JPS61250507A - 測定装置 - Google Patents

測定装置

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JPS61250507A
JPS61250507A JP9091085A JP9091085A JPS61250507A JP S61250507 A JPS61250507 A JP S61250507A JP 9091085 A JP9091085 A JP 9091085A JP 9091085 A JP9091085 A JP 9091085A JP S61250507 A JPS61250507 A JP S61250507A
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JP
Japan
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measured
measuring head
measuring
head
air supply
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JP9091085A
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Ryohei Yokoyama
良平 横山
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B13/00Measuring arrangements characterised by the use of fluids
    • G01B13/08Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring diameters
    • G01B13/10Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring diameters internal diameters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B13/00Measuring arrangements characterised by the use of fluids
    • G01B13/18Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B13/19Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、内径又は外径の測定装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来、第4図に示すように1円筒状の被測定物(W)の
中空部(人)の内径測定法の一つとして1円柱状の測定
ヘッド(B)を中空部(A)に遊挿し、測定ヘッド(B
)の先端円周方向に沿って等配して穿設されている複数
のエアノズル(C)・・・から圧縮空気を噴出させ、こ
のときのエアノズル(C)・・・の背圧変化に基づbて
、中空部(A)の内径を測定するヤシ方がある。そして
、測定ヘッド(B)の先端部には、テーパ(D)が付さ
れていて、中空部(A)に遊挿しやすくなっている。
しかしながら、中空部(A)と測定ヘッド(B)とが同
軸でない場合、つまり中空部(A)と測定ヘツ′ド(B
)との軸心がずれている場合には、測定ヘッド(B)が
中空部(A)の開口縁部(B)に接触し1種々の支障を
惹起する。たとえば、被測定物(W)が支持台(F)に
固定されている場合、支持台(F)との摩擦係数が大き
い場合、あるいは被測定物(W)の重量が測定ヘッド(
B)に比し過大である場合には、測定ヘッド(B)が中
空部(A)に無理に押し込まれることになる。その結果
、被測定物(W)あるいは測定ヘッド(B)が損傷する
不具合を生じる。
重大な問題となっている。
〔発明の目的〕
本発明は、上記事情に着目してなされたもので。
被測定物と内径測定用の測定ヘッドとの調芯を自動的に
行うことによシ、被測定物の損傷の発生を防止すること
のできる測定装置を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
内径又は外径が測定される被測定物を載置面に沿って移
動自在に静圧支持するとともに、被測定物に遊嵌する測
定ヘッドの先端部に円周方向に沿って、少なくとも3個
の圧縮気体を噴出する給気孔が穿設されたテーパ部を形
成したものである。
〔発明の実施例〕
以下1本発明の一実施例を区間を参照して詳述する。
第1図は、この実施例の測定装置を示している。
この測定装置は1円筒状の被測定物(W)を載置する次
めの載置台(1)と、被測定物(W)の円柱状の中空部
(V) IC遊挿されるとともに軸線方向に昇降自在に
配設された円柱状の測定ヘッド(2)と、この測定ヘッ
ド(2)を昇降させる昇降機構(図示せず)と。
載置台(1)の被測定物(W)載置面(3)に圧縮空気
を供給する第1の給気機構(4)と、後述する調芯を目
的として測定ヘッド(2)外周面から外方に圧縮空気を
供給する第20給気機構(5)と、内径測定のための内
径測定機構(6)とから構成されている。しかして。
載置台(1)は、中空部(V)とほぼ等径の円孔(lり
が穿設され九台状の本体部(7)と、この本体部(7)
上にて被測定物(W)を遊嵌するように円孔(1a)と
同軸に突設された円環状の規制壁部(8)とからなって
いる。つtシ、規制壁部(8)によシ円柱状の中空部(
9)が形成され、この中空部(9)に被測定物(W)が
、この被測定物(W)と規制壁部(8)とのギャップに
より決定される一定の範囲内で戟&rriJ(33上を
移動自在に保持されるようになっている。そして、載置
面(3)には、第2図く示すよう罠、複数の給気孔tl
l・・・(i&低3個)が等配して穿設されている。こ
れら給気孔(II・・・は1図示せぬf41の圧縮空気
源に接続し、第10給気機構(4)を構成している。す
なわち。
載置面(3)は、給気孔a〔・・・から圧縮空気が供給
されることによシ靜圧摺動面となシ、わずかの力で被測
定物(W)を移動させることができるようになりている
。一方、測定ヘッド(2)は、一端部が昇降機構に連結
された円柱をなし且つ外径が中空部(9)の内径よシ小
さい軸部aυと、この軸部aυの他端部に先細となるよ
うに形成されたテーパ部αりとからなりている。そして
、このテーパ部a望外局面には。
円周方向く沿って等配して穿設され九給気孔αJ・・・
<i&低3個)が、軸方向(多段に開口している。
これら給気孔崗・・・は1図示せぬ第2の圧縮空気源に
接続され、前記第20給気機構(5)を構成している。
さらに、軸部aυのテーパ部(1りに近接した部位外聞
面には1円周方向く沿って等配して穿設された給気孔a
4・・・(最低3個)が開口している。これら給気孔(
1(・・・は、各別に図示せぬ第3の圧縮空気源に接続
されているとともに、それらの流体管路途上には、各給
気孔I・・・から噴出される圧縮空気の背圧を検出する
複数の空電変換器(図示せず)が設置されている。まな
、各空電変換器は、これら空電変換器から出力された背
圧構出信号に基づいて中空部(V)の内径を算出する演
算装置(図示せず)K接続されている。これら演算装置
、空電変換器、第3の圧縮空気源及び給気孔(141・
・・蝶、前記内径測定機構(6)を構成している。他方
、昇降機構は、測定ヘッド(2)を、規制壁部(8)及
び円孔(1a)と同軸に保持し、かつ軸方向である矢印
(15a)1れるにつれ、徐々に上記ギャップが挟まり
、これに従って1次第に被測定物(W)が測定ヘッド(
2)と同軸位置に位置決めされる。かくて、給気孔(1
荀・・・が、中空部(V)の内壁面に対向する位置まで
測定ヘッド(2)が下降した段階においては、被測定物
(′W)は、完全に調芯されている。しかして、このと
きの給気孔+14)・・・から噴出された圧縮空気の背
圧を示す前記空電変換器から出力された検出信号に基づ
いて前記演算装置にて、被測定物(W)の内径が算出さ
れる。
このように、この実施例の内径測定装置においては、測
定ヘッド(2)に対して被測定物(W)を自動的に調芯
することができるので、測定ヘッド(2)の衝突によυ
被測定物(W)に損傷を与えることがなくなるとともに
、測定能率が向上する。また、被測定物(W)の内径測
定精度も向上する。
なお、上記実施例は、内径測定装置について例示してい
るが、第3図に示すように、外径測定装置についても適
用できる。この場合の測定ヘッド01)は1円筒状であ
り、外径測定対象となる円柱状の被測定物四が遊挿する
中空部間を有している。
この測定ヘッド(2カの先端部内壁面には、開口側が大
径と表るテーパ部(財)が形成されている。このテーパ
部(財)内周面には1円周方向に沿って等配して穿設さ
れた給気孔(ハ)・・・(最低3個)が開口している。
また、テーパ部(24に近接した部位には、外径測定用
の給気孔(イ)・・・(最低3個)が円周方向に沿って
等配して穿設されている。この場合も、被測定物@を静
圧支持させることにより、上記実施例と同様にして自動
調芯を行うことができる。
さらに、径測定方法は、エアーマイクロメータ方式に限
るとと々く2例えば電気マイクロメータ等、いずれの方
法を採用してもよい。さらに、調芯用の円周方向に沿っ
九給気孔は、複数段でなく。
一段でもよい。さらに、測定ヘッド側を固定し。
載置台側を昇降させるようにしてもよい。
〔発明の効果〕
本発明の測定装置は、測定ヘッドに対して被測定物を同
軸となるように自動的に調芯することができるので、被
測定物の内径又は外径を、損傷を与えることなく、高精
度かつ高能率で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の測定装置の構成を示す図、
第2図は同じく載置台の平面図、に3図は本発明の他の
実施例の測定装置の説明図、第4図は従来の径測定の欠
点の説明図である。 (1):載置台、     (2>、(2υ:測定ヘッ
ド。 (3):載置面、   aり、Q4:テーパ部。 職翰:給気孔、     (W) :被測定物。 代理人 弁理士  則 近 憲 佑 (ほか1名) 第3図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)下記構成を具備することを特徴とする測定ヘッド
    。 (イ)径を測定される被測定物が載置される載置面に沿
    って移動自在に上記被測定物を静圧支持する載置台。 同上記被測定物に遊嵌される形状に形成され、上記被測
    定物に対向する先端部に円周方向に等配して3個以上圧
    縮気体を噴出する給気孔が穿設されたテーパ部を有する
    測定ヘッド。 (ハ)上記測定ヘッドの上記テーパ部に近接した部位に
    設けられ、上記被測定物の径を検出する径検出機構。 (ニ)上記測定ヘッドを上記載置台上に支持されている
    被測定物に対してほぼ同軸に支持するとともに、上記被
    測定物に対して軸方向に相対的に進退させる昇降機構。
  2. (2)測定ヘッドは円柱状に形成され、内径測定される
    円筒状の被測定物に遊挿されることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の測定装置。
  3. (3)測定ヘッドは円筒状に形成され、外径測定される
    円柱状の被測定物に遊挿されることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の測定装置。
JP9091085A 1985-04-30 1985-04-30 測定装置 Granted JPS61250507A (ja)

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JPH0423723B2 JPH0423723B2 (ja) 1992-04-23

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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006284376A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Aisin Aw Co Ltd 位置合せ装置、エアマイクロ測定装置及び測定方法
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CN105004288A (zh) * 2015-07-22 2015-10-28 郑州中量测控科技有限公司 一种气动内径测量装置
CN106546198A (zh) * 2016-09-27 2017-03-29 重庆西电普华智能机器人技术有限公司 一种孔位置度快速检测装置
CN111238423A (zh) * 2020-03-05 2020-06-05 屈静清 一种轴承外圈同轴度的检测装置

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JPS51128564U (ja) * 1975-04-14 1976-10-18

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