TWI485796B - 容置薄板之容器 - Google Patents

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Chang Cheng Chen
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Description

容置薄板之容器
本發明係關於一種容置薄板之容器，特別是關於一種具有良好氣密功能的容置薄板之容器。
目前在半導體廠中，關於晶圓、光罩的儲運裝置大多採用由惠普公司所提出的標準式介面(SMIF)系統，此SMIF系統已於美國專利第4532970號及第4534389號中揭露。SMIF系統之目的係要確保晶圓、光罩在輸送和儲藏過程中，晶圓、光罩周圍的氣體基本上相對於晶圓、光罩是靜止的，且無塵室中的微粒亦不致於進入緊鄰晶圓、光罩的環境中。
因此，在SMIF系統中使用的輸送容器，需具備良好的氣密效果，以避免外在環境的氣體或微粒進入輸送容器。請參閱第1A圖及第1B圖所示，係習知技術之輸送容器其盒體與盒門達成氣密之示意圖。此輸送容器是包括一盒體10及一盒門20，盒門20具有一外表面21及一內表面22，盒門20的內表面22係用以封閉盒體10的一開口14。而在盒門20的內部(即外表面21與內表面22之間)係設置有一門閂裝置，此門閂裝置包括一凸輪200及一對滑動裝置300(圖中僅顯示一側的滑動裝置)，滑動裝置300其一端則設有一滑輪301可於凸輪200上方滑動；因此，當經由盒門20外表面21的一門閂開孔21H來轉動凸輪200時，凸輪200會帶動滑動裝置300水平地伸出盒門20(如第1A圖所示)。而隨著凸輪200的繼續轉動，滑動裝置300其滑輪301係爬上凸輪200上的一平台201，造成滑動裝置300往原本行進方向其垂直方向偏移，使滑動裝置300進一步抵壓盒體10上的凹洞其下緣10L；最後，使整個盒門20往盒體10的內部抬舉些許距離，造成盒門20上的一氣密件26與盒體上的一凸體17接觸，而達成氣密(第1B圖)。
上述輸送容器雖可達成氣密的功能，然，盒門20往盒體10內部抬舉的力量是不足的，容易造成凸體17與氣密件26之間存有空隙；且，門閂裝置其結構相對較複雜，使用滑輪301在凸輪200上滑動也容易有微粒粉塵產生，對於容器內部的物件係一明顯的威脅。
依據先前技術之輸送容器其氣密效果不佳或其使用滑輪容易產生微粒粉塵等問題，本發明之一主要目的在於提供一種具有良好氣密效果之輸送容器，其盒門被往上抬舉的力道及距離是足夠的，可使盒體與門體之間形成良好的氣密效果。
本發明之再一主要目的在於提供一種具有良好氣密效果之輸送容器，本發明之輸送容器其門閂裝置係不採用滑輪的設計，可避免每次開啟或關閉盒門時，滑輪在凸輪其平台上滑行，可減少微粒粉塵的產生。
本發明之另一主要目的在於提供一種具有良好氣密效果之輸送容器，此輸送容器係使用一設計簡單的門閂裝置，僅會造成滑動裝置水平地往盒門外伸出，滑動裝置並不需要在兩個不同的方向上移動。
為達上述之各項目的，本發明揭露一種容置薄板之密封容器，包括：一盒體，具有一頂面及四個與頂面相鄰的側表面，頂面與側表面係形成一內部區域及一開口，其中在內部區域中於四個側表面之相對的二側表面各樞接有一可動扣件；一盒門，具有一內表面，用以封閉盒體的開口；複數個支撐柱，係配置於盒門的內表面上，用以支撐一薄板；一氣密件，環設於盒門的內表面之四週邊緣上；及一門閂裝置，係配置於盒門中，當盒門的內表面封閉盒體的開口時，其可經由一凸輪帶動一對滑動裝置依一往返方向移動於一第一位置與一第二位置之間，在第一位置中，滑動裝置係包容在盒門中，而在第二位置中，滑動裝置則伸出盒門並接觸盒體的可動扣件，且藉由可動扣件將盒門往一密封方向移動，以利用氣密件使盒門與盒體形成密封。
為使本發明所運用之技術內容、發明目的及其達成之功效有更完整且清楚的揭露，茲於下詳細說明之，並請一併參閱所揭之圖示及圖號：首先，請參閱第2圖所示，係本發明之一種容置薄板之容器之示意圖。此容器主要包括一盒體10及一盒門20，盒體10具有一頂面11及四個與頂面11相鄰的側表面12，上述頂面11與四個側表面12係形成一內部區域(未顯示於圖中)及一開口14；而盒門20則具有一外表面21及一內表面22，其中，內表面22係用以封閉盒體10的開口14且在內表面22的四個角落處各設有一支撐柱30，以支撐一薄板100，此薄板100可以係光罩或半導體基材，而盒門20的外表面21則設有一門閂開孔(未顯示於圖中)，以藉由轉動此門閂開孔將盒體10與盒門20形成鎖固或解除鎖固。
接著，請參閱第3圖所示，係上述容器其盒體10內部區域13之示意圖。由圖可知，在盒體10的內部區域13且接近開口14的位置係設有四個樞桿15(圖中僅顯示二個樞桿)，其中二個樞桿15係設置於四個側表面12之一側表面12上，而其餘二個樞桿15設置於上述側表面12其相對的側表面12上。上述每一個樞桿15各樞接有一可動扣件16，如第4圖所示，可動扣件16係具有一樞孔161，且在樞孔161的上方延伸有一頂體162，而在樞孔161的下方外側則延伸有至少一個扣勾163；可動扣件16係以其樞孔161樞設於盒體10的樞桿15中，並藉由一彈簧裝置S使可動扣件16與側表面12保持平行。
而如第5A圖及第5B圖所示，係上述容器其盒門20處於解除鎖固及形成鎖固時之示意圖；第5A圖及第5B圖係已將盒門20的內表面22移除。如前文所述，本發明之容器其盒門20係具有外表面21及內表面22，其中，在盒門20中(亦就是在盒門20的外表面21與內表面22之間)係設有一門閂裝置40，門閂裝置40係包括一凸輪41及一對滑動裝置42，凸輪41係具有一開孔(未顯示於圖中)可與外表面21上的門閂開孔相通。此外，凸輪41設有一對第一導引構造，第一導引構造係由凸輪41的中心點向外延伸的突出部411或突出結構；而每一滑動裝置42靠近凸輪41的一端係設有第二導引構造，此第二導引構造係跟第一導引構造其形狀相吻合，例如：將第二導引構造設置成可吻合突出部411的弧形缺口421，而每一滑動裝置42遠離凸輪41的另一端係形成二個閂鎖臂422，上述閂鎖臂422其位置係相對於盒體10內部區域13中的可動扣件16。由於第一導引構造和第二導引構造形狀互相吻合，故可藉由轉動凸輪41使上述第一導引構造及第二導引構造呈一嚙合狀態或解脫狀態。當處在嚙合狀態時，凸輪41上的第一導引構造係吻合於滑動裝置42上的第二導引構造中，此時，滑動裝置42其閂鎖臂422係包容在盒門20中；而當處在解脫狀態時，凸輪41的第一導引構造係脫離出滑動裝置42上的第二導引構造，並將滑動裝置42其閂鎖臂422往外推出，使滑動裝置42其閂鎖臂422伸出盒門20並接觸可動扣件16。很明顯的，門閂裝置40的主要功能係將滑動裝置42及其閂鎖臂422依一往返方向移動於上述兩個位置之間，使滑動裝置42伸出盒門20以便與盒體10形成鎖固或將滑動裝置42縮回盒門20以便與盒體10解除鎖固。而上述門閂裝置40之凸輪41或滑動裝置42其材質可以係金屬或高分子塑膠或其他材質，在此並不加以限定。且，門閂裝置40的構造亦並不限定上述之形式。
其次，如第6圖所示，在盒門20的內表面22相鄰有四個側表面23，在這四個側表面23之中的二個相對的側表面23係各具有二個窗口24，其中，每一個窗口24係包括上半部的小窗口241及下半部的大窗口242，上半部的小窗口241係容許盒門20內部的滑動裝置42其閂鎖臂422伸出，並接觸可動扣件16的頂體162，而下半部的大窗口242則容許可動扣件16其扣勾163通過，以便於可動扣件16其扣勾163勾住小窗口241與大窗口242之間的重疊處243。如第7圖所示(此圖僅留下盒體10中的樞桿15與可動扣件16及門體20等結構)，滑動裝置42其閂鎖臂422伸出盒門20之後，先接觸或抵壓可動扣件16其頂體162，使可動扣件16以軸孔161為中心旋轉，由原本平行於側表面12變成垂直於側表面12，而在此同時，可動扣件16其扣勾163勾住上述小窗口241與大窗242口之間的重疊處243，使盒門20往上抬舉一距離。
接著，請參閱第8A圖及8B圖，係可動扣件16其扣勾163勾住並抬舉盒門20前後之示意圖。由圖可知，盒門20內表面22的四週邊緣上係具有一凹槽25，凹槽25內具有一氣密件26，而在盒體10其相對於氣密件26的位置係具有一凸體17；因此，當盒門20內部的滑動裝置42其閂鎖臂422伸出盒門20並接觸頂體162時，可動扣件16其扣勾163係將盒門20往上抬舉，造成凸體17與氣密件26緊密接觸，使盒體10與盒門20形成氣密或密封。而上述往上抬舉的方向或稱密封方向，係與滑動裝置42其閂鎖臂422的往返方向約呈一垂直角度。而上述使用的氣密件26可以係一種橡膠條或氣密圈，其材質可以係橡膠或高分子塑膠或其他材質。又，為了降低閂鎖臂422與頂體162之間的接觸面積，且避免微粒粉塵的產生，閂鎖臂422其自由端可以包含有一滾輪423且滾輪423表面包覆一種耐磨耗材，例如：聚醚醚酮(polyetheretherketone,PEEK)。
其次，請參閱第9圖，係本發明之容器其盒門置有薄板之示意圖。而第10圖，係上述盒門移除薄板而保留複數個支撐柱之示意圖。如圖所示，四個支撐柱30係位於盒門20內表面22的四個角落處，其中，每一支撐柱30係包括一基座31，基座31的底端係固定於盒門20的內表面22上，而其另一端係形成一頂部平面311，頂部平面311上設有一凸點312，以利用此凸點312支撐薄板100；而在頂部平面311的邊緣處係設有至少一個往上延伸的檔塊突起313，以防止薄板100滑落出支撐柱30。而在容器容置有薄板100的正常情況下，上述薄板100僅支撐於凸點312上方，並沒有與檔塊突起313互相接觸；此支撐柱30係可以跟固定於盒體10內部區域13的定位件(未顯示於圖中)一起使用，使薄板100固定於定位件及支撐柱30之間。而當本發明之容器承受一衝擊時，例如：容器從工作平台掉落時，此時檔塊突起313便可發揮功用，以抵擋或避免薄板100滑出支撐柱30。
雖然本發明以前述之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。
10．．．盒體
11．．．頂面
12．．．側表面
13．．．內部區域
14．．．開口
15．．．樞桿
16．．．可動扣件
161．．．樞孔
162．．．頂體
163．．．扣勾
S．．．彈簧裝置
17．．．凸體
20．．．盒門
21．．．外表面
22．．．內表面
23．．．側表面
24．．．窗口
241．．．小窗口
242．．．大窗口
243．．．重疊處
25．．．凹槽
26．．．氣密件
30．．．支撐柱
31．．．基座
311．．．頂部平面
312．．．凸點
313．．．檔塊突起
40．．．門閂裝置
41．．．凸輪
411．．．突出部
42．．．滑動裝置
421．．．弧形缺口
422．．．閂鎖臂
423．．．滾輪
100．．．薄板
第1A圖及第1B圖係習知技術之輸送容器其盒體與盒門達成氣密之示意圖；
第2圖係本發明之一種容置薄板之容器之示意圖；
第3圖係本發明之容器其盒體內部區域之示意圖；
第4圖係本發明之容器其可動扣件之示意圖；
第5A圖係本發明之容器其盒門處於解除鎖固時之示意圖；
第5B圖係本發明之容器其盒門處於形成鎖固時之示意圖；
第6圖係本發明之容器其盒門之側表面之示意圖；
第7圖係本發明之容器其盒門經可動扣件往上抬舉之示意圖；
第8A圖及第8B圖係可動扣件其扣勾勾住並抬舉盒門前後之示意圖；
第9圖係本發明之容器其盒門置有薄板之示意圖；及
第10圖係本發明之容器其盒門未置有薄板之示意圖。
10．．．盒體
12．．．側表面
13．．．內部區域
14．．．開口
15．．．樞桿
16．．．可動扣件
161．．．樞孔
162．．．頂體
163．．．扣勾
17．．．凸體
20．．．盒門
21．．．外表面
22．．．內表面
24．．．窗口
25．．．凹槽
26．．．氣密件
422．．．閂鎖臂
423．．．滾輪

Claims (13)

  1. 一種容置薄板之容器，包括：一盒體，具有一開口及一內部區域，且於接近該開口處樞接至少一對可動扣件；一盒門，具有一內表面，用以封閉該盒體之該開口；複數個支撐柱，係配置於該盒門之該內表面上之四個角落處，用以支撐一薄板；及一門閂裝置，係配置於該盒門中，當該盒門之該內表面封閉該盒體之該開口時，其可依一往返方向移動於一第一位置與一第二位置之間，在該第一位置中，該門閂裝置包容在該盒門中，而在該第二位置中，該門閂裝置則伸出該盒門並接觸該盒體之該些可動扣件，且藉由該些可動扣件將該盒門往一密封方向移動，使該盒門與該盒體形成密封；其中該可動扣件係具有一樞孔，該樞孔係設置於該盒體其接近該開口處之一樞桿中，該樞孔往上延伸有一頂體且該樞孔往下方外側延伸有至少一個扣勾，該頂體可供該門閂裝置接觸並以該樞孔為軸心旋轉帶動該扣勾勾起該盒門，使該盒門往該密封方向移動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之容器，其中該往返方向與該密封方向垂直。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之容器，其中該盒門之該內表面其四週的邊緣係設有一氣密件。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之容器，其中該盒體相對於該氣密件處，係設有一凸體，當該些可動扣件將該盒門往該密封方向移動時，該凸體係壓縮該氣密件，使該盒門與該盒體形成密封。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之容器，其中該門閂裝置包括一凸輪及一對滑動裝置，該凸輪設有一對第一導引構造，而該對滑 動裝置其一端設有一第二導引構造，使得該第一導引構造及該第二導引構造可隨著該凸輪的轉動而互相嚙合或解脫。
  6. 一種容置薄板之容器，包括：一盒體，具有一開口及一內部區域，且於接近該開口處樞接至少一對可動扣件；一盒門，具有一內表面，用以封閉該盒體之該開口；複數個支撐柱，係配置於該盒門之該內表面上之四個角落處，用以支撐一薄板；及一門閂裝置，係配置於該盒門中，當該盒門之該內表面封閉該盒體之該開口時，其可依一往返方向移動於一第一位置與一第二位置之間，在該第一位置中，該門閂裝置包容在該盒門中，而在該第二位置中，該門閂裝置則伸出該盒門並接觸該盒體之該些可動扣件，且藉由該些可動扣件將該盒門往一密封方向移動，使該盒門與該盒體形成密封；其中該盒門之該內表面相鄰有四個側表面，該四個側表面之中的兩相對側表面係各設有至少一窗口，以供該門閂裝置伸出該盒門。
  7. 一種容置薄板之容器，包括：一盒體，具有一開口及一內部區域，且於接近該開口處樞接至少一對可動扣件；一盒門，具有一內表面，用以封閉該盒體之該開口；複數個支撐柱，係配置於該盒門之該內表面上之四個角落處，用以支撐一薄板；及一門閂裝置，係配置於該盒門中，當該盒門之該內表面封閉該盒體之該開口時，其可依一往返方向移動於一第一位置與一第二位置之間，在該第一位置中，該門閂裝置包容在該盒門中， 而在該第二位置中，該門閂裝置則伸出該盒門並接觸該盒體之該些可動扣件，且藉由該些可動扣件將該盒門往一密封方向移動，使該盒門與該盒體形成密封；其中該複數個支撐柱之每一支撐柱係包括：一基座，固定於該盒門之該內表面上，且該基座具有一頂部平面，該頂部平面設有一凸點，以利用該凸點支撐該薄板；及一檔塊突起，係位於該基座之該頂部平面的邊緣，該檔塊突起可防止該薄板滑落出該支撐柱。
  8. 一種容置薄板之密封容器，包括：一盒體，具有一頂面及四個與該頂面相鄰之側表面，該頂面與該側表面係形成一內部區域及一開口，其中在該內部區域中於該四個側表面之相對的二側表面各樞接有一可動扣件；一盒門，具有一內表面，用以封閉該盒體之該開口；複數個支撐柱，係配置於該盒門之該內表面上之四個角落處，用以支撐一薄板；一氣密件，環設於該盒門之該內表面之四週邊緣上；及一門閂裝置，係配置於該盒門中，當該盒門之該內表面封閉該盒體之該開口時，其可經由一凸輪帶動一對滑動裝置依一往返方向移動於一第一位置與一第二位置之間，在該第一位置中，該對滑動裝置包容在該盒門中，而在該第二位置中，該對滑動裝置則伸出該盒門並接觸該盒體之該些可動扣件，且藉由該些可動扣件將該盒門往一密封方向移動，以利用該氣密件使該盒門與該盒體形成密封；其中在該盒體之該內部區域中該相對的二側表面各具有一樞桿，以樞設一具有樞孔的可動扣件，該樞孔往上延伸有一頂體且該樞孔往下方外側延伸有至少一 個扣勾，該頂體可供該滑動裝置接觸並以該樞孔為軸心旋轉帶動該扣勾勾起該盒門，使該盒門往該密封方向移動。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之容器，其中該往返方向與該密封方向垂直。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之容器，其中該盒體相對於該氣密件處，係設有一凸體，當該些可動扣件將該盒門往該密封方向移動時，該凸體係壓縮該氣密件，使該盒門與該盒體形成密封。
  11. 如申請專利範圍第8項所述之容器，其中該凸輪設有一對第一導引構造，而該對滑動裝置其一端設有一第二導引構造，使得該第一導引構造及該第二導引構造可隨著該凸輪的轉動而互相嚙合或解脫。
  12. 一種容置薄板之密封容器，包括：一盒體，具有一頂面及四個與該頂面相鄰之側表面，該頂面與該側表面係形成一內部區域及一開口，其中在該內部區域中於該四個側表面之相對的二側表面各樞接有一可動扣件；一盒門，具有一內表面，用以封閉該盒體之該開口；複數個支撐柱，係配置於該盒門之該內表面上之四個角落處，用以支撐一薄板；一氣密件，環設於該盒門之該內表面之四週邊緣上；及一門閂裝置，係配置於該盒門中，當該盒門之該內表面封閉該盒體之該開口時，其可經由一凸輪帶動一對滑動裝置依一往返方向移動於一第一位置與一第二位置之間，在該第一位置中，該對滑動裝置包容在該盒門中，而在該第二位置中，該對滑動裝置則伸出該盒門並接觸該盒體之該些可動扣件，且藉由該些可動扣件將該盒門往一密封方向移動，以利用該氣密件使該盒門與該盒體形成密封； 其中該盒門之該內表面相鄰有四個側表面，該四個側表面之中的二相對側表面係各具有一窗口，以供該對滑動裝置伸出該盒門。
  13. 一種容置薄板之密封容器，包括：一盒體，具有一頂面及四個與該頂面相鄰之側表面，該頂面與該側表面係形成一內部區域及一開口，其中在該內部區域中於該四個側表面之相對的二側表面各樞接有一可動扣件；一盒門，具有一內表面，用以封閉該盒體之該開口；複數個支撐柱，係配置於該盒門之該內表面上之四個角落處，用以支撐一薄板；一氣密件，環設於該盒門之該內表面之四週邊緣上；及一門閂裝置，係配置於該盒門中，當該盒門之該內表面封閉該盒體之該開口時，其可經由一凸輪帶動一對滑動裝置依一往返方向移動於一第一位置與一第二位置之間，在該第一位置中，該對滑動裝置包容在該盒門中，而在該第二位置中，該對滑動裝置則伸出該盒門並接觸該盒體之該些可動扣件，且藉由該些可動扣件將該盒門往一密封方向移動，以利用該氣密件使該盒門與該盒體形成密封；其中該複數個支撐柱之每一支撐柱係包括：一基座，固定於該盒門之該內表面上，且該基座具有一頂部平面，該頂部平面設有一凸點，以利用該凸點支撐該薄板；及一檔塊突起，係位於該基座之該頂部平面的邊緣，該檔塊突起可防止該薄板滑落出該支撐柱。
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