JPH0423723B2 - - Google Patents

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JPH0423723B2
JPH0423723B2 JP60090910A JP9091085A JPH0423723B2 JP H0423723 B2 JPH0423723 B2 JP H0423723B2 JP 60090910 A JP60090910 A JP 60090910A JP 9091085 A JP9091085 A JP 9091085A JP H0423723 B2 JPH0423723 B2 JP H0423723B2
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JP
Japan
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measured
inner diameter
air supply
outer diameter
measuring
Prior art date
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JP60090910A
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English (en)
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JPS61250507A (ja
Inventor
Ryohei Yokoyama
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Application filed by Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority to JP9091085A priority Critical patent/JPS61250507A/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B13/00Measuring arrangements characterised by the use of fluids
    • G01B13/08Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring diameters
    • G01B13/10Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring diameters internal diameters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B13/00Measuring arrangements characterised by the use of fluids
    • G01B13/18Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B13/19Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、内径又は外径の測定装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来、第4図に示すように、円筒状の被測定物
Wの中空部Aの内径測定法の一つとして、円柱状
の測定ヘツドBを中空部Aに遊挿し、測定ヘツド
Bの先端円周方向に沿つて等配して穿設されてい
る複数のエアノズルC…から圧縮空気を噴出さ
せ、このときのエアノズルC…の背圧変化に基づ
いて、中空部Aの内径を測定するやり方がある。
そして、測定ヘツドBの先端部には、テーパDが
付されていて、中空部Aに遊挿しやすくなつてい
る。
しかしながら、中空部Aと測定ヘツドBとが同
軸でない場合、つまり中空部Aと測定ヘツドBと
の軸心がずれている場合には、測定ヘツドBが中
空部Aの開口縁部Eに接触し、種々の支障を惹起
する。たとえば、被測定物Wが支持台Fに固定さ
れている場合、支持台Fとの摩擦係数が大きい場
合、あるいは被測定物Wの重量が測定ヘツドBに
比し過大である場合には、測定ヘツドBが中空部
Aに無理に押し込まれることになる。その結果、
被測定物Wあるいは測定ヘツドBが損傷する不具
合を生じる。とくに、被測定物の材質が、アウミ
ニウム(Al)、銅(Cu)等の軟質材である場合に
は、傷も大きく、品質管理上、重大な問題となつ
ている。
〔発明の目的〕
本発明は、上記事情に着目してなされたもの
で、被測定物と内径測定用の測定ヘツドとの調芯
を自動的に行うことにより、被測定物の損傷の発
生を防止することのできる測定装置を提供するこ
とを目的とする。
〔発明の概要〕
内径又は外径が測定される被測定物を載置面に
沿つて移動自在に静圧支持するとともに、被測定
物に遊嵌する測定ヘツドの先端部に円周方向に沿
つて、少なくとも3個の圧縮気体を噴出する給気
孔が穿設されたテーパ部を形成したものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述
する。
第1図は、この実施例の測定装置を示してい
る。この測定装置は、円筒状の被測定物Wを載置
するための載置台1と、被測定物Wの円柱状の中
空部Wに遊挿されるとともに軸線方向に昇降自在
に配設された円柱状の測定ヘツド2と、この測定
ヘツド2を昇降させる昇降機構(図示せず)と、
載置台1の被測定物W載置面3に圧縮空気を供給
する第1の給気機構4と、後述する調芯を目的と
して測定ヘツド2外周面から外方に圧縮空気を供
給する第2の給気機構5と、内径測定のための内
径測定機構6とから構成されている。しかして、
載置台1は、中空部Vとほぼ等径の円孔1aが穿
設された台状の本体部7と、この本体部7上にて
被測定物Wを遊嵌するように円孔1aと同軸に穿
設された円環状の規制壁部8とからなつている。
つまり、規制壁部8により円柱状の中空部9が形
成され、この中空部9に被測定物Wが、この被測
定物Wと規制壁部8とのギヤツプにより決定され
る一定の範囲内で載置面3上を移動自在に保持さ
れるようになつている。そして、載置面3には、
第2図に示すように、複数の給気孔10…(最低
3個)が等配して穿設されている。これら給気孔
10…は、図示せぬ第1の圧縮空気源に接続し、
第1の給気機構4を構成している。すなわち、載
置面3は、給気孔10…から圧縮空気が供給され
ることにより静圧摺動面となり、わずかの力で被
測定物Wを移動させることができるようになつて
いる。一方、測定ヘツド2は、一端部が昇降機構
に連結された円柱をなし且つ外径が中空部9の内
径より小さい軸部11と、この軸部11の他端部
に先細となるように形成されたテーパ部12とか
らなつている。そして、このテーパ部12外周面
には、円周方向に沿つて等配して穿設された給気
孔13…(最低3個)が、軸方向に多段に開口し
ている。これら給気孔13…は、図示せぬ第2の
圧縮空気源に接続され、前記第2の給気機構5を
構成している。さらに、軸部11のテーパ部12
に近接した部位外周面には、円周方向に沿つて等
配して穿設された給気孔14…(最低3個)が開
口している。これら給気孔14…は、各別に図示
せぬ第3の圧縮空気源に接続されているととも
に、それらの流体管路途上には、各給気孔14…
から噴出される圧縮空気の背圧を検出する複数の
空電変換器(図示せず)が設置されている。ま
た、各空電交換器は、これら空電変換器から出力
された背圧検出信号に基づいて中空部Vの内径を
算出する演算装置(図示せず)に接続されてい
る。これら演算装置、空電変換器、第3の圧縮空
気源及び吸気孔14…は、前記内径測定機構6を
構成している。他方、昇降機構は、測定ヘツド2
を、規制壁部8及び円孔1aと同軸に保持し、か
つ軸方向である矢印15a,15b方向に昇降さ
せるようになつている。
しかして、上記構成の測定装置において、ま
ず、測定ヘツド2を矢印15b方向に上昇させて
おく。そして、給気孔10…,13…,14…か
ら圧縮空気を噴出させる。ついで、被測定物Wを
載置面3上に載置する。このとき、測定ヘツド2
の軸心に対して、中空部Vの軸心がずれていたと
する。そのため、測定ヘツド2を矢印15a方向
に下降させると、第1図想像線で示すように、テ
ーパ部12の先端が中空部Vの周縁部に接触す
る。そして、最下段位置にある給気孔13…から
噴出された圧縮空気により、被測定物Wには、測
定ヘツド2と同軸となる方向の力が作用する。こ
のとき、被測定物Wは、給気孔10…からの圧縮
空気の静圧により非接触的に支持されているの
で、被測定物Wは、給気孔13…からの圧縮空気
により容易に調芯移動を行うことができる。た
だ、このとき測定ヘツド2と被測定物Wとのギヤ
ツプが大きいので、調芯精度は悪い。しかし、測
定ヘツド2が、矢印15a方向に、中空部Vの奥
深く徐々に挿入されるにつれ、徐々に上記ギヤツ
プが狭まり、これに従つて、次第に被測定物Wが
測定ヘツド2と同軸位置に位置決めされる。かく
て、給気孔14…が、中空部Vの内壁面に対向す
る位置まで測定ヘツド2が下降した段階において
は、被測定物Wは、完全に調芯されている。しか
して、このときの給気孔14…から噴出された圧
縮空気の背圧を示す前記空電変換器から出力され
た検出信号に基づいて前記演算装置にて、被測定
物Wの内径が算出される。
このように、この実施例の内径測定装置におい
ては、測定ヘツド2に対して被測定物Wを自動的
に調芯することができるので、測定ヘツド2の衝
突により被測定物Wに損傷を与えることがなくな
るとともに、測定能率が向上する。また、被測定
物Wの内径測定精度も向上する。
なお、上記実施例は、内径測定装置について例
示しているが、第3図に示すように、外径測定装
置についても適用できる。この場合の測定ヘツド
21は、円筒状であり、外径測定対象となる円柱
状の被測定物22が遊挿する中空部23を有して
いる。この測定ヘツド21の先端部内壁面には、
開口側が大径となるテーパ部24が形成されてい
る。このテーパ部24内周面には、円周方向に沿
つて等配して穿設された給気孔25…(最低3
個)が開口している。また、テーパ部24に近接
した部位には、外径測定用の給気孔26…(最低
3個)が円周方向に沿つて等配して穿設されてい
る。この場合も、被測定物22を静圧支持させる
ことにより、上記実施例と同様にして自動調芯を
行うことができる。
さらに、径測定方法は、エア・マイクロメータ
方式に限ることなく、例えば電気マイクロメータ
等、いずれの方法を採用してもよい。さらに、調
芯用の円周方向に沿つた給気孔は、複数段でな
く、一段でもよい。さらに、測定ヘツド側を固定
し、載置台側を昇降させるようにしてもよい。
〔発明の効果〕
本発明の測定装置は、測定ヘツドに対して被測
定物を同軸となるように自動的に調芯することが
できるので、被測定物の内径又は外径を、損傷を
与えることなく、高精度かつ高能率で測定するこ
とができる。とくに、測定ヘツドを被測定物に対
して位置決めする過程中、テーパ部に設けられた
給気孔により調芯を完了し、被測定物に対する測
定ヘツドの位置決めが完了したときには、ただち
に測定を行うことができる態勢がととのつている
ので、測定能率が飛躍的に向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の測定装置の構成を
示す図、第2図は同じく載置台の平面図、第3図
は本発明の他の実施例の測定装置の説明図、第4
図は従来の径測定の欠点の説明図である。 1:載置台、2,21:測定ヘツド、3:載置
面、12,24:テーパ部、13,25:給気孔
(第1の給気孔)、14,26:給気孔(第2の給
気孔)、W:被測定物。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 下記構成を具備し、一定径の外径部又は内径
    部を有する被測定物の上記外径部又は内径部の径
    を測定することを特徴とする測定装置。 (イ) 上記被測定物が載置される載置面を有し、こ
    の載置面に沿つて移動自在に上記被測定物を静
    圧支持する載置台。 (ロ) 上記被測定物の外径部又は内径部に遊嵌され
    るとき上記被測定物との間〓が徐々に減少する
    テーパ面が形成されこのテーパ面の円周方向に
    圧縮気体を噴出する第1の給気孔が等配して少
    くとも3個穿設されたテーパ部と、このテーパ
    部に同軸に連設され上記被測定物の外径部又は
    内径部に上記テーパ部が遊嵌した後に続いて上
    記被測定物の外径部又は内径部に平行に対向し
    て遊嵌する対向部とを有し、上記第1の給気孔
    から噴出された圧縮気体により、上記載置面上
    に非接触支持された上記被測定物の上記対向部
    に対する調芯を行う測定ヘツド。 (ハ) 上記測定ヘツドの対向部の円周方向に等配し
    て少くとも3個穿設され圧縮気体を上記被測定
    物の外径部又は内径部に向かつて噴出する第2
    の給気孔を有し、上記第2の給気孔から噴出さ
    れた圧縮空気の背圧に基づいて上記被測定物の
    外径部又は内径部の径を検出する径検出機構。 (ニ) 上記測定ヘツドを上記載置台上に支持されて
    いる被測定物に対してほぼ同軸に支持するとと
    もに、上記被測定物に対して軸方向に相対的に
    進退させる昇降機構。 2 測定ヘツドは円柱状に形成され、内径測定さ
    れる被測定物に遊嵌されることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の測定装置。 3 測定ヘツドは円筒状に形成され、外径測定さ
    れる円柱状の被測定物に遊嵌されることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の測定装置。
JP9091085A 1985-04-30 1985-04-30 測定装置 Granted JPS61250507A (ja)

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