CN117293071A - 装载端口及用于打开/关闭储存容器的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种装载端口及用于打开/关闭储存容器的方法。装载端口与输送部件连接且包括：基座，其构成输送部件的壁的一部分；载台，储存容器安装在该载台上；载台驱动机构，其被配置为使载台在朝向或远离基座的方向上移动；门，其被配置为能够对基座的在面对安装在载台上的储存容器的盖子的位置处的开口进行打开/关闭，并且能够对在关闭开口的状态下设置为面对开口的盖子进行保持；门驱动机构，其被配置为使门在打开位置与关闭位置之间移动；以及移动限制部件，其被配置为通过抵靠在载台上而限制载台在远离基座的方向上的移动。

Description

装载端口及用于打开/关闭储存容器的方法

相关申请的交叉引用

本申请基于2022年6月23日提交的日本专利申请第2022-101087号并要求其优先权的权益，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明涉及一种与被配置为输送基板的输送部件连接并且用于在输送部件与储存基板的储存容器之间进行基板的搬入/搬出的装载端口，以及一种用于打开/关闭储存基板的储存容器的方法。

背景技术

在半导体制造工艺等中需要高度洁净的环境。近年来，小型环境***已经越来越多地用于代替下流式***在半导体制造工厂等中形成洁净环境。微环境***是仅在作为待处理的对象的基板周围形成局部洁净环境并且与使用整个工厂作为洁净环境的下流式***相比能够以低成本形成高度洁净的环境的***。

在微环境***中，基板被储存在被保持在比外部气氛洁净度高的储存容器中以进行运输、储存等，并且被称为设备前端模块(EFEM)的模块被用于在储存容器与对储存容器和基板进行各种处理的处理设备之间进行基板传送。EFEM包括输送部件和装载端口，输送部件包括输送室和安装在输送室中的输送机器人，装载端口与输送部件连接。装载端口是用于在储存基板的储存容器与输送部件之间进行基板的搬入/搬出的接口，并且储存在储存容器中的基板在储存容器与输送部件(以及因此处理设备)之间传送，而不会穿过装载端口而暴露于外部气氛(参见专利文献1)。

[现有技术文献]

专利文献

专利文献1：日本专利公开第2016-178133号

发明内容

将参照图18来描述相关技术中的一般的装载端口。图18是示意性示出传统一般的装载端口900的配置例的视图。

装载端口900包括板状的基座901，该基座901构成与其连接的输送部件800的壁的一部分。在基座901的一侧设置有载台902，在载台902的顶表面上安装储存基板(例如，晶圆90)的储存容器9。载台902设置有锁定爪(未被示出)等，并且储存容器9以不从载台902移位的方式进行固定。另外，与载台902连接有被配置为使载台902在朝向或远离基座901的方向上移动的驱动机构(载台驱动机构)903。同时，在基座901的表面中形成有开口901a，并且设置有门904来关闭开口901a。与门904连接有被配置为使门904在关闭位置(门904关闭开口901a的位置)与打开位置(门904打开开口901a的位置)之间移动的驱动机构(门驱动机构)905。

具有上述配置的装载端口900的操作的例子如下。首先，当储存晶圆90的储存容器9通过诸如AMHS、PGV等外部输送机器人而安装在载台902上时，使载台902在接近基座901的方向上移动，从而使安装在载台902上的储存容器9和基座901例如彼此接触。在这种状态下，储存容器9的盖子92足够靠近被配置为关闭开口901a的门904，然后门904与盖子92连接。然后，门904与盖子92一起从关闭位置移动到打开位置。因此，储存容器9的容器主体91的内部通过开口901a与输送部件800的内部连通。之后，储存在容器主体91中的晶圆90(例如，未经处理的晶圆90)由输送部件800的输送机器人取出并装到处理设备等中。另外，输送机器人将晶圆90(例如，经处理设备处理的处理后的晶圆)储存到容器主体91中。当预定数量的晶圆90被储存在容器主体91中时，门904与盖子92一起从打开位置移动到关闭位置。此时，门904被朝向开口901a(即，朝向安装在载台902上的容器主体91)按压，由此，由门904保持的盖子92附接到容器主体91。当盖子92附接到容器主体91时，门904与盖子92之间的连接被释放。之后，使载台902在远离基座901的方向上移动，外部输送机器人将安装在载台902上的储存容器9搬走。

在一般的储存容器9中，由于在盖子92的内表面上设置有作为晶圆按压构件的保持器，该作为晶圆按压构件的保持器是被配置为对容纳在容器主体91中的晶圆90进行保持使得晶圆90不移位的晶圆按压构件，因此在盖子92附接到容器主体91时，保持器弹性变形以按压晶圆90。因此，在将盖子92附接到容器主体91时，必须以至少大于保持器的反作用力的力将盖子92压靠在容器主体91上。即，必须以至少大于保持器的反作用力的力(门关闭力)将保持盖子92的门904朝向放置在载台902上的容器主体91按压。

尤其是近年来，为了抑制颗粒进入储存容器9，存在增大保持器的反作用力的倾向。另外，与工厂内用作用于基板(例如，晶圆90)的储存容器9的前开式传送盒(FOUP)相比，作为通常用于工厂间的输送的储存容器9的类型的前开式运输箱(FOSB)具有更大的反作用力。因此，在装载端口900中对打开/关闭FOSB的需求正在增加。为了应对这些情况，门关闭力倾向于增大。

另一方面，在通过按压门904而将盖子92附接到容器主体91时，为了防止在容器主体91被推动时固定地安装有容器主体91的载台902移动(脱离)，需要通过例如作为设置在载台驱动机构903中的驱动源的气缸来朝向基座901按压载台902。即，需要将载台902以不小于门关闭力的力朝向基座901按压。

然而，在将载台902朝向基座901按压的力(对接力)增大时，门904可能会被安装在载台902上的储存容器9以较大的力推回，存在门904变形的风险。例如，在门904以悬臂状态被支撑的结构的情况下，被储存容器9推动的门904可能从被支撑的端侧在远离开口901a的方向上朝向非被支撑的端侧弯折。在门904中发生这种变形(弯折)时，例如，由门904保持的盖子92可能脱落而不附接到容器主体91。

在需要增大门关闭力的最近情况下，对接力也不可避免地增大，因而门904的变形可能性逐渐增加。

已经做出本发明来解决上述问题，本发明提供了一种能够避免施加引起门变形的过大的力的技术。

鉴于上述内容，本发明采取以下措施。

即，根据本发明，一种与输送部件连接的装载端口包括：板状的基座，其构成输送部件的壁的一部分；载台，储存容器安装在该载台上；载台驱动机构，其被配置为使载台在朝向或远离基座的方向上移动；门，其被配置为能够对在基座上设置在面对安装在载台上的储存容器的盖子的位置处的开口进行打开/关闭，并且能够对在关闭开口的状态下设置为面对开口的盖子进行保持；门驱动机构，其被配置为使门在门打开开口的打开位置与门关闭开口的关闭位置之间移动；以及移动限制部件，其被配置为在门被朝向开口按压并且由门保持的盖子附接到储存容器的容器主体时，通过抵靠在载台上而限制载台在远离基座的方向上的移动。

通过这种配置，例如，在将由门保持的盖子附接到容器主体时，由于将载台朝向基座按压的力(对接力)小于将门朝向开口按压的力(门关闭力)，因此即使载台在远离基座的方向上移动，移动限制部件也抵靠在载台上，从而限制载台的移动，使得盖子可以附接到安装在载台上的容器主体。即，即使对接力不是与门关闭力平衡的大的力，也可以将盖子附接到容器主体。因此，可以减小对接力，从而可以避免施加引起门变形的过大的力。

优选地，在装载端口中，在平面图中，移动限制部件在与载台的移动方向垂直的方向上在载台的中心位置处抵靠在载台上。

通过这种配置，可以稳定地限制载台在远离基座的方向上的移动。

优选地，在装载端口中，移动限制部件在通过抵靠在载台上而限制载台的移动的限制状态与不限制载台的移动的释放状态之间切换。

通过这种配置，可以容易且可靠地实现载台的移动的限制或限制的释放。

在根据上述实施方式的装载端口中，移动限制部件包括：旋转部件，其被设置为能围绕旋转轴旋转，该旋转轴沿着与载台的移动方向相交的方向延伸；以及切换部件，其被配置为通过使旋转部件旋转而在限制状态与释放状态之间切换。

通过这种配置，可以用简单的配置来实现载台的移动的限制和移动的释放。

优选地，在装载端口中，在门被朝向开口按压并且由门保持的盖子附接到容器主体时，载台驱动机构朝向基座按压载台的力小于门驱动机构朝向开口按压门的力。

通过这种配置，可以充分避免向门施加引起变形的过大的力。

在本发明的另一方面，一种用于打开/关闭储存基板的储存容器的方法：载台移动操作，其使安装有储存容器的载台在朝向基座的方向上移动，以使在基座上设置在面对安装在载台上的储存容器的盖子的位置处的开口与盖子彼此更靠近；盖子保持操作，其使关闭开口的门对设置为面对开口的盖子进行保持；打开操作，其使门与由门保持的盖子一起从门关闭开口的关闭位置移动到门打开开口的打开位置；关闭操作，其使门与由门保持的盖子一起从打开位置移动到关闭位置；以及移动限制操作，其在门被朝向开口按压并且由门保持的盖子在关闭操作中附接到储存容器的容器主体时，使移动限制部件通过抵靠在载台上而限制载台在远离基座的方向上的移动。

通过这种配置，在将由门保持的盖子附接到容器主体时，移动限制部件抵靠在载台上，从而限制载台的移动。因此，可以减小对接力，从而可以避免施加引起门变形的过大的力。

根据本发明，可以避免施加引起门变形的不合理的力。

附图说明

并入并且构成本说明书的一部分的附图示出了本发明的实施方式。

图1是包括根据实施方式的装载端口的EFEM的立体图。

图2是示出EFEM的示意性配置的侧视图。

图3是从装载端口的前部斜上方观察的该装载端口的视图。

图4是从前面观察的装载端口的视图。

图5是从后面观察的装载端口的视图。

图6是从侧面观察的装载端口的视图。

图7A至图7D是用于说明移动限制部件的操作概要的视图。

图8是示出移动限制部件的配置的侧视图。

图9是示出装载端口的操作流程的视图。

图10A和图10B是示出从一侧观察的处于操作状态的装载端口的视图。

图11A和图11B是示出从一侧观察的处于操作状态的装载端口的视图。

图12A和图12B是示出从一侧观察的处于操作状态的装载端口的视图。

图13A和图13B是示出从一侧观察的处于操作状态的装载端口的视图。

图14A和图14B是示出从一侧观察的处于操作状态的装载端口的视图。

图15是示出窗单元的配置的立体图。

图16A至图16C是用于说明设置在窗单元上的密封构件的侧视图。

图17A和图17B是用于说明锁单元的示意图。

图18是用于说明根据相关技术中的例子的EFEM的视图。

附图标记的说明

100：EFEM，1：装载端口，10：基座，20：载台，30：载台驱动机构，40：门，50：门驱动机构，60：移动限制部件，61：基座部件，62：旋转部件，63：切换部件，631：弹性构件，632：止动件，63：按压部件，633b：螺线管。

具体实施方式

现在将详细参照各种实施方式，它们的例子在附图中示出。在以下详细描述中，阐述了许多具体细节来提供对本发明的透彻理解。然而，对于本领域普通技术人员而言显而易见的是，可以在没有这些具体细节的情况下实践本发明。在其他情况下，没有详细描述公知的方法、过程、***和组件，以免不必要地模糊各种实施方式的方面。

<1.EFEM的示意性配置>

在描述根据实施方式的装载端口的配置之前，将参照图1和图2描述包括装载端口的设备前端模块(EFEM)的示意性配置。图1是EFEM 100的立体图。图2是示出EFEM 100的示意性配置的侧视图。

EFEM 100用于半导体制造工艺等。EFEM 100是包括装载端口1和输送部件8的模块，例如具有布置成一排的多个(图中为3个)装载端口1与输送部件8的一个端部连接的配置。EFEM 100在输送部件8的与设置装载端口1的端部相对的端部处与对基板(例如，在这种情况下是晶圆90)进行各种处理的处理设备M等连接，并且在处理设备M与储存容器9之间传送晶圆90。在下文中，相对于输送部件8，设置装载端口1的一侧被称为“前”，而设置处理设备M的一侧被称为“后”。另外，与前后方向垂直的水平方向(即，布置多个装载端口1的方向)被称为“左右方向”。

作为储存容器9，例如，使用前开式传送盒(FOUP)。具体地，例如，如图2(和图6)所示，储存容器9包括具有一侧开口的容器主体91和关闭容器主体91的开口的盖子92。容器主体91设有围绕开口向外突出的颚部911，并且盖子92附接到颚部911的内部。在盖子92附接的状态下，颚部911抵接在盖子92的外周上以密封容器主体91的内部。同时，在容器主体91的内部，多层地设置有用于支撑容纳在其中的基板(这里，例如是晶圆90)的外周边缘的搁板或凹槽(未被示出)，因此容器主体91被配置为能够多层地容纳水平姿势的多个晶圆90。另外，在盖子92的内表面上，设置有作为晶圆按压构件的保持器921，用于对容纳在容器主体91中的晶圆90进行保持使得晶圆90不移位。因此，在盖子92被压靠在容器主体91上时，保持器921弹性变形以按压晶圆90。另外，盖子92设置有被配置为将盖子固定到容器主体91上的闩锁(未被示出)。

装载端口1是被配置为允许储存晶圆90的储存容器9的内部与输送部件8的内部连通而不暴露于外部气氛的设备。具体地，装载端口1从容器主体91移除储存容器9的盖子92，并且允许容器主体91的内部与作为输送部件8的内部空间的输送空间V连通。在容器主体91的内部与输送空间V连通时，设置在输送空间V中的输送机器人82取出储存在容器主体91中的晶圆90(例如，未经处理的晶圆90)并将晶圆90运送到处理设备M中。另外，输送机器人82例如从处理设备M中搬出已经在处理设备M中经过预定处理的晶圆90，并将晶圆储存到容器主体91中。在预定数量的晶圆90被储存在容器主体91中时，装载端口1将盖子92附接到容器主体91以再次密封储存容器9。稍后将描述装载端口1的具体配置。

输送部件8是用于输送储存在储存容器9中的晶圆90的设备，包括输送室81和设置在其中的输送机器人82。在输送室81的前壁811中形成有一个或多个开口812(在所示的例子中为三个)，并且装载端口1气密地附接以阻挡相应的开口812。另外，处理设备M(例如，处理设备M的装载锁定室)经由例如闸阀与输送室81的后壁气密地连接。因此，输送室81的内部空间(输送空间)V变成基本上密封的空间。

输送空间V保持在比外部(即，安装处理设备M的洁净室)高的洁净度下。具体地，例如，在输送室81中安装有风扇过滤单元(FFU)83，并且向下送出由风扇过滤单元83清洁的气体，使得在输送空间V中形成洁净气体的向下流动。优选地，输送空间V还设置有化学过滤器84、循环管道85等，到达输送空间V的下部的气流通过化学过滤器84。在通过化学过滤器84去除气流中的污染物等之后，气流通过循环管道85返回到风扇过滤器单元83，并且再次向下送出(即，形成气流的循环)。

此外，输送室81设置有气体供应端口和气体排出端口(均未被示出)，并且被配置为使得预定气体(例如，氮气、干燥空气、干燥氮气等)可以通过气体供应端口吹扫，并且输送空间V中的气体可以通过气体排出端口排出。通过控制通过气体供应端口供应的气体的量和通过气体排出端口排出的气体的量，可以将输送空间V中的压力、气体浓度等调节为任意值。这里，通过适当地控制气体的供应量、气体的排出量等，输送空间V相对于外部(即，安装处理设备M的洁净室)保持在稍微更高的压力(轻微正压)下。因此，即使存在允许输送室81的内部和外部之间连通的微小间隙，也能确保没有气体通过间隙从外部流入输送空间V。

<2.装载端口的配置>

除了图1和图2之外，还将参照图3至图6来具体描述装载端口1的配置。图3是从装载端口1的前部斜上方观察的装载端口1的视图。图4是装载端口1的前视图。图5是装载端口1的后视图。图6是装载端口1的侧视图。

装载端口1包括基座10、载台20、载台驱动机构30、门40、门驱动机构50和移动限制部件60。装载端口1还包括被配置为控制这些部件10至60中的每一个的控制器70。

(基座10)

基座10是构成输送部件8(图1)的前壁的一部分的板状构件。具体地，基座10是略大于形成在输送室81的前壁811上的开口812(图2)的板状构件(面板构件)。基座10呈直立姿势，并与前壁811附接以关闭开口812，以与前壁811一起构成输送部件8的前壁。例如，在基座10的后表面上设置垫圈101，基座10经由垫圈101气密地附接到前壁811。

在基座10的前表面上设置有以基本上水平的姿势向前突出的基座底座11。在基座底座11下方设置有罩12(图2)(为了便于描述，图3至图6示出了移除罩12的状态)。在基座10的表面上设置有被配置为供晶圆90穿过的开口13，并且具有窗框形状的窗单元14围绕开口13进行附接。换句话说，开口13的外周边缘由窗单元14的框架限定。开口13形成在面对安装在载台20上的储存容器9的盖子92的位置处，载台20设置在基座底座11上。开口13的尺寸(即，窗单元14的框架内的尺寸)稍大于储存容器9的盖子92，使得盖子92可以穿过开口13。另外，在开口13下方的位置处设置有在基座10的表面中竖直地延伸的狭缝15，支撑框架51(稍后将描述)将***该狭缝15中。此外，在基座10的前表面上设置有向前突出的包括脚轮等的腿部16，该腿部16抵接在地板表面上以支撑基座10。

(载台20)

载台20是平板状构件，水平地布置在从基座10向前突出的基座底座11上。储存容器9安装在载台20上。即，载台20的顶表面形成安装表面201，储存容器9安装在该安装表面201上。储存容器9以盖子92面对基座10的方向安装在安装表面201上。

安装表面201设有定位销(引导销)21，定位销21与设置在储存容器9的底表面中的凹部接合，以将储存容器9引导和定位到预定位置。此外，安装表面201设置有锁定部件22，该锁定部件22通过与设置在储存容器9的底表面上的固定部分(例如，前保持特征部)接合来将储存容器9锁定在预定位置。

此外，一个或多个气体喷嘴23设置在安装表面201上。每个气体喷嘴23可以用作气体供应喷嘴，用于将预定气体(例如，氮气、惰性气体、干燥空气等)经由设置在储存容器9的底表面上的气体供应阀供应到储存容器9中。替代地，每个气体喷嘴可以用作气体排出喷嘴，用于将储存容器9内部的气体经由设置在储存容器9的底表面上的气体排出阀等排出。例如，在气体喷嘴23设置在安装表面201的四个角部处时，前侧上的一对气体喷嘴23可以用作气体供应喷嘴，并且后侧上的一对气体喷嘴23可以用作气体排出喷嘴。每个气体喷嘴23在不使用时设置在安装表面201下方，而在使用时向上移动以与储存容器9的气体供应阀或气体排出阀连接。通过将预定气体(例如，氮气、干燥空气、干燥氮气等)通过气体供应阀从作为气体供应喷嘴的气体喷嘴23吹扫到储存容器9中，并且通过将储存容器9内的气体通过气体排出阀从作为气体排出喷嘴的气体喷嘴23排出，储存容器9内的气体可以用预定气体代替。另外，通过控制气体供应量和气体排出量，可以将储存容器9等内部的压力调节为任意值。优选地，通过适当地控制气体供应量和气体排出量，使储存容器9内的压力略微高于外部(例如，安装处理设备M的洁净室和输送部件8的输送空间V)的压力。这使气体在储存容器9的盖子92打开时难以流入容器主体91中。

(载台驱动机构30)

载台驱动机构30使载台20在保持水平姿势的同时在朝向和远离基座10的方向(前后方向)上移动，从而使载台20移动到分离位置B1(图6中的实线指示的位置)和对接位置B2(图6中的虚线指示的位置)。这里，“分离位置B1”是载台20与基座10分开预定距离的位置，并且是用于诸如AMHS或PGV的外部机器人将储存容器9传送到载台20和从载台20传送走的位置。另一方面，“对接位置B2”是比分离位置B1更靠近基座10的位置。具体地，对接位置B2例如是安装在载台20上的储存容器9的颚部911抵接在基座10(具体地，窗单元14)上的位置。

具体地，载台驱动机构30包括例如以在水平面中向前和向后延伸的姿势设置的杆(圆柱杆)31、作为使杆31沿着其延伸方向向前和向后移动的驱动机构的缸(气缸)以及将杆31和载台20互连的连接器33。气缸32例如通过电磁阀的打开/关闭来控制空气压力，以利用空气压力使杆31向前和向后移动。杆31和气缸32布置在基座底座11内。另一方面，连接器33通过穿过设置在基座底座11的顶表面上并且在前后方向上延伸的狭缝111来设置。连接器33在从基座底座11向下突出的连接器33的下端部处与杆31连接，并且在从基座底座11向上突出的连接器33的上端部处与载台20的底表面连接。在这种配置中，当杆31通过由气缸32驱动而向前和向后移动时，经由连接器33与杆31连接的载台20由设置在基座底座11上的线性引导件(未被示出)引导，以在水平面中向前和向后移动。

(门40)

门40是被配置为打开/关闭形成在基座10中的开口13的构件，并且设置在基座10的后表面侧(即，在与载台20相对的一侧，其中基座10***在载台20与门40之间)。门40由稍微大于开口13的板状构件制成，并且通过设置在稍后描述的关闭位置D1(图6中的实线指示的位置)来关闭整个开口13。此时，门40的前表面的外周部分抵接在基座10(具体地，窗单元14)的后表面上(或者经由密封构件等与基座10的后表面紧密接触)，从而密封输送空间V。另一方面，在门40设置在稍后描述的打开位置D2(图6的虚线所示的位置)时，整个开口13被打开。

在门40中设置有盖子保持机构41。在门40关闭开口13的状态下，盖子保持机构41将门40与设置为面对开口13的盖子92连接并集成在一起，从而使盖子92由门40保持。另外，盖子保持机构41进行容器主体91与盖子92之间的闩锁和闩锁的释放。

(门驱动机构50)

门驱动机构50使门40在关闭位置D1与打开位置D2之间移动。这里，“关闭位置D1”是门40完全关闭开口13的位置。另一方面，“打开位置D2”是门40将开口13整体打开的位置。具体地，打开位置是门40退到开口13下方并且完全不与开口13重叠的位置。

具体地，门驱动机构50包括例如支撑门40的支撑框架51和支撑支撑框架51的升降块52。支撑框架51在支撑框架51的一个端部处与门40(例如，门40的后表面的下部)连接，从这一个端部向下延伸，在中间向前弯折，在基本上水平地延伸的同时穿过设置在基座10中的狭缝15，并且在支撑框架51的另一个端部处在基座10前方与升降块52连接。在支撑框架51与升降块52之间，设置有将支撑框架51支撑为能向前和向后移动的滑动支撑件511，使得支撑框架51被支撑为能相对于升降块52向前和向后移动。另外，在升降块52与基座10之间，设置有以可移动的方式支撑升降块52的滑轨521，使得升降块52能相对于基座10竖直移动。

门驱动机构50还包括驱动源(例如，作为驱动源的步进马达)、被配置为将从驱动源给出的动力转换为升降块52的升降运动的线性运动机构、被配置为将动力转换为支撑框架51的前后运动的线性运动机构、被配置为连结这两个线性运动机构的连杆机构等(所有这些都未被示出)。每个线性运动机构可以被配置为包括例如进给螺杆等。例如，在将门40从关闭位置D1移动到打开位置D2时，来自驱动源的动力被传递到支撑框架51侧的线性运动机构，然后经由连杆机构被传递到升降块52侧的线性运动机构。因此，处于关闭位置D1的门40向后移动并且首先设置在运动转换位置Dt(图6中的双点划线指示的位置)，然后向下移动并设置在打开位置D2。另一方面，在将门40从打开位置D2移动到关闭位置D1时，来自驱动源的动力被传递到升降块52侧的线性运动机构，然后经由连杆机构传递到支撑框架51侧的线性运动机构。因此，处于打开位置D2的门40向上移动并且首先设置在运动转换位置Dt处，然后向前移动并设置在关闭位置D1。

在基座10的前表面上与基座10气密地连接有壳体501。在设置在门驱动机构50中的元件中，布置在基座10的前表面侧的元件容纳在该壳体501中。这防止了通过狭缝15流入壳体501的气体流出壳体501。进一步地，在设置在门驱动机构50中的元件中，具有滑动部分的滑动支撑件511和滑轨521设置在基座10的前表面侧(即，输送空间V的外侧)，并容纳在壳体501中，壳体501与输送空间V之间的连通部分由细狭缝15形成，由此防止了在滑动部分产生的颗粒进入输送空间V。

(移动限制部件60)

在将储存容器9的盖子92附接到容器主体91时，具体地，在将门40朝向开口13按压以将由门40保持的盖子92附接到容器主体91时，移动限制部件60抵靠在载台上20并限制载台20在远离基座10的方向上(向前)的移动。在本实施方式中，在基座底座11的左右方向上的大致中心位置处设置有一个移动限制部件60(图3)，移动限制部件60在平面图上在与载台20的移动方向(前后方向)正交的方向(左右方向)上在载台20的中心位置处抵靠在载台上20以限制其移动。移动限制部件60的具体配置稍后将描述。

(控制器70)

控制器70是被配置为控制设置在装载端口1中的各个部件10至60的操作并执行各种算术处理的元件，并且配置有具有电路、微型计算机等的通用计算机。具体地，控制器70例如包括：处理器，例如作为负责数据处理的中央处理器的中央处理器单元(CPU)；非易失性储存装置，其被配置为具有储存基本程序等的只读储存器(ROM)；当CPU执行预定处理(数据处理)时用作工作区域的随机存取储存器(RAM)；闪存以及硬盘驱动器；将这些组件互连的总线，等等。例如，在CPU执行储存在储存装置中的程序时，控制器70执行由程序限定的处理。然而，由控制器70执行的处理中的一些或全部可以由诸如专用逻辑电路(例如，专用处理器)的硬件执行。

装载端口1在适当位置设置有各种传感器(例如，被配置为检测储存容器9安装在载台20上的传感器、被配置为检测载台20设置在对接位置B2处的传感器、被配置为检测门40设置在关闭位置D1处的传感器等)。控制器70与设置在装载端口1中的每个传感器电连接。控制器70基于从每个传感器获取的检测到的信息来控制部件10至60中的每一个(例如，设置在载台20上的锁定部件22和气体喷嘴23、载台驱动机构30、设置在门40上的盖子保持机构41、门驱动机构50、设置在移动限制部件60中的螺线管633b(稍后描述)等)。

<3.移动限制部件的操作概要>

将参照图7A至图7D来描述移动限制部件60的操作概要。图7A至图7D是用于说明移动限制部件60的操作概要的视图。

移动限制部件60被配置为在限制状态K1与释放状态K2之间进行切换，在限制状态K1下，通过抵靠在载台20上而使载台20在远离基座10的方向上的移动受到限制，在释放状态K2下，载台20的移动不受限制。

例如，在安装有储存容器9的载台20从分离位置B1(非对接位置)移动到对接位置B2时，移动限制部件60处于释放状态K2并且不限制载台20的移动(图7A)。

另一方面，在载台20设置在对接位置B2的状态下，移动限制部件60从释放状态K2切换到限制状态K1(图7B)。如稍后描述，在载台20设置在对接位置B2处的状态下，门40保持储存容器9的盖子92，并且保持盖子92的门40从关闭位置D1移动到打开位置D2，从而打开储存容器9。

之后，如稍后将描述的，保持盖子92的门40从打开位置D2移动到关闭位置D1，并且盖子92附接到容器主体91，从而关闭储存容器9。在将盖子92附接到容器主体91时，保持盖子92的门40以预定的门关闭力F1朝向开口13(即，朝向安装在载台20上的容器主体91)按压。此时，处于限制状态K1的移动限制部件60抵靠在载台20上，并限制载台20在远离基座10的方向上的移动(图7C)。即，移动限制部件60用作防后退机构，其接收载台20的载荷(与门关闭力F1与将载台20朝向基座10按压的对接力F2之间的差相对应的载荷)，以防止载台20在载台被门关闭力F1经由储存容器9推动时后退。

之后，移动限制部件60从限制状态K1切换到释放状态K2，然后载台20从对接位置B2移动到分离位置B1。

<4.移动限制部件的配置>

将参照图8来描述移动限制部件60的具体配置。图8是示出移动限制部件60的配置的侧视图。

移动限制部件60包括基座部件61、旋转部件62和切换部件63。

基座部件61是可旋转地支撑旋转部件62的构件，并且包括平板状底板611和支撑片612，平板状底板611通过使用螺钉等固定到基座底座11的预定位置(例如，在设置在基座底座11上的凹部中)，支撑片612从底板611的左端边缘和右端边缘中的每个边缘立起。旋转部件62的旋转轴621可旋转地桥接在一对支撑片612之间，由此旋转部件62相对于基座部件61可旋转地被支撑。

旋转部件62是在前后方向上延伸的细长构件，设置有旋转轴621，旋转轴621在旋转部件62的在前后方向上的大致中心处在左右方向上贯穿旋转部件62。如上所述，由于旋转轴621可旋转地桥接在基座部件61的一对支撑片612之间，因此旋转部件62被支撑为能围绕旋转轴621旋转地相对于基座部件61旋转。然而，在旋转部件62中，旋转轴621设置成旋转轴621沿着左右方向(即，与作为载台20的移动方向的前后方向相交(这里，正交)的左右方向)延伸的姿势。

在旋转部件62的在旋转轴621的前侧的部分中设置有朝向基座部件61突出的抵接部分622。在旋转部件62的在旋转轴621的后侧的部分中设置有从与基座部件61相反的一侧突出的、在左右方向上彼此面对的一对辊支撑片623。在该对辊支撑片623之间可旋转地支撑辊624。即，由于辊624的旋转轴6241可旋转地桥接在一对辊支撑片623之间，因此辊624相对于旋转部件62可旋转地被支撑。然而，辊624设置为旋转轴6241沿着左右方向(即，平行于旋转部件62的旋转轴621的延伸方向)延伸的姿势。

通过使旋转部件62围绕旋转轴621旋转，切换部件63在限制状态K1(图8中的实线指示的姿势)与释放状态K2(图8中的单点划线指示的姿势)之间进行切换。具体地，切换部件63例如包括弹性构件631、止动件632和按压部件633。

弹性构件631在旋转轴621的后侧的位置处设置在旋转部件62与基座部件61之间。弹性构件631被配置为例如具有弹簧，在缩回状态下，弹性构件631的上端部和下端部分别与旋转部件62和基座部件61(具体地，底板611)连接。因此，弹性构件631在远离基座部件61的方向上在旋转轴621的后侧的位置处对旋转部件62按压。现在，假设使旋转轴的后侧的位置与基座部件61分离的围绕旋转轴621的旋转方向为“第一旋转方向R1”，则弹性构件631使旋转部件62在第一旋转方向R1上移动。

止动件632是竖立在基座部件61(具体地，底板611)上的杆状构件，并且设置在面对旋转部件62的抵接部分622的位置处。止动件632限制旋转部件62在第一旋转方向R1上的旋转。

按压部件633在旋转轴621的前侧的位置处设置在旋转部件62与基座部件61之间。具体地，按压部件633例如包括被设置成在基座部件61(具体地，底板611)的法线方向上延伸的姿势的杆(缸杆)633a，以及作为使杆633a沿着其现有方向向前和向后移动的驱动器的螺线管(直接作用的螺线管)。螺线管633b与控制器70电连接，并响应于来自控制器70的指令而驱动杆633a。在杆633a因螺线管633b的驱动而向上移动(在远离基座部件61的方向上移动)时，杆633a的端头抵接在抵接部分622上并将抵接部分622向上推动。即，按压部件633在远离基座部件61的方向上在旋转轴621的前侧的位置处对旋转部件62按压。因此，旋转部件62在旋转方向上旋转(在下文中，被称为“第二旋转方向R2”，其与第一旋转方向R1相反)。

例如，当旋转部件62在止动件632与抵接部分622彼此间隔开的状态(图8中的单点划线指示的状态)下因弹性构件631的按压而在第一旋转方向R1上旋转时，旋转进行并且止动件632抵接在抵接部分622上，从而使旋转部件62的旋转停止(图8中的实线指示的状态)。在旋转部件62处于在抵接部分622抵接在止动件632上的旋转姿势时，辊624设置在与载台20的至少一部分重叠的高度处。换句话说，辊624的上端部设置在载台20的前端表面24的下端部上方。当旋转部件62处于这种旋转姿势时，即使载台20要向前移动，在旋转部件62的辊624抵靠在其前端表面24上的情况下，载台20也不能进一步移动。即，在旋转部件62处于这种旋转姿势时，移动限制部件60抵靠在载台20的前端表面24上并进入限制载台20的移动的限制状态K1。

另一方面，在移动限制部件60处于限制状态K1的状态(图8中的实线指示的状态)下，旋转部件62的抵接部分622被杆633a向上推动，旋转部件62在第二旋转方向R2上旋转。随着旋转的进行，辊624向下移动，并且在旋转角度超过一定角度时，辊624设置在不与载台20重叠的高度(图8中的单点划线指示的状态)。换句话说，辊624的上端部设置在与载台20的前端表面24的下端部相同或更低的高度处。在旋转部件62处于这种旋转姿势时，载台20能向前和向后移动，而不受旋转部件62的阻碍。即，在旋转部件62处于这种旋转姿势时，移动限制部件60处于载台20的移动不受限制的释放状态K2。

如上所述，在旋转部件62因弹性构件631的按压而在第一旋转方向R1上旋转时，移动限制部件60从释放状态K2切换到限制状态K1，并且在旋转部件62因按压部件633的按压而在第二旋转方向R2上旋转时，移动限制部件60从限制状态K1切换到释放状态K2。

<5.装载端口的操作>

将参照图9和图10A至图14B来具体描述装载端口1的操作。图9是示出装载端口1的操作流程的视图。在图10A至图14B中的每一个中，示出了处于每种操作状态的装载端口1的侧视图和装载端口1中的移动限制部件60的放大侧视图。下文描述的一系列过程是通过控制器70控制设置在装载端口1中的部件10至60中的每一个(具体地，设置在载台20上的锁定部件22和气体喷嘴23、载台驱动机构30、设置在门40上的盖子保持机构41、门驱动机构50、设置在移动限制部件60中的螺线管633b等)来进行的。

步骤S1：储存容器搬入操作

首先，在载台20设置在分离位置B1并且门40设置在关闭位置D1的状态下，储存容器9(例如，储存未经处理的晶圆90的储存容器9)通过诸如AMHS或PGV的外部机器人输送并安装到载台20上(图10A)。安装在载台20上的储存容器9由设置在载台20上并定位在预定位置处的定位销21引导。此外，设置在载台20上的锁定部件22与设置在储存容器9的底表面上的固定部分接合，使得储存容器9在预定位置处固定到载台20上。之后，必要时，将预定气体通过气体供应阀从气体喷嘴23吹扫到储存容器9中，并且将储存容器9内的气体通过气体排出阀从其他气体喷嘴23排出，使得储存容器9内的气体被预定气体置换，并且储存容器9内的压力被调节到预定值。

在载台20设置在分离位置B1、移动限制部件60在平面图中位于与载台20重叠并且旋转部件62被弹性构件631在第一旋转方向R1上按压的状态下，辊624处于抵靠在载台20的底表面上的状态(图10B)。即，移动限制部件60处于释放状态K2，在释放状态K2下，辊624的上端部与载台20的下端表面处于相同的高度并且载台20的移动不受阻碍。

步骤S2：载台移动操作

在储存容器9被放置在载台20上时，载台驱动机构30将载台20从分离位置B1移动到对接位置B2(图11A)。即，载台驱动机构30使载台20在接近基座10的方向上(向后)移动，以使设置在基座10中的开口13(并且因此关闭开口13的门40)和盖子92彼此靠近。在载台20设置在对接位置B2的状态下，安装在载台20上的储存容器9的颚部911抵接在基座10(具体地，窗单元14)上(对接)。

在此，将描述进行步骤S2的操作时的移动限制部件60的状态。在载台驱动机构30开始向后移动设置在分离位置B1处的载台20之后的一段时间内，载台的前端表面24仍然在移动限制部件60的辊624的前方(图11B中的虚线指示的状态)。在这种状态下，当移动限制部件60处于释放状态K2并且载台20向后移动时，辊624在抵靠在载台上20的底表面上的同时滚动，从而相对于载台20向前移动。因此，载台20的移动不受移动限制部件60的阻碍。

在进行载台20的向后移动并且载台20的前端表面24到达辊624的位置时(图11B中的双点划线指示的状态)，之后已经从上方按压辊624的载台20的底表面消失。因此，旋转部件62因弹性构件631的按压力而在第一旋转方向R1上旋转。当止动件632抵靠在抵接部分622上时，该旋转停止。因此，旋转部件62呈现辊624的上端部设置在载台20的前端表面24的下端部上方的姿势(图11B中的实线指示的状态)。即，移动限制部件60进入载台20的移动可能受到限制的限制状态K1。即，在载台20的前端表面24到达辊624的位置时，旋转部件62因弹性构件631的处理而在第一旋转方向R1上旋转，移动限制部件60从释放状态K2切换到限制状态K1。

之后，载台20进一步向后移动一小段距离并且设置在对接位置B2处(图11B中的实线指示的状态)。由于载台20在移动限制部件60切换到限制状态K1之后进一步向后移动一小段距离且设置在对接位置B2处，因此在设置在对接位置B2处的前端表面24与辊624之间提供微小间隙G。即，移动限制部件60设置在位于对接位置B2处的载台20前方的位置处(更具体地，辊624设置在位于对接位置B2的载台20的前端表面24前方的位置处，同时在辊624与载台20的前端表面24之间提供微小间隙G)。

步骤S3：盖子保持操作

在载台20设置在对接位置B2时，盖子保持机构41随后使门40保持盖子92。即，在载台20设置在对接位置B2并且安装在载台20上的储存容器9的颚部911抵接在窗单元14上的状态下，储存容器9的盖子92进入抵接在关闭开口13的门40上或足够靠近门40的状态(即，设置在关闭位置D1处)(至少盖子保持机构41在盖子92可以由盖子保持机构41保持的程度上靠近门40)。在这种状态下，盖子保持机构41将盖子92和门40连接和集成在一起，并且使盖子92由门40保持。此外，盖子保持机构41释放容器主体91与储存容器9的盖子92之间的闩锁。

步骤S4：打开操作

随后，门驱动机构50使门40与由门40保持的盖子92一起从关闭位置D1移动到打开位置D2(图12A)。具体地，门驱动机构50将位于关闭位置D1的门40向后移动以设置在运动转换位置Dt处，并且将门40从该位置降低到打开位置D2。因此，开口13被打开，容器主体91的内部通过开口13与输送空间V连通。在建立这种状态时，设置在输送空间V中的输送机器人82取出储存在容器主体91中的晶圆90并将晶圆90运送到处理设备M中。此外，输送机器人82从处理设备M中搬出已经在处理设备M中经过预定处理的晶圆90，并将晶圆90储存到容器主体91中。

步骤S5：关闭操作

在预定数量的晶圆90被储存在容器主体91中时，门驱动机构50将门40与由门40保持的盖子92一起从打开位置D2移动到关闭位置D1(图13A)。具体地，门驱动机构50将门40从打开位置D2升高以将门40设置在运动转换位置Dt，再将门40从该位置向前移动到关闭位置D1。在门40向前移动时，门40被朝向开口13按压。因此，由门40保持的盖子92附接到容器主体91，同时设置在盖子92的内表面上的保持器921(图6)弹性变形并按压晶圆90。

这里，在将盖子92附接到容器主体91时，门驱动机构50朝向开口13(即，向前)按压门40的力(门关闭力)F1被设置为至少超过保持器921的反作用力的大小。另一方面，在将盖子92附接到容器主体91时，载台驱动机构30朝向基座10(即，向后)按压载台20的力(对接力)F2小于门关闭力F1(F2<F1)。

因此，在将盖子92附接到容器主体91时，容器主体91由门40保持的盖子92向前推动，并且固定有容器主体91的载台20将向前(即，在远离基座10的方向上)移动。然而，这里，移动限制部件60(即，处于限制状态K1的移动限制部件60)抵靠在要向前移动的载台20上并且限制载台20的向前移动(步骤S51：移动限制操作)。具体地，在载台20向前移动对应于间隙G的一小段距离时，旋转部件62的辊624抵靠在载台20的前端表面24上(图13B)。然后，载台20不再能向前移动(移动受到限制)并停止。即，载台20向前移动对应于间隙G的一小段距离，但不能进一步移动。因此，盖子92容易附接到安装在载台20上的容器主体91。

步骤S6：盖子保持释放操作

在将盖子92附接到容器主体91时，盖子保持机构41被闩锁在容器主体91与盖子92之间。此外，盖子保持机构41释放门40和盖子92之间的连接以将门40和盖子92分离(释放保持状态)。在将盖子92附接到容器主体91之后，当门关闭力F1消失或减小时，已经从对接位置B2稍微向前推动的载台20再次通过载台驱动机构30等的对接力F2而返回到对接位置B2。

步骤S7：载台移动操作

随后，载台驱动机构30将载台20从对接位置B2移动到分离位置B1(图14A)。

这里，将描述进行步骤S7的操作时的移动限制部件60的状态。在载台20开始移动之前，移动限制部件60由限制状态K1切换到释放状态K2。具体地，例如，在传感器(未被示出)检测到盖子92附接到容器主体91时，控制器70向按压部件633的螺线管633b发送预定指令，并且螺线管633b响应于该预定指令而升高杆633a(使杆633a在远离基座部件61的方向上移动)。然后，通过杆633a向上推动抵接部分622，并且旋转部件62在第二旋转方向R2上旋转。由于在设置在对接位置B2处的载台20的前端表面24与辊624之间提供了微小间隙G，因此旋转部件62可在不干扰载台20的情况下旋转。通过使旋转部件62在第二旋转方向R2上旋转，辊624的上端部设置在载台20的前端表面24的下端部下方。因此，移动限制部件60进入载台20的移动不受限制的释放状态K2。即，移动限制部件60从限制状态K1(图14B中的单点划线指示的状态)切换到释放状态K2(图14B中的实线指示的状态)。

之后，载台驱动机构30允许设置在对接位置B2处的载台20开始向前移动。此时，由于移动限制部件60处于释放状态K2，即使载台20向后移动，辊624也不会干扰载台20。因此，载台20的移动不受移动限制部件60的阻碍。

在载台20开始向前移动之后的适当时间，按压部件633释放旋转部件62的按压。具体地，控制器70向螺线管633b发送预定指令，并且螺线管633b响应于该预定指令而降低杆633a(使杆朝向基座部件61移动)。然后，旋转部件62因弹性构件631的按压力而在第一旋转方向R1上稍微旋转，并且辊624进入抵靠在载台20的底表面上的状态(参见图10B)。即，即使按压部件633释放在旋转部62上的按压，移动限制部件60也被保持在释放状态K2。不用说，在按压部件633在旋转部件62上的按压被释放之后，在载台20向前移动时，辊624在抵靠在载台上20的底表面上的同时滚动，从而相对于载台20向后移动。因此，载台20的移动不受移动限制部件60的阻碍。

步骤S8：储存容器搬出操作

在载台20设置在分离位置B1时，设置在载台20上的锁定部件22脱离，并且储存容器9在载台20上的固定被释放。之后，由外部机器人搬出储存容器9。

<6.效果>

根据上述实施方式的装载端口1包括：板状的基座10，其构成输送部件8的壁的一部分；载台20，储存容器9安装在该载台20上；载台驱动机构30，其被配置为使载台20在朝向或远离基座10的方向上移动；门40，其被配置为能够对在基座10上设置在面对安装在载台20上的储存容器9的盖子92的位置处的开口13进行打开/关闭，并且能够对在关闭开口13的状态下设置为面对开口13的盖子92进行保持；门驱动机构50，其被配置为使门40在门40打开开口13的打开位置D2与门40关闭开口13的关闭位置D1之间移动；以及移动限制部件60，其被配置为在门40被朝向开口13按压并且由门40保持的盖子92附接到容器主体91时，通过抵靠在载台20上而限制载台20在远离基座10的方向上的移动。

通过这种配置，例如，在将由门40保持的盖子92附接到容器主体91时，由于将载台20朝向基座10按压的力(对接力)F2小于将门40朝向开口13按压的力(门关闭力)F1，因此即使载台20在远离基座10的方向上移动，移动限制部件60也抵靠在载台20上，从而限制载台20的移动，使得盖子92可以附接到安装在载台20上的容器主体91。即，即使对接力F2不是与门关闭力F1平衡的大的力，也可以将盖子92附接到容器主体91。因此，可以减小对接力F2，从而可以避免施加引起门40变形的过大的力。因此，可以避免门40的变形。此外，可以避免盖子92未附接到容器主体91并且由于门40的变形而脱落的情况。

如果储存容器9的打开/关闭通过将对接力F2与门关闭力F1平衡来实现，则两个力F1和F2被限定为使得在由门40保持的盖子92附接到容器主体91时，储存容器9和安装在载台20上的门40在前后方向上具有彼此略微重叠的位置关系。例如，门关闭力F1被限定为具有将门40向前推动超过中间位置的大小，并且对接力F2被限定为具有使载台20推动安装在其上的储存容器9以将门40向后推动超过中间位置的大小。因此，在储存容器9和门40中的一者或两者中可能发生弯折。相反，在设置移动限制部件60的配置的情况下，如上所述，可以使对接力F2小于门关闭力F1，因此在储存容器9和门40中不太可能发生弯折。此外，为了使对接力F2与门关门力F1平衡，需要严格地调节每个驱动机构。然而，在设置移动限制部件60时，这种严格的调节也是不必要的。

此外，当对接力F2足够小时，由于安装在设置在对接位置B2处的载台20上的储存容器9与基座10之间(具体地，在颚部911与窗单元14之间)的抵接力足够小，因此即使在储存容器9与基座10之间夹有异物等，也不太可能发生严重问题。因此，可以省略用于防止或检测夹入的传感器等。另外，当对接力F2小到足以确保门40不变形时，可省略用于检测门40变形(或用于检测该变形的操作)的传感器。此外，也可以省略用于检测盖子92已经脱落而没有附接到容器主体91(或用于检测该附接的操作)的传感器。

当对接力F2相对较小时，输送空间V优选地保持在比外部略高的压力下。即，当对接力F2相对较小时，在载台20设置在对接位置B2的状态下，难以保持储存容器9与基座10之间(具体地，颚部911与窗单元14之间)的气密性。然而，在输送空间V保持在比外部略高的压力下时，即使在储存容器9与基座10之间形成间隙，外部空气也不会通过该间隙流入。因此，避免了输送空间V的洁净度下降。出于类似的原因，容器主体91的内部优选地保持在比外部稍高的压力下。

在根据上述实施方式的装载端口1中，在平面图中，移动限制部件60在与载台20的移动方向(前后方向)垂直的方向(左右方向)上在载台20的中心位置处抵靠在载台20上。通过这种配置，使载台20向左和向右旋转的力不太可能作用在载台20上。因此，载台20在远离基座10的方向上的移动可稳定地受到限制。

在根据上述实施方式的装载端口1中，移动限制部件60在通过抵靠载台20而限制载台20的移动的限制状态K1与不限制载台20的移动的释放状态K2之间切换。通过这种配置，可以容易且可靠地进行载台20的移动的限制或限制的释放。

在根据上述实施方式的装载端口1中，移动限制部件60包括：旋转部件62，其被设置为能围绕旋转轴621旋转，旋转轴621沿着与载台20的移动方向相交的方向延伸；以及切换部件63，其被配置为通过使旋转部件62旋转而在限制状态K1与释放状态K2之间切换。通过这种配置，可以用简单的配置来实现载台20的移动的限制和移动的释放。

在根据上述实施方式的装载端口1中，切换部件63包括：弹性构件631，其被配置为在第一旋转方向R1上按压旋转部件62；以及按压部件633，其被配置为响应于来自控制器70的指令而按压旋转部件62，以使旋转部件62在与第一旋转方向R1相反的第二旋转方向R2上旋转。在旋转部件62因弹性构件631按压而在第一旋转方向R1上旋转时，移动限制部件60从释放状态K2切换到限制状态K1，并且在旋转部件62因按压部件633按压而在第二旋转方向R2上旋转时，移动限制部件60从限制状态K1切换到释放状态K2。通过这种配置，由于利用弹性构件631的按压力进行从释放状态K2到限制状态K1的切换，因此可以降低控制器70上的处理载荷。

在根据上述实施方式的装载端口1中，在旋转部件62与设置在对接位置B2处的载台20的前端表面24之间提供微小间隙G。通过这种配置，在旋转部件62旋转以从限制状态K1切换到释放状态K2时，旋转部件62干扰载台20的情况不太可能发生。此外，可以处理具有不同尺寸的储存容器9。

在根据上述实施方式的装载端口1中，在门40被朝向开口13按压并且由门40保持的盖子92附接到容器主体91时，载台驱动机构30朝向基座10按压载台20的力(对接力)F2小于门驱动机构50朝向开口13按压门40的力(门关闭力)F1。通过这种配置，可以充分避免向门40施加引起变形的过大的力。

根据上述实施方式的用于打开/关闭储存容器9的方法包括：载台移动操作，其使安装有储存基板(例如晶圆90)的储存容器9的载台20在朝向基座10的方向上移动，以使在基座10上设置在面对安装在载台20上的储存容器9的盖子92的位置处的开口13与盖子92彼此更靠近(步骤S2)；盖子保持操作，其使关闭开口13的门40对设置为面对开口13的盖子92进行保持(步骤S3)；打开操作，其使门40与由门40保持的盖子92一起从门40关闭开口13的关闭位置D1移动到门40打开开口13的打开位置D2(步骤S4)；关闭操作，其使门40与由门40保持的盖子92一起从打开位置D2移动到关闭位置D1(步骤S5)；以及移动限制操作，其在门40被朝向开口13按压并且由门40保持的盖子92在关闭操作中附接到容器主体91时，使移动限制部件60通过抵靠在载台20上而限制载台20在远离基座10的方向上的移动(步骤S51)。

通过这种配置，在将由门40保持的盖子92附接到容器主体91时，移动限制部件60抵靠在载台20上，从而限制载台20的移动。因此，可以减小对接力F2，从而可以避免施加引起门40变形的过大的力。

<7.其他实施方式>

<7-1.密封构件>

在根据上述实施方式的装载端口1中，具有窗框形状的窗单元14围绕开口13附接到基座10，并且窗单元14和安装在载台20上的储存容器9在载台20设置在对接位置B2的状态下彼此抵接。这里，如图15所示，可以在窗单元14的前表面上围绕开口13设置密封构件141。通过这种配置，在载台20设置在对接位置B2的状态下，安装在载台20上的储存容器9(具体地，颚部911)和窗单元14经由密封构件141气密地连接。类似的密封构件141也可以设置在窗单元14的后表面上。

在窗单元14设置有密封构件141时，如图16A至图16C所示，由弹性构件形成的中空密封构件(中空弹性密封构件)141a优选地用作密封构件141。在这种情况下，在窗单元14的前表面上设置围绕开口13的外周的凹槽，并且在弹性密封件141a的一部分在周向方向上容纳在凹槽中并且剩余部分从凹槽暴露的状态下，中空弹性密封构件141a沿着凹槽附接。在设置中空弹性密封构件141a时，在窗单元14中钻出与中空弹性密封构件141a的中空部分连通的流动路径142，并且设置被配置为供应预定流体(例如，氮气、干燥空气、干燥氮气等)的流体供应器143和被配置为从流动路径142排出流体的流体排出器144。流体供应器143可以包括与供应预定流体的供应源连接的管道、***在管道中的打开/关闭阀等。此外，流体排出器144可以包括与泵连接的管道、***在管道中的打开/关闭阀等。

在这种配置中，在中空弹性密封构件141a的中空部分中的流体通过流动路径142从流体排出器144排出时，中空部分中的压力减小并且中空弹性密封构件141a进入收缩状态C1(图16A)。另一方面，在流体通过流动路径142从流体供应器143供应到中空弹性密封构件141a的中空部分时，中空部分中的压力增加并且中空弹性密封构件141a进入膨胀状态C2(例如，图16B)。这样，中空弹性密封构件141a的体积(在径向方向上的径向部)可以通过控制进入中空部分的流体的供应和从中空部分的流体的排出来改变。

例如，在流体被供应到中空弹性密封构件141a的中空部分以将中空弹性密封构件141a从收缩状态C1改变为膨胀状态C2时，中空弹性密封构件141a与安装在设置在对接位置B2处的载台20上的储存容器9的颚部911弹性接触(图16B)。因此，安装在载台20上的储存容器9和窗单元14经由中空弹性密封构件141a彼此气密地连接。

如在上述实施方式中，在移动限制部件60以与间隙G对应的距离限制载台20在对接位置B2前方的位置处的移动时，放置在载台20上的储存容器9可以与窗单元14间隔开对应于间隙G的一小段距离。在这方面，在将中空弹性密封构件141a用作密封构件141的情况下，如果在适当的时间将流体添加到中空部分(或者当中空部分中的压力预先充分增加时)，则当储存容器9与窗单元14略微分离时，中空弹性密封构件141a之后进一步膨胀到追随膨胀状态C2’并且继续与储存容器9的颚部911弹性接触(图16C)。即，即使储存容器9与窗单元14间隔开对应于间隙G的一小段距离，也仍保持窗单元14与储存容器9之间的气密连接。

通常，为了确保窗单元14与储存容器9之间经由密封构件141的气密性，设置夹紧构件以朝向窗单元14拉动并保持储存容器9，使得储存容器9不与窗单元14分离。然而，在设置移动限制部件60时，由于移动限制部件60限制载台20的向前移动，因此确保了储存容器9不与窗单元14间隔一定的量或更大量(超过与间隙G对应的一小段距离)。因此，可以在不提供这种夹紧构件的情况下确保经由密封构件141的气密性。

<7-2.锁单元>

在根据上述实施方式的装载端口1中，可以设置锁单元22U作为设置在载台20中的锁定部件22。将参照图17A和图17B来具体描述锁单元22U的配置。图17A和图17B是用于说明设置在载台20中的锁单元22U的操作的示意图。

在储存容器9的底表面上设置有多种不同形状的保持部件。一个保持部件(第一保持部件)93也被称为前保持特征部，设置在储存容器9的相对靠近盖子92的一侧的底表面上。第一保持部件93可以包括设置在储存容器9的底表面中的凹部93a，以及从在远离盖子92的一侧的凹部93a的边缘在接近盖子92的方向上突出的接合突起93b。另一个保持部件(第二保持部件)94也被称为中心保持特征部，基本上设置在储存容器9的底表面的中心并且在隔着第一保持部件93与盖子92相对的位置处。第二保持部件94包括凹部94a。

锁单元22U包括：第一锁定部件22a，其与第一保持部件93接合并且将安装在载台20的预定位置(由定位销21定位的位置)处的储存容器9固定在预定位置处；以及第二锁定部件22b，其***第二保持部件94中以防止第一锁定部件22a与第一保持部件93脱离。

(第一锁定部件22a)

第一锁定部件22a是所谓的底部夹具，包括设置在载台20上的夹紧部件221以及被配置为驱动夹紧部件221在夹紧姿势与释放姿势之间切换其姿势的驱动部件222。驱动部件222通过包括缸等的适当的驱动机构来实现。这里，“夹紧姿势”是夹紧部件221夹紧安装在载台20上的预定位置处的储存容器9的第一保持部件93的接合突起93b的姿势，更具体地说，是设置在夹紧部件221的端头处的钩形部分221a与接合突起93b接合的姿势(图17A和图17B所示的姿势)。另一方面，“释放姿势”是夹紧部件221的夹紧状态被释放并且整个夹紧部件211被设置在凹部93a的外侧(存储容器9的底表面下方)(未被示出)的姿势。

在夹紧部件221处于夹紧姿势时，夹紧部件221与接合突起93b接合，钩形部分221a的底表面和接合突起93b的顶表面彼此接触，并且钩形部分221a的前端表面和接合突起93b的后端表面处于彼此抵接的状态。因此，安装在载台20上的预定位置处的储存容器9在预定位置处固定在载台20上。

(第二锁定部件22b)

第二锁定部件22b包括设置在载台20上的容器分离防止销223和设置在基座底座11的顶表面上的上推块224。

容器分离防止销223包括***部分223a和设置在***部分223a下方的轴部分223b。轴部分223b***设置在载台20上的通孔中。轴部分223b与***部分223a之间的连接部分设置有在径向方向上突出的凸缘223c，凸缘223c与安装表面201上的通孔的周边接合，使得轴部分223b不脱落。在轴部分223b的下部(突出到载台20的内部空间中的部分)上以压缩状态设置有弹簧构件223d。通过弹簧构件223d向下按压，容器分离防止销223设置在凸缘223c抵接在载台20的安装表面201上的下部位置。此时，***部分223a的上端部设置在比安装在载台20上的储存容器9的底表面低的位置(图17A)。在下文中，容器分离防止销223的该位置也被称为“释放位置Q1”。

在容器分离防止销223被后述的上推块224向上推时，凸缘223c设置在凸缘223c与安装表面201间隔开的上部位置。此时，***部分223a的一部分或全部***安装在载台20上的预定位置处的储存容器9中的第二保持部件94的凹部94a中(图17B)。在下文中，容器分离防止销223的这个位置也被称为“***位置Q2”。可以在容器分离防止销223上设置引导部分223e，以引导容器分离防止销223的升高/降低，使得容器分离防止销223在释放位置Q1与***位置Q2之间平滑地升高/降低。具体地，例如，可以设置从凸缘223c下方平行于轴部分223b延伸的引导部分223e，以***设置在载台20上的引导孔中。通过这种配置，由于引导部分223e在引导孔中被引导的同时进行升高/降低，因此容器分离防止销223在没有轴向摆动的情况下被平滑地升高/降低。

上推块224是大致矩形的平行六面体构件，并且上推块224的前端表面被配置为随着向上接近而向后倾斜的倾斜表面224a。上推块224设置在基座底座11的顶表面上，具体地，例如，设置在基座底座11的顶表面上的线性引导件(被配置为引导由载台驱动机构30移动的载台20的线性引导件)301。

在载台20设置在分离位置B1(图17A)的状态下，上推块224与容器分离防止销223间隔开并且设置在容器分离防止销223后方的位置处。此时，容器分离防止销223通过弹簧构件223d向下按压而设置在释放位置Q1处。在载台20从分离位置B1向后移动时，设置在基座底座11上的上推块224相对于载台20向前移动以接近容器分离防止销223，并且容器分离防止销223的下端部(具体地，轴部分223b的下端部)和上推块224的倾斜表面224a彼此接触。在载台20进一步向后移动时，容器分离防止销223由倾斜表面224a引导并被向上推动。在载台20设置在对接位置B2时，容器分离防止销223处于抵接在上推块224的顶表面上的状态，此时，容器分离防止销223设置在***位置Q2(图17B)。

这样，在载台20从分离位置B1移动到对接位置B2时，设置在基座底座11上的上推块224向上推动设置在载台20中的容器分离防止销223。这将容器分离防止销223的位置从释放位置Q1切换到***位置Q2。相反，在载台20从对接位置B2移动到分离位置B1时，上推块224与容器分离防止销223间隔开，并且容器分离防止销223被弹簧构件223d向下按压，从而从***位置Q2切换到释放位置Q1。

在具有上述配置的锁单元22U中，在第一锁定部件22a的夹紧部件221处于夹紧姿势时，安装在载台20上的预定位置处的储存容器9在预定位置处固定到载台20上。然而，由于夹紧部件221从上侧和后侧抵接在接合突起93b上，因此夹紧部件221在被向前拉动时仅通过夹紧部件221与接合突起93b之间的摩擦而固定。因此，如果仅使用第一锁定部件22a，例如，在操作者有意地施加将储存容器9向前拉动的力时，储存容器9将相对于载台20向前移动，并且接合突起93b可以从夹紧部件221脱离(即，可以释放储存容器9在载台20上的固定)，并且可以移除储存容器9。然而，在锁单元22U中，在载台20设置在对接位置B2处时，第二锁定部件22b的容器分离防止销223被***第二保持部件94的凹部94a中。因此，储存容器9被固定为不在前后方向上相对于载台20移动。因此，例如，即使操作者有意地向前拉动储存容器9，也不能移除储存容器9。即，通过锁单元22U，可以防止操作者对储存容器9的有意移除等。

另外，通过锁单元22U，不需要设置用于移动第二锁定部件22b的容器分离防止销223的特定驱动机构(致动器)，因此可以降低制造成本。然而，在一些情况下，代替上推块224，可以设置用于移动容器分离防止销223的驱动机构。在这种情况下，驱动机构只要实现简单的线性运动就够了。具体地，例如，驱动机构可以由螺线管、缸(气缸)、包括进给螺杆和使用马达作为驱动源的线性运动机构等实现。

例如，在相关技术中，已经存在将第二保持部件94用T形钩夹紧以将储存容器9固定到载台20上的机构(所谓的中心夹具机构)，但是该机构是昂贵的，因为它通过诸如升高、旋转和降低的复合运动来夹紧第二保持部件94。此外，由于为了在狭窄的空间中进行复合运动而使驱动机构的尺寸缩小，因此驱动机构也具有脆弱的缺点。相反，由于锁单元22U不需要用于进行这种复杂操作的驱动机构，因此可以实现低成本、小型化、高耐久性等。

<8.变形>

在上述实施方式中，移动限制部件60的切换部件63设置有螺线管(电磁螺线管)633b作为用于驱动按压部件633的驱动部件。例如，驱动按压部件633的驱动部件可以是缸(空气(气动)缸)，也可以是包括进给螺杆等并且使用马达为驱动源的直线运动机构。

在上述实施方式中，移动限制部件60设置有切换部件63，但其具体配置并不限于上述实施方式所例示的配置。例如，包括在按压部件633中的杆633a的端头可以固定到旋转部件62上。在这种情况下，当螺线管633b响应于来自控制器70的指令而降低杆633a时，旋转部件62在第一旋转方向R1上旋转，并且释放状态K2切换到限制状态K1，并且当螺线管633b响应于来自控制器70的指令升高杆633a时，旋转部件62在第二旋转方向R2上旋转并且从限制状态K1切换到释放状态K2。当然，通过这种配置，可以省略弹性构件631和止动件632。

在上述实施方式中，移动限制部件60通过使旋转部件62旋转而在释放状态K2与限制状态K1之间切换。然而，移动限制部件60的配置不限于此。例如，移动限制部件60可以被配置为通过使块状限制构件在与载台20的移动方向相交的方向(例如左右方向、上下方向等)上移动而在释放状态K2与限制状态K1之间切换。在这种情况下，使限制部件移动的驱动机构只要实现简单的线性运动就够了。具体地，例如，驱动机构可以由螺线管、缸(气缸)、包括进给螺杆和使用马达作为驱动源的线性运动机构等实现。

在上述实施方式中，移动限制部件60以与间隙G对应的距离限制载台20在对接位置B2前方的位置处的移动，但是这种间隙G不是必需的。即，移动限制部件60可以抵靠在设置在对接位置B2处的载台20上来限制载台20在远离基座10的方向上的移动。

在上述实施方式中，移动限制部件60(具体地，辊624)抵靠在载台20的前端表面24上，以限制载台20的向前移动。然而，移动限制部件60不一定必须抵靠在载台20的前端表面24上。例如，可以在载台20的底表面或侧表面上设置凹部，并且移动限制部件60可以抵靠在凹部的内壁表面上来限制载台20的移动。

虽然在上述实施方式中仅提供了一个移动限制部件60，但是也可以提供多个移动限制部件60。例如，多个移动限制部件60可以在基座底座11的前端部分附近在基座底座11的左右方向上布置成一排。

在上述实施方式中，储存在储存容器9中的基板不一定是晶圆90，例如可以是被保持在带框架(带框架晶圆)上的晶圆、矩形基板等。此外，储存容器9不必是FOUP，例如可以是FOSB、盒等。

在不脱离本发明的精神的情况下，也可以以各种方式修改其他配置。

虽然已经描述了某些实施方式，但是这些实施方式仅作为示例呈现，并且不旨在限制本发明的范围。实际上，本文描述的实施方式可以以各种其他形式体现。此外，在不脱离本发明的精神的情况下，可以对本文描述的实施方式的形式进行各种省略、替换和改变。所附权利要求及其等同物旨在涵盖落入本发明的范围和精神内的这种形式或变形。

Claims (6)

1.一种装载端口，所述装载端口与输送部件连接，所述装载端口包括：

板状的基座，所述基座构成所述输送部件的壁的一部分；

载台，储存容器安装在所述载台上；

载台驱动机构，所述载台驱动机构被配置为使所述载台在朝向所述基座的方向上或远离所述基座的方向上移动；

门，所述门被配置为能够打开/关闭开口，所述开口在面对安装在所述载台上的所述储存容器的盖子的位置处设置在所述基座中，并且所述门被配置为能够对在关闭所述开口的状态下设置为面对所述开口的所述盖子进行保持；

门驱动机构，所述门驱动机构被配置为使所述门在所述门打开所述开口的打开位置与所述门关闭所述开口的关闭位置之间移动；以及

移动限制部件，所述移动限制部件被配置为在所述门被朝向所述开口按压并且由所述门保持的所述盖子附接到所述储存容器的容器主体时，通过抵靠所述载台而限制所述载台在远离所述基座的方向上的移动。

2.根据权利要求1所述的装载端口，其中，在平面图中，所述移动限制部件在与所述载台的移动方向垂直的方向上在所述载台的中心位置处抵靠在所述载台上。

3.根据权利要求1或2所述的装载端口，其中，所述移动限制部件在通过抵靠所述载台而限制所述载台的移动的限制状态与不限制所述载台的移动的释放状态之间切换。

4.根据权利要求3所述的装载端口，其中，所述移动限制部件包括：

旋转部件，所述旋转部件被设置为能围绕旋转轴旋转，所述旋转轴沿着与所述载台的移动方向相交的方向延伸；以及

切换部件，所述切换部件被配置为通过使所述旋转部件旋转而在所述限制状态与所述释放状态之间切换。

5.根据权利要求1或2所述的装载端口，其中，在所述门被朝向所述开口按压并且由所述门保持的所述盖子附接到所述容器主体时，所述载台驱动机构朝向所述基座按压所述载台的力小于所述门驱动机构朝向所述开口按压所述门的力。

6.一种用于打开/关闭储存容器的方法，所述储存容器用于储存基板，所述方法包括：

载台移动操作，所述载台移动操作使安装其上有所述储存容器的载台在朝向基座的方向上移动，以使设置在所述基座中的开口与盖子彼此更靠近，所述开口设置在面对安装在所述载台上的所述储存容器的盖子的位置处；

盖子保持操作，所述盖子保持操作使关闭所述开口的门对设置为面对所述开口的所述盖子进行保持；

打开操作，所述打开操作使所述门与由所述门保持的所述盖子一起从所述门关闭所述开口的关闭位置移动到所述门打开所述开口的打开位置；

关闭操作，所述关闭操作使所述门与由所述门保持的所述盖子一起从所述打开位置移动到所述关闭位置；以及

移动限制操作，所述移动限制操作在所述门被朝向所述开口按压并且由所述门保持的所述盖子在所述关闭操作中附接到所述储存容器的容器主体时，使移动限制部件通过抵靠所述载台而限制所述载台在远离所述基座的方向上的移动。