-24 2007-01-18 삼성에스디아이 주식회사 박막 트랜지스터 어레이 기판과 이를 이용한 표시장치와그의 제조방법
KR20060079698A (ko) 2005-01-03 2006-07-06 삼성전자주식회사 액정 표시 장치
KR20060103652A (ko) 2005-03-28 2006-10-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시 장치
JP4155317B2 (ja) * 2006-07-11 2008-09-24 セイコーエプソン株式会社 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器
KR20100055709A (ko) * 2008-11-18 2010-05-27 삼성전자주식회사 표시 기판 및 이를 구비한 표시 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003215621A (ja) 2002-01-21 2003-07-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示パネルおよび液晶表示パネルの製造方法
JP2006322959A (ja) * 2005-05-17 2006-11-30 Sony Corp 表示装置及び電子機器

Also Published As

Publication number Publication date
US9263434B2 (en) 2016-02-16
KR20120096760A (ko) 2012-08-31
US20120211772A1 (en) 2012-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101802845B1 (ko) 어레이 기판, 이를 갖는 표시 장치 및 이의 제조 방법
US11237421B2 (en) Display device
KR101771562B1 (ko) 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
US10989952B2 (en) Display device
KR100602062B1 (ko) 수평 전계 인가형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
US9240149B2 (en) Liquid crystal display device and method of fabricating the same
TWI599049B (zh) 半導體裝置及顯示裝置
JP5604457B2 (ja) 液晶表示装置
JP2006030627A (ja) 表示装置用基板及びそれを用いた液晶表示装置
US10254606B2 (en) Display device
JP2019184864A (ja) 表示装置
CN111625113A (zh) 有源矩阵基板、液晶显示装置以及内嵌式触控面板
KR102059788B1 (ko) 액정표시장치 및 그의 제조방법
KR20150089252A (ko) 표시 기판 및 표시 기판용 모기판의 제조 방법
KR20120033689A (ko) 액정표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법
JP2011232641A (ja) 液晶表示装置
KR100303447B1 (ko) 정전기보호회로를가지는액정표시장치
KR20120077575A (ko) 공통배선을 포함하는 액정표시장치의 어레이기판
US10416516B2 (en) Liquid crystal display panel and liquid crystal display device
JP2010049284A (ja) 表示装置用基板及びそれを用いた液晶表示装置
JP2008233417A (ja) マトリクスアレイ基板、及びこれを用いた平面表示装置
JP2020109449A (ja) 液晶表示パネルおよび液晶表示装置
JP2013218344A (ja) 表示装置用基板及びそれを用いた液晶表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant