KR100443771B1 - 작업물 수납 용기 및 작업물 수납 용기의 개폐 장치 - Google Patents

작업물 수납 용기 및 작업물 수납 용기의 개폐 장치 Download PDF

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Abstract

개폐 불량을 최소화하는 작업물 수납 용기 및 작업물 수납 용기 개폐 장치가 개시되어 있다. 내부에 작업물이 적재되고, 일면이 개방되는 용기와, 상기 용기의 개방된 면을 밀폐하는 커버와, 상기 커버에 형성되고, 상기 커버의 외부로 돌출되는 바와, 상기 바와 연결된 탄성 부재를 포함하여, 상기 탄성 부재의 변형에 의해 상기 바를 이동시키는 로킹부와, 상기 용기에 형성되고, 상기 로킹부에서 상기 커버의 외부로 돌출된 바가 삽입되는 삽입홈을 구비하는 프레임부로 구성되는 작업물 수납 용기를 제공한다. 상기 작업물 수납 용기는 탄성 부재의 변형에 의해 바를 이동시켜 용기와 커버를 분리함으로 개폐 동작이 단순하고 개폐 불량이 최소화된다.

Description

작업물 수납 용기 및 작업물 수납 용기의 개폐 장치{Container of workpeace and apparatus for opening or closing the container of workpeace}
본 발명은 작업물 수납 용기 및 작업물 수납 용기의 개폐 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 웨이퍼와 같은 작업물을 수용하는 수납 용기 및 수납 용기에 포함되는 커버를 용기로부터 개폐하는 작업물 수납 용기의 개폐 장치에 관한 것이다.
반도체 디바이스를 제조하는 과정에서, 예컨대 사진 공정, 증착 공정, 식각공정, 박막 형성 공정등 수많은 공정들을 거치게 되는데, 이와 같은 공정 수행을 위해 웨이퍼는 다수매를 용기 안에 내장되어 전달한다. 웨이퍼 사이즈가 8인치에서 공정능력의 향상에 따라 최근에는 12인치 짜리도 이용된다.
웨이퍼를 담는 용기의 형태는 웨이퍼 사이즈가 8인치인 경우에는 개방형 웨이퍼 카세트(open wafer cassette)를 많이 사용하였지만 최근에는 웨이퍼의 전달과정에서 생길 수도 있는 오염을 방지하기 위해 밀폐형 용기, 대표적인 예로서 풉(front open unified pod: FOUP)을 많이 채용된다.
상기 풉은 웨이퍼가 수용되는 용기의 전면에 커버가 형성되어, 상기 용기를 밀폐한다. 그리고, 상기 커버는 별도의 개폐 장치에 의해 상기 용기로부터 분리될 수 있다. 상기 풉의 일 예는 킨파라 등(Kinpara,et al.)에게 허여된 미 합중국 특허 제 6,186,311호에 개시되어 있다.
이하에서는 종래의 풉 및 풉 개폐 장치에 대해 설명한다.
도 1은 종래의 풉을 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 풉(10)은 내부에 웨이퍼(W)가 수용되고, 일면이 개방되는 구성을 갖는 용기(container, 12)와, 상기 용기(12)의 개방된 일면을 커버하여 상기 용기(12)를 밀폐하는 커버(cover, 14)로 구성된다.
상기 용기(12)의 양 측벽에는 서로 나란하게 슬릿(slot,16)들이 구비되고, 상기 각각의 슬릿(16)에는 웨이퍼(W)가 삽입된다.
상기 커버(14) 및 용기(12)의 일측에는 상기 커버(14)를 상기 용기(12)에 착탈시키기 위한 로킹부(18) 및 프레임부(30)가 설치되어 있다.
도 2는 도 1에 도시한 풉에 구비되는 로킹부를 나타내는 도면이다.
도 2를 참조하면, 상기 로킹부(18)는 상기 커버(14)의 내부에 구비되고, 회전 가능하도록 설치되는 회전판(20)과, 상기 커버(14)에서 상기 용기(12)와 대향하지 않는 전면으로부터 상기 회전판(20)의 중심부까지 연장되어 외부로부터 키를 삽입할 수 있도록 구성되는 키 홀(22)이 구비된다. 상기 키 홀(22) 외부에서 상기 키 홀(22)내에 키를 삽입한 후 회전함으로서, 상기 회전판(20)에 회전력을 전달하여 상기 회전판(20)을 회전시킨다.
상기 회전판(20)에 일단부가 각각 연결되고, 타단부는 상기 커버(14)의 상, 하부면을 통해 외부로 돌출하도록 각각 연장되는 바(bar, 22)가 구비된다. 그리고, 상기 커버(14)의 상, 하부면에는 상기 바(24)가 출입할 수 있도록 상기 커버(14)의내부와 통하는 출입홀(26)이 형성된다.
상기 프레임부(30)는 상기 용기(12)에 형성되고, 상기 커버(14)를 상기 용기(12)에 밀착하였을 때, 상기 용기(12)에서 상기 커버(14)의 상, 하부면에 형성된 출입홀(26)과 대향하는 부위에 상기 바(24)가 삽입되는 삽입홈(도 1, 32)을 포함한다.
따라서, 상기 로킹부(18)에 포함되는 바(24)는 상기 커버(14)의 프레임부(30)를 통해 외부로 돌출하여 상기 프레임부(30)에 형성되어 있는 삽입홈(32)에 삽입함으로서, 상기 커버(14)와 용기(12)를 서로 걸어 매어 상기 용기(12)를 밀폐시킨다.
상기와 같은 구성을 갖는 풉(10)은 상기 용기(12)를 밀폐하거나 개방하기 위해서는 별도의 풉 개폐 장치를 도입하여 상기 커버(14)를 개폐하여야 한다.
풉 개폐 장치는 일반적으로, 밀폐된 풉(10)이 놓여지고, 상기 풉(10)을 수평 방향으로 이동시키는 로딩부와, 상기 풉(10)의 커버(14)와 대향하도록 위치하는 플레이트와, 상기 플레이트에서 상기 풉(10)의 커버(14)와 대향하는 일면에 장착되고, 상기 키 홀(22)에 삽입되도록 위치하는 키와, 상기 플레이트를 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 이송부로 구성된다.
상기 풉 개폐 장치의 일 예는 챙(cheng)에게 허여된 미 합중국 특허 제 6,053,688호에 개시되어 있다.
상기 설명한 풉 개폐 장치를 사용하여 풉(10)의 커버(14)를 개폐하는 동작을 간단히 설명한다.
우선, 공정 수행을 위한 웨이퍼(W)들이 수용되어 있는 밀폐된 풉(10)을 로딩부에 놓는다. 이어서, 상기 풉(10)을 상기 플레이트로 수평 이동시켜 상기 플레이트와 커버(14)를 결합시킨다. 이 때, 상기 플레이트에 장착되어 있는 키는 상기 커버(14)의 전면에 구비되는 키 홀(22)에 삽입된다.
상기 키 홀(22)에 삽입되어 있는 키를 회전시킨다. 상기 키를 회전시키면, 상기 회전판(20)이 회전하고 이에 따라 상기 회전판(20)에 연결되어 있는 바(24)도 수직 방향으로 움직이게 되어 상기 바(24)의 일단부가 더 이상 상기 커버(14)의 상,하부면을 통해 외부로 돌출되지 않게 된다. 이 때문에, 상기 용기(12)와 커버(14)가 서로 분리된다. 또한, 상기 키 홀(22)에 상기 키가 삽입되어 있기 때문에, 상기 커버(14)의 전면은 상기 플레이트에 부착된다.
이어서, 커버(14)가 부착되어 있는 플레이트를 수평 방향으로 이동하여 상기 용기(12)로부터 상기 커버(14)를 탈착시키고, 상기 수직 방향으로 이동함으로서 상기 풉(10)의 커버(14)를 개방한다.
그런데, 종래의 풉(10)의 커버(14)에 구비되는 키 홀(22)의 사이즈가 매우 작고, 이에 따라 상기 풉 개폐 장치에 구비되는 키의 사이즈도 매우 작다. 때문에, 상기 풉(10)의 커버(14)를 용기로부터 분리할 시에 상기 키와 키 홀(22)이 정확히 얼라인(align)되지 못하는 경우가 빈번히 발생된다. 따라서, 상기 풉(10)의 개폐가 수행되지 않는 불량이 발생한다.
또한, 반도체 제조 공정을 수행하기 위해 상기 풉(10)의 개폐가 빈번히 이루어지므로, 작은 사이즈의 키를 상기 키 홀(22)에 삽입하여 회전하는 회수가 매우많아진다. 이러한 빈번한 회전으로 상기 키 홀(22)의 사이즈가 원래의 사이즈에 비해 약간씩 커지게 되고, 이에 따라 상기 키와 키 홀(22)간의 유격이 커진다. 상기와 같이 키와 키 홀(22)간의 유격이 커질 경우, 상기 키를 삽입하여 회전 방향으로 힘을 가하여도 상기 키가 원활하게 회전하지 못하여 상기 풉(10)의 개폐 불량이 발생한다.
상기와 같은 풉의 개폐 불량이 발생하면 공정 진행 시간이 지연되고, 이에 따라 반도체 장치의 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 제1 목적은 개폐 불량을 최소화하는 작업물 수납 용기를 제공하는데 있다.
본 발명의 제2 목적은 개폐 불량을 최소화하는 작업물 수납 용기 개폐 장치를 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 풉을 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 풉에 구비되는 로킹부를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 풉을 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 풉에 채용되는 로킹부를 나타내는 사시도이다.
도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 풉을 나타내는 단면도이다.
도 6a 내지 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 풉 개폐 장치를 나타내는 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 풉 102 : 용기
104 : 커버 106 : 로킹부
108 : 삽입홈 110 : 프레임 부
200 : 바 202 : 출입홀
204 : 탄성 부재 206 : 지지부
210 : 돌출턱 212 : 홀
302 : 로딩부 304 : 플레이트
306 : 커버 분리부 308 : 이송부
상기한 제1 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
내부에 작업물(workpiece)이 적재되고, 일면이 개방되는 용기(container);
상기 용기의 개방된 면을 밀폐하는 커버;
상기 커버에 형성되고, 상기 커버의 외부로 돌출되는 바와, 상기 바와 연결된 탄성 부재를 포함하여, 상기 탄성 부재의 변형에 의해 상기 바를 이동시키는 로킹부; 및
상기 용기에 형성되고, 상기 로킹부에서 상기 커버의 외부로 돌출된 바가 삽입되는 삽입홈을 구비하는 프레임부로 구성되는 작업물 수납 용기를 제공한다.
상기한 제2 목적을 달성하기 위하여 본 발명은,
일면이 개방되는 용기(container)와, 상기 용기의 개방된 면을 밀폐하는 커버와, 상기 커버에 형성되고, 상기 커버의 외부로 돌출되는 바와, 상기 바와 연결된 탄성 부재를 포함하는 로킹부 및 상기 용기에 형성되고, 상기 커버의 외부로 돌출된 바가 삽입되는 삽입홈을 구비하는 프레임부로 구성되는 작업물 수납 용기가 놓여지는 로딩부;
상기 로딩부에 놓여지는 작업물 수납 용기의 커버와 대향하도록 위치하는 플레이트;
상기 플레이트에서 상기 작업물 수납 용기의 커버와 대향하는 일면에 장착되고, 상기 작업물 수납 용기에 포함되어 있는 바가 상기 커버의 상, 하부면을 통해 외부로 돌출되지 않도록 클램프를 동작하여 상기 커버와 용기를 물리적으로 분리시키고, 상기 분리된 커버를 잡고 있는 커버 분리부; 및
상기 플레이트를 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 이송부로 구성되는 작업물 수납 용기의 개폐 장치를 제공한다.
상기 작업물 수납 용기는 12 인치 웨이퍼를 수용하는 풉을 포함하고, 상기 작업물 수납 용기의 개폐 장치는 풉의 개폐 장치를 포함한다.
상기 작업물 수납 용기 및 작업물 수납 용기의 개폐 장치를 사용하면, 상기 작업물 수납 용기를 개방 및 밀폐하기 위해 키를 삽입하거나 회전하는 공정을 수행하지 않아도 된다. 때문에, 상기 키의 삽입 및 회전에 의해 발생하는 개폐 불량을방지할 수 있다. 또한, 상기 작업물 수납 용기의 개폐 단계가 단순해지므로 공정 시간이 단축되는 효과가 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하고자 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 풉을 나타내는 사시도이다.
도 3을 참조하면, 풉(100)은 내부에 웨이퍼(W)가 수용되고, 일면이 개방되는 구성을 갖는 용기(102)와, 상기 용기(102)의 개방된 면을 커버하여 상기 용기(102)를 밀폐하는 커버(104)로 구성된다. 상기 용기(102)에서 개방된 면은 상기 용기(102)의 전면으로 정의한다.
상기 용기(102)의 양 측벽에는 서로 나란하게 슬릿(102a)들이 구비되고, 상기 슬릿(102a)들에 웨이퍼가 각각 삽입된다.
상기 커버(104)에는, 상기 커버(104)의 외부로 돌출되는 바(200)와, 상기 바(200)와 연결된 탄성 부재(도 4, 204)를 포함하는 로킹부(도 4, 106)가 구비된다.
그리고, 상기 용기(102)에는 상기 바(200)가 삽입되는 사이즈의 삽입홈(108)을 구비하는 프레임부(110)가 구비된다.
따라서, 상기 로킹부(106)에 구비되는 탄성 부재(204)의 변형에 의해 상기 삽입홈(108)내에 삽입되어 있는 바(200)를 이동시킴으로서, 상기 커버(104)를 용기(102)와 분리시키거나 또는 커버(104)에 의해 용기(102)를 밀폐한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 풉에 채용되는 로킹부를 나타내는 사시도이다.
이하에서는, 도 3 및 도 4를 참조하여 상기 로킹부(106) 및 프레임부(110)에 대해 상세히 설명한다.
도 4를 참조하면, 상기 로킹부(106)는 상기 커버(104) 내부의 소정 위치로부터 상기 커버(104)의 상, 하부면 쪽으로 수직 연장되고, 제1 단부가 상기 커버(104)의 상, 하부면을 통해 외부로 돌출되는 바(bar, 200)를 구비한다. 이를 위해, 상기 커버(104)의 상, 하부면에서 상기 바(200)가 수직 연장되는 위치에는 상기 바(200)가 출입할 수 있는 출입홀(202)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 바(200)에서 상기 제1 단부의 타단부인 제2 단부와 연결되고, 상기 바(200)에 수직 방향으로 가해지는 힘에 의해 수축하여, 상기 바(200)의 제1 단부가 상기 커버(104)의 외부로 돌출되지 않도록 상기 바(200)를 이동시키는 탄성 부재(204)가 구비된다. 이를 위해, 상기 탄성 부재(204)는 상기 바(200)가 수직 연장되어 있는 방향으로 연장된다.
상기 탄성 부재(204)에서 상기 바(200)와 연결되어 있지 않는 단부와 연결되고, 상기 탄성 부재(204)를 지지하는 지지부(206)를 구비한다. 상기 지지부(206)는 상기 바(200)의 운동 방향과 수직한 방향으로 상기 커버(104)의 내부에 구비된다. 즉, 상기 지지부(206)는 외부에서 상기 바(200)에 가해주는 힘에 의해 상기 탄성 부재(204)를 상기 지지부(206)쪽으로 수축할 수 있도록 한다.
상기 구성을 갖는 로킹부(106)와 함께, 상기 용기(102)에 형성되고, 상기 커버(104)와 용기(102)를 서로 밀착시켰을 때 상기 커버(104)의 측면에 형성된 출입홀(202)과 대향하는 부위에 상기 바(200)가 삽입되는 삽입홈(도 3, 108)을 갖는 프레임부(110)를 구비한다. 따라서, 상기 삽입홈(108) 내에는 상기 커버(104) 내부로부터 연장되는 바(200)의 제1 단부가 삽입되어, 상기 바(200)에 의해 커버(104)와 상기 용기(102)를 서로 밀폐시킨다.
상기 용기(102)와 커버(104)를 서로 밀착시켜 상기 용기(102)를 밀폐하였을 때, 상기 바(200)는 상기 커버(104)의 내부의 소정 위치로부터 상기 커버(104)의 상, 하부면을 통해 외부로 연장되어 있고, 상기 연장된 바(200)의 제1 단부는 상기 삽입홈(108)에 삽입되어 있다. 그런데, 상기 바(200)는 상기 커버(104)의 내부에 구비되고 상기 커버(104)의 외부에 노출되는 부분이 전혀 없기 때문에, 외부에서 상기 바(200)에 직접 힘을 가해줄 수 없다. 때문에, 상기 커버(104)에서 상기 용기(102)와 대향하지 않는 일면에는 상기 바(200)의 소정 부위를 노출시키는 홀(212)이 구비된다.
그리고, 상기 바(200)로부터 상기 홀(212)쪽으로 수직 연장되는 돌출턱(210)을 구비한다. 상기 돌출턱(210)은 외부에서 상기 바(200)에 수직 방향으로 힘을 가하기 쉽게 하기 위해 구비된다. 따라서, 상기 돌출턱(210)의 상부면 또는 하부면에 수직 방향으로 힘을 가함으로서, 상기 돌출턱(210)과 연결되어 있는 상기 바(200)에 수직 방향으로 힘을 가할 수 있다. 이로 인해, 상기 바(200)에 연결되어 있는 탄성 부재(204)가 수축 또는 팽창하게 되어 상기 바(200)를 이동시킴으로서 상기 커버(104)와 용기(102)를 분리할 수 있다. 즉, 상기 바(200)가 이동하여 상기 삽입홈(108)에 삽입되어 있던 상기 바(200)의 제1 단부가 상기 커버(104)의 내부로 인입되면, 상기 용기(102)로부터 커버(104)가 분리되는 것이다.
이 때, 상기 돌출턱(210)은 상기 커버(104)에 형성되어 있는 홀(212)내로만 이동이 가능하다. 때문에 상기 홀(212)의 사이즈는 상기 바(200)가 상기 커버(104)의 상, 하부면의 외부로 돌출되지 않고, 상기 커버(104)의 내부로 인입되도록 하기 위해 상기 돌출턱(210)이 수직 이동하여야 하는 거리 이상을 확보하여야 한다.
상기 하나의 바(200)에는 상기 돌출턱(210)과 인접한 위치에 서로 대향하는 또 하나의 돌출턱(210)을 더 구비할 수 있다. 따라서, 상기 돌출턱(210)들 사이 공간에 소정의 클램프가 삽입되어 어느 하나의 돌출턱(210)의 일면에 힘을 가함으로서 상기 바(200)를 이동시킬 수 있다. 상기와 같이, 하나의 바(200)에 또 하나의 돌출턱(210)을 더 구비함으로서, 상기 클램프에 의하여 상기 바(200)를 이동할 시에 더욱 안정적으로 동작을 수행할 수 있다.
그리고, 상기 돌출턱(210)에서 외부로부터 힘이 직접적으로 전달되는 일 면은 상기 바(200)쪽으로 갈수록 상기 바(200)의 이동 방향으로의 단면적이 테이퍼(taper)진 형상을 갖도록 한다. 다시 설명하면, 상기 돌출턱(210)에서 상기 바(200)와 접촉되는 면이 이에 대향하는 면에 비해 사이즈가 작게 되도록, 상기 돌출턱(210)에서 힘이 전달되는 일면이 테이퍼진 형상을 갖는다.
상기와 같이 일면이 테이퍼진 형상을 갖도록 돌출턱(210)을 형성하면, 상기 테이퍼진 부위로 상기 클램프의 소정 부위를 인입함으로서 상기 돌출턱(210)을 안정적으로 움켜잡을 수 있으므로, 상기 용기(102)로부터 커버(104)를 분리하기가 용이해진다.
상기 설명한 구성을 갖는 로킹부(106)는 상기 커버(104)내에 하나만 구비하는 것이 아니라 서로 대향하는 위치에 동일 기능을 수행하는 로킹부(106)를 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 로킹부(106)는 서로 평행하는 위치에 동일 기능을 수행하는 로킹부(106)를 더 구비할 수 있다.
구체적으로, 상기 로킹부(106)들은 각각의 바(200)가 상기 커버(104)내의 소정 위치로 부터 서로 대향하는 상,하부면으로 각각 연장되도록 구비한다. 또한, 상기 상, 하부면으로 각각 연장된 바(200)가 형성되어 있는 위치와 평행한 위치에 상기 상, 하부면으로 또 다른 바(200)가 연장되도록 소정 위치에 상기 로킹부(106)를 더 구비한다.
그리고, 상기 프레임(110)부는 상기 로킹부(106)들에 포함되는 바(200)들이 각각 삽입될 수 있도록 삽입홈(108)을 더 구비하여야 한다.
상기와 같이, 각 로킹부(106)에 포함되는 바(200)는 상기 커버(104)의 상, 하부면에 각각 2개씩 연장되도록 총 4개를 구비하고, 상기 프레임부(110)에는 상기 각 바들이 삽입되는 삽입홈(108)을 구비하면, 상기 용기(102)에서 서로 대향하는 부위가 각각 잠기게 되어 상기 용기(102)를 안정적으로 밀폐할 수 있다.
도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 풉을 나타내는 단면도이다.
도 5a는 상기 풉(100)에서 로킹부(106)에 포함되는 각각의 바(200)가 상기 커버(104)의 상, 하부면을 통해 외부로 돌출되어 있다. 따라서, 상기 바(200)의 일단부는 삽입홈(108)에 삽입되어 풉(100)을 밀폐한다.
또한, 상기 5b는 상기 풉(100)에서 로킹부(106)에 포함되는 각각의 바(200)는 상기 커버(104)의 상,하부면을 통해 외부로 돌출되어 있지 않다. 즉, 상기 커버(104)의 상, 하부면을 통해 돌출되어 있는 상기 바(200)에 힘을 가하여 상기 바(200)를 수직 방향으로 이동함으로서, 상기 바(200)의 일단부가 상기 삽입홈(108)에 더 이상 삽입되지 않도록 한다. 따라서, 상기 커버(104)와 용기(102)가 분리되어 상기 풉(100)을 개방한다.
도 6a 내지 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 풉 개폐 장치를 나타내는 단면도이다.
도 6a는 풉이 용기와 커버가 분리되기 이전의 상태를 보여주며, 도 6b는 풉 개폐 장치에 의해 상기 풉의 용기와 커버가 물리적으로 분리된 상태를 보여준다.
상기 풉 개폐 장치는 상기에서 설명한 풉을 개폐하기 위한 장치이다.
일반적으로 풉 개폐 장치는, 고 청정 및 고 진공이 요구되는 반도체 장비와 상대적으로 저 청정 및 저 진공을 갖는 반도체 라인간의 경계 지점에 구비된다. 따라서, 상기 풉 개폐 장치에 의해 상기 풉의 커버가 개방되는 즉시 상기 풉의 용기 부분이 상기 반도체 장비에 장착되도록 한다. 따라서, 상기 풉에 수용되어 있는 웨이퍼는 상기 반도체 라인 내에 노출되지 않으면서 반도체 공정이 수행된다.
도 6a 내지 도 6b를 참고하면, 풉 개폐 장치(300)에는 풉(100)이 놓여지는 로딩부(302)가 구비된다.
상기 로딩부(302)는 구체적으로, 상부면에 풉(100)이 놓여지는 스테이지(302a)와, 상기 스테이지(302a)를 수평 방향으로 이동시키는 제1 구동부(302b)를 포함한다.
상기 제1 구동부(302b)는 상기 스테이지(302a)를 상기 반도체 장비의 도어쪽으로 수평 이동시킨다. 이 때, 상기 풉(100)은 커버(104)가 상기 반도체 장비의 도어쪽으로 향하도록 놓여진다.
상기 로딩부(302)에 놓여지는 풉(100)의 커버(104)와 대향하는 위치에 플레이트(304)가 구비된다. 상기 플레이트(304)는 또한, 상기 반도체 장비에서 웨이퍼를 인입하기 위한 도어와 인접하면서 상기 도어와 대향하는 위치에 구비된다.
상기 플레이트(304)의 일면에는 상기 풉(100)의 용기(102)로부터 커버(104)를 물리적으로 분리시키고, 상기 분리된 커버(104)를 잡고 있는 커버 분리부(306)가 구비된다.
상기 커버 분리부(306)는 상기 플레이트(304)에서 상기 풉(100)의 커버(104)와 대향하는 일 면에 장착되고, 상기 로킹부(106)에 구비되는 상기 바(200)가 상기 커버(104)의 상부면 및 하부면을 통해 외부로 돌출되지 않도록, 클램프(400)를 동작시켜 상기 바(200)에 수직 방향으로 힘을 가함으로서, 상기 풉(100)의 용기(102)로부터 커버(104)를 분리한다. 또한, 상기 클램프(400)에 의해 상기 바(200)를 움켜 잡은 후 수직 방향으로 힘을 가함으로, 상기 용기(102)로부터 분리된 커버(104)는 상기 커버 분리부(306)의 일 면에 부착한다. 이 때, 상기 커버 분리부(306)는 상기 커버(104)내에 구비되는 다수개의 로킹부(106)들에 동시에 힘을 가하도록 구비되어야 한다.
이를 위해, 상기 커버 분리부(306)는 상기 커버(104)에 구비되는 각 바(200)의 일측으로부터 연장되어 있는 돌출턱(210)을 움켜잡을 수 있도록 형성되는 클램프(400)와, 상기 클램프(400)와 연결되고 상기 클램프(400)를 구동시킴으로서 상기 바(200)를 이동시키는 제2 구동부(402)를 구비한다. 상기 제2 구동부(402)는 모터를 포함한다.
상기 클램프(400)는 서로 대향하여 구비되는 한 쌍의 바(200)로부터 각각 연장되어 있는 한 쌍의 돌출턱(210)을 동시에 움켜잡은 후 힘을 가할 수 있도록 형성된 한 쌍의 암(400a)을 포함한다. 그리고, 상기 제2 구동부(402)는 상기 돌출턱(210)들을 움켜잡은 한 쌍의 암(400a)간의 이격 거리가 변화하도록 구동하여 서로 대향하는 한 쌍의 바(200)를 동시에 이동시킨다. 상기 클램프(400) 및 제2 구동부(402)는 상기 풉(100)에 형성되어 있는 다수개의 바(200)들의 일단부가 동시에 상기 커버의 내부로 인입되도록 상기 바를 이동함으로서 상기 풉(100)의 용기(102)로부터 커버(104)를 분리할 수 있다. 이를 수행하기 위해, 상기 클램프(400) 및 제2 구동부(402)는 상기 풉(100)에 형성되어 있는 바(200)의 개수에 따라 다수개를 구비하여야 한다.
상기 커버 분리부(306)에 구비되는 클램프(400)의 형상은 상기 풉(100)에 구비되어 있는 돌출턱(210)의 형상에 따라 달라진다. 이하에서는, 소정의 형상을 갖는 돌출턱(210)을 구비한 풉(100)에서 사용할 수 있는 클램프(400)의 형상을 일 예를 들어 구체적으로 설명한다.
이하에서 설명하는 풉(100)은, 로킹부(106)에 포함되는 바(200)가 상기 커버(104)의 상, 하면에 대향하도록 각각 연장되어 있고, 하나의 바(200)에는 서로 대향하도록 2개의 돌출턱(210)이 구비되어 있다. 그리고, 상기 하나의 바(200)에형성되어 있는 돌출턱(210)에서 상기 클램프(400)의 암(400a)과 접촉하여 수직 방향으로 힘이 가해지는 일면은 상기 바(200)쪽으로 갈수록 상기 바(200)의 이동 방향으로의 단면적이 테이퍼진 형상을 갖는다. 구체적으로, 상기 돌출턱(210)에서 상기 바(200)와 접촉되는 면이 이에 대향하는 면에 비해 사이즈가 작게 되도록 테이퍼진 형상을 갖는다.
상기 형상을 갖는 풉(100)에서 사용할 수 있는 클램프(400)는 서로 대향하도록 상기 커버(104)의 상,하부면에 각각 연장되어 있는 한 쌍의 바(200)에 구비된 돌출턱(210)들 사이에 각각 삽입할 수 있도록 한 쌍의 암(400a)이 구비된다.
상기 클램프(400)와 연결되고, 상기 클램프(400)에 구비되는 한 쌍의 암(400a)을 수직 방향으로 구동시켜 상기 돌출턱(210)에 동시에 힘을 가하는 제2 구동부(402)가 구비된다. 상기 제2 구동부(402)는 서로 대향하는 상기 바(200)에 각각 형성되어 있는 돌출턱(210)간의 간격이 감소되도록 힘을 가함으로서, 상기 각각의 바(200)의 일단부가 상기 커버(104)의 상, 하부면을 통해 돌출되지 않고, 상기 커버의 내부로 인입되어 상기 용기(102)로부터 커버(104)를 개방한다.
상기 클램프(400)에 구비되는 한 쌍의 암(400a)은 각각 상기 돌출턱(210) 사이로 인입한 후 수직 방향으로 이동하였을 때, 상기 돌출턱(210)의 테이퍼진 부위와 상기 암(400a)의 일면이 서로 정확히 맞물려 접촉하도록 형성된다. 즉, 상기 암(400a)에서 상기 돌출턱(210)의 테이퍼진 부위와 접촉되는 부위는 상기 돌출턱(210)과 맞물릴 수 있도록 테이퍼진 형상을 갖는다.
상기와 같이 테이퍼진 형태로 돌출턱(210) 및 클램프(400)를 형성하면, 상기클램프(400)는 상기 돌출턱(210)의 테이퍼진 부위와 맞물리면서 구동하므로 상기 돌출턱(210)을 안정적으로 붙잡을 수 있다. 따라서, 상기 클램프(400)의 구동에 의해 상기 커버(104)가 용기(102)로부터 탈착된 이 후에, 상기 커버(104)가 상기 클램프(400)에 의해 붙잡힘으로서 안정적으로 상기 커버 분리부(306)에 부착된다.
또한, 상기 클램프(400)에 구비된 암(400a)에서 상기 돌출턱(210)사이로 삽입되는 부위의 사이즈를 조절함으로서, 상기 클램프(400)와 돌출턱(210)간의 얼라인이 정확하지 않더라도 상기 클램프(400)가 상기 돌출턱(210) 사이로 인입하여 개폐 동작을 정상적으로 수행할 수 있도록 한다.
상기 플레이트(304)와 연결되고, 상기 플레이트(304)를 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 이송부(308)를 구비한다.
상기 이송부(308)는 상기 플레이트(304)를 상기 풉(100)의 커버(104)와 대향하는 위치로 수직 및 수평 방향으로 이동시켜, 상기 플레이트(304)에 구비된 커버 분리부(306)와 상기 커버(104)에 구비된 로킹부(106)를 서로 얼라인한다. 그리고, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 커버 분리부(306)에 의해 상기 커버(104)를 개방하고, 상기 분리된 커버(104)를 잡는다. 이어서, 상기 커버(104)가 부착되어 있는 플레이트(304)를 수평 및 수직 방향으로 이송하여 상기 풉(100)의 용기를 개방한다.
상기 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 풉과 풉 개폐 장치는 종래와 같이 키 삽입 및 회전 등의 과정을 수행하지 않고, 탄성 부재의 변형에 의해 바를 이동시킴으로서 상기 풉의 용기와 커버를 분리할 수 있다. 때문에, 상기키 삽입 시의 얼라인 미스에 의한 불량이 방지되고, 풉의 개폐에 소요되는 시간도 단축시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 풉의 개폐를 용이하게 수행할 수 있으며, 개폐 시의 불량이 감소되고, 개폐 시간의 단축됨에 따라 반도체 장치의 생산성이 증가되는 효과를 기대할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (18)

  1. 내부에 작업물(workpiece)이 적재되고, 일면이 개방되는 용기(container);
    상기 용기의 개방된 면을 밀폐하고, 상기 용기와 대향하지 않는 일면에는 내부와 통하는 홀이 구비되는 커버;
    상기 커버에 형성되고, 상기 커버의 내부로부터 상기 커버의 상, 하부면을 통해 외부로 제1 단부가 돌출되도록 수직 연장되는 바와, 상기 바에서 상기 커버에 형성된 홀을 통해 돌출 연장되도록 형성되고 커버 외부에서 상기 바에 수직 방향으로 소정의 힘을 가하기 위한 돌출턱, 상기 바와 연결된 탄성 부재를 포함하고, 상기 돌출턱에 직접 힘을 가하여 상기 탄성 부재를 변형시켜 상기 바를 이동시키는 로킹부; 및
    상기 용기에 형성되고, 상기 로킹부에서 상기 커버의 외부로 돌출된 바가 삽입되는 삽입홈을 구비하는 프레임부로 구성되는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 탄성 부재는 상기 바의 제1 단부의 타단부인 제2 단부에, 상기 바가 수직 연장되어 있는 방향으로 연결되는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  4. 삭제
  5. 제4항에 있어서, 상기 홀의 사이즈는 상기 바가 상기 커버의 상, 하부면의 외부로 돌출되지 않도록, 상기 바가 수직 이동하여야 하는 거리 이상을 확보하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 돌출턱에서 외부로부터 힘이 직접적으로 전달되는 일 면은 상기 바 쪽으로 갈수록 상기 바의 이동 방향으로의 단면적이 테이퍼(taper)진 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  8. 제1항에 있어서, 상기 하나의 바에는 상기 돌출턱과 인접하면서 서로 대향하는 또 하나의 돌출턱을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  9. 제1항에 있어서, 상기 로킹부는 상기 탄성 부재의 일단부와 연결되어 상기 탄성 부재를 지지하고, 상기 바의 운동 방향과 수직한 방향으로 형성되는 지지부를더 구비하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  10. 제1항에 있어서, 상기 로킹부는 서로 대향하는 위치에 동일 기능을 수행하는 로킹부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  11. 제1항에 있어서, 상기 로킹부는 서로 평행하는 위치에 동일 기능을 수행하는 로킹부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  12. 제1항에 있어서, 상기 용기 내에 적재되는 작업물은 웨이퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기.
  13. 일면이 개방되는 용기(container)와, 상기 용기의 개방된 면을 밀폐하는 커버와, 상기 커버에 형성되고, 상기 커버의 외부로 돌출되는 바와, 상기 바와 연결된 탄성 부재를 포함하는 로킹부 및 상기 용기에 형성되고, 상기 커버의 외부로 돌출된 바가 삽입되는 삽입홈을 구비하는 프레임부로 구성되는 작업물 수납 용기가 놓여지는 로딩부;
    상기 로딩부에 놓여지는 작업물 수납 용기의 커버와 대향하도록 위치하는 플레이트;
    상기 플레이트에서 상기 작업물 수납 용기의 커버와 대향하는 일면에 장착되고, 상기 작업물 수납 용기에 포함되어 있는 바가 상기 커버의 상, 하부면을 통해외부로 돌출되지 않도록 클램프를 동작하여 상기 커버와 용기를 물리적으로 분리시키고, 상기 분리된 커버를 잡고 있는 커버 분리부; 및
    상기 플레이트를 수직 및 수평 방향으로 이동시키는 이송부로 구성되는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기의 개폐 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 로딩부와 연결되고, 상기 로딩부에 놓여지는 작업물 수납 용기를 수평 방향으로 이동시키는 제1 구동부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기의 개폐 장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 커버 분리부는,
    상기 작업물 수납 용기의 바에 연장되어 있는 돌출턱의 소정 부위를 움켜 잡을 수 있도록 형성되는 클램프; 및
    상기 클램프와 연결되고, 상기 클램프를 구동시켜 상기 바를 구동시키는 제2 구동부로 구성하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기의 개폐 장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 로킹부와 인접하고, 서로 대향하도록 동일한 기능을 하는 로킹부를 더 구비하고, 상기 하나의 클램프는 상기 로킹부들에서 서로 대향하는 한 쌍의 바를 동시에 움켜잡는 한 쌍의 암을 포함하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기의 개폐 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제2 구동부는 상기 클램프에 구비되는 한 쌍의 암 간의 이격 거리가 변화하도록 구동시키는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기의 개폐 장치.
  18. 제15항에 있어서, 상기 제2 구동부는 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 작업물 수납 용기의 개폐 장치.
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