KR200370328Y1 - 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드 - Google Patents

스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드 Download PDF

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Abstract

본 고안은 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드에 관한 것으로, 웨이퍼를 탑재한 캐리어가 안착되는 파드 도어와 파드 도어를 덮고 있는 커버를 갖는 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드에 있어서, 파드 도어(12)는 그의 정면에 형성된 홀(51), 홀(51)의 좌, 우측에 각각 형성된 걸림홈(53), (55), 그의 내부에 설치된 회전판(13), 커버(16)와의 분리 및 결합을 위한 적어도 한 쌍의 후크(12b), 회전판(13)의 회전운동에 의해 후크(12b)를 회동시키도록 회전판(13)과 각 후크(12b)를 연결하는 적어도 한 쌍의 연결부재(40), 한쪽 끝이 회전판(13)과 연결되어 있으며 다른 끝에는 걸림홈과 선택적으로 결합되는 걸림턱(63)이 마련된 조정로드(61)를 포함하는 것에 의해, 파드 도어와 커버와의 분리 및 결합을 용이하게 실행할 수 있다.

Description

스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드{STANDARD MECHANICAL INTERFACE POD}
본 고안은 웨이퍼 이송공정에 사용되는 스탠더드 메커니컬 인터페이스(Standard Mechanical Interface, 이하, SMIF라 한다) 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 SMIF 시스템에 포함되는 SMIF 파드(Pod)의 파드 도어와 커버와의 체결을 외부에서 사용자가 직접 조절할 수 있는 SMIF 시스템에 관한 것이다.
SMIF란 Standard Mechanical Interface의 약자로써, 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 콘트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, SMIF 시스템은 반도체 제조공정을 수행하는 반도체 장비의 주변장치로서 웨이퍼가 저장된 캐리어를 반도체 장비에 장전하거나 인출하는데 이용되며, 캐리어를 수납하기 위한 SMIF 파드 및 SMIF 파드를 저장하거나 인출하기 위한 SMIF 포트 등을 포함한다.
도 1a, 도 1b 및 도 2는 각각 종래 SMIF 파드의 사시도, 종래 SMIF 파드의 저면도 및 종래 파드도어와 커버와의 분리 및 결합을 실행하는 장치의 개략적인 사시도이다.
도 1a에 도시된 바와 같이, SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 12), 파드 도어(12)의 상부에 탑재된 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(14) 및 캐리어(14)를 덮고 있는 커버(16)를 포함한다. 파드 도어(12)의 외측면 둘레에는 한 쌍의 후크(12b)가 마련되고, 이에 대응하는 커버(16)의 내측면에는 한 쌍의 후크홈(도시하지 않음)이 형성되어 있으며, 커버(16)의 양 측면에는 커버(16)의 개폐를 위한 손잡이(17)가 마련되어 있다.
도 1b에서는 파드 도어(12)의 외측면 둘레에 마련된 한쌍의 후크(12b)를 도시하지 않았지만, 도 1b 및 도 2에 도시된 바와 같이, 파드 도어(12)의 하면에는 3개의 삽입구멍(12a)이 형성되어 있고 한 쌍의 구멍(13a)이 형성된 회전판(13)의 바닥면이 설치되어 있다. 삽입구멍(12a)에는 그에 대응하는 후술하는 파드위치 결정핀(27)이 삽입되는 것에 의해 SMIF 파드(10)를 정위치에 위치시키는 역할을 하며, 회전판(13)의 구멍(13a)은 후술하는 SMIF 포트(20)의 래치 핀(28)과 체결되는 것에 의해 후크(12b)를 작동시켜 파드 도어(12)를 개폐하는 역할을 한다. 후크(12b)의 작동을 보다 상세하게 설명하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 후크(12b)의 각각은 그에 대응하는 연결부재(40)에 의해 회전판(13)과 연결되어 있으며, 회전판(13)이 래치 핀(28)에 의해 화살표 "A1"의 방향으로 회전되면 후크(12b)는 화살표 "B1"의 방향으로 회동되어 커버(16)의 후크홈과 해제되어, 파드 도어(12)와 커버(16)가 분리된다. 또한, 파드 도어(12)와 커버(16)의 결합시에는 래치 핀(28)에 의해 화살표 "A2"의 방향으로 회전되면 후크(12b)는 화살표 "B2"의 방향으로 회동되어 커버(16)의 후크홈과 결합되어, 파드 도어(12)와 커버(16)가 결합된다.
도 3에 도시된 바와 같이, SMIF 포트(20)는 포트 플레이트(port plate, 22), "Ｌ"자 형상의 가이드 레일(24) 및 포트 도어(26)를 포함한다. 포트 플레이트(22)는 SMIF 포트(20) 상에 SMIF 파드(10)가 위치할 때, SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키기 위한 것이고, 가이드 레일(24)은 포트 플레이트(22)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 SMIF 파드(10)를 안내하는 역할을 한다. 또한, 포트 도어(26)는 파드 도어(12)와 접촉하여 후술하는 Z축 아암(32)과 함께 수직방향으로 이송되어 파드 도어(12) 상의 캐리어(14)를 운반하는 역할을 하며, 파드위치 결정핀(27) 및 래치 핀(28)을 포함한다. 파드위치 결정핀(27)은 포트 도어(26)의 소정 위치에 배치되어 파드 도어(12)의 삽입구멍(12a)에 각각 삽입되는 것에 의해 SMIF 파드(10)를 소망하는 정위치에 배치시키기 위한 것이고, 래치 핀(28)은 포트 도어(26)의 중앙부에 위치하여 파드 도어(12)의 회전판(13)에 형성된 구멍(13a)과 체결되어 회전판(13)을 선택적으로 회전시키는 것에 의해 후크(12b)를 작동시켜 파드 도어(12)를 커버(16)로부터 선택적으로 개폐시키는 역할을 한다.
도 4는 SMIF 파드(10)로부터 캐리어(14)를 상, 하로 이동시키기 위한 SMIF 아암의 작동을 설명하기 위한 도면으로, 도시되어 있는 바와 같이, SMIF 아암(30)은 포트 도어(26)와 연결되어 포트 도어(26)를 상, 하 방향으로 이송시키는 역할을 하는 Z축 아암(32)을 포함한다.
이하, 반도체 장비에 캐리어(14)를 탑재하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
우선, 웨이퍼가 정렬된 캐리어(14)가 수납된 SMIF 파드(10)가 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(22) 상에 안착된다. 이때, SMIF 파드(10)는 삽입구멍(12a)과 파드위치 결정핀(27)의 상호 작용 및 SMIF 포트(20)의 가이드 레일(24)에 의해 소망하는 정위치로 안내된다. 안내된 후에는, 포트 도어(26)의 래치 핀(28)이 파드 도어(12)의 회전판(13)의 구멍(13a)에 체결된 상태이다.
계속해서, SMIF 파드(10)가 소망하는 정위치에 위치된 경우, 모터(도시하지 않음)의 구동에 의해 래치 핀(28)은 파드 도어(12)의 회전판(13)을 도 2의 화살표"A1"의 방향으로 회전시켜 파드 도어(12)를 SMIF 파드(10)의 커버(16)로부터 분리시킨다. 이러한 상태에서는 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(22)가 이동할 때 SMIF 파드(10)의 파드 도어(12)도 함께 이동할 수 있게 된다.
그후, Z축 아암(32)의 하강 슬라이딩 운동에 의해 SMIF 포트(20)의 포트 도어(26)와 SMIF 파드(10)의 파드 도어(12)가 동시에 아래로 이송된 후, 파드 도어(12) 상의 캐리어(14)는 캐리어 핸드(도시하지 않음)에 의해 반도체 장비에 장전된다.
한편, 반도체 장비로부터 캐리어를 인출하여 SMIF 파드 내로 이송하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
즉, 캐리어 핸드에 의해 캐리어(14)는 반도체 장비로부터 인출되어 파드 도어(12) 상에 위치되며, 그후 파드 도어(12)와 SMIF 포트(20)의 포트 도어(26)는 Z축 아암(32)의 상승 슬라이딩 운동에 의해 커버(16)의 하단까지 상승한다. 그후, 파드 도어(12)의 한 쌍의 구멍(13a)과 포트 도어(26)의 래치 핀(28)이 체결된 후, 래치 핀(28)은 모터의 구동에 회전하게 된다. 이것에 의해, 회전판(13)은 도 2의 화살표 "A2"의 방향으로 회전되어, 파드 도어(12)의 후크(12b)를 화살표 "B2"의 방향으로 회동시킨다. 그후, 후크(12b)는 그에 대응하는 커버(16)의 후크홈과 체결되어 파드 도어(12)를 커버(16)와 일체화시킨다.
이러한 구성에 있어서는, 사용자가 선택적으로 파드 도어와 커버를 분리하기가 곤란하다. 예를들면, SMIF 파드 내의 캐리어에 장착된 웨이퍼가 손상되어 교환이 요구되는 경우 SMIF 포트의 래치 핀의 역할을 하는 별도의 도구를 사용하여 분리시켜야 하며, 또한 한 쌍의 구멍을 갖는 회전판이 파드 도어의 하면에 노출되어 있으므로 분리과정이 번거롭다는 문제점이 있었다.
본 고안은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, SMIF 파드의 파드 도어와 커버와의 분리 및 결합을 수동으로 조작할 수 있는 장치를 갖는 SMIF 파드를 제공하는데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 고안은 웨이퍼를 탑재한 캐리어가 안착되는 파드 도어와 파드 도어를 덮고 있는 커버를 갖는 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드에 있어서, 파드 도어는 그의 정면에 형성된 홀, 홀의 좌, 우측에 각각 형성된 걸림홈, 그의 내부에 설치된 회전판, 커버와의 분리 및 결합을 위한 적어도 한 쌍의 후크, 회전판의 회전운동에 의해 후크를 회동시키도록 회전판과 각 후크를 연결하는 적어도 한 쌍의 연결부재, 한쪽 끝이 회전판과 연결되어 있으며 다른 끝에는 걸림홈과 선택적으로 결합되는 걸림턱이 마련된 조정로드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 고안의 상술한 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 고안의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
도 1a 및 도 1b는 각각 종래 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드의 사시도 및 그의 저면도,
도 2는 종래의 파드 도어와 커버와의 분리 및 결합을 실행하는 장치의 사시도,
도 3은 종래 스탠더드 메커니컬 인터페이스 포트의 개략적인 사시도,
도 4는 종래의 캐리어 이송과정을 설명하기 위한 도면,
도 5는 본 고안에 따른 파드 도어의 개략적인 사시도,
도 6은 본 고안에 따른 파드 도어와 커버와의 분리 및 결합을 실행하는 장치의 사시도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드
12 : 파드 도어
12a : 삽입구멍
12b : 후크
13 : 회전판
13a : 구멍
16 : 커버
17 : 손잡이
20 : 스탠더드 메커니컬 인터페이스 포트
22 : 포트 플레이트
26 : 포트 도어
27 : 파드위치 결정핀
28 : 래치 핀
40 : 연결부재
51 : 사각홀
53, 55 : 좌, 우측 걸림홈
61 : 조정로드
63 : 걸림턱
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 SMIF 시스템을 상세하게 설명한다.
도 5 및 도 6은 각각 본 고안에 따른 파드 도어의 개략적인 사시도 및 파드 도어와 커버와의 분리 및 결합을 실행하는 장치의 사시도이다. 또한, 이하의 기재에 있어서, 종래의 도면을 참조하여 설명하며 종래와 동일한 부품에 대해서는 동일한 부호를 붙여 설명한다.
도 1a에 도시된 바와 같이, SMIF 파드(10)는 그의 하부에 마련된 파드 도어(12), 파드 도어(12)의 상부에 탑재된 웨이퍼들이 정렬된 캐리어(14) 및 캐리어(14)를 덮고 있는 커버(16)를 포함한다. 파드 도어(12)의 외측면 둘레에는 한 쌍의 후크(12b)가 마련되고, 이에 대응하는 커버(16)의 내측면에는 한 쌍의 후크홈(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 또한, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 파드 도어(12)를 도시하는 것으로, 그 정면에 사각홀(51) 및 사각홀(51) 하부의 좌, 우측에 걸림홈(53), (55)이 형성되어 있고, 이 이외의 내부의 구성은 A-A선을 따라 취했을 때, 도 1b와 동일한 구성이다. 커버(16)의 양 측면에는 커버(16)의 개폐를 위한 손잡이(17)가 마련되어 있다.
도 1b에서 파드 도어(12)의 외측면 둘레에 마련된 한상의 후크(12b)를 도시하지 않았지만, 도 1b 및 도 5에 도시된 바와 같이, 파드 도어(12)의 하면에는 3개의 삽입구멍(12a)이 형성되어 있고 한 쌍의 구멍(13a)이 형성된 회전판(13)의 바닥면이 노출되어 있다. 삽입구멍(12a)에는 그에 대응하는 파드위치 결정핀(27)이 삽입되는 것에 의해 SMIF 파드(10)를 정위치에 위치시키는 역할을 하며, 회전판(13)의 구멍(13a)은 모터(도시하지 않음)에 의해 구동되는 SMIF 포트(20)의 래치 핀(28)과 체결되는 것에 의해 후크(12b)를 작동시켜 파드 도어(12)를 개폐하는 역할을 한다. 후크(12b)의 작동을 보다 상세하게 설명하면, 도 6에 도시된 바와 같이, 후크(12b)의 각각은 그에 대응하는 연결부재(40)에 의해 파드 도어(12)내에 설치된 회전판(13)과 연결되어 있으며, 회전판(13)이 래치 핀(28)에 의해 화살표 "A1"의 방향으로 회전되면 후크(12b)는 화살표 "B1"의 방향으로 회동되어 커버(16)의 후크홈과 해제되어, 파드 도어(12)와 커버(16)가 분리된다. 또한, 파드 도어(12)와 커버(16)의 결합시에는 래치 핀(28)에 의해 회전판(13)이 화살표 "A2"의 방향으로 회전되면 후크(12b)는 화살표 "B2"의 방향으로 회동되어 커버(16)의 후크홈에 체결되어, 파드 도어(12)와 커버(16)가 결합된다.
상술한 설명은 래치 핀(28)을 이용하여 파드 도어(12)와 커버(16)와의 분리 및 결합에 대하여 설명하였지만, 본 고안은 SMIF 시스템을 이용하지 않는 경우 사용자가 수동으로 작동하는 것에 의해 파드 도어(12)와 커버(16)와의 분리 및 결합을 실행할 수 있는 장치, 예를들면 조정로드(61)를 더 포함한다. 도 6에 도시된 바와 같이, 조정로드(61)의 한 쪽은 파드 도어(12)내에 설치된 회전판(13)과 연결되어 있으며, 반대쪽에는 파드 도어(12)의 사각홀(51)을 통해 좌, 우측 걸림홈(53), (55)중 어느 하나와 선택적으로 체결되는 걸림턱(63)이 마련되어 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, SMIF 포트(20)는 포트 플레이트(22), "Ｌ"자 형상의 가이드 레일(24) 및 포트 도어(26)를 포함한다. 포트 플레이트(22)는 SMIF 포트(20) 상에 SMIF 파드(10)가 위치할 때, SMIF 파드(10)의 하면을 수평으로 유지시키기 위한 것이고, 가이드 레일(24)은 포트 플레이트(22)의 각 꼭지점을 중심으로 마련되어 SMIF 포트(20) 상의 소망하는 정위치에 SMIF 파드(10)를 안내하는 역할을 한다. 또한, 포트 도어(26)는 파드 도어(12)와 접촉하여 Z축 아암(32)과 함께 수직방향으로 이송되어 파드 도어(12) 상의 캐리어(14)를 운반하는 역할을 하며, 파드위치 결정핀(27) 및 래치 핀(28)을 포함한다. 파드위치 결정핀(27)은 포트 도어(26)의 소정 위치에 배치되어 파드 도어(12)의 삽입구멍(12a)에 각각 삽입되는 것에 의해 SMIF 파드(10)를 소망하는 정위치에 배치시키기 위한 것이고, 래치 핀(28)은 포트 도어(26)의 중앙부에 위치하여 파드 도어(12)의 회전판(13)에 형성된 구멍(13a)과 체결되어 회전판(13)을 선택적으로 회전시키는 것에 의해후크(12b)를 작동시켜 파드 도어(12)를 커버(16)로부터 선택적으로 개폐시키는 역할을 한다.
도 4는 SMIF 파드(10)로부터 캐리어(14)를 상, 하로 이동시키기 위한 SMIF 아암의 작동을 설명하기 위한 도면으로, 도시되어 있는 바와 같이, SMIF 아암(30)은 포트 도어(26)와 연결되어 포트 도어(26)를 상, 하 방향으로 이송시키는 역할을 하는 Z축 아암(32)을 포함한다.
이하, 반도체 장비에 캐리어(14)를 탑재하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
우선, 웨이퍼가 정렬된 캐리어(14)가 수납된 SMIF 파드(10)가 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(22) 상에 안착된다. 이때, SMIF 파드(10)는 삽입구멍(12a)과 파드위치 결정핀(27)의 상호 작용 및 SMIF 포트(20)의 가이드 레일(24)에 의해 소망하는 정위치로 안내된다. 안내된 후에는, 포트 도어(26)의 래치 핀(28)이 파드 도어(12)의 회전판(13)의 구멍(13a)에 체결된 상태이다.
계속해서, SMIF 파드(10)가 소망하는 정위치에 위치된 경우, 모터의 구동에 의해 래치 핀(28)은 파드 도어(12)의 회전판(13)을 도 2의 화살표"A1"의 방향으로 회전시켜 파드 도어(12)를 SMIF 파드(10)의 커버(16)로부터 분리시킨다. 이러한 상태에서는 SMIF 포트(20)의 포트 플레이트(22)가 이동할 때 SMIF 파드(10)의 파드 도어(12)도 함께 이동할 수 있게 된다.
그후, Z축 아암(32)의 하강 슬라이딩 운동에 의해 SMIF 포트(20)의 포트 도어(26)와 SMIF 파드(10)의 파드 도어(12)가 동시에 아래로 이송된 후, 파드 도어(12) 상의 캐리어(14)는 캐리어 핸드(도시하지 않음)에 의해 반도체 장비에 장전된다.
한편, 반도체 장비로부터 캐리어를 인출하여 SMIF 파드 내로 이송하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
즉, 캐리어 핸드에 의해 캐리어(14)는 반도체 장비로부터 인출되어 파드 도어(12) 상에 위치되며, 그후 파드 도어(12)와 SMIF 포트(20)의 포트 도어(26)는 Z축 아암(32)의 상승 슬라이딩 운동에 의해 커버(16)의 하단까지 상승한다. 그후, 파드 도어(12)의 한 쌍의 구멍(13a)과 포트 도어(26)의 래치 핀(28)이 체결된 후, 래치 핀(28)은 모터의 구동에 회전하게 된다. 이것에 의해, 회전판(13)은 도 2의 화살표 "A2"의 방향으로 회전되어, 파드 도어(12)의 후크(12b)를 화살표 "B2"의 방향으로 회동시킨다. 그후, 후크(12b)는 그에 대응하는 커버(16)의 후크홈과 체결되어 파드 도어(12)를 커버(16)와 일체화시킨다.
한편, 포트 플레이트(22)의 래치 핀(28)을 이용하지 않고 파드 도어(12)와 커버(16)와의 분리가 요구되는 경우, 사용자는 파드 도어(12)의 사각홀(51)을 통해 좌측 걸림홈(53)과 결합된 조정로드(61)의 걸림턱(63)을 우측 걸림홈(55) 쪽으로 사각홀(51)을 따라 이동시킨 후 우측 걸림홈(55)에 결합시키면 조정로드(61)의 한쪽과 연결된 회전판(13)은 도 6의 화살표 "A1"의 방향으로 회전되며, 이에 의해 후크(12b)는 화살표 "B1"의 방향으로 회동되어 파드 도어(12)와 커버(16)를 분리시킨다. 파드 도어(12)와 커버(16)와의 결합이 요구되는 경우에는, 사용자가 파드 도어(12)의 사각홀(51)을 통해 우측 걸림홈(55)과 결합된 조정로드(61)의 걸림턱(63)을 좌측 걸림홈(53) 쪽으로 사각홀(51)을 따라 이동시킨 후 좌측 걸림홈(53)에 결합시키면 조정로드(61)의 한쪽과 연결된 회전판(13)이 도 6의 화살표 "A2"의 방향으로 회전되며, 이에 의해 후크(12b)는 화살표 "B2"의 방향으로 회동되어 파드 도어(12)와 커버(16)를 결합시킨다.
상술한 바와 같이 본 고안은 바람직한 예를 중심으로 설명 및 도시되었으나, 본 기술분야의 숙련자라면 본 고안의 사상 및 범주를 벗어나지 않고 다양하게 변형 실시 할 수 있음을 알 수 있을 것이다.
상술한 구성에 있어서, 사용자가 조정로드의 이동만으로 파드 도어와 커버와의 분리 및 결합을 용이하게 실행할 수 있다는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 웨이퍼를 탑재한 캐리어가 안착되는 파드 도어와 상기 파드 도어를 덮고 있는 커버를 갖는 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드에 있어서,
    상기 파드 도어(12)는 그의 정면에 형성된 홀(51), 상기 홀(51) 하부의 좌, 우측에 각각 형성된 걸림홈(53),(55), 그의 내부에 설치된 회전판(13), 상기 커버(16)와의 분리 및 결합을 위한 적어도 한 쌍의 후크(12b), 상기 회전판(13)의 회전운동에 의해 상기 후크(12b)를 회동시키도록 상기 회전판(13)과 상기 각 후크(12b)를 연결하는 적어도 한 쌍의 연결부재(40), 한쪽 끝이 상기 회전판(13)과 연결되어 있으며 다른 끝에는 상기 걸림홈중의 어느 하나와 선택적으로 결합되는 걸림턱(63)이 마련된 조정로드(61)를 포함하여, 상기 어느 하나의 걸림홈과 결합된 걸림턱(63)을 다른 걸림홈으로 이동시키는 것에 의해 상기 회전판(13)을 회전시키는 것을 특징으로 하는 스탠더드 메커니컬 인터페이스 파드.
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