JP3759766B2 - 半導体ウェハーを収容及び保持するための容器 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
この発明は容器に関し、詳しくは半導体のウェハーすなわちスライスを清浄な状態で貯蔵したり、処理装置からまたは処理装置へウエハーを運搬したり、また空中浮遊粒子などの汚染物質からこうしたウェハーを保護するための閉じた容器に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウェハーの処理においては、粒子汚染が増大するとチップの生産性が低下することから、チップの生産性と粒子汚染との間には明かに関連がある。チップ上の回路のラインがより細くなると汚染を生じ得る粒子の寸法がそれだけ小さくなることから、粒子汚染に対する関心が高まっている。また、クリーンルーム内における粒子の濃度は、その汚染粒子の寸法が小さくなるにつれて急激に増大する。
汚染粒子ができる限り入らないようにしつつ、処理装置へ半導体ウェハーを容易に効率よく供給するためには、半導体ウェハー容器の密閉性能及び機能がますます重要になってきている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の目的は、半導体ウェハーのための新規な、そして改良された閉鎖容器を提供し、ウェハー周囲に密閉された雰囲気を実現し、これらのウェハーへ汚染物質ができる限り付着しないようにすることである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は円形の周辺部を有する複数の半導体ウェハーを一つの軸に沿って並んだ状態で収容及び保持するための容器であって、収容部と取り外し可能なカバー部とを有するボックスと、半導体ウェハーを並べる軸の方向に整列した状態で配置される複数のC字形のウェハー把持部と、を有し、前記ウェハー把持部の各々はそのC字形の形状に関して開いた側である開側の部分とその反対側の閉側の部分とを有していて、一つの半導体ウェハーの周辺部と係合して該半導体ウェハーを前記ウェハー把持部の前記C字形の内側に保持可能であり、前記ウェハー把持部の各々が、中間部と、該中間部から延びていて弾性を有しかつ互いに離間した一対の弓形のアーム部とからなり、前記中間部は前記閉側の部分に位置していて前記ボックスに固定取付けされており、前記一対の弓形のアーム部は前記C字形の外側方向であって互いに離れる方向に可撓性を有しており、前記一対の弓形のアーム部によって形成される弧は半円よりも大きく設定されており、前記一対の弓形のアーム部が、半導体ウェハーの周辺部のまわりを、半円よりも大きな弧にわたって延びることで、半導体ウェハーが前記ウェハー把持部の前記C字形の内側に保持され、また前記一対の弓形のアーム部を前記C字形の外側方向に撓ませることで、半導体ウェハーを受容させたり解放させたりできる。
また、本発明の他の側面によれば、周辺部を有する半導体ウェハーを一つの軸に沿って並んだ状態で収容及び保持するための容器は、開口した側を有する収容部と、前記開口した側を閉じる取り外し可能なカバー部と、半導体ウェハーを並べる軸の方向に整列した状態で配置される複数のC字形のウェハー把持部とを有し、前記ウェハー把持部は半導体ウェハーの周辺部と係合可能であり、前記ウェハー把持部の各々が、中間部と、弾性を有しかつ離間した一対の弓形のアーム部からなり、前記弓形のアーム部が前記中間部から延びておりかつ中間部から離間した末端部を有しており、前記弓形のアーム部が前記中間部と一体化されており、前記中間部が取り外し可能なカバー部へ固定取付けされており、前記一対の弓形のアーム部によって形成される弧は半円よりも大きく設定されており、前記一対の弓形のアーム部が、半導体ウェハーを保持するために半導体ウェハーの周辺部のまわりを、半円よりも大きな弧にわたって延びており、また前記一対の弓形のアーム部が、半導体ウェハーを前記把持部のC字形の内側に受容して保持するために、C字形の外側方向であって互いに離れる方向に可撓性を有している。
【0005】
【作用及び効果】
この発明の特徴は、ウェハーが動かないようにこれを保持することによって、ウェハーを貯蔵しているときに粒子ができる限り発生しないようしたことにある。このウェハー容器では、容器を即座に、かつ容易に操作することができ、容器を容易に開閉したり、容器の可動部分を邪魔にならない位置へ移動させてウェハーへアクセスできるようになっている。
【0006】
【実施例】
以下、添付図面に基づいてこの発明の実施例を説明する。回路チップを製造するために必要とされる多くのステップの内の一つの、半導体ウェハーの処理を行うための装置が参照番号10によって図1に示されている。こうした処理プロセスの代表的なステップは、ウェハー酸化物のエッチングや、フォトレジストの塗布、あるいはすすぎや乾燥などである。これまでは、装置10の上に設けられた蓋体(キャノピ)11と、ある種のタイプのマニピュレータ12がかなり一般的に用いられてきており、マニピュレータ12は装置へ供給されるウェハーのカセットあるいは容器を取り扱うためのものである。蓋体11は一般に開口部すなわちインターフェースポート13を有する。カセット14の中に閉じ込められたウェハーWはインターフェースポート13を介して蓋体11の中へ通され、蓋体11の内部へ送られて、処理装置10に供給される。インターフェースポート13は一般的にドアあるいは蓋15によって閉じられる。蓋15はキャリヤすなわちカセット14を支える働きを行っている。蓋15はキャリヤすなわちカセット14を蓋体11の内部まで下げるエレベータ16へ連結されている。マニピュレータ12はキャリヤすなわちカセット14を蓋15から持ち上げ、処理装置10内に運ぶための別のプラットホーム17の上へウェハーとそのキャリヤを位置させるために作動する。
【0007】
従来からSMIFボックスとして知られているボックス18がインターフェースポートの上へ取り付けられ、該ボックス18はウェハーWのキャリヤすなわちカセット14を蓋体11まで運搬して、カセット14を装置10の中へ運ぶようになっている。ボックス18は、蓋体11にインターフェースポート13と隣接する位置において載せられる収容部と、蓋15の上に載るカバーとを有する。ボックス18は、ウェハーが装置10の中へ供給されるときや、装置10から取り出されるときに、空中浮遊粒子等の汚染物質ができる限りウェハーの上へ付着しないようにするのに有用である。
SMIFはスタンダード・メカニカル・インターフェース(STANDARDMECHANICAL INTERFACE)の頭字語であり、ボックス18と蓋体11との間の関係を表している。
【0008】
次に上記ボックス18として利用される本発明の実施例の容器を以下に説明する。図2〜図6において、半導体ウェハー貯蔵用の容器は参照番号62で示されている。貯蔵用の容器62は二つの部材からなる成型プラスチックのボックス63を有する。ボックス63はボックスの底部を形成するフラットな底部64を有している。ボックス63は収容部65とカバー66を有している。カバー66は蓋パネル67とリテーナパネル68を有している。リテーナパネル68は収容部65の周縁部70内に四分の一回転ネジ69によって保持されている。図から理解されるように、蓋パネル67の周縁部は、収容部65の周縁部70の環状のショルダ70.1へ当接している。リテーナパネル68もショルダ70.1へ当接して着座しており、蓋パネル67の環状の周縁部すなわちフランジ71を支持している。
【0009】
容器62は固定式の係合用部材72も有している。係合用部材72は半導体ウェハーWの周辺部と係合しており、ウェハーWがウェハーW面内において端部方向に動かないように保持している。係合用部材72はC字形を有する多数のウェハークランプ部すなわちウェハー把持部73を有している。ウェハー把持部73はウェハーWの周辺部まわりに延びている。図2、図4、図5及び図6に示されているように、把持部73は弾性を有していて屈曲可能なアーム部73.1と、中間部73.2とを有している。アーム部73.1にはその両側の外側端部に、ノッチ、あるいは溝が設けられたウェハー着座及び保持部74が形成されている。C字形を有するウェハー把持部73と、そのうちの特にアーム部73.1は、ウェハーの周辺部及び端部W.1及びW.2に沿って厳密に延びており、弓形の部分円形状を有している。また、これらは弾性を有していて、外側へ若干屈曲可能であり、操作用のハンドル75に外側への圧力が加えられるとウェハーを解放するようになっている。C字形のウェハー把持部73には部分円形状を有する内側縁部73.3が形成されており、図面からわかるように、開口したその内部は半円よりも大きい形状を有している。把持部74の各々は円形のウェハーWを他方の把持部74及び着座部76に対して付勢している。図2からわかるように、アーム部73.1の把持部74と、中間部73.2の着座部76が、部分円形状を有する開口した内側縁部73.3の実際の円形境界を形成している。ウェハー把持部73には、ウェハーの着座部76も形成されている。図4からわかるように、ウェハーの着座部76はノッチの形をしている。把持部74及び着座部76のノッチ74.1,76.1は、図4及び図6からわかるように、ウェハーの端部W.1,W.2を着座させるため、アーム73.1と中間部73.2の厚みの中間の方向を向いている。
【0010】
C字形を有する多数のウェハー把持部73は三つのポスト77,78,79に取付けられており、これらに支持されている。ポスト77,78,79は上方へ延びていて、蓋パネル67へ取付けられている。ボックス63からウェハーを取り出すときには、リテーナパネル68をそれ自身の平面内において1/4回転だけ回転させて、隣接する収容部65の周縁部70から解放する。そのあと、リテーナパネル68と蓋パネル67を、支持されたウエハーWとともに容器部65から単に下降させることによって外側へ出す。この発明はその精神及び本質から逸脱することなく、他の形態で実現することが可能である。従って、上述した実施例は単に説明のためのものであり、発明を限定するものでない。この発明の範囲に関しては、上述した実施例よりも、特許請求の範囲を参照すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】囲繞用の蓋体を介して半導体ウェハーを処理装置の中に供給する従来技術を示す図である。
【図2】本発明の半導体ウェハーの貯蔵用容器の実施例を示す断面図であり、図3の2−2線断面に対応する図である。
【図3】図2の3−3線断面図である。
【図4】図2の4−4線断面図である。
【図5】図4の5−5線断面図である。
【図6】図4のウェハー係合用着座部分の詳細を示す平面図である。
【符号の説明】
10 装置
62 容器
63 ボックス
64 底部
65 収容部
66 カバー
67 蓋パネル
68 リテーナパネル
70 周辺部
73 ウェハー把持部
73.1 アーム部
73.2 中間部
73.3 内側端部
74 保持部
76 着座部
77,78,79 ポスト
Claims (6)
- 円形の周辺部を有する複数の半導体ウェハーを所定の軸に沿って並んだ状態で収容及び保持するための容器であって、
収容部と取り外し可能なカバー部とを有するボックスと、
半導体ウェハーが並ぶ前記所定の軸の方向に整列した複数のC字形のウェハー把持部と、
を有し、前記ウェハー把持部の各々はC字形の開いた側である開側の部分とその反対側の閉側の部分とを有していて、一つの半導体ウェハーの周辺部と係合して該半導体ウェハーを前記ウェハー把持部の内側に保持可能であり、前記ウェハー把持部の各々が、中間部と、該中間部から延びていて弾性を有しかつ互いに離間した一対の弓形のアーム部とからなり、前記中間部は前記閉側の部分に位置していて前記ボックスに固定取付けされており、前記一対の弓形のアーム部は互いから離れる外側方向に可撓性を有しており、
前記一対の弓形のアーム部によって形成される弧は半円よりも大きく設定されており、前記一対の弓形のアーム部が、半導体ウェハーの周辺部のまわりを、半円よりも大きな弧にわたって延びることで、半導体ウェハーが前記ウェハー把持部の内側に保持され、また前記一対の弓形のアーム部を前記外側方向に撓ませることで、半導体ウェハーを受容させたり解放させたりできる、半導体ウェハーを収容及び保持するための容器。 - 前記中間部がカバー部へ固定取付けされている請求項1の半導体ウェハーを収容及び保持するための容器。
- 前記中間部の各々が、溝が設けられた半導体ウェハー支持部を有し、この半導体ウェハー支持部が半導体ウェハーの周辺部の一部を受容し、前記弓形のアーム部の各々が外側端部を有し、この外側端部の各々が溝が設けられたウェハー保持部を有し、このウェハー保持部が半導体ウェハーの周辺部と係合する請求項1の半導体ウェハーを収容及び保持するための容器。
- 前記弓形のアーム部の各々が、前記外側方向へ延びるハンドル部を有し、このハンドル部を操作することによって前記アーム部を前記外側方向へ屈曲させて、半導体ウェハーを受容させたり解放させたりできる請求項2の半導体ウェハーを収容及び保持するための容器。
- 前記C字形のウェハー把持部の中間部が、ポストを介して、取り外し可能なカバー部へ取り付けられている請求項2の半導体ウェハーを収容及び保持するための容器。
- 周辺部を有する半導体ウェハーを所定の軸に沿って並んだ状態で収容及び保持するための容器であって、
開口した側を有する収容部と、
前記開口した側を閉じる取り外し可能なカバー部と、
半導体ウェハーが並ぶ前記所定の軸の方向に整列した複数のC字形のウェハー把持部と、
を有し、前記ウェハー把持部は半導体ウェハーの周辺部と係合可能であり、前記ウェハー把持部の各々が、中間部と、弾性を有しかつ離間した一対の弓形のアーム部からなり、前記弓形のアーム部が前記中間部から延びておりかつ中間部から離間した末端部を有しており、前記弓形のアーム部が前記中間部と一体化されており、前記中間部が取り外し可能なカバー部へ固定取付けされており、
前記一対の弓形のアーム部によって形成される弧は半円よりも大きく設定されており、前記一対の弓形のアーム部が、半導体ウェハーを保持するために半導体ウェハーの周辺部のまわりを、半円よりも大きな弧にわたって延びており、
また半導体ウェハーが前記ウェハー把持部の各々の内側に受容されて保持されるようにするため、前記一対の弓形のアーム部が互から離れる外側方向に可撓性を有している半導体ウェハーを収容及び保持するための容器。
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JP7900495A JP3759766B2 (ja) | 1995-04-04 | 1995-04-04 | 半導体ウェハーを収容及び保持するための容器 |
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