JP3888991B2 - ポッドオープナにおけるポッドクランプユニット、ポッドクランプユニットに対応するポッドおよびポッドクランプユニットを用いたクランプ機構およびクランプ方法 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 26
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 241000275455 Idahoa scapigera Species 0.000 description 1
- 206010061592 cardiac fibrillation Diseases 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002600 fibrillogenic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
3:クランプ部材
5:垂直シリンダロッド
7:垂直シリンダ
9:垂直方向ガイド
11:水平シリンダロッド
13:水平シリンダ
15:水平方向ガイド
31:係合凹部
33:被クランプ部
102:開口
103:ドア
104:蓋
105:微小空間
106:ポッド本体
107:ウエハ
109:テーブル
110:壁
112:載置台
114:移載ロボット
115:エアシリンダ
122:当接部材
123:支持部材
124:矩形穴
131:ウエハ受け取りステージ
Claims (3)
- 一側面に開口するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有すると共にその内部にウエハを収容可能なポッドを載置台の表面上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部への前記ウエハの挿脱を可能とするポッドオープナにおいて、前記ポッドを前記載置台に対して固定するポッドクランプユニットであって、
前記載置台の裏面に固定されて水平シリンダロッドの一端を支持すると共に前記水平シリンダロッドを第一の方向に伸縮する水平シリンダと、
前記水平シリンダロッドの他端に固定されて、垂直シリンダロッドの一端を支持すると共に前記垂直シリンダロッドを第二の方向に伸縮する垂直シリンダと、
前記垂直シリンダロッドの他端に固定されたクランプ部材とを有し、
前記載置台は更に前記垂直シリンダロッドが貫通可能であり前記クランプ部材が前記載置台の表面側に存在することを可能とする開口を有し、
前記クランプ部材は、前記垂直シリンダロッドが縮んだ状態において、前記載置台表面に前記ポッドを載置した際に前記ポッドの底面と接触しない、前記載置台表面からの所定高さに位置することを特徴とするポッドクランプユニット。 - 請求項1記載のポッドクランプユニットと、前記ポッドの底面に設けられた係合凹部とからなるポッドクランプ機構であって、
前記係合凹部は、前記クランプ部材を所定深さに収容可能な内部深さを有する係合穴と、前記クランプ部材が進入可能な広さを有する前記係合穴に連通する開口部分と、前記クランプ部材が前記第一の方向に駆動することで前記クランプ部の一部と係合可能となり、前記開口部分と隣接して前記係合穴の一部を閉鎖する被クランプ部分とを有することを特徴とするポッドクランプ機構。 - 一側面に開口するポッド本体と前記開口を開閉する蓋とを有すると共にその内部にウエハを収容可能なポッドを載置台の表面上に固定し、前記蓋を開閉して前記ポッド内部への前記ウエハの挿脱を可能とするポッドオープナにおいて、前記ポッドを前記載置台に対して固定するポッドクランプ方法であって、
前記載置台の表面上の所定位置に前記ポッドを載置する工程と、
前記載置台表面から前記ポッド底面に設けられた係合凹部に、前記載置台に配置されたクランプ部材を第一のシリンダを用いて突出させる工程と、
前記クランプ部材および第一のシリンダを、第二のシリンダを用いて所定の方向に移動する工程と、
前記第一のシリンダを用いて前記クランプ部材を前記突出させる方向とは逆の方向に移動させて、前記係合凹部の開口部に隣接する被クランプ部分と前記クランプ部材とを係合する工程とを有することを特徴とするポッドクランプ方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003363378A JP3888991B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | ポッドオープナにおけるポッドクランプユニット、ポッドクランプユニットに対応するポッドおよびポッドクランプユニットを用いたクランプ機構およびクランプ方法 |
US10/969,077 US7621714B2 (en) | 2003-10-23 | 2004-10-21 | Pod clamping unit in pod opener, pod corresponding to pod clamping unit, and clamping mechanism and clamping method using pod clamping unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003363378A JP3888991B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | ポッドオープナにおけるポッドクランプユニット、ポッドクランプユニットに対応するポッドおよびポッドクランプユニットを用いたクランプ機構およびクランプ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005129706A JP2005129706A (ja) | 2005-05-19 |
JP3888991B2 true JP3888991B2 (ja) | 2007-03-07 |
Family
ID=34642725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003363378A Expired - Lifetime JP3888991B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | ポッドオープナにおけるポッドクランプユニット、ポッドクランプユニットに対応するポッドおよびポッドクランプユニットを用いたクランプ機構およびクランプ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3888991B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4338205B2 (ja) | 2006-03-29 | 2009-10-07 | Tdk株式会社 | ポッドクランプユニット、ポッドクランプユニットを有するロードポート、ポッド及びロードポートを有するミニエンバイロンメントシステム |
JP4848916B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2011-12-28 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | クランプ機構 |
US7793906B2 (en) | 2008-03-31 | 2010-09-14 | Shinko Electric Co., Ltd. | Clamping mechanism |
US8813964B2 (en) * | 2009-08-26 | 2014-08-26 | Texchem Advanced Products Incorporated Sdn. Bhd. | Wafer container with recessed latch |
JP6554872B2 (ja) | 2015-03-31 | 2019-08-07 | Tdk株式会社 | ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法 |
-
2003
- 2003-10-23 JP JP2003363378A patent/JP3888991B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005129706A (ja) | 2005-05-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060823 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3888991 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091208 Year of fee payment: 3 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101208 Year of fee payment: 4 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101208 Year of fee payment: 4 |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121208 Year of fee payment: 6 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131208 Year of fee payment: 7 |
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